本発明は、乾式真空蒸着を用いた多層薄膜の製造方法に関し、特に、携帯電話、ＭＰ３プレイヤー、携帯型マルチメディアプレイヤー（ＰＭＰ）、デジタルマルチメディア放送（ＤＭＢ）受信機、カーナビゲーションシステム、ノート型パソンコンなどの携帯用電子製品及びディスプレイ製品などのケース、ウィンドウ、キーパッド、ファンクションキー部品、様々なアクセサリー部品などに光学的美麗感と高級感を与えることができる、安定且つ簡単な乾式真空蒸着を用いた多層薄膜の製造方法に関するものである。
（もっと読む）

【課題】高品質の薄膜を形成することができる蒸着装置及び蒸着方法並びに有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着装置２は、基板１２の蒸着面１２ａに、開口パターンを有したマスク１４を配置し、基板１２の蒸着面１２ａに所定のパターンの成膜を行う蒸着装置であって、チャンバ１８と、チャンバ１８内に設けられ、マスク１４の基板１２と接触する第１の面を、基板１２の蒸着面１２ａと対向する位置に、変位させるマスク保持部３６と、マスク保持部３６の作動を制御する機能を有する制御部３８と、を含む。 （もっと読む）

本発明の多目的容器は外部容器と、内部充填材と、メッシュ及びワッシャーとを備える。外部容器はステンレススチール、鉄、銅、モリブデン、タングステン又はチタンなどの金属材料からなる。内部充填材は炭素繊維フェルト、炭素繊維又は金属フェルトなどからなる。メッシュ及びワッシャーは、ステンレススチール、鉄、銅、モリブデン、タングステン又はチタンなどの金属材料からなり、内部充填材上に配置される。これらの構成要素は安定した一体型の構造物として組み立てられるか又は溶接される。多目的容器に含浸又は充填された様々な機能を有する各種の蒸着物質は、真空蒸着装置内で電子ビーム加熱方法又は抵抗加熱方法によって超薄膜として均一に蒸着されうる。蒸着物質は粉末及び粒子のような固体状、様々な粘性を有する液体状、及びスラリーのような半固体状のうちのいずれかの状態を有する有機系及び／又は無機系化合物からなる。
（もっと読む）

【課題】基板を密着して保持することができ、基板の温度を正確に調整することができ、基板に高品質な膜を成膜を形成することができる真空成膜装置を提供すること。
【解決手段】基板と当接する基板保持面を備え、基板保持面が曲面形状であるホルダと、基板と基体支持面との接触状態を検出する接触検出機構と、ホルダの基板保持面の外側に配置され、基板の端面に対して荷重を付与し、基板を支持する荷重付与機構と、接触検出機構の出力に基づいて荷重付与機構が基板に付与する荷重を制御する制御部とを有する構成とすることで、上記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、固体材料、例えば基板をコーティングするためのセレニウムを蒸発させるための装置に関する。固体材料を、供給源を介して第１坩堝に持ち込む。この坩堝において、材料は、好ましくはその融点より若干高い温度で溶融する。溶融した材料は輸送装置（例えば、パイプ）を介して第２坩堝へと流れ込み、ここで材料は、その沸点より高い温度で蒸発し、基板へと運ばれる。極めて短い時間内で（好ましくは、たった１〜２分以内）蒸発を停止させるために、その融点を越えて材料を冷却するための冷却装置が、輸送装置には配置される。この冷却装置を用いて、輸送装置内の材料を、極めて短い時間でその融点を越える温度にまで冷却することができる。
（もっと読む）

【課題】 内部抵抗を低減した全固相薄膜電池、その製造方法およびその製造装置を提供する。
【解決手段】 固体電解質層３を気相プロセスにより形成する工程、正極層２を気相プロセスにより形成する工程、および負極層４を気相プロセスにより形成する工程を備え、気相プロセスの間の各非処理時間中、全固体薄膜電池の中間品を、真空引きの雰囲気中に保持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクを保持するマスク用フレームにおいて、剛性がありながら軽量で熱膨張の少ないものを提供する。また製造時における変形を極力抑えることができる構造を有するマスク用フレームを提供する。
【解決手段】２５〜１００℃における熱膨張係数が１．１〜８．５×１０^−６／℃の材料で作られた中空断面部材１０１〜１０４を拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを介して接合させる。低熱膨張係数の材料を用い、さらに拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを用いることで、組み立て時の溶接および蒸着時の加熱による熱変形を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、従来の真空蒸着設備を用い成膜することの出来る、導電性、透明性、及び外観に優れたアルミニウム添加酸化亜鉛系透明導電膜を提供する。
【解決手段】
不純物ドーパントとして少なくともフッ化アルミニウムを０．０１〜１０重量％の割合で含む酸化亜鉛焼結体をターゲット材料とした真空蒸着法により、基板上に成膜されることを特徴とするアルミニウム添加酸化亜鉛系透明導電膜。 （もっと読む）

【課題】蒸着源、蒸着装置及び蒸着方法の技術分野に関し、特に、同軸型真空アーク蒸着源に関する。
【解決手段】本発明の蒸着源５では、絶縁部材１０の側面２０と、トリガ電極１２の表面２２と、蒸着材料１４ａの側面２４とが、面一になるように構成されている。トリガ電極１２と蒸着材料１４ａとの間に電圧を印加して、トリガ放電を発生させると、蒸着材料１４ａの側面２４から荷電微粒子３１や巨大粒子３３が放射状に放出されるが、蒸着材料の側面２４に沿う方向に放出される荷電微粒子３１や巨大粒子３３の数は非常に少ない。このため、蒸着材料の側面２４と面一に配置された絶縁部材の側面２０には、巨大粒子３３がほとんど付着しないので、付着した巨大粒子３３が再蒸発して基板４の表面に付着する量を少なくすることができ、従来に比して膜質の良好な薄膜を成膜することができる。 （もっと読む）

本発明は、剥離剤を、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた真空室の内室内で気化させ、真空室内で移動する又は移動可能な基板上に剥離剤の層を施すための方法に関する。この場合、液状の剥離剤を、気化室の内室内に噴射して、気化させるようにした。また本発明は、真空室内で移動するか又は移動可能な基板に、剥離剤の層を施すための装置であって、前記真空室が少なくとも１つの金属蒸発装置を有しており、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた気化室が設けられており、剥離剤が供給管路を介して前記気化室の内室に供給可能である形式のものに関する。この場合、前記供給管路が噴射装置に接続されており、該噴射装置によって、液状の剥離剤が、気化させるために、気化室の内室内に噴射可能又は噴射され、それによって気化されるようになっていることを特徴としている。
（もっと読む）