【課題】広い可変周波数範囲を実現できるチューナブルフィルタを提供すること。
【解決手段】固定の共振周波数ｆｒｓを有する直列腕共振器と、固定の共振周波数ｆｒｐを有する並列腕共振器と、前記直列腕共振器、及び前記並列腕共振器に接続されたバリアブルキャパシタとを備えるチューナブルフィルタが提供される。このチューナブルフィルタは、前記直列腕共振器が有する固定の共振周波数ｆｒｓと前記並列腕共振器が有する固定の共振周波数ｆｒｐとの比ｆｒｓ／ｆｒｐが１．０＜ｆｒｓ／ｆｒｐ＜１．１である。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷデバイスの圧電基板上に設けたヒータ電極による熱応力の影響を解消して周波数安定性を向上させる。
【解決手段】
圧電基板２上にＩＤＴ３及び反射器４，５を有するＳＡＷ素子１をＳＡＷ伝搬方向の一方の端部２ａで接着剤９により片持ちに支持したＳＡＷデバイスは、ヒータ電極６がＳＡＷ素子の平面において、その全部を端部の接着剤を塗布した領域に重なるように、又は隣接する一方の反射器と接着剤を塗布した領域との間に配置される。ＩＤＴ及び反射器は、接着剤で浮かせたＳＡＷ素子の他の部分に配置される。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷデバイスの圧電基板上に設けたヒータ電極による熱応力の影響を解消して周波数安定性を向上させる。
【解決手段】
圧電基板２，１２上にＩＤＴ３，１３及び反射器４，１４を備えるＳＡＷ共振子１，１１において、圧電基板の弾性表面波伝搬方向の長さＬ及び厚さＴを、ヒータ電極５を圧電基板の主面に形成したときは、Ｔ／Ｌが０．０６５以下となるように、ヒータ電極１５を圧電基板の裏面に形成したときは、Ｔ／Ｌが０．１２９以上となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】不要波による不要応答を抑制した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明の弾性境界波装置は、圧電材料層と、前記圧電材料層の上に配置された電極と、前記電極を覆うように前記圧電材料層の上に形成された第１誘電体層と、前記第１誘電体層の上に形成された第２誘電体層とを備え、前記第２誘電体層の音速は、前記第１誘電体層の音速よりも速く、前記第１誘電体層は、アルミナ、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素及びダイヤモンドからなる群から選ばれるいずれか１種を主成分として含む材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子の素子基板の切断位置、端面形状によって共振周波数が左右されず、小型化された弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上に弾性表面波のＳＨ波が励振される弾性表面波共振子１において、水晶基板１０にＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に略直交して極性の異なる電極指１２ａ，１２ｂが交互に配置されたＩＤＴ１２が形成されたＩＤＴ形成領域１３と、水晶基板１０に、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’におけるＩＤＴ形成領域１３の両側に電極指１２ａ，１２ｂの交差幅以上の幅寸法で、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に長さ寸法を有する付加膜１４が形成された付加膜形成領域１５とを備え、付加膜形成領域１５の全体が有する反射係数が０．８７５以上１．０００以下である。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイス用基板及びこれを用いた表面弾性波デバイスにおいて、均一な単結晶で結晶育成の成功率が高く、生産コストが低い圧電デバイス用基板、及びこれを用いた表面弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】Ｌａ_３Ｇａ_５ＳｉＯ_１４単結晶で形成された圧電デバイス用基板であって、前記Ｌａ_３Ｇａ_５ＳｉＯ_１４単結晶は、点Ａ（Ｌａ_２Ｏ_３が４４重量％、Ｇａ_２Ｏ_３が４６重量％、ＳｉＯ_２が１０重量％）、点Ｂ（Ｌａ_２Ｏ_３が４５重量％、Ｇａ_２Ｏ_３が５２重量％、ＳｉＯ_２が３重量％）、点Ｃ（Ｌａ_２Ｏ_３が３２重量％、Ｇａ_２Ｏ_３が６５重量％、ＳｉＯ_２が３重量％）、点Ｄ（Ｌａ_２Ｏ_３が３７重量％、Ｇａ_２Ｏ_３が５３重量％、ＳｉＯ_２が１０重量％）で囲まれる組成範囲内で秤量してルツボ内で融解させ、該ルツボ内から引き上げる。 （もっと読む）

