【課題】煩雑な操作を行うことなく複数のガス種に対して流量制御を行うことが可能な流量制御装置を提供することである。
【解決手段】ガス通路２８に流れるガス流量を制御する流量制御装置３０において、主ガス管５０と、これに流れるガスの流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段５２と、流量を制御する流量制御弁機構５４と、外部より入力される流量指示信号Ｓｂと目標流量との関係を表すための、複数のガス種に対応した複数の換算データを記憶する換算データ記憶部５６と、外部より入力されるガス種選択信号Ｓａに基づいて複数の換算データから対応する換算データを選択すると共に流量指示信号Ｓｂに基づいて前記目標流量を求め、目標流量と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する流量制御本体５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置１００に、前記流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記測定流量値又は前記圧力センサで測定される測定圧力値に基づいて、前記流路ＭＬを流れる流体の状態が安定状態であるかどうかを判定する安定状態判定部５と、前記安定状態判定部５が流体の状態が安定状態であると判定している場合に、前記測定圧力値の変化量に基づいて前記測定流量値の異常を診断する異常診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】基本機能を犠牲にすることなく、確実に、調節弁の開度制御の速応性や整定性などの制御性を向上させる。
【解決手段】供給電流Ｉが取り得る電流の範囲を複数の電流範囲に区分し、この電流範囲の区分毎に基本機能回路部７が実施する調節弁２の開度制御の制御形態（単ループ制御、二重ループ制御など）を定めたテーブルＴＢ１をメモリ５に格納しておく。ＣＰＵ４は、供給電流Ｉの実際値を検出し、基本機能回路部７に振り向けることが可能な余剰電流があるか否かを判断する。この場合、４ｍＡを超える供給電流を余剰電流とみなし、その余剰電流を基本機能回路部７に配分するように、電流調整部８へ指令を送る。また、供給電流Ｉの区分に応じ、テーブルＴＢ１に定められている制御形態で開度制御を実施するように、基本機能回路部７に指示する。 （もっと読む）

【課題】開又は閉指令を、開度に対応した時間、出力することで、弁を目標開度に操作する場合、目標開度近くで開／閉方向の反転動作を頻繁に繰り返すことなく、目標開度とすることが可能な弁開度制御システムを提供する
【解決手段】弁１１を所望の開度に開閉制御する弁開度制御システムであって、弁１１の開閉速度に基づき、設定された所望の目標開度に達するまでの開又は閉指令の出力時間を出力時間演算手段１７で求め、 この出力時間の間、出力手段と１８により弁１１に開又は閉指令を出力する。この際、弁１１の実測開度を開度制御手段１９に入力し、この実測開度と目標開度との差が、予め設定した不感帯の範囲に入ると、弁１１に対する開又は閉指令の出力を停止させる。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１、３と、前記流体測定部１で測定される物理量の測定値と、予め設定される設定値との偏差に基づいて前記流体制御バルブ２の開度をデジタル制御によって制御するバルブ制御器４と、を備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を出力する操作量演算部４１と、入力される値に対して速度型デジタル演算により位相遅れを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御機構４とを備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御機構４が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ２の開度の操作量を演算する操作量演算部４１と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】配水池への予め設定された流入量の変動許容幅を守った上で流入量の変動回数を最小限に抑えた準最適な流入量を求める。
【解決手段】本発明の配水池浄水供給システムＳの浄水供給量算出方法は、配水池１３１９への流入量の計画方法として、ある時刻の流入量が変動無く維持できる期間において、流入量を変動できる全ての時刻で流入量の変動を試み、その変動後の流入量が最も未来まで維持できるものを採用することにより、変動回数を最小限に抑えた配水池１３１９への流入量を算出し、その流入量を目標値の流入量設定値として配水池１３１９への流入量を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、応答速度に優れた分流制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】単一の流路を流通するガスを複数の２次流路に夫々設けられた流量検出器および制御弁と、前記制御弁を操作するための情報が記憶された記憶手段を備え、前記流量検出器が検出した実流量に対応する検出信号が入力されるとともに前記２次流路における指令された目標分流比および前記検出信号に基づき、分流比の制御が開始された後の実分流比の立ち上がり時における立上初期、立上初期に引き続く立上中期、立上中期に引き続く立上終期の各時期で、前記制御弁の開度を操作する弁開度信号値を算出し、当該弁開度信号値を開度信号として前記制御弁に出力する制御部とを有する分流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】従来に比して速やかにガス流量を変化させることができるマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスフローコントローラ１００は、ガス流路構成部材１１０と、流量調整部１３０と、変位量記憶部１４４と、設定回路１４５と、を備える。流量調整部１３０は、ガス流路１１３中に配置され、ガスの流量を調整する弁１３１、および弁１３１の変位量を制御するアクチュエータ１３３を有する。変位量記憶部１４４は、処理手順を実行する前にガス流路１１３に処理手順で規定される流量のガスを流すときの弁１３１の変位量を処理手順ごとに求めた変位量情報を記憶する。設定回路１４５は、処理手順に対応する変位量を変位量記憶部１４４から取得して、取得した変位量に基づいてアクチュエータ１３３を制御する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を学習するとともに、学習値を補正する。
【解決手段】作動流体によって作動するアクチュエータ１２と、作動流体を供給する作動流体供給源１１と、アクチュエータ１２のストローク量を検出するストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに、弁体１９の移動によってアクチュエータ１２と連通もしくは遮断される流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、中立位置を学習する学習部２２と、中立位置におけるストロークセンサ１４の検出値と中立位置における目標ストローク量とのずれ量に応じて予め作成したマップに基づいて、学習部２２による学習値を補正する学習値補正部２３とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いずとも、供給流路からの流量を所定の比率で分割することができ、且つ低価格化を実現できる流量比率制御装置Ａを提供する。
【解決手段】混合プロセスガスＧが流れる一つの供給パイプＰＸをその下流側で分流させた第１の分流路１ａ及び第２の分流路１ｂと、前記各分流路上にそれぞれ設けられ、且つ、導入口及び導出口を有しこれら導入出口間に各々の抵抗値と対応する差圧を発生させるとともにその抵抗値比が所定比の第１の抵抗体２ａ及び第２の抵抗体２ｂと、前記第１の分流路１ａ上にある前記第１の抵抗体２ａの下流側に設けられ該第１の分流路１ａを流れる流体の流量を制御するコントロールバルブ３と、前記第１の抵抗体２ａの導出口２ａ１の圧力値と前記第２の抵抗体２ｂの導出口２ｂ１の圧力値との差がゼロとなるように、前記コントロールバルブ３を開閉制御する制御部６と、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】電源電圧が定格電圧を超える場合でも良好な流量制御精度が得られる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量コントローラ制御プログラムを提供すること。
【解決手段】全開時Ｄｕｔｙ算出プログラム４３を実行することにより、比例電磁弁２を全開させる場合にコイル２１に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のＤｕｔｙの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム４４を実行することにより、算出された全開時のＤｕｔｙの値を上限として、比例電磁弁のコイル２１に印加する電圧のＤｕｔｙを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、当該流量センサ部２の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にＰＩＤ演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部７と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部８と、を備え、前記算出部７が、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも１つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）