【課題】塗膜を減圧乾燥したときの塗膜の表面欠陥や表面荒れを効果的に抑制することが可能な着色感光性樹脂組成物、その着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有するカラーフィルター、及びそのカラーフィルターを有する液晶表示ディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、着色剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｓ）を含有する。溶剤（Ｓ）は、沸点が１７０℃未満である１種以上の低沸点溶剤（Ｌ）と、沸点が１７０℃以上１８０℃未満である１種以上の第１の高沸点溶剤（Ｈ１）と、沸点が１８０℃以上である１種以上の第２の高沸点溶剤（Ｈ２）とからなり、溶剤（Ｓ）中の低沸点溶剤（Ｌ）の割合は１５質量％以上３５質量％未満、第１の高沸点溶剤（Ｈ１）の割合は６０〜８５質量％、第２の高沸点溶剤（Ｈ２）の割合は０．１〜１０質量％である。 （もっと読む）

【課題】感度、解像性、リソグラフィー特性及びエッチング耐性に優れる高分子化合物、レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液に対する溶解性が変化し、（ａ５−０）で表される構成単位を有する高分子化合物を含む基材成分（Ａ）及び露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含有するレジスト組成物。（式（ａ５−０）中、Ｒは水素原子、アルキル基又はハロゲン化アルキル基である。Ｒ^１は硫黄原子又は酸素原子である。Ｒ^２は単結合又は２価の連結基である。Ｙは芳香族炭化水素基、又は多環式基を有する脂肪族炭化水素基である。）
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【課題】優れたラインエッジラフネス（ＬＥＲ）を有するレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこれを含むレジスト組成物。


［式中、Ｒ^２はエチレン性二重結合を含む基；Ｗは２価の脂環式炭化水素基；Ｔ^１は、単結合、２価の脂肪族炭化水素基等；Ｔ^２は２価の脂肪族炭化水素基等］ （もっと読む）

【課題】液浸露光時に於ける液浸液に対する後退接触角の更なる改善及びウォーターマーク欠陥の低減が可能な液浸露光用ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂、及び、（Ｄ）下記一般式（Ｓ１）〜（Ｓ３）で表される群より選択される少なくとも１種の溶剤を全溶剤中３〜２０質量％含有する混合溶剤、を含有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。
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【課題】ラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性及び露光ラチチュードに優れ、かつ現像により形成されるパターン部が良好なドライエッチング耐性を有するパターン形成方法、及び、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】酸によって分解しカルボキシル基を生じる基を有する繰り返し単位（ａ１）を含む樹脂、及び、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感活性光線性又は感放線性樹脂組成物を用いて膜を形成する工程、該膜を露光する工程、及び、ヘテロ原子及び炭素原子を含み、且つ、炭素原子数が７以上の有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を含み、繰り返し単位（ａ１）が、酸分解後のカルボキシル基を生じた際の該単位中に含まれる各原子の数を下式に代入し得られる値Ｘが０＜Ｘ≦５であるパターン形成方法。Ｘ＝（酸による分解後の繰り返し単位を構成する原子数の合計）／｛（炭素原子の数）−（炭素原子でも水素原子でもない原子の数）｝ （もっと読む）

【課題】着色剤として染料を用いた場合に、良好な電圧保持率、高いコントラスト及び高い耐熱性を両立できる着色層を形成することのできる着色組成物を提供すること。
【解決手段】次の成分（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）；（Ａ）下記式（１）で表される染料を含む着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、及び（Ｃ）架橋剤を含有することを特徴とする着色組成物。
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【課題】本発明は、得られる画素の輝度を維持又は向上させつつ、スプレー現像における画素形成に優れた着色樹脂組成物を提供することを課題とする。
本発明はまた上記着色樹脂組成物を用いたカラーフィルタ、並びに高品質の液晶表示装置及び有機ＥＬ表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】（Ａ）ハロゲン化金属フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色染料、（Ｃ）バインダー樹脂、（Ｄ）光重合開始成分及び（Ｅ）溶剤を含有し、
該（Ｄ）光重合開始成分が、特定の化合物を含有することを特徴とする、着色樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】積層フォトスペーサーの高さ制御のために体質顔料を含有した感光性着色組成物においても、剥離現像や保存安定性の悪化などを引き起こすことなく積層高さを所望の高さに制御できる、積層フォトスペーサーを有するカラーフィルタ基板に適用される感光性着色組成物と、それを用いたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】基板上にブラックマトリクス、複数色の着色画素、前記ブラックマトリクス上に前記着色画素を構成する感光性着色組成物を１色以上積層して形成された積層フォトスペーサーを有するカラーフィルタ基板に用いられる感光性着色組成物において、該感光性着色組成物の全固形分中に１〜１０質量％の透明体質顔料を含有し、かつ、光重合性モノマーの分子量が１０００〜１５００の範囲である。 （もっと読む）

【課題】基板上の残渣を低減でき、良好な断面形状を有するパターン形成方法の提供。
【解決手段】（ア）基板上に第１の樹脂組成物（Ｉ）を用いて反射防止膜を形成する工程、（イ）前記反射防止膜上に、第２の樹脂組成物（ＩＩ）を用いてレジスト膜を形成する工程、（ウ）前記積層膜を露光する工程、及び、（エ）前記露光された積層膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像して、ネガ型のパターンを形成する工程、を含む、パターン形成方法であって、前記第１の樹脂組成物（Ｉ）が、酸の作用により極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解性が減少する第１の樹脂を含有し、前記第２の樹脂組成物（ＩＩ）が、酸の作用により極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解性が減少する第２の樹脂を含有し、（Ｉ）及び（ＩＩ）の少なくとも一方が、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精細化したディスプレイパネル用カラーフィルタをフォトリソグラフィー法で製造する際に、着色層の平坦性を損なわない感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ、及び表示ムラのないディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】顔料、透明樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤を含有した感光性樹脂組成物であって、（ａ）硬化後の表面硬度が、該表面に角錐型微小先端を有する圧子を２０秒かけて５ｍＮとなる荷重で押し込んだ時に、計測されるビッカース硬度（ＨＶ）が２７から４５（ｂ）硬化後の膜の膨潤率が、下記式（１）で示される膨潤率で９０％から１１０％を特徴とする感光性樹脂組成物。式（１）膨潤率（％）＝（溶剤浸漬後の膜厚−溶剤浸漬前の膜厚）／溶剤浸漬前の膜厚×１００（ｃ）硬化後の算術平均粗さ（Ｒａ）が、５ｎｍから１５ｎｍであること。 （もっと読む）