サーバ装置、およびプログラム
【課題】従来、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができなかった。
【解決手段】複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置により、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。
【解決手段】複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置により、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム、サーバ装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の群管理システムにおいて、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法を実現する（例えば、特許文献１参照）。本測定データ加工方法において、群管理システムの群管理部の測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。
【０００３】
また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定された時系列の情報（以下チャートと記載）を表示する機能を有していた。
【０００４】
さらに、群管理システムを構成する製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置がある（特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行うことができなかった。そのために、精度の高い異常の検知ができない、という課題があった。具体的には、例えば、ダミーのウェーハ枚数を含めた総ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行った場合、測定情報のばらつきが大きく、正常な状態を異常であると判断されないために、異常の判断の閾値を甘く（広く）設定しなければならず、その結果精度の高い異常の検知ができなかった。さらに具体的には、製品ウェーハには配線（パターン）が形成されているために表面上に凹凸を有し、ダミーのウェーハには配線（パターン）が形成されていないのが通常である。したがって、例えば、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合がある。従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ウェーハ枚数の違いによる異常の検知が行えなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本第一の発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件情報格納部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装である。
【０００７】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、さらに具体的には、製品ウェーハ枚数の多少によって、異常の発生する頻度や、異常内容に違いが存在する場合があり、かかる場合、製品ウェーハ枚数でフィルタリングした測定情報をチャート出力することは、精度の高い異常の検知のために有効である。
【０００８】
また、本第二の発明のサーバ装置は、第一の発明に対して、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する。
【０００９】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数および装置識別子を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、製品ウェーハ枚数の多少によって、かつ、製造装置を特定して、製造装置ごとに、測定情報を取得し、異常の検知を行うことができ、精度の高い異常検知が可能となる。
【００１０】
また、本第三の発明のサーバ装置は、第一の発明に対して、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、前記異常検知部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する。
【００１１】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数およびレシピ識別子を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、具体的には、製品ウェーハ枚数の多少によって、かつ、レシピを特定して、レシピごとに、測定情報を取得し、異常の検知を行うことができ、精度の高い異常検知が可能となる。
【００１２】
また、本第四の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備するサーバ装置である。
【００１３】
かかる構成により、サーバ装置が製造装置から元情報を受信するので、確実に時系列の元情報を収集できる。
【００１４】
また、本第五の発明のサーバ装置は、第四の発明に対して、前記指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、前記異常検知部は、前記測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、前記出力情報構成部は、前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力するサーバ装置である。
【００１５】
かかる構成により、ユーザは、製品ウェーハ枚数で絞り込んだ検出条件を入力し、検出指示（出力指示）を入力することにより、リアルタイム異常検知が開始され、製造装置で測定された元情報を受信する度に、チャートを更新しながら異常検知の処理を行い、異常が起こればすぐにユーザに知らせることができる。
【００１６】
また、本第六の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する。
【００１７】
かかる構成により、各製造装置のチャートが他の製造装置のチャートと区別して見ることができ、かつ、指定した複数の製造装置のチャートを一度に見ることができる。その結果、複数の装置で異常が発生した場合、特に有効である。または、一の製造装置のチャートのみを見ることができる。その結果、特定の製造装置の経時変化やバラツキ監視を容易に行える。
【００１８】
また、本第七の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する。
【００１９】
かかる構成により、二変量の相関関係を、製造装置ごとに監視でき、効果的に異常検知ができる。
【００２０】
また、本第八の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する。
【００２１】
かかる構成により、多変量の相関関係を、製造装置ごとに監視でき、さらに効果的に異常検知ができる。
【００２２】
また、本第九の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する。
【００２３】
かかる構成により、レシピごとに、チャートを区別して見ることができ、かつ、指定した複数のレシピのチャートを一度に見ることができる。その結果、複数のレシピを用いた製造で異常が発生した場合、特に有効である。または、一のレシピのチャートのみを見ることができる。その結果、特定のレシピを用いた製造で異常が発生した場合、有効である。
【００２４】
また、本第十の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する。
【００２５】
かかる構成により、二変量の相関関係を、レシピごとに監視でき、効果的に異常検知ができる。
【００２６】
また、本第十一の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する。
【００２７】
かかる構成により、多変量の相関関係を、レシピごとに監視でき、さらに効果的に異常検知ができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によるサーバ装置によれば、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングでき、製造装置の異常検知に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、サーバ装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
【００３０】
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１（１）から製造装置１１（ｎ））、サーバ装置１２、およびクライアント装置１３を有する。
【００３１】
製造装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。本製造装置１１の例を図２に示す。本製造装置１１は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ2ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置１１は、被処理体であるウェーハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚例えば１００枚のウェーハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウェーハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置１１の例における、その他の部位、および動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置１１を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。
【００３２】
また、製造装置１１は、例えば、ウェーハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて制御する。
【００３３】
また、サーバ装置１２は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複数の製造装置１１における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、異常検知を行う機能を有する。
【００３４】
また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２に対して各種の要求を出し、サーバ装置１２における処理結果を受け付ける。
【００３５】
図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システムは、1以上の製造装置１１、サーバ装置１２、クライアント装置１３を具備する。
【００３６】
製造装置１１は、入力受付部１１０１、レシピ格納部１１０２、製造装置識別子格納部１１０３、製品ウェーハ枚数格納部１１０４、処理部１１０５、測定部１１０６、元情報蓄積部１１０７、元情報送信部１１０８を具備する。
【００３７】
サーバ装置１２は、測定情報格納部１２０１、元情報受信部１２０２、測定情報取得部１２０３、測定情報蓄積部１２０４、指示受付部１２０５、出力情報構成部１２０６、出力部１２０７、出力指示蓄積部１２０８、条件情報格納部１２０９、異常検知部１２１０を具備する。
【００３８】
クライアント装置１３は、指示入力部１３０１、指示送付部１３０２、受付部１３０３、表示部１３０４を具備する。
【００３９】
入力受付部１１０１は、製造装置１１のユーザから各種の入力を受け付ける。各種の入力とは、例えば、レシピや、レシピを識別するレシピ識別子や、製品ウェーハ枚数や、ウェーハの製造の指示（処理の実行指示）などである。製品ウェーハ枚数とは、ダミーのウェーハの枚数を含まないウェーハの枚数であり、製品として製造するウェーハの枚数である。なお、製造装置１１に収納できるウェーハの枚数は、例えば、５０枚や３０枚等であり、そのうち、ダミーのウェーハが１０枚や５枚等である。また、収納できるウェーハのうち、ダミーのウェーハの数、製造するウェーハの数は問わない。ユーザから各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部１１０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４０】
レシピ格納部１１０２は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、ウェーハに対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。レシピ格納部１１０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４１】
製造装置識別子格納部１１０３は、製造装置１１を識別する製造装置識別子を格納している。この製造装置識別子は、入力受付部１１０１が受け付けた情報でも良いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部１１０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００４２】
製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、製品ウェーハ枚数を示す情報を格納している。ここで、製品ウェーハ枚数を示す情報とは、通常、数値（例えば、４０）であるが、数値に対応する記号などでも良い。つまり、製品ウェーハ枚数を示す情報と製品ウェーハ枚数とは、同意義である。製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、入力受付部１１０１が受け付けた数値である。また、製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、図示しない手段により、自動的に取得した情報でも良い。製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色の違いを画像処理により検知し、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。通常、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色は異なる。また、製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハに記載されたＩＤを画像処理により読み取り、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。その他、自動的に製品ウェーハ枚数を取得する手段は問わない。製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００４３】
