【目的】 超高純度ガス供給配管系施工時に、溶接部表面近傍ならびガス供給系内部に付着した金属を容易にしかも完全に除去することが可能で、短時間で超高純度ガス供給系を立ち上げることが可能な超高純度ガス供給配管系用溶接システムを提供することを目的とする。
【構成】 複数の被溶接部材を溶接にて接続するガス供給配管系用溶接システムにおいて、第１の被溶接部材１１３に不活性ガスまたは溶接用のバックシールガス供給手段と超純水供給手段とを設け、第２の被溶接部材１１４に前記不活性ガスまたはバックシ一ルガスの排出手段と超純水排出手段とを設け、前記不活性ガスまたはバックシールガスを流しながら前記第１及び第２の被溶接部材を溶接し、溶接後に超純水を流して、溶接により前記被溶接部材内表面に付着した金属ヒュームを洗浄除去できる構造としたことを特徴とする。 （もっと読む）