【課題】
永久磁石の列とコイルの列との相対速度が磁気式変位センサの出力に影響しないようにすると共に、永久磁石の列の長さを短くできるようにする。
【構成】
磁気式変位センサが、変位の検出方向に沿って、同数のコイルから成り、かつ変位の検出方向に沿っての列の始まりと終わりの位置が等しい少なくとも２列のコイルの列と、永久磁石の列とを備え、永久磁石の列とコイルの列との相対速度と、永久磁石の列からの磁界とによる変位センサの出力への影響を、少なくとも２列のコイルの列間でキャンセルする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、固定部に対して平面内を相対的に移動する移動ステージを有する平面ステージを提供する。本平面ステージは、移動ステージの位置を計測する位置センサであって、所定の間隔で相互に対向している第１の固定対向電極対と第２の固定対向電極対とを有する固定電極部と、第１の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第１の可動電極と、第２の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第２の可動電極５０とを有する可動電極部とを有する第１のセンサを備える。第１の固定対向電極対は第１の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第１の静電容量を有し、第２の固定対向電極対は第２の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第２の静電容量を有する。 （もっと読む）

【課題】磁界発生器を提供する。
【解決手段】磁界発生器は、基材、主発生器コイル、少なくとも１つの磁界センサ、少なくとも１つのシムコイル、ドライバー回路及び補正回路を含む。主発生器コイル、磁界センサ、及びシムコイルは、全て基材上に配置されている。ドライバー回路は、選択された周波数にて駆動電流を使用して主発生器コイルを駆動するよう連結されている。補正回路は、少なくとも１つの磁界センサから選択された周波数にて信号を受信し、定義済みベースラインからの信号における偏位に応答して、ベースラインに信号を戻すよう構成された振幅を有する駆動電流を使用して、少なくとも１つのシムコイルを駆動するよう連結されている。 （もっと読む）

【課題】対象物にアクチュエータが当接した瞬間をロードセルを用いずに、電流の値から検出する方法を提供する。
【解決手段】積層圧電素子単体又は積層圧電素子Ｓ１０５と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、その圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、圧電アクチュエータに電圧を印加したときに圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路Ｓ１０１と、その駆動回路から圧電アクチュエータに流入する電流の検出手段Ｓ１０６と、を有し、駆動回路が連続的に変化する電圧を供給するとき、流入する電流値の変化により、圧電アクチュエータが対象物に当接したことを検出することにする。 （もっと読む）

【課題】センサ面内の全域に亘って検出感度の差を低減でき、しかもマルチポイントの検出を精度よく実現できる静電容量式検出装置を実現すること。
【解決手段】本発明の静電容量式検出装置（１）は、隣接電極間で静電容量が形成されるように、センサ基板（１１）に配設された複数の検出電極（１２）を具備し、センサ基板（１１）の相対的に検出感度が低い角部検出領域（Ａ２）に形成される静電容量を、相対的に検出感度が高い中央検出領域（Ａ１）に形成される静電容量に対して相対的に大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、移動体のアブソリュート変位量を検出することを課題とする。
【解決手段】変位量を検出する実施例では、主軸の多回転アブソリュート回転角を主軸及び副軸に結合された角度センサによって検出された回転角度から算出する。回転駆動源１１に結合された主軸１２の回転は予め定める変速比で副軸１３，１４に伝達される。主軸１２及び副軸１３，１４の回転角度Ｓｓ，Ｓｐ，Ｓｑは、角度センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃによって検出され、それらはＡＤ変換角度計算部１６で角度検出値θｓ，θｐ，θｑとしてそれぞれ同期化／整数化処理部１７に送られ、整数化された周期信号ｐ，ｑが算出される。周期信号ｐ，ｑは、周期演算部１８にそれぞれ送られ、主軸の周期信号ｒが算出される。主軸の多回転アブソリュート回転角θｃは、回転角合成部１９で主軸の周期信号ｒ及び主軸の角度検出値θｓに基づいて、算出される。本発明は、直線移動する移動体の変位量を検出する装置にも適用することができる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２つの導電体のそれぞれの位置を特定可能なセンサを提供する。
【解決手段】第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、第１及び第２の導電体に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、第１及び第２の導電体の位置の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、第１及び第２の導電体の位置の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、第１の測定対象導電体２及び第２の第１の測定対象導電体２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき算出された、第１及び第２の導電体の位置の第３の関係と、第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき算出された、第１及び第２の導電体の位置の第４の関係と、に共通する、第１及び第２の導電体の位置を特定する特定部３０３と、を備える導電体センサ。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の位置及び特性を特定可能な、導電性膜センサを提供する。
【解決手段】周波数が異なる第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、導電性膜に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、測定対象導電性膜２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第３の関係を算出し、測定対象導電性膜２に第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第４の関係を算出する算出部３０１と、第３及び第４の関係に共通する、導電性膜の位置及び特性の組み合わせを特定する特定部３０３と、を備える導電性膜センサ。 （もっと読む）

【課題】組立・調整作業が容易で良好な出力特性が得られる小型の位置検出装置およびこれを用いたレンズユニットを提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子３を保持するホルダ５は、一端に磁気抵抗素子３の感受面と略平行且つ移動方向と直交する方向に突出した凸部を有し、ベース７は、前記凸部が挿入される凹部と、光軸と平行な方向に配設され、互いに平行な２つの平面部２５を有する２つの突出部２１と、ベース７を鏡筒に取り付ける位置決め手段とを備え、シムは、突出部２１に設けられた平面部２５と前記鏡筒との間に挿入され、ベース７を前記位置決め手段によって前記鏡筒に取り付ける際に、ベース７が突出部２１を基点として湾曲することにより、磁気記録媒体と磁気抵抗素子３の間隔を調整し、前記シムは、その厚みを変更することで前記ベース７の前記鏡筒に対する距離が調整され、磁気抵抗素子３の前記磁気記録媒体に対する倒れが補正される。 （もっと読む）

【課題】探針と試料とが衝突するのを防ぐことができ、比較的高速での走査が可能で、分解能が高く、正確な表面形状を得ることができる間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】探針１２が、試料１の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、試料１の表面との間に隙間をあけて配置されている。電圧印加手段１４が、試料１と探針１２との間に直流バイアス電圧を印加可能である。制御手段１５が、走査手段１１により探針１２を走査しつつ、振動する探針１２が検出した電圧印加手段１４による電界信号に基づいて、試料１の表面と探針１２との距離を求めるとともに、探針１２が検出する電界信号の平均値が一定になるよう、走査手段１１により探針１２を垂直方向に移動させる。制御手段１５は、求められた試料１の表面と探針１２との距離と、探針１２の軌跡とから試料１の表面形状を求める。 （もっと読む）