【課題】 圧電振動片のサイズに影響されずに、周波数調整を容易且つ正確に、しかも効率良く行うと共に、低コスト化及びメンテナンス性の向上化を図る。
【解決手段】 圧電板１１と、一対の励振電極１２、１３と、一対のマウント電極１５、１６と、を有する圧電振動片を、ウエハＳを利用して製造する方法であって、ウエハにフレーム部Ｓ１を形成すると共に、該フレーム部に複数の圧電板が連結部１１ａを介して連結されるように形成する外形形成工程と、複数の圧電板に一対の励振電極及び一対のマウント電極をそれぞれ形成すると共に、連結部を通じて複数の一方のマウント電極１５にそれぞれ電気的に接続された共通電極Ｓ２をフレーム部上に形成する電極形成工程と、共通電極と他方のマウント電極１６との間に駆動電圧を印加して、圧電板の周波数を調整する周波数調整工程と、複数の圧電板を小片化する切断工程と、を備える圧電振動片の製造方法を提供すること。 （もっと読む）

【課題】 キャビティ内の気密を確実に維持すると共に、圧電振動片と外部電極との安定した導通性を確保すること。
【解決手段】 両面が研磨加工されたベース基板２と、キャビティ用の凹部３ａが形成され、該凹部をベース基板に対向させた状態で該ベース基板に接合されたリッド基板３と、両基板の間に形成されたキャビティ内に収納された状態で、ベース基板の上面に接合された圧電振動片４と、ベース基板の下面に形成された一対の外部電極３８、３９と、ベース基板を貫通するように形成され、キャビティ内の気密を維持すると共に、一対の外部電極に対してそれぞれ電気的に接続された一対の貫通電極３２、３３と、ベース基板の上面に形成され、接合された圧電振動片に対して一対の貫通電極をそれぞれ電気的に接続させる引き回し電極３６、３７と、を備え、貫通電極が、複数の金属微粒子を含んだペーストの硬化により形成されている圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片のサイズに影響されずに、周波数調整を容易且つ正確に、しかも効率良く行うと共に、低コスト化及びメンテナンス性の向上化を図る。
【解決手段】 圧電板１１と、一対の励振電極１２、１３と、一対のマウント電極１５、１６と、を有する圧電振動片を、ウエハＳを利用して製造する方法であって、ウエハにフレーム部Ｓ１を形成すると共に、該フレーム部に複数の圧電板が連結部１１ａを介して連結されるように形成する外形形成工程と、複数の圧電板に一対の励振電極及び一対のマウント電極をそれぞれ形成すると共に、フレーム部上に、連結部を通じて一対のマウント電極に対してそれぞれ電気的に接続されるように一対の延出電極Ｓ２、Ｓ３を複数形成する電極形成工程と、一対の延出電極間に駆動電圧を印加して、圧電板の周波数を調整する周波数調整工程と、複数の圧電板を小片化する切断工程と、を備える圧電振動片の製造方法を提供すること。 （もっと読む）

【課題】導電性接着剤による固着強度を高め、振動周波数の変化を抑制して耐衝撃特性及び経時変化特性に優れた高安定用の水晶振動子を提供する。
【解決手段】スリットの上端が閉塞したサポータ７を適用し、応力感度軸となる少なくとも外周部２ヶ所を保持することを前提として、スリットに露出した水晶片１の端面のみならず、水晶片１の下面と舌片９、及び水晶片１の上面とサポータ７（スリット）の閉塞した上端内周面との間にも導電性接着剤１０を塗布し、導電性接着剤１０による固着強度を高める構成とした。 （もっと読む）

【課題】 一定のＲ１値を確保しながら更なる小型化を図ることができる音叉型の圧電振動片、該圧電振動片を製造する圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 平行に配された一対の振動腕部８、９と、該一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部１０と、一対の振動腕部の両主面上に、振動腕部の基端部から先端部に向かって一定長さＬ形成された溝部１７と、を有する圧電板１１と、圧電板の外表面上に積層された下地金属層及び仕上金属層によって形成され、所定の電圧が印加されたときに一対の振動腕部を振動させる電極膜と、を備え、該電極膜は、少なくとも振動腕部の基端部から先端部に至る領域で、仕上金属層の一部或いは全部が除去されていること、を特徴とする圧電振動片２を提供すること。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の大きさの影響を受けずに製造を容易とする。
【解決手段】 容器体１０内に設けられた搭載パッド１４と圧電振動素子２０の励振電極２２と接続する引回しパターン２３とが接合され、蓋体３０で容器体１０を気密封止した圧電振動子１００であって、圧電振動素子２０の引回しパターン２３が、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように圧電振動素子２０の両主面にのみ形成され、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように形成された引回しパターン２３を電気的に接続する側面金属膜Ｋが圧電振動素子２０の側面に別途設けられて構成されている。 （もっと読む）