処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、ウェーハに対する所定のプロセスを行う。処理部１１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４４】
測定部１１０６は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力などを測定し、チャート化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有する。元情報は、測定部１１０６が温度等の値を測定していた際に処理していたレシピを識別するレシピ識別子と、測定した値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することはさらに好適である。測定部１１０６は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の測定された値を有しても良い。測定部１１０６は、1以上の温度センサや1以上の流量センサなどのセンサ等で実現され得る。
【００４５】
元情報蓄積部１１０７は、測定部１１０６が取得した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。元情報蓄積部１１０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。元情報蓄積部１１０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。また、上記の図示しない記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４６】
元情報送信部１１０８は、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報を、サーバ装置１２に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値、時刻情報、製品ウェーハ枚数を有する。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、さらに加えて、製造装置１１を識別する製造装置識別子や、レシピを識別するレシピ識別子を有することが好適である。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、ダミーのウェーハ枚数を含む総ウェーハ枚数などを有しても良い。つまり、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報と、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、その構造や構成が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製品ウェーハ枚数または／および一つの製造装置識別子または／および一つのレシピ識別子を有する構成でも良い。元情報送信部１１０８は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。なお、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、製品ウェーハ枚数格納部１１０４からウェーハ枚数を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、レシピ格納部１１０２や製造装置識別子格納部１１０３から、それぞれレシピ識別子や製造装置識別子を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部１１０８は、測定された値（例えば、ガス流量）を、１秒ごとにサンプリングしたまとめたデータ（例えば、１０個をまとめたデータ）を一度に送信しても良い。元情報送信部１１０８が送信するデータの単位やデータ構造等は問わない。また、送信する元情報を構成する処理は、元情報送信部１１０８ではなく、元情報蓄積部１１０７が行っても良い。測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値と時刻情報の組の情報、および製品ウェーハ枚数や製造装置識別子やレシピ識別子の送信するタイミングなども問わない。
【００４７】
測定情報格納部１２０１は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報（例えば、温度や圧力）についての時系列の情報であり、製造装置１１で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である。また、複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と製造装置１１を識別する装置識別子と時刻情報を有する情報であっても良い。さらに、複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数とレシピ識別子と時刻情報を有する情報であっても良い。測定情報は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して、測定情報取得部１２０３が所定の演算を行い、取得された情報でも良いし、元情報と同じ情報でも良い。測定情報格納部１２０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格納部１２０１の測定情報は、測定情報蓄積部１２０４が蓄積した情報でも良いし、製造装置１１から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体から読み出した情報でも良い。
【００４８】
元情報受信部１２０２は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製造装置１１から受信する。元情報受信部１２０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４９】
測定情報取得部１２０３は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報取得部１２０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報取得部１２０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５０】
測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。なお、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報を、測定情報格納部１２０１に配置する場合は、測定情報蓄積部１２０４が行う蓄積処理はＮＯＰと同意義となる。測定情報蓄積部１２０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部１２０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５１】
指示受付部１２０５は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置１３から受信するが、サーバ装置１２に接続されているキーボードやマウス等から受け付けても良い。指示受付部１２０５が受け付ける指示は、例えば、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示などである。なお、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示における製品ウェーハ枚数は、製品ウェーハ枚数の範囲（２０〜４０など）でも良いし、製品ウェーハ枚数（４０など）を示す情報だけでも良い。出力指示は、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、またはＭＤチャートなど）の情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ（温度や、ガス流量や、圧力などの測定情報）を含んでも良い。また、出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点の色、点の種類（形状）、線の色、線種などである。さらに、出力指示がレシピ識別子を含む場合、通常、当該レシピ識別子は、複数の装置の同一の識別子を有する複数のレシピを示すものである。指示受付部１２０５は、例えば、無線または有線の受信手段からなる。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受付部１２０５は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５２】
出力情報構成部１２０６は、異常検知部１２１０の判断結果に応じた出力情報を構成する。例えば、出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を異常検知部１２１０が測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した複数の測定情報から、出力情報構成部１２０６は、チャートを構成する。その際、出力情報構成部１２０６は、異常な測定情報と正常な測定情報とを視覚的に区別して出力情報を構成することが好適である。ここで、出力情報とは、例えば、異常である測定情報に関する測定部名と時刻のリスト情報である。また、出力情報とは、例えば、当該リスト情報から構成されたチャートの情報である。出力情報とは、例えば、正常である旨、異常である旨である。出力情報とは、例えば、正常／異常のどちらかを示す音情報（ブザーなど）である。また、出力情報構成部１２０６は、異常の検知のために、異常値、正常値の範囲を示したチャートを構成する処理を行っても良い。かかる場合、異常検知部１２１０が、出力指示に合致する測定情報を読み込むが、異常検知の処理を行うか否かは問わない。出力情報構成部１２０６は、出力指示に二以上の装置識別子が含まれる場合、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成することは好適である。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示に二以上のレシピ識別子が含まれる場合、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成することは好適である。ここで、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上の装置識別子を含む場合、装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）で出力されているチャートや、装置識別子ごとの測定情報が異なる線の色で連結されているチャートなどである。また、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つの装置識別子のみを含む場合、当該一の装置識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上のレシピ識別子を含む場合、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）や、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる線の種類（実線と破線など）で連結されているチャートなどである。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該一のレシピ識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、出力情報構成部１２０６は、読み出された複数の測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャート（単変量異常検知チャート）を構成しても良い。ＳＰＣチャートは、単変量を監視して異常検知を行うためのチャートである。ＳＰＣチャートにおいて、監視対象の上下限値（管理値）を設定（条件情報格納部１２０９が予め保持）しておき、管理値外の値となった場合、異常検知部１２１０が異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好適である。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示が一以上の装置識別子を含む場合、当該一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャート（２変量異常検知チャート）を構成しても良い。相関チャートは、２変量の相関関係を監視するチャートである。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示が一以上のレシピ識別子を含む場合、当該一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成しても良い。チャートの構成は、例えば、時間軸にしたがって、複数の測定情報を線で連結し、チャートを得る処理である。値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、チャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、ＳＰＣチャートや、相関チャートや、ＭＤチャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、二種類の測定情報とは、一の測定情報の中に、二種類の測定された値（例えば、温度とガス流量）を含む情報も含む。また、三種類以上の測定情報とは、一の測定情報の中に、三種類以上の測定された値（例えば、温度とガス流量と圧力）を含む情報も含む。出力情報構成部１２０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力情報構成部１２０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５３】
