化学蒸着リアクタ中で処理されている基材に隣接する位置で温度を測定するための熱電対を提供する。熱電対は、測定先端部を有するシースを含む。熱電対はまた、シース内に配置される支持管も含む。熱電対はさらに、支持管によって支持される第１および第２のワイヤも含む。第１および第２のワイヤは、異なる金属で形成される。接合点が第１および第２のワイヤの間に形成され、接合点は、支持管の遠位端部に隣接して位置する。バネが支持管の一部分の周囲に配置される。バネは、支持管にバネ力を及ぼして、測定先端部に対して接合点を付勢し、測定先端部と連続的に接触した接合点を維持するように、圧縮される。バネ力は、接合点の有意な変形を防止するのに十分小さく、ならびに、１つの熱電対から別の熱電対へのバネ力または接合点位置の変動を低減する。
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【課題】保護管の構造の変更を伴うことなく、しかも継手部部分の熱電対シースの断線を防止できる排ガス温度計を提供することである。
【解決手段】円柱状に形成され先端部に温度感知部２３を有した熱電対シース２２と、円筒状に形成され熱電対シース２２の温度感知部２３が先端部に位置するように熱電対シース２２を後端部から挿入するための保護管と、保護管の後端部において熱電対シースを保護管に固定するための継手部２５とを備え、保護管内部に位置する熱電対シース２２の中間部で継手部２５側の熱電対シース２２Ｂの外径を温度感知部側の熱電対シース２２Ａの外径より大きくする。 （もっと読む）

【課題】 熱電対を簡単に交換ができ、被測温体への接触を確実且つ安定させることで、測定温度の精度上昇と安定状態になるまでの時間の短縮が可能であり、信頼性の高い測温装置、及びそれを搭載した半導体製造装置を供給する。
【解決手段】 半導体製造装置のチャンバに装着するシース型熱電対を備え、そのシース型熱電対が、大気環境の外部から真空もしくは減圧環境のチャンバ内に対して封止構造を有すると共に、バネ性を有するベローズ５により熱電対１の先端部１ａを被測温体２に押し当てる押し付け構造を有している。 （もっと読む）

【課題】安定的に、かつ、精度よく温度を検出できるとともに、取付け、取り外しの作業性が良好な熱電対およびその取付け構造を提供する。
【解決手段】絶縁被覆から熱電対素線の先端接合部が露出した被覆線タイプの熱電対３において、熱電対素線の先端接合部に、例えば、真鍮からなるチップ状の保持部材６をロウ付けし、この保持部材６を、金型１に形成された溝５内に嵌め込んで、熱電対３を、金型１に取り付け、取り外しできるようにしている。 （もっと読む）

【課題】２本の熱電対素線を溶融接合した測温部を、溶融部が団子状に肥大化していない熱電対とその製造方法を提供する。
【解決手段】熱電対測温部は、２本の熱電対素線が相互に接触した部分がハンダフリーに溶融されて一体化され、当該溶融箇所の大きさが素線の太さと同等か２倍未満であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】陽極接合時の環境に近似する環境下でのガラス基板、及び半導体基板の温度変化を測定する。
【解決手段】
陽極接合用ガラス基板１０と複数の熱電対１６，・・・，１６から構成され、ガラス基板１０は、熱電対１６，・・・，１６の測温接点及びその測温接点からガラス基板１０の端部まで連続する一部の熱電対素線が埋設された複数の溝１２，・・・，１２が形成された平坦面を有している。さらに、少なくともその測温接点は、それぞれの溝１２，・・・，１２の内壁面上を含む内部に無機質の固着剤によって固定され、かつ陽極接合前後において、前述の測温接点、一部の熱電対素線、及び固着剤が、前述の平坦面から突出していない。 （もっと読む）

【課題】加熱プレートの多くの箇所で輻射温度計や熱電対を使用して簡単にその内部の温度を測定出来るようにし、加熱プレートの温度制御や温度分布の管理を高精度に行う。
【解決手段】加熱プレート温度測定装置は、加熱プレート２の内部に放射状に複数の孔７を設け、この孔７の中に移動自在に測温ピース４を配置し、この測温ピース４の温度を測定することにより、加熱プレート２の温度を測定するものである。測温ピース４の温度を測定する手段は、例えば前記孔７を通して測温ピース４の輻射熱を測定する輻射温度計５や、或いは前記孔７を通して測温ピース４に測温接点を設け、同測温ピース４の温度を測定する熱電対１４等である。 （もっと読む）

【課題】 燃料電池のセル内に挿入して温度を測定するための、表面が絶縁及び防水された径が０．０１４ｍｍ以下の熱電対を提供し、対象とする燃料電池のセル１枚当たりの電圧上昇が５Ｖ程度以下とすることを目的とする。
【解決手段】 熱電対の＋側熱電対素線と−側熱電対素線を一直線に配置し、向き合った＋側熱電対素線の先端と−側熱電対素線の先端が当接する部分を溶接により接合して測温接点とし、＋側熱電対素線と−側熱電対素線の表面にポリイミドをコーティングした燃料電池用熱電対とした。 （もっと読む）

温度プローブ、実装コネクタ、ワイヤ・セット、遷移構成要素、ハウジング及び回路を有する温度センサ・アセンブリ、及びその製造方法が提供される。温度プローブは、プローブ本体、温度センサ、及び少なくとも１つの導体を含み、少なくとも１つの導体は、この少なくとも１つの導体に及ぶ温度を示す温度信号を提供するように構成される。回路はハウジングに封入され、温度プローブから温度信号を受け取り、受け取った温度信号に応答して温度特性を生成するように構成される。
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【課題】温度変化に対する温度追従性を維持しつつ、機械的強度の劣化を抑制する温度センサ素子及び温度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】所定の厚みを有する厚肉部１０２ｘと厚肉部より厚みが薄い薄肉部１０２ｙとを含む基板１０２ｄと、基板１０２ｄ上に形成された電気絶縁膜１０２ａと、厚肉部１０２ｘ上の電気絶縁膜１０２ａの上に形成された第１の熱電対膜１０２ｂと、薄肉部１０２ｙ上の電気絶縁膜１０２ａの上を横切って形成された第２の熱電対膜１０２ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）