【課題】気密ガラスのクラックを防止して気密度を確実にした金属ベース及びこれを用いた水晶振動子を提供する。
【解決手段】少なくとも一対の貫通孔を有するベース本体５と、前記貫通孔を挿通して前記ベース本体５の外底面から延出するとともにガラス６によって気密化され、先端側に水晶片を保持するサポータ８が接続される一対のリード線とを有する水晶振動子用の金属ベースにおいて、前記リード線は第１リード部７ａ、第２リード部７ｂ及び釘頭部７ｈからなり、前記ベース本体５の外底面との境界部にて段差を有し、前記境界部より延出端側となる第１リード部７ａの直径は、前記境界部より前記貫通孔側となる第２リード部７ｂの直径よりも小さくした構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素板をウエットエッチングにより形成するときに、圧電素板に対して外形上の悪影響を与えるのを防止した圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、圧電素板１２の一方の主面２０に第１接着剤４０を用いて載置部４２を接合するとともに、圧電素板１２の他方の主面２２に対向した位置が開口したガイド板４６を圧電素板１２の他方の主面２２に配置して、他方の主面２２の周縁部とガイド板４６とを第２接着剤４４を用いて接合し、ガイド板４６の開口部４８にエッチング液を滴下して、他方の主面２２をエッチングする構成である。 （もっと読む）

【課題】 ベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとを全面に亘って均一に接合することができ、キャビティ内を確実に封止したうえで、スルーホールを利用して外部電極と圧電振動片との導通を図ることができる圧電振動子を効率良く製造すること。
【解決手段】 ベース基板用ウエハを貫通するスルーホール３５、３６をキャビティＣ用の凹部の外側に開口が開くように形成する工程と、ベース基板用ウエハの上面に、凹部の周囲を囲む接合層３０と、凹部内に収まる一対のマウント層と、接合層と一対のマウント層とを電気的に繋げる一対の引き出し電極層３３、３４と、を同一の導電性材料によりパターニングする工程と、両ウエハを陽極接合した後、スルーホール３６の開口と接合層との間における引き出し電極層３４の一部（Ｓ２領域）に対してレーザ光を照射して引き出し電極層３４を途中で分断する工程と、を備えている圧電振動子１の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】振動アームがふたに当たるのを回避できるケースを提供すること。
【解決手段】 ふたを有するケースと、前記ケース内に収納されるピエゾ共振器とを有するパッケージされたピエゾ電子共振器は、連結部分（１１６）により互いに結合した２本の平行な振動アーム（１１２，１１４）を有する平面状同調フォーク形状部品と，前記連結部分（１１６）から、前記平面状同調フォーク形状部品の面に沿って伸びる取り付けアーム（１１８）とを有する。前記取り付けアームは、ケースの底部に少なくとも一本のスタッド（１７８，１８０，１８２）を介して、固定され，前記中央取り付けアーム（１１８）の少なくともメイン部分（１１８）は、前記振動アームと並んで平行に配置される。前記ふたの内側表面は，第１の厚さの第１部分と第２の厚さの第２部分が形成されるように階段状になっている。第２の厚さは第１の厚さよりも厚い。前記第１部分は 振動アームの少なくとも先端部分上方で伸び，前記第２部は、取り付けアームの一部上方で伸びる。 （もっと読む）

【課題】導通不良が生じることが確実に防止され、特に、周波数シフトを有効に防止することができる圧電デバイスを提供すること。
【解決課題】内側に接続用の電極部が形成された収容容器４０と、前記接続用の電極部と電気的に接続される引出し電極を備えた圧電振動片３１とを備えており、前記収容容器の前記接続用電極部に導電性接着剤を介して前記圧電振動片が接合されている第１の電気的接続部３７，３８と、前記収容容器の前記接続用電極部と、前記圧電振動片の前記引出し電極とがワイヤボンディングにより接続されている第２の電気的接続部５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電発振器の周波数温度特性の劣化をなくしたより安定度の高い圧電発振器を提供する。
【解決手段】 回路基板２上に圧電振動子４と発振回路を構成してなる発振部３が実装され、これら圧電振動子と発振部を覆うように前記回路基板に一体的に取り付けられた金属蓋６とを備えた圧電発振器において、前記発振部の上面部と金属蓋の底面部の対向する領域に熱伝導性樹脂剤Ｍ２が介在し、当該熱伝導性樹脂剤によりお互いを接合している。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の大きさの影響を受けずに製造を容易とする。
【解決手段】 平面視四角形の容器体１０の一方の主面に設けられた凹部１３内に設けられている搭載パッド１４と圧電振動素子２０に設けられている励振電極２２と接続する引回しパターン２３とが導電性接着材Ｄで接合され、平面視四角形状の蓋体３０で容器体１０の凹部１３を気密封止した圧電振動子１００であって、圧電振動素子２０に設けられている引回しパターン２３が、圧電振動素子２０の両主面にのみ形成されている。 （もっと読む）

【課題】バルク弾性波の基板への漏洩パスを最小限に抑圧することが可能なエネルギー閉じ込め構造が実現できる薄膜圧電バルク波共振器と、それを用いた高周波フィルタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電薄膜と前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に分散して形成され、積層構造に対応する位置の基板上に空隙部を有する薄膜圧電バルク波共振器において、圧電薄膜、第一の金属電極膜および、第二の金属電極膜は、第一の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域および第二の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域以外は、絶縁基板と接触せず中空に保持されており、積層構造を支持するために空隙部に支柱を設置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低背化に対応し、耐衝撃性に優れた圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース１の凹部７の一端側に形成された一対の搭載パッド１２に、端部が面取り加工された水晶振動片２の長辺方向一端側の端面と、当該端面近傍で前記凹部７の内底面と対向する面取り加工領域の一部とが、導電性接合材５によって片持ち支持接合されている。そして、前記凹部７を蓋体３で気密封止してなる水晶振動子４であって、
前記凹部７の、水晶振動片２の長辺方向他端側の下方には枕部１１が形成されているとともに、当該枕部１１の上面は前記搭載パッド１２の上面から前記枕部１１に対して水平方向に延出した仮想線Ｌより上方に位置している。 （もっと読む）

【課題】特性を悪化させずに基板の振動領域の厚さを薄くして高周波化に対応させる。
【解決手段】水晶振動片２では、ＡＴカット水晶片からなる基板２０と、基板２０に積層した堤部２１と、基板２０と堤部２１との間に介在させて基板２０と堤部２１との接合補強を行う、軟質の金属材料からなる接合部２２と、が設けられている。堤部２１と接合部２２とが当該水晶振動片２の壁面２３として構成されるとともに、基板２０が当該水晶振動片２の台部として構成され、かつ、壁面２３および台部により当該水晶振動片２の一主面２０１に凹部２７が形成されている。また、凹部２７の内底面を含む基板２０の両主面２０１，２０２に一対の励振電極３６が対向して形成されている。 （もっと読む）

【課題】接続電極との接続信頼性を向上させることができる電子部品を提供すること。
【解決手段】所定の機能を有する水晶片１１と、水晶片１１に形成されたバンプ電極１４と、バンプ電極１４と接続電極３３、３４との導電接触状態を保持する接着層１５とを有し、バンプ電極１４が、弾性を有する樹脂コア２４と、樹脂コア２４の表面に設けられた導電膜２５、２６とを有すると共に、樹脂コア２４の弾性変形により導電膜２５、２６と接続電極３３、３４とが導電接触する。 （もっと読む）

【課題】 振動特性の高い圧電振動子を製造することが可能な圧電振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 内部が密閉された容器と、前記容器の内部に設けられた圧電振動素子とを有する圧電振動子の製造方法であって、前記圧電振動素子の一部を中間部材に接合して接合体を形成する接合体形成工程と、前記接合体形成工程の後、前記圧電振動素子の周波数調整を行う周波数調整工程と、前記周波数調整工程の後、前記接合体を前記容器の内部に配置する接合体配置工程と、前記接合体配置工程の後、前記容器の内部を密閉する密閉工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ベースへ圧電振動片を接合する際の接合強度のバラツキを抑える。
【解決手段】水晶振動子１では、水晶振動片２を保持するサポート材５と、サポート材５を介して水晶振動片２を保持するベース３と、ベース３に保持した水晶振動片２を気密封止するためにベース３と接合する蓋４とが設けられている。そして、ベース３にサポート材５がベース用バンプ７１によりバンプ接合されるとともにサポート材５に水晶振動片２が水晶振動片用バンプ７２によりバンプ接合されている。この水晶振動子１では、サポート材５の水晶振動片２との接合部位５１、もしくは水晶振動片２のサポート材５との接合部位２６１，２６２の少なくとも一方の接合部位が凹凸形状からなる。 （もっと読む）

【課題】パッケージの物理的強度を上げてパッケージと蓋との接合の際にパッケージにクラックが生じ難くする。
【解決手段】パッケージ３では、水晶振動片２を保持する内部空間１２が形成され、内部空間１２は平面視長方形の矩形状からなり、内部空間１２には、水晶振動片２と電気機械的に接合する電極パッド７が形成された２つの段差部３２１が対向して設けられている。２つの段差部３２１は、内部空間１２の平面視長方形のうち、短手方向の辺３８と、この短手方向の辺３８と隣接し対向する長手方向の辺３７にそれぞれ接し、２つの段差部３２１が長手方向の辺３７と接する長さは、前記長手方向の辺３７の長さに対して少なくとも半分以上の長さに設定される。また、電極パッド７は、内部空間１２の段差部３２１の表面３２２全面に形成される。 （もっと読む）