出力部１２０７は、出力情報構成部１２０６が構成したチャートを出力する。ここで、出力とは、通常、クライアント装置１３への送信である。ただし、出力部１２０７は、サーバ装置１２に接続されているディスプレイにチャートを表示したり、プリンタへ印字したり、外部の装置へ送信したりしても良い。出力部は１２０７、無線または有線の通信手段で実現され得る。ただし、出力部は１２０７、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。
【００５４】
出力指示蓄積部１２０８は、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有するなどの指示である出力指示を蓄積する。出力指示蓄積部１２０８は、例えば、指示受付部１２０５がチャートの設定（色情報を含む）を蓄積する指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。また、出力指示蓄積部１２０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力指示蓄積部１２０８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５５】
条件情報格納部１２０９は、異常検知の条件に関する情報である条件情報を格納している。条件情報は、例えば、測定値の正常範囲を示す上限値と下限値である。条件情報は、例えば、正常値と異常値の間の上限値のみでも良い。その他、条件情報は、測定の対象の値（温度、圧力、ガス流量など）によって、異なる。また、条件情報の構造は問わない。条件情報格納部１２０９は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００５６】
異常検知部１２１０は、測定情報格納部１２０１の測定情報が有する測定値が異常であるか、正常であるかを判断する。異常検知部１２１０は、条件情報格納部１２０９の条件情報を用いて、測定情報が有する測定値が異常であるか、正常であるかを判断する。さらに具体的には、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含むウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。異常検知部１２１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異常検知部１２１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、異常検知部１２１０における異常検知処理は、公知の異常検知の処理でも良い。
【００５７】
指示入力部１３０１は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、チャートの出力指示や、チャートの属性値（線種や線の色や点の種類や点の色など）の変更の指示などである。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部１３０１は、テンキーやキーボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５８】
指示送付部１３０２は、指示入力部１３０１から入力された指示をサーバ装置１２に送付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部１３０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５９】
受付部１３０３は、サーバ装置１２からチャートの情報を受け付ける。ここでの受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。受付部１３０３は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００６０】
表示部１３０４は、受付部１３０３が受け付けたチャートの情報をディスプレイに表示する。表示部１３０４は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。表示部１３０４は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
【００６１】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置１１の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。
【００６２】
（ステップＳ４０１）処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出す。
【００６３】
（ステップＳ４０２）処理部１１０５は、カウンタｉに１を代入する。
【００６４】
（ステップＳ４０３）処理部１１０５は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピ中に、ｉ番目の処理ステップが存在するか否かを判断する。ｉ番目の処理ステップが存在すればステップＳ４０４に行き、ｉ番目の処理ステップが存在しなければステップＳ４０９に行く。
【００６５】
（ステップＳ４０４）処理部１１０５は、ｉ番目のステップの処理を実行する。
【００６６】
（ステップＳ４０５）測定部１１０６は、予め決められた１種以上の測定（例えば、温度と圧力）を行い、元情報（ここでの元情報は、通常、１種以上の値のみ有する）を取得する。
【００６７】
（ステップＳ４０６）測定部１１０６は、図示しない時計から時刻情報を取得し、測定した情報に時刻情報を付与して、元情報を構成する。
【００６８】
（ステップＳ４０７）元情報蓄積部１１０７は、ステップＳ４０６で構成した元情報を、図示しないメモリに一時蓄積する。
【００６９】
（ステップＳ４０８）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４０７で一時蓄積した元情報（ここでは、１種以上の値と時刻情報の組）をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００７０】
（ステップＳ４０９）処理部１１０５は、カウンタｉを１、インクリメントし、ステップＳ４０３に戻る。
【００７１】
（ステップＳ４１０）元情報送信部１１０８は、製品ウェーハ枚数格納部１１０４から、製品ウェーハ枚数を読み出す。
【００７２】
（ステップＳ４１１）元情報送信部１１０８は、レシピ格納部１１０２から、レシピ識別子を読み出す。このレシピ識別子は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピのレシピ識別子である。
【００７３】
（ステップＳ４１２）元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３から、製造装置識別子を読み出す。
【００７４】
（ステップＳ４１３）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４１０からステップＳ４１２で読み出した製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００７５】
なお、図４のフローチャートにおいて、送信する元情報が有する１種以上の値と時刻情報の複数の組と、製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子を一緒にサーバ装置１２に送信しても良い。
【００７６】
次に、サーバ装置１２の動作について図５のフローチャートを用いて説明する。
【００７７】
（ステップＳ５０１）指示受付部１２０５は、指示を受け付けたか否かを判断する。指示を受け付ければステップＳ５０２に行き、指示を受け付けなければステップＳ５０８に行く。
【００７８】
（ステップＳ５０２）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０１で受け付けた指示がチャートの出力指示であるか否かを判断する。チャートの出力指示であればステップＳ５０３に行き、チャートの出力指示でなければステップＳ５０１に戻る。
【００７９】
（ステップＳ５０３）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が有する製品ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数の範囲でも良い）、または製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子、または製品ウェーハ枚数と一以上のレシピ識別子、または製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を取得する。なお、ステップＳ５０１で受け付けた指示が、総ウェーハ枚数など他の属性値を含む場合、異常検知部１２１０は、かかる他の属性値も取得する。
【００８０】
（ステップＳ５０４）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０３で取得した製品ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数の範囲でも良い）等をキーとして、測定情報格納部１２０１を検索し、１以上の測定情報を取得する。なお、測定情報は、少なくとも値（温度やガス流量の値など）と時刻情報と製品ウェーハ枚数を有する。また、一以上の装置識別子をキーとして検索する、とは、一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得することである。また、一以上のレシピ識別子をキーとして検索する、とは、一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得することである。
【００８１】
（ステップＳ５０５）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０４で取得した1以上の測定情報が有する各測定値が異常であるか、正常であるか否かを判断する。異常検知部１２１０は、条件情報を用いて、各測定値が異常であるか、正常であるか否かを判断する。
【００８２】
（ステップＳ５０６）出力情報構成部１２０６は、ステップＳ５０４で取得した測定情報から、受け付けた出力指示に従ったチャートなどの出力情報を構成する。なお、出力情報がチャートである場合、チャートの線の属性値（線の色や線種や点の色や点の種類など）は、指示された属性値や、デフォルトの属性値等であり、出力情報構成部１２０６は、かかる属性値を用いて、チャートを構成する。構成するチャートは、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート、または／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートである。また、構成するチャートは、出力指示が有するチャートの種類の情報（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）に従ったチャートである。また、出力情報構成部１２０６は、ステップＳ５０５における異常検知処理の結果に応じた出力情報を構成する。「異常検知処理の結果に応じた出力情報」とは、異常な測定情報か、正常な測定情報かを明示する態様の出力情報でも良いし、異常と正常の閾値を明示したチャート等でも良い。
【００８３】
（ステップＳ５０７）出力部１２０７は、ステップＳ５０５で構成した出力情報を出力する。ここで、出力とは、クライアント装置１３への送信である。ステップＳ５０１に戻る。
【００８４】
（ステップＳ５０８）元情報受信部１２０２は、１種類以上の値と時刻情報の組を製造装置１１から受信したか否かを判断する。１種類以上の値と時刻情報の組を受信すればステップＳ５０９に行き、１種類以上の値と時刻情報の組を受信しなければステップＳ５１０に行く。
【００８５】
（ステップＳ５０９）元情報受信部１２０２は、ステップＳ５０８で受信した１種類以上の値と時刻情報の組を、図示しないメモリに追記する。ステップＳ５０１に戻る。
【００８６】
（ステップＳ５１０）元情報受信部１２０２は、製品ウェーハ枚数等の属性値を製造装置１１から受信したか否かを判断する。製品ウェーハ枚数等の属性値を受信すればステップＳ５１１に行き、製品ウェーハ枚数等の属性値を受信しなければステップＳ５０１に戻る。製品ウェーハ枚数等の属性値とは、例えば、製品ウェーハ枚数と装置識別子とレシピ識別子である。
【００８７】
（ステップＳ５１１）元情報受信部１２０２は、メモリに追記した１種類以上の値と時刻情報の複数の組に対して、ステップＳ５１０で受信した製品ウェーハ枚数等の属性値を付加し、元情報を構成する。ここで、複数の元情報が構成される。また、製品ウェーハ枚数等の属性値は、１種類以上の値と時刻情報の複数の組に対して一つ付与されていても良いし、１種類以上の値と時刻情報の各組に対して一つの属性値が付与されていても良い。つまり、元情報のデータ構造は問わない。
【００８８】
（ステップＳ５１２）測定情報取得部１２０３は、ステップＳ５１１で構成した複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得する。複数の元情報に対して所定の演算を行うとは、複数の元情報が有する複数の組が有する１種類以上の値それぞれに対して所定の演算（平均値算出、標準偏差算出、最大値取得など）を行うことである。また、所定の演算の対象となる複数の元情報とは、所定時間間隔（例えば、１０分）ごとの複数の元情報ごとであってり、所定のステップ数ごとの複数の元情報ごとである。
【００８９】
（ステップＳ５１３）測定情報蓄積部１２０４は、ステップＳ５１２で取得した1以上の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。ステップＳ５０１に戻る。
【００９０】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００９１】
また、図５のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かかる場合、ステップＳ５１２において、元情報を読み出す処理を行う。
【００９２】
また、図５のフローチャートにおいて、チャートの出力指示を受け付ける前に、測定情報が蓄積されている、とする。
【００９３】
また、図５のフローチャートにおいて、元情報を蓄積しておいて、チャートなどの出力情報の出力を行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得し、当該1以上の測定情報を用いて出力情報を構成し、出力しても良い。つまり、測定情報を構成するタイミングは問わない。
【００９４】