【課題】スプリアス特性を抑制すること。
【解決手段】圧電基板と、圧電基板の表面上に形成され複数の電極指を有するＩＤＴと、を具備し、圧電基板は、圧電基板表面の電極指の長手方向をｙ軸、圧電基板表面のｙ軸に垂直な方向をｘ軸、圧電基板の法線方向をｚ軸としたとき、ｘ軸およびｚ軸方向の変位を成分とする第１表面波モードとｙ軸方向の変位を成分とする第２表面波モードとを有し、電極指の膜厚は、第１表面波モードの反共振点（ＳＡＷモードの反共振点１）の伝搬速度と第２表面波モードの反共振点（ＳＨ−ＳＡＷモードの反共振点１）の伝搬速度とが一致する膜厚ｈｃ／λである弾性表面波デバイスおよび弾性波フィルタである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波フィルタの共振点におけるロスの発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、直列共振器７Ａにおけるインターディジタルトランスデューサ電極１０の交差幅重み付け係数を並列共振器８Ａにおけるインターディジタルトランスデューサ電極１２の交差幅重み付け係数よりも小さくしたものである。
この構成により、並列共振器８Ａ、８Ｂにおける反共振点での高いＱ値を担保したまま、直列共振器７Ａ、７Ｂ、７Ｃにおける共振点でも高いＱ値を得ることができ、弾性表面波フィルタの通過特性におけるロスの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数Ｋ²が大きくスプリアスが少ないＳＨ型バルク波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１１のカット面および弾性波伝搬方向をオイラー角表示で（０°，θ，ψ）とするとき、ψが約＋９０度または約−９０度である水晶基板１１に少なくとも一つのＩＤＴ電極１２を配置してなるＳＨ型バルク波共振子１０において、ＩＤＴ電極１２がアルミニウムであって、オイラー角表示の角度θが９５°＜θ＜１５１°であり、水晶基板１１の厚みをｔ、弾性波の波長をλとしたとき、規格化基板厚みｔ/λがｔ/λ≦４である。 （もっと読む）

【課題】耐電力特性を向上させつつ、動作周波数の高周波数化を図ることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、ダイヤモンドで構成された硬質層３上に、ＺｎＯで構成された圧電体層４と、Ａｌで構成された櫛歯状電極５、６を備える電極層１０と、ＳｉＯ_２で構成された保護層９とがこの順に積層され、電極層１０の平均層厚をＴ_１、圧電体層４の平均層厚をＴ_２、保護層９の平均層厚をＴ_３、圧電体層４の３次モードの弾性表面波の波長をλ、（２π／λ）をｋとしたときに、下記（１）〜（３）のそれぞれの関係式を満たすことを特徴とする弾性表面波素子。
０．００１≦ｋＴ_１≦０．０２・・・・・・・（１）
１．３≦ｋＴ_２≦２．０・・・・・・・・・・（２）
０．５≦ｋＴ_３≦１．２・・・・・・・・・・（３） （もっと読む）

【課題】小型化が容易で、周波数精度が良好な弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上にＳＨ型弾性表面波が励振されるすだれ状電極１１と、すだれ状電極１１の一方の側に配置された１つの反射器１３と、を備え、電極指１１ａ，１１ｂの幅寸法をＬＴとし、電極指の存在しない領域の寸法をＳＴとして、ＩＤＴ配列周期長であるＰＴがＰＴ＝ＬＴ＋ＳＴであり、反射器１３は金属導体１３ａからなり、金属導体１３ａの幅寸法をＬＲとし、金属導体の存在しない領域の寸法をＳＲとして、反射器配列周期長であるＰＲがＰＲ＝ＬＲ＋ＳＲであり、反射器配列周期長ＰＲとＩＤＴ配列周期長ＰＴとの比ＰＲ／ＰＴが１．０１以上１．０２以下の範囲であって、すだれ状電極１１の他方の側にＩＤＴ配列周期長ＰＴに満たない寸法ＰＳＴの電極が存在しない領域を有して水晶基板１０が垂直に切断された切断面を有する。 （もっと読む）

【課題】平衡型端子を有する弾性表面波フィルタに関して、バランス特性が劣化するという課題があった。
【解決手段】圧電基板１０１と、圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極１０２〜１０４とを備えた弾性表面波フィルタ素子であって、複数のＩＤＴ電極の内、少なくとも一つのＩＤＴ電極１０２は平衡型端子に接続され、他のＩＤＴ電極１０３、１０４は不平衡型端子に接続され、少なくとも一つのＩＤＴ電極１０２に接続された第１、第２の配線電極１０７、１０９は、他のＩＤＴ電極に接続された第３の回路基板上配線電極１１６と異なる平面上に配置されており、ＩＤＴ電極と異なる平面上に設けられた、第３の回路基板上配線電極１１６は、ＩＤＴ電極１０３、１０４の電極指とバンプ又はビアを介して実質的に直接に接続された構成である。 （もっと読む）

【課題】圧電基板・カット方位及び電極膜厚を変えずに、急峻な減衰特性を有する弾性表面波装置の電極構造を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板上に、入力端子電極５と、出力端子電極６と、弾性表面波を発生させる励振電極とを形成し弾性表面波装置であって、前記励振電極は、櫛歯状浮き電極３の電極指に、入力端子電極５に接続された入力用櫛歯状電極１の電極指、及び出力端子電極６に接続された出力用櫛歯状電極２の電極指のそれぞれが噛み合うように配設されているものとする。 （もっと読む）

【課題】低背型弾性表面波素子を歩留り良く作製することができる弾性表面素子用ウェーハを生産性高く提供することを目的とする。
【解決手段】弾性表面波用ウェーハであって、少なくとも、該ウェーハの中心部に１Ｎ以下の荷重をかけたときに該ウェーハが撓む単位荷重あたりの変位量と該ウェーハが破断するときの単位荷重あたりの変位量を比較した場合に、１Ｎ以下の低荷重での単位荷重あたりの変位量が破断時の単位荷重あたりの変位量の２倍以上あることを特徴とする弾性表面波用ウェーハ。 （もっと読む）

【課題】縦結合共振子型弾性表面波フィルタの挿入損失と反射特性を改善する。
【解決手段】弾性表面波の伝搬方向に配列した２以上のＩＤＴを有する弾性表面波フィルタで、ＩＤＴのうちの１以上のＩＤＴの電極指ピッチを、当該ＩＤＴが主ピッチ領域を有しないように当該ＩＤＴに含まれる略全部の電極指について異ならせる。隣り合う２つのＩＤＴのうち、少なくとも相対的に電極対数が少ないＩＤＴのピッチを、主ピッチ領域を有しないよう変化させる。更に、相対的に電極対数が少ないＩＤＴの最大ピッチが、相対的に電極対数が多いＩＤＴの最大ピッチよりも小さく、かつ相対的に電極対数が少ないＩＤＴの最小ピッチが、相対的に電極対数が多いＩＤＴの最小ピッチよりも大きくする望ましい。 （もっと読む）

【課題】使用温度範囲が広く、周波数温度特性が優れる高精度で小型の結合型ＳＡＷ共振子を提供する。
【解決手段】結合型ＳＡＷ共振子１０は、オイラー角表示（φ，θ，ψ）で表されるＳＨカットの水晶基板１００の主面上に、特定の方位に主ＩＤＴ電極１２１、副ＩＤＴ電極１２２と反射器１２３，１２４とを配設した２ポート型の第１共振子１２０と、主ＩＤＴ電極１３１、副ＩＤＴ電極１３２と反射器１３３，１３４と、を配設した２ポート型の第２共振子１３０とを近接して設け、且つＳＨ波の伝搬方向に平行に並設し、第１共振子１２０を縦方向のＬＳ０モードで動作させ、第２共振子１３０を縦方向のＬＡ０モードで動作させ、ＩＤＴ電極の線幅Ｌ１，Ｌ２を異ならせてＬＳ０モードとＬＡ０モードの基本周波数を略一致させたうえで、ＬＳ０モードとＬＡ０モードとを弾性結合状態で動作させる。このことにより、温度特性カーブを平坦化することができる。 （もっと読む）

【課題】 温度変化による静電気の発生が少なく、電荷が発生しても速やかに自己中和できるタンタル酸リチウム単結晶を圧電基板として用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 銅、マンガン、コバルト、ニッケル、イットリウムから選ばれる一種の添加元素を、０．０１ｗｔ％以上１．００ｗｔ％以下の割合で含有し、表面電荷を自己中和し除去する自己電荷中和特性を有するタンタル酸リチウム単結晶から作製された圧電基板を有する。 （もっと読む）

【課題】検出感度が高く、取り扱いが容易なラム波型高周波センサデバイスを提供する。
【解決手段】表裏に主面１４，１５を有する圧電基板１１と、圧電基板１１の一方の主面１４に形成されたラム波を励振するＩＤＴ電極１２と、を備え、圧電基板１１の一方の主面１４に対向する他方の主面１５が物理量を検出する検出面であるように構成した。このように、ラム波を利用することで、従来方式のバルク波を用いた共振子または弾性表面波を用いた共振子より高い周波数で動作させることが可能となり、検出感度が高いラム波型高周波センサデバイス１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷフィルターを容易に薄型化することができ、かつ特性を損なわずに半導体素子およびチップ型受動部品と同一基板に混載可能とし、半導体装置の薄型化および低価格化を実現することができる高周波半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１の表面上に半導体素子３およびチップ型受動部品４とＳＡＷフィルター素子５が載置され、ＳＡＷフィルター素子５が載置される基板領域にその表面から垂直なキャビティー６が形成され、かつ基板１の表面上全体を液状エポキシ樹脂９を用いて形成した封止樹脂で一体に封止された構造を有し、その封止樹脂は、２０２６ｈＰａ以上の加圧大気雰囲気中で液状エポキシ樹脂９を印刷した後に、常圧に戻った大気雰囲気中で硬化させる印刷工程を経て形成する。 （もっと読む）

【課題】 周波数温度特性に優れた薄膜構造の高結合擬似弾性表面波基板および高周波帯の挿入損失を低下させる弾性表面波機能素子を提供する。
【解決手段】 LiNbO₃基板上にSiO₂膜の薄膜層を形成するとともに、前記LiNbO₃基板の回転Ｙ板のカット角度を−１０度から＋３０度とし、前記薄膜層の膜厚寸法をＨ、前記弾性表面波の動作中心周波数の波長をλとしたときに、Ｈ／λの値を０．１１５から０．３１とした。その結果、レーレー型の弾性表面波よりも早い速度の擬似弾性表面波に対する電気機械結合係数ｋ^２を０．２０以上にでき、かつ周波数温度特性を−３０から＋３０ppm／℃の各範囲とすることができ、電気機械結合係数ｋ^２が大きく、周波数温度特性の優れた機能素子を得ることができる。 （もっと読む）