さらに、図５のフローチャートにおいて、ユーザが、製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を入力することにより、リアルタイムに異常検知が開始され、元情報を受信する度に、出力情報（チャートなど）を更新しながら異常検知処理を行い、異常が起こればすぐにユーザに知らせるようにすることは好適である。つまり、図５のフローチャートにおいて、以下の処理を行うことはさらに好適である。つまり、元情報受信部１２０２は、製造装置１１から元情報を次々と、リアルタイム（製造装置１１での製造中）に受信し、測定情報取得部１２０３は、元情報から測定情報を次々と構成し、測定情報蓄積部１２０４は、測定情報格納部１２０１に測定情報を少なくとも一時的に配置し、異常検知部１２１０は、次々に構成される測定情報から異常の検知処理を行い、出力情報構成部１２０６は、出力情報を更新し、出力部１２０７は、更新された出力情報を次々に出力する。かかる処理により、リアルタイムに異常検知がなされ、ユーザは異常の発生を直ちに認識できる。
【００９５】
次に、クライアント装置１３の動作について説明する。クライアント装置１３の指示入力受付部１３０１がユーザからチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部１３０２は、当該出力指示をサーバ装置１２に送付し、サーバ装置１２での処理結果であるチャートの情報を受付部１３０３が受け付け、表示部１３０４がチャートを表示する。
【００９６】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。
【００９７】
本具体例において、複数の製造装置１１の入力受付部１１０１が、ユーザからのウェーハの製造の開始指示を受け付けると、処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、読み出したレシピを実行し、ウェーハの製造処理を進める。そして、測定部１１０６は、ウェーハの製造処理中、例えば、1秒ごとに、予め決められた炉内のガス流量を測定し、取得したガス流量と、図示しない時計から取得した時刻情報を対にして、元情報送信部１１０８は、例えば、1秒ごとにサーバ装置１２に送信する。この送信する元情報の例は、図６である。元情報は、ガス流量、時刻情報を有する。なお、時刻情報は、時刻を示す情報であり、時・分・秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。
【００９８】
また、レシピのすべてのステップの実行が完了した段階で、製造装置１１の元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３の製造装置識別子、レシピ格納部１１０２のレシピ識別子（被処理基板に対する所定のプロセスを行う際に実行したレシピの識別子）、および製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数を読み出し、サーバ装置１２に送信する。
【００９９】
次に、サーバ装置１２の元情報受信部１２０２は、例えば、1秒ごとに、順次、ガス流量と時刻情報の組の情報を受信し、一時蓄積する。そして、製造装置識別子、レシピ識別子、および製品ウェーハ枚数を受信する。そして、元情報受信部１２０２は、ガス流量と時刻情報の複数の組、製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子を有する元情報を一時的にメモリに記録する。かかる元情報の例を図７に示す。図７は、元情報管理表である。元情報管理表は、「製造装置識別子」「レシピ識別子」「製品ウェーハ枚数」「値（ガス流量）」「時刻情報」を有する。図７において、一の製造装置識別子、レシピ識別子、製品ウェーハ枚数に対して、複数の値（ここでは、１種類）と時刻情報が対応するデータ構造である。また、図７において、複数の製造装置１１、および複数のレシピの実行に対する元情報が管理されている。
【０１００】
次に、測定情報取得部１２０３は、同一の製造装置識別子、レシピ識別子、および製品ウェーハ枚数ごとに、複数の元情報を取得し、当該複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。ここでは、所定の演算は、平均値の算出であり、測定情報取得部１２０３は、1時間おきに平均値を算出する、とする。そして、測定情報取得部１２０３は、図７の元情報管理表から、図８に示す測定情報管理表を得た、とする。
【０１０１】
次に、測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した図８の測定情報管理表を測定情報格納部１２０１に蓄積する。
【０１０２】
以上の処理を繰り返し、測定情報格納部１２０１には、例えば、膨大なデータ量の測定情報が格納されている、とする。
【０１０３】
また、条件情報格納部１２０９には、炉内のガス流量の正常／異常を判断する条件情報「３００＜＝ガス流量＜＝３５０」を格納している、とする。
【０１０４】
かかる状況において、ユーザは、クライアント装置１３から、図９に示す画面に対して、必要な情報を入力し、「チャート出力」ボタンを押下する、とする。図９は、チャートの出力指示を入力し、チャートを出力するための画面である。ここで、必要な情報とは、データタイプ（測定情報のデータの種類であり、例えば、ガス流量や温度や圧力などがある）、ウェーハ枚数の情報、製造装置識別子、レシピ識別子のうちの1以上の情報である。通常、データタイプは必要である。また、図９の画面に対して、データタイプ、ウェーハ枚数の情報のみの入力でも良い。さらに、図９の画面に対して、データタイプ、製造装置識別子のみの入力でも、データタイプ、レシピ識別子のみの入力でも良い。図９において、データタイプ「ガス流量」、製品ウェーハ枚数「３５〜４０」、製造装置識別子「Ｅ１」、レシピ識別子「Ｒ１」「Ｒ５」が入力されていることとなる。製品ウェーハ枚数は、「製品のみ」のトグルが選択されていることにより認識される。したがって、かかる状況で、ユーザが「チャート出力」ボタンを押下すれば、指示入力部１３０１は、「ガス流量」の測定情報（例えば、図８に示す情報）のうち、「３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４０」かつ「製造装置識別子＝Ｅ１」かつ「レシピ識別子＝Ｒ１、またはＲ５」の条件に合致する測定情報を出力する出力指示を受け付ける。なお、かかる出力指示の例は、例えば、「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４０ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」である。
【０１０５】
次に、指示送付部１３０２は、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」をサーバ装置１２に送信する。
【０１０６】
そして、サーバ装置１２の指示受付部１２０５は、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」を受信する。
【０１０７】
次に、サーバ装置１２の異常検知部１２１０は、測定情報格納部１２０１に格納されている測定情報から、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」に合致する測定情報を検索し、取得する。具体的には、異常検知部１２１０は、図８の測定情報管理表から、「３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」に合致するレコードを検索する。そして、異常検知部１２１０は、図１０の情報を得る。
【０１０８】
次に、異常検知部１２１０は、条件情報格納部１２０９から条件情報「３００＜＝ガス流量＜＝３５０」を読み出し、当該条件情報を用いて、図１０の測定情報の異常を検知する。図１０の情報「平均値」のすべてが、３００未満であるので、異常値である、と判断される。
【０１０９】
次に、出力情報構成部１２０６は、図１０の情報と、異常検知部１２１０の判断結果を用いて、出力情報であるチャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値（ガス流量の平均値）である折れ線グラフである。
【０１１０】
次に、出力部１２０７は、出力情報構成部１２０６が構成した折れ線グラフをクライアント装置１３に送信する。
【０１１１】
次に、クライアント装置１３の受付部１３０３は当該折れ線グラフを受信し、表示部１３０４は、図１１に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。図１１において、正常範囲を網掛けで示している。
【０１１２】
以上の処理により、ユーザは、所望の製品ウェーハ枚数を含む条件で測定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知ることができ、製造装置の異常の検出に極めて有効である。具体的には、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合があり、かかる状況に対応するため、所望の製品ウェーハ枚数を含む条件で測定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知り、異常の検出を精度高く行なえる。なお、図１１の折れ線グラフにおいて、製品ウェーハ枚数が３５から４０と多い場合に、ガスの流量が正常範囲より少なくなり（例えば、３００が正常な状態の下限値であるとする。）、不良が発生する可能性が高い、と判断できる、とする。
【０１１３】
また、図９において、ユーザが、ウェーハ枚数の「すべて」を選択した場合、ダミーウェーハと製品ウェーハ枚数からなる全ウェーハ枚数を含む条件で、測定情報を検索することとなる。かかる場合、測定情報は、全ウェーハ枚数の属性値を含むこととなる。
【０１１４】
また、図９において、ユーザは、ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数、または全ウェーハ枚数）、１以上の製造装置識別子、１以上のレシピ識別子を含む条件をいかように指定しても良い。つまり、ユーザは、製品ウェーハ枚数のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上の製造装置識別子のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上のレシピ識別子のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上の製造装置識別子と１以上のレシピ識別子を指定してチャート出力を得ても良い。かかる場合も、チャートを出力するまでの処理は、上述した処理と同様である。また、図９において、指定したウェーハ枚数は、範囲を有する情報であった（ＦｒｏｍとＴｏのＢＯＸの両方がチェックされている）が、一の値のみの指定でも良いことは言うまでもない。
【０１１５】
以上、本実施の形態によれば、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。その結果、精度の高い異常の検知ができる。具体的には、製品ウェーハには配線が接続されており、ダミーのウェーハには配線が接続されていないのが通常であるが、例えば、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合がある。本実施の形態によれば、かかる状況に対応した異常の検知が可能となるチャートの出力ができる。さらに具体的には、例えば、ダミーのウェーハ枚数を含めない製品ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行うため、測定情報のばらつきを小さいくでき、そのため、異常の判断の閾値を狭く設定でき、その結果精度の高い異常の検知ができる。
【０１１６】
なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１２に示すように、出力指示（ＳＰＣチャートを出力する指示）に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートであっても良い。なお、図１２に示すＳＰＣチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＳＰＣチャートである。また、図１２に示すＳＰＣチャートにおいて、管理値（上限）、および管理値（下限）が出力されている。この管理値の外の値となった場合、異常であることを示している。管理値（上限）、および管理値（下限）は、条件情報格納部１２０９が予め保持している。
【０１１７】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１３に示すように、出力指示（相関チャートを出力する指示）に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報（例えば、温度と圧力など）の相関を示すチャートである相関チャートであっても良い。なお、図１３に示す相関チャートは、例えば、一つの装置識別子の、二種類の測定情報から構成されている相関チャートである。また、図１３に示す相関チャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１８】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１４に示すように、出力指示（ＭＤチャートを出力する指示）が含む一以上の装置識別子のいずれか、または／および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報（例えば、２箇所の温度とガス流量と圧力）の相関を示すチャートであるＭＤチャートであっても良い。なお、図１４に示すＭＤチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＭＤチャートである。また、図１４に示すＭＤチャートは、例えば、マハラノビスの距離を用いて異常判定しているチャートである。さらに具体的には、図１４に示すＭＤチャートは、正常時のデータをモデル化し、マハラノビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、図１４に示すＭＤチャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１９】
また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の装置識別子または一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の折れ線グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図１５に示すように、出力指示が含む３つの装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットした３つのチャートであっても良い。かかる場合、出力指示は、例えば、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」の３つの装置識別子を含む。そして、異常検知部１２１０は、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」をそれぞれキーとして、３度、測定情報格納部１２０１を検索し、３度、測定情報を取得し、それぞれのキーごとに、出力情報構成部１２０６は、異なる点や線の属性値のチャートを別個に構成し、３つのチャートを得る。そして、３つのチャートが出力される。
【０１２０】
本実施の形態において、上記のように３つ以上のチャート（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）の表示形態を自由に選択できるので、全数検査の結果に応じた、状況分析が可能となる。
【０１２１】
また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置１２が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段により製造装置１１から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置１２に渡される。
【０１２２】
また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて（測定情報の時間間隔やステップの間隔を変えて）チャート出力することは好適である。
【０１２３】
また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合、測定情報取得部や測定情報蓄積部は不要となる。
【０１２４】
また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信することは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ装置に与えられても良い。
【０１２５】
また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置１３を有さなくても良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置１２に対して、出力指示などの指示を入力する。
【０１２６】
また、本実施の形態の具体例において、装置識別子またはレシピ識別子を指定してチャートを出力したが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を指定してチャートを出力しても良い。ユーザが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を含む出力指定を入力した場合、異常検知部１２１０は、指定された１以上の各装置識別子および１以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとして測定情報（または元情報）を検索し、異常を検知し、出力情報構成部１２０６は、チャートを構成する。
【０１２７】
また、本実施の形態において、指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、リアルタイムに異常検知処理を行い、元情報を受信する毎に出力情報（チャートなど）を更新することは、極めて好適である。異常の発生がユーザに直ちに分かるからである。なお、かかるリアルタイムの異常検知は、以下の処理である。つまり、異常検知部は、測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、条件情報に合致するか否かを直ちに判断し、出力情報構成部は、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、出力部は、出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する。
【０１２８】
さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと、前記異常検知ステップの判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成ステップと、前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１２９】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断するプログラム、であることは好適である。
【０１３０】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断するプログラム、であることは好適である。
【０１３１】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断プログラム、であることは好適である。
【０１３２】
また、上記プログラムは、コンピュータに、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラム、であっても良い。
【０１３３】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成することは好適である。
【０１３４】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成することは好適である。
【０１３５】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成することは好適である。
【０１３６】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成することは好適である。
【０１３７】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成することは好適である。
【０１３８】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成することは好適である。
【０１３９】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１４０】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信するステップや、情報を受信するステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０１４１】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１４２】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（元情報受信部や出力部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０１４３】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１４４】
以上のように、本発明にかかるサーバ装置は、製品ウェーハ枚数をキーとして、測定された情報をフィルタリングできる、という効果を有し、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備する群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図を示す図
【図２】同半導体ウェーハ製造装置の例を示す図
【図３】同群管理システムのブロック図
【図４】同製造装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同サーバ装置の動作について説明するフローチャート
【図６】同元情報の例を示す図
【図７】同元情報管理表を示す図
【図８】同測定情報管理表を示す図
【図９】同クライアント装置の出力指示の入力画面の例を示す図
【図１０】同異常検知部が取得したチャートの元になる情報の例を示す図
【図１１】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１２】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１３】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１４】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１５】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【符号の説明】
【０１４６】
１１ 製造装置
１２ サーバ装置
１３ クライアント装置
１１０１ 入力受付部
１１０２ レシピ格納部
１１０３ 製造装置識別子格納部
１１０４ 製品ウェーハ枚数格納部
１１０５ 処理部
１１０６ 測定部
１１０７ 元情報蓄積部
１１０８ 元情報送信部
１２０１ 測定情報格納部
１２０２ 元情報受信部
１２０３ 測定情報取得部
１２０４ 測定情報蓄積部
１２０５ 指示受付部
１２０６ 出力情報構成部
１２０７ 出力部
１２０８ 出力指示蓄積部
１２０９ 条件情報格納部
１２１０ 異常検知部
１３０１ 指示入力部
１３０１ 指示入力受付部
１３０２ 指示送付部
１３０３ 受付部
１３０４ 表示部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム、サーバ装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の群管理システムにおいて、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法を実現する（例えば、特許文献１参照）。本測定データ加工方法において、群管理システムの群管理部の測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。
【０００３】
また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定された時系列の情報（以下チャートと記載）を表示する機能を有していた。
【０００４】
さらに、群管理システムを構成する製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置がある（特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行うことができなかった。そのために、精度の高い異常の検知ができない、という課題があった。具体的には、例えば、ダミーのウェーハ枚数を含めた総ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行った場合、測定情報のばらつきが大きく、正常な状態を異常であると判断されないために、異常の判断の閾値を甘く（広く）設定しなければならず、その結果精度の高い異常の検知ができなかった。さらに具体的には、製品ウェーハには配線（パターン）が形成されているために表面上に凹凸を有し、ダミーのウェーハには配線（パターン）が形成されていないのが通常である。したがって、例えば、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合がある。従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ウェーハ枚数の違いによる異常の検知が行えなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本第一の発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件情報格納部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装である。
【０００７】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、さらに具体的には、製品ウェーハ枚数の多少によって、異常の発生する頻度や、異常内容に違いが存在する場合があり、かかる場合、製品ウェーハ枚数でフィルタリングした測定情報をチャート出力することは、精度の高い異常の検知のために有効である。
【０００８】
また、本第二の発明のサーバ装置は、第一の発明に対して、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する。
【０００９】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数および装置識別子を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、製品ウェーハ枚数の多少によって、かつ、製造装置を特定して、製造装置ごとに、測定情報を取得し、異常の検知を行うことができ、精度の高い異常検知が可能となる。
【００１０】
また、本第三の発明のサーバ装置は、第一の発明に対して、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、前記異常検知部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する。
【００１１】
かかる構成により、製品ウェーハ枚数およびレシピ識別子を用いて、測定された情報をフィルタリングして、異常の検知を行うことができる。その結果、具体的には、異常／正常を分ける閾値を厳密に設定でき、精度の高い異常の検知が行える。また、具体的には、製品ウェーハ枚数の多少によって、かつ、レシピを特定して、レシピごとに、測定情報を取得し、異常の検知を行うことができ、精度の高い異常検知が可能となる。
【００１２】
また、本第四の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備するサーバ装置である。
【００１３】
かかる構成により、サーバ装置が製造装置から元情報を受信するので、確実に時系列の元情報を収集できる。
【００１４】
また、本第五の発明のサーバ装置は、第四の発明に対して、前記指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、前記異常検知部は、前記測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、前記出力情報構成部は、前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力するサーバ装置である。
【００１５】
かかる構成により、ユーザは、製品ウェーハ枚数で絞り込んだ検出条件を入力し、検出指示（出力指示）を入力することにより、リアルタイム異常検知が開始され、製造装置で測定された元情報を受信する度に、チャートを更新しながら異常検知の処理を行い、異常が起こればすぐにユーザに知らせることができる。
【００１６】
また、本第六の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する。
【００１７】
かかる構成により、各製造装置のチャートが他の製造装置のチャートと区別して見ることができ、かつ、指定した複数の製造装置のチャートを一度に見ることができる。その結果、複数の装置で異常が発生した場合、特に有効である。または、一の製造装置のチャートのみを見ることができる。その結果、特定の製造装置の経時変化やバラツキ監視を容易に行える。
【００１８】
また、本第七の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する。
【００１９】
かかる構成により、二変量の相関関係を、製造装置ごとに監視でき、効果的に異常検知ができる。
【００２０】
また、本第八の発明のサーバ装置は、第一、第二、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する。
【００２１】
かかる構成により、多変量の相関関係を、製造装置ごとに監視でき、さらに効果的に異常検知ができる。
【００２２】
また、本第九の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する。
【００２３】
かかる構成により、レシピごとに、チャートを区別して見ることができ、かつ、指定した複数のレシピのチャートを一度に見ることができる。その結果、複数のレシピを用いた製造で異常が発生した場合、特に有効である。または、一のレシピのチャートのみを見ることができる。その結果、特定のレシピを用いた製造で異常が発生した場合、有効である。
【００２４】
また、本第十の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する。
【００２５】
かかる構成により、二変量の相関関係を、レシピごとに監視でき、効果的に異常検知ができる。
【００２６】
また、本第十一の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四、第五いずれかの発明に対して、前記出力情報構成部は、前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する。
【００２７】
かかる構成により、多変量の相関関係を、レシピごとに監視でき、さらに効果的に異常検知ができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によるサーバ装置によれば、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングでき、製造装置の異常検知に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、サーバ装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
【００３０】
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１（１）から製造装置１１（ｎ））、サーバ装置１２、およびクライアント装置１３を有する。
【００３１】
製造装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。本製造装置１１の例を図２に示す。本製造装置１１は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ2ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置１１は、被処理体であるウェーハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚例えば１００枚のウェーハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウェーハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置１１の例における、その他の部位、および動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置１１を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。
【００３２】
また、製造装置１１は、例えば、ウェーハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて制御する。
【００３３】
また、サーバ装置１２は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複数の製造装置１１における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、異常検知を行う機能を有する。
【００３４】
また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２に対して各種の要求を出し、サーバ装置１２における処理結果を受け付ける。
【００３５】
図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システムは、1以上の製造装置１１、サーバ装置１２、クライアント装置１３を具備する。
【００３６】
製造装置１１は、入力受付部１１０１、レシピ格納部１１０２、製造装置識別子格納部１１０３、製品ウェーハ枚数格納部１１０４、処理部１１０５、測定部１１０６、元情報蓄積部１１０７、元情報送信部１１０８を具備する。
【００３７】
サーバ装置１２は、測定情報格納部１２０１、元情報受信部１２０２、測定情報取得部１２０３、測定情報蓄積部１２０４、指示受付部１２０５、出力情報構成部１２０６、出力部１２０７、出力指示蓄積部１２０８、条件情報格納部１２０９、異常検知部１２１０を具備する。
【００３８】
クライアント装置１３は、指示入力部１３０１、指示送付部１３０２、受付部１３０３、表示部１３０４を具備する。
【００３９】
入力受付部１１０１は、製造装置１１のユーザから各種の入力を受け付ける。各種の入力とは、例えば、レシピや、レシピを識別するレシピ識別子や、製品ウェーハ枚数や、ウェーハの製造の指示（処理の実行指示）などである。製品ウェーハ枚数とは、ダミーのウェーハの枚数を含まないウェーハの枚数であり、製品として製造するウェーハの枚数である。なお、製造装置１１に収納できるウェーハの枚数は、例えば、５０枚や３０枚等であり、そのうち、ダミーのウェーハが１０枚や５枚等である。また、収納できるウェーハのうち、ダミーのウェーハの数、製造するウェーハの数は問わない。ユーザから各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部１１０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４０】
レシピ格納部１１０２は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、ウェーハに対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。レシピ格納部１１０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４１】
製造装置識別子格納部１１０３は、製造装置１１を識別する製造装置識別子を格納している。この製造装置識別子は、入力受付部１１０１が受け付けた情報でも良いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部１１０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００４２】
製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、製品ウェーハ枚数を示す情報を格納している。ここで、製品ウェーハ枚数を示す情報とは、通常、数値（例えば、４０）であるが、数値に対応する記号などでも良い。つまり、製品ウェーハ枚数を示す情報と製品ウェーハ枚数とは、同意義である。製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、入力受付部１１０１が受け付けた数値である。また、製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、図示しない手段により、自動的に取得した情報でも良い。製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色の違いを画像処理により検知し、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。通常、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色は異なる。また、製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハに記載されたＩＤを画像処理により読み取り、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。その他、自動的に製品ウェーハ枚数を取得する手段は問わない。製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００４３】
処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、ウェーハに対する所定のプロセスを行う。処理部１１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４４】
測定部１１０６は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力などを測定し、チャート化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有する。元情報は、測定部１１０６が温度等の値を測定していた際に処理していたレシピを識別するレシピ識別子と、測定した値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することはさらに好適である。測定部１１０６は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の測定された値を有しても良い。測定部１１０６は、1以上の温度センサや1以上の流量センサなどのセンサ等で実現され得る。
【００４５】
元情報蓄積部１１０７は、測定部１１０６が取得した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。元情報蓄積部１１０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。元情報蓄積部１１０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。また、上記の図示しない記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４６】
元情報送信部１１０８は、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報を、サーバ装置１２に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値、時刻情報、製品ウェーハ枚数を有する。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、さらに加えて、製造装置１１を識別する製造装置識別子や、レシピを識別するレシピ識別子を有することが好適である。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、ダミーのウェーハ枚数を含む総ウェーハ枚数などを有しても良い。つまり、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報と、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、その構造や構成が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製品ウェーハ枚数または／および一つの製造装置識別子または／および一つのレシピ識別子を有する構成でも良い。元情報送信部１１０８は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。なお、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、製品ウェーハ枚数格納部１１０４からウェーハ枚数を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、レシピ格納部１１０２や製造装置識別子格納部１１０３から、それぞれレシピ識別子や製造装置識別子を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部１１０８は、測定された値（例えば、ガス流量）を、１秒ごとにサンプリングしたまとめたデータ（例えば、１０個をまとめたデータ）を一度に送信しても良い。元情報送信部１１０８が送信するデータの単位やデータ構造等は問わない。また、送信する元情報を構成する処理は、元情報送信部１１０８ではなく、元情報蓄積部１１０７が行っても良い。測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値と時刻情報の組の情報、および製品ウェーハ枚数や製造装置識別子やレシピ識別子の送信するタイミングなども問わない。
【００４７】
測定情報格納部１２０１は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報（例えば、温度や圧力）についての時系列の情報であり、製造装置１１で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である。また、複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と製造装置１１を識別する装置識別子と時刻情報を有する情報であっても良い。さらに、複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数とレシピ識別子と時刻情報を有する情報であっても良い。測定情報は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して、測定情報取得部１２０３が所定の演算を行い、取得された情報でも良いし、元情報と同じ情報でも良い。測定情報格納部１２０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格納部１２０１の測定情報は、測定情報蓄積部１２０４が蓄積した情報でも良いし、製造装置１１から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体から読み出した情報でも良い。
【００４８】
元情報受信部１２０２は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製造装置１１から受信する。元情報受信部１２０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４９】
測定情報取得部１２０３は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報取得部１２０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報取得部１２０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５０】
測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。なお、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報を、測定情報格納部１２０１に配置する場合は、測定情報蓄積部１２０４が行う蓄積処理はＮＯＰと同意義となる。測定情報蓄積部１２０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部１２０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５１】
指示受付部１２０５は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置１３から受信するが、サーバ装置１２に接続されているキーボードやマウス等から受け付けても良い。指示受付部１２０５が受け付ける指示は、例えば、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示や、製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示などである。なお、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示における製品ウェーハ枚数は、製品ウェーハ枚数の範囲（２０〜４０など）でも良いし、製品ウェーハ枚数（４０など）を示す情報だけでも良い。出力指示は、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、またはＭＤチャートなど）の情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ（温度や、ガス流量や、圧力などの測定情報）を含んでも良い。また、出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点の色、点の種類（形状）、線の色、線種などである。さらに、出力指示がレシピ識別子を含む場合、通常、当該レシピ識別子は、複数の装置の同一の識別子を有する複数のレシピを示すものである。指示受付部１２０５は、例えば、無線または有線の受信手段からなる。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受付部１２０５は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５２】
出力情報構成部１２０６は、異常検知部１２１０の判断結果に応じた出力情報を構成する。例えば、出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を異常検知部１２１０が測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した複数の測定情報から、出力情報構成部１２０６は、チャートを構成する。その際、出力情報構成部１２０６は、異常な測定情報と正常な測定情報とを視覚的に区別して出力情報を構成することが好適である。ここで、出力情報とは、例えば、異常である測定情報に関する測定部名と時刻のリスト情報である。また、出力情報とは、例えば、当該リスト情報から構成されたチャートの情報である。出力情報とは、例えば、正常である旨、異常である旨である。出力情報とは、例えば、正常／異常のどちらかを示す音情報（ブザーなど）である。また、出力情報構成部１２０６は、異常の検知のために、異常値、正常値の範囲を示したチャートを構成する処理を行っても良い。かかる場合、異常検知部１２１０が、出力指示に合致する測定情報を読み込むが、異常検知の処理を行うか否かは問わない。出力情報構成部１２０６は、出力指示に二以上の装置識別子が含まれる場合、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成することは好適である。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示に二以上のレシピ識別子が含まれる場合、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成することは好適である。ここで、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上の装置識別子を含む場合、装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）で出力されているチャートや、装置識別子ごとの測定情報が異なる線の色で連結されているチャートなどである。また、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つの装置識別子のみを含む場合、当該一の装置識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上のレシピ識別子を含む場合、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）や、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる線の種類（実線と破線など）で連結されているチャートなどである。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該一のレシピ識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、出力情報構成部１２０６は、読み出された複数の測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャート（単変量異常検知チャート）を構成しても良い。ＳＰＣチャートは、単変量を監視して異常検知を行うためのチャートである。ＳＰＣチャートにおいて、監視対象の上下限値（管理値）を設定（条件情報格納部１２０９が予め保持）しておき、管理値外の値となった場合、異常検知部１２１０が異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好適である。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示が一以上の装置識別子を含む場合、当該一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャート（２変量異常検知チャート）を構成しても良い。相関チャートは、２変量の相関関係を監視するチャートである。また、出力情報構成部１２０６は、出力指示が一以上のレシピ識別子を含む場合、当該一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成しても良い。チャートの構成は、例えば、時間軸にしたがって、複数の測定情報を線で連結し、チャートを得る処理である。値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、チャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、ＳＰＣチャートや、相関チャートや、ＭＤチャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、二種類の測定情報とは、一の測定情報の中に、二種類の測定された値（例えば、温度とガス流量）を含む情報も含む。また、三種類以上の測定情報とは、一の測定情報の中に、三種類以上の測定された値（例えば、温度とガス流量と圧力）を含む情報も含む。出力情報構成部１２０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力情報構成部１２０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５３】
出力部１２０７は、出力情報構成部１２０６が構成したチャートを出力する。ここで、出力とは、通常、クライアント装置１３への送信である。ただし、出力部１２０７は、サーバ装置１２に接続されているディスプレイにチャートを表示したり、プリンタへ印字したり、外部の装置へ送信したりしても良い。出力部は１２０７、無線または有線の通信手段で実現され得る。ただし、出力部は１２０７、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。
【００５４】
出力指示蓄積部１２０８は、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有するなどの指示である出力指示を蓄積する。出力指示蓄積部１２０８は、例えば、指示受付部１２０５がチャートの設定（色情報を含む）を蓄積する指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。また、出力指示蓄積部１２０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力指示蓄積部１２０８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５５】
条件情報格納部１２０９は、異常検知の条件に関する情報である条件情報を格納している。条件情報は、例えば、測定値の正常範囲を示す上限値と下限値である。条件情報は、例えば、正常値と異常値の間の上限値のみでも良い。その他、条件情報は、測定の対象の値（温度、圧力、ガス流量など）によって、異なる。また、条件情報の構造は問わない。条件情報格納部１２０９は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００５６】
異常検知部１２１０は、測定情報格納部１２０１の測定情報が有する測定値が異常であるか、正常であるかを判断する。異常検知部１２１０は、条件情報格納部１２０９の条件情報を用いて、測定情報が有する測定値が異常であるか、正常であるかを判断する。さらに具体的には、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含むウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部１２１０は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否かを判断する。異常検知部１２１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異常検知部１２１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、異常検知部１２１０における異常検知処理は、公知の異常検知の処理でも良い。
【００５７】
指示入力部１３０１は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、チャートの出力指示や、チャートの属性値（線種や線の色や点の種類や点の色など）の変更の指示などである。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部１３０１は、テンキーやキーボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５８】
指示送付部１３０２は、指示入力部１３０１から入力された指示をサーバ装置１２に送付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部１３０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５９】
受付部１３０３は、サーバ装置１２からチャートの情報を受け付ける。ここでの受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。受付部１３０３は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００６０】
表示部１３０４は、受付部１３０３が受け付けたチャートの情報をディスプレイに表示する。表示部１３０４は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。表示部１３０４は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
【００６１】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置１１の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。
【００６２】
（ステップＳ４０１）処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出す。
【００６３】
（ステップＳ４０２）処理部１１０５は、カウンタｉに１を代入する。
【００６４】
（ステップＳ４０３）処理部１１０５は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピ中に、ｉ番目の処理ステップが存在するか否かを判断する。ｉ番目の処理ステップが存在すればステップＳ４０４に行き、ｉ番目の処理ステップが存在しなければステップＳ４０９に行く。
【００６５】
（ステップＳ４０４）処理部１１０５は、ｉ番目のステップの処理を実行する。
【００６６】
（ステップＳ４０５）測定部１１０６は、予め決められた１種以上の測定（例えば、温度と圧力）を行い、元情報（ここでの元情報は、通常、１種以上の値のみ有する）を取得する。
【００６７】
（ステップＳ４０６）測定部１１０６は、図示しない時計から時刻情報を取得し、測定した情報に時刻情報を付与して、元情報を構成する。
【００６８】
（ステップＳ４０７）元情報蓄積部１１０７は、ステップＳ４０６で構成した元情報を、図示しないメモリに一時蓄積する。
【００６９】
（ステップＳ４０８）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４０７で一時蓄積した元情報（ここでは、１種以上の値と時刻情報の組）をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００７０】
（ステップＳ４０９）処理部１１０５は、カウンタｉを１、インクリメントし、ステップＳ４０３に戻る。
【００７１】
（ステップＳ４１０）元情報送信部１１０８は、製品ウェーハ枚数格納部１１０４から、製品ウェーハ枚数を読み出す。
【００７２】
（ステップＳ４１１）元情報送信部１１０８は、レシピ格納部１１０２から、レシピ識別子を読み出す。このレシピ識別子は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピのレシピ識別子である。
【００７３】
（ステップＳ４１２）元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３から、製造装置識別子を読み出す。
【００７４】
（ステップＳ４１３）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４１０からステップＳ４１２で読み出した製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００７５】
なお、図４のフローチャートにおいて、送信する元情報が有する１種以上の値と時刻情報の複数の組と、製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子を一緒にサーバ装置１２に送信しても良い。
【００７６】
次に、サーバ装置１２の動作について図５のフローチャートを用いて説明する。
【００７７】
（ステップＳ５０１）指示受付部１２０５は、指示を受け付けたか否かを判断する。指示を受け付ければステップＳ５０２に行き、指示を受け付けなければステップＳ５０８に行く。
【００７８】
（ステップＳ５０２）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０１で受け付けた指示がチャートの出力指示であるか否かを判断する。チャートの出力指示であればステップＳ５０３に行き、チャートの出力指示でなければステップＳ５０１に戻る。
【００７９】
（ステップＳ５０３）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が有する製品ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数の範囲でも良い）、または製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子、または製品ウェーハ枚数と一以上のレシピ識別子、または製品ウェーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を取得する。なお、ステップＳ５０１で受け付けた指示が、総ウェーハ枚数など他の属性値を含む場合、異常検知部１２１０は、かかる他の属性値も取得する。
【００８０】
（ステップＳ５０４）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０３で取得した製品ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数の範囲でも良い）等をキーとして、測定情報格納部１２０１を検索し、１以上の測定情報を取得する。なお、測定情報は、少なくとも値（温度やガス流量の値など）と時刻情報と製品ウェーハ枚数を有する。また、一以上の装置識別子をキーとして検索する、とは、一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得することである。また、一以上のレシピ識別子をキーとして検索する、とは、一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得することである。
【００８１】
（ステップＳ５０５）異常検知部１２１０は、ステップＳ５０４で取得した1以上の測定情報が有する各測定値が異常であるか、正常であるか否かを判断する。異常検知部１２１０は、条件情報を用いて、各測定値が異常であるか、正常であるか否かを判断する。
【００８２】
（ステップＳ５０６）出力情報構成部１２０６は、ステップＳ５０４で取得した測定情報から、受け付けた出力指示に従ったチャートなどの出力情報を構成する。なお、出力情報がチャートである場合、チャートの線の属性値（線の色や線種や点の色や点の種類など）は、指示された属性値や、デフォルトの属性値等であり、出力情報構成部１２０６は、かかる属性値を用いて、チャートを構成する。構成するチャートは、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート、または／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートである。また、構成するチャートは、出力指示が有するチャートの種類の情報（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）に従ったチャートである。また、出力情報構成部１２０６は、ステップＳ５０５における異常検知処理の結果に応じた出力情報を構成する。「異常検知処理の結果に応じた出力情報」とは、異常な測定情報か、正常な測定情報かを明示する態様の出力情報でも良いし、異常と正常の閾値を明示したチャート等でも良い。
【００８３】
（ステップＳ５０７）出力部１２０７は、ステップＳ５０５で構成した出力情報を出力する。ここで、出力とは、クライアント装置１３への送信である。ステップＳ５０１に戻る。
【００８４】
（ステップＳ５０８）元情報受信部１２０２は、１種類以上の値と時刻情報の組を製造装置１１から受信したか否かを判断する。１種類以上の値と時刻情報の組を受信すればステップＳ５０９に行き、１種類以上の値と時刻情報の組を受信しなければステップＳ５１０に行く。
【００８５】
（ステップＳ５０９）元情報受信部１２０２は、ステップＳ５０８で受信した１種類以上の値と時刻情報の組を、図示しないメモリに追記する。ステップＳ５０１に戻る。
【００８６】
（ステップＳ５１０）元情報受信部１２０２は、製品ウェーハ枚数等の属性値を製造装置１１から受信したか否かを判断する。製品ウェーハ枚数等の属性値を受信すればステップＳ５１１に行き、製品ウェーハ枚数等の属性値を受信しなければステップＳ５０１に戻る。製品ウェーハ枚数等の属性値とは、例えば、製品ウェーハ枚数と装置識別子とレシピ識別子である。
【００８７】
（ステップＳ５１１）元情報受信部１２０２は、メモリに追記した１種類以上の値と時刻情報の複数の組に対して、ステップＳ５１０で受信した製品ウェーハ枚数等の属性値を付加し、元情報を構成する。ここで、複数の元情報が構成される。また、製品ウェーハ枚数等の属性値は、１種類以上の値と時刻情報の複数の組に対して一つ付与されていても良いし、１種類以上の値と時刻情報の各組に対して一つの属性値が付与されていても良い。つまり、元情報のデータ構造は問わない。
【００８８】
（ステップＳ５１２）測定情報取得部１２０３は、ステップＳ５１１で構成した複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得する。複数の元情報に対して所定の演算を行うとは、複数の元情報が有する複数の組が有する１種類以上の値それぞれに対して所定の演算（平均値算出、標準偏差算出、最大値取得など）を行うことである。また、所定の演算の対象となる複数の元情報とは、所定時間間隔（例えば、１０分）ごとの複数の元情報ごとであってり、所定のステップ数ごとの複数の元情報ごとである。
【００８９】
（ステップＳ５１３）測定情報蓄積部１２０４は、ステップＳ５１２で取得した1以上の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。ステップＳ５０１に戻る。
【００９０】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００９１】
また、図５のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かかる場合、ステップＳ５１２において、元情報を読み出す処理を行う。
【００９２】
また、図５のフローチャートにおいて、チャートの出力指示を受け付ける前に、測定情報が蓄積されている、とする。
【００９３】
また、図５のフローチャートにおいて、元情報を蓄積しておいて、チャートなどの出力情報の出力を行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得し、当該1以上の測定情報を用いて出力情報を構成し、出力しても良い。つまり、測定情報を構成するタイミングは問わない。
【００９４】
さらに、図５のフローチャートにおいて、ユーザが、製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を入力することにより、リアルタイムに異常検知が開始され、元情報を受信する度に、出力情報（チャートなど）を更新しながら異常検知処理を行い、異常が起こればすぐにユーザに知らせるようにすることは好適である。つまり、図５のフローチャートにおいて、以下の処理を行うことはさらに好適である。つまり、元情報受信部１２０２は、製造装置１１から元情報を次々と、リアルタイム（製造装置１１での製造中）に受信し、測定情報取得部１２０３は、元情報から測定情報を次々と構成し、測定情報蓄積部１２０４は、測定情報格納部１２０１に測定情報を少なくとも一時的に配置し、異常検知部１２１０は、次々に構成される測定情報から異常の検知処理を行い、出力情報構成部１２０６は、出力情報を更新し、出力部１２０７は、更新された出力情報を次々に出力する。かかる処理により、リアルタイムに異常検知がなされ、ユーザは異常の発生を直ちに認識できる。
【００９５】
次に、クライアント装置１３の動作について説明する。クライアント装置１３の指示入力受付部１３０１がユーザからチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部１３０２は、当該出力指示をサーバ装置１２に送付し、サーバ装置１２での処理結果であるチャートの情報を受付部１３０３が受け付け、表示部１３０４がチャートを表示する。
【００９６】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。
【００９７】
本具体例において、複数の製造装置１１の入力受付部１１０１が、ユーザからのウェーハの製造の開始指示を受け付けると、処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、読み出したレシピを実行し、ウェーハの製造処理を進める。そして、測定部１１０６は、ウェーハの製造処理中、例えば、1秒ごとに、予め決められた炉内のガス流量を測定し、取得したガス流量と、図示しない時計から取得した時刻情報を対にして、元情報送信部１１０８は、例えば、1秒ごとにサーバ装置１２に送信する。この送信する元情報の例は、図６である。元情報は、ガス流量、時刻情報を有する。なお、時刻情報は、時刻を示す情報であり、時・分・秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。
【００９８】
また、レシピのすべてのステップの実行が完了した段階で、製造装置１１の元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３の製造装置識別子、レシピ格納部１１０２のレシピ識別子（被処理基板に対する所定のプロセスを行う際に実行したレシピの識別子）、および製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数を読み出し、サーバ装置１２に送信する。
【００９９】
次に、サーバ装置１２の元情報受信部１２０２は、例えば、1秒ごとに、順次、ガス流量と時刻情報の組の情報を受信し、一時蓄積する。そして、製造装置識別子、レシピ識別子、および製品ウェーハ枚数を受信する。そして、元情報受信部１２０２は、ガス流量と時刻情報の複数の組、製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子を有する元情報を一時的にメモリに記録する。かかる元情報の例を図７に示す。図７は、元情報管理表である。元情報管理表は、「製造装置識別子」「レシピ識別子」「製品ウェーハ枚数」「値（ガス流量）」「時刻情報」を有する。図７において、一の製造装置識別子、レシピ識別子、製品ウェーハ枚数に対して、複数の値（ここでは、１種類）と時刻情報が対応するデータ構造である。また、図７において、複数の製造装置１１、および複数のレシピの実行に対する元情報が管理されている。
【０１００】
次に、測定情報取得部１２０３は、同一の製造装置識別子、レシピ識別子、および製品ウェーハ枚数ごとに、複数の元情報を取得し、当該複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。ここでは、所定の演算は、平均値の算出であり、測定情報取得部１２０３は、1時間おきに平均値を算出する、とする。そして、測定情報取得部１２０３は、図７の元情報管理表から、図８に示す測定情報管理表を得た、とする。
【０１０１】
次に、測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した図８の測定情報管理表を測定情報格納部１２０１に蓄積する。
【０１０２】
以上の処理を繰り返し、測定情報格納部１２０１には、例えば、膨大なデータ量の測定情報が格納されている、とする。
【０１０３】
また、条件情報格納部１２０９には、炉内のガス流量の正常／異常を判断する条件情報「３００＜＝ガス流量＜＝３５０」を格納している、とする。
【０１０４】
かかる状況において、ユーザは、クライアント装置１３から、図９に示す画面に対して、必要な情報を入力し、「チャート出力」ボタンを押下する、とする。図９は、チャートの出力指示を入力し、チャートを出力するための画面である。ここで、必要な情報とは、データタイプ（測定情報のデータの種類であり、例えば、ガス流量や温度や圧力などがある）、ウェーハ枚数の情報、製造装置識別子、レシピ識別子のうちの1以上の情報である。通常、データタイプは必要である。また、図９の画面に対して、データタイプ、ウェーハ枚数の情報のみの入力でも良い。さらに、図９の画面に対して、データタイプ、製造装置識別子のみの入力でも、データタイプ、レシピ識別子のみの入力でも良い。図９において、データタイプ「ガス流量」、製品ウェーハ枚数「３５〜４０」、製造装置識別子「Ｅ１」、レシピ識別子「Ｒ１」「Ｒ５」が入力されていることとなる。製品ウェーハ枚数は、「製品のみ」のトグルが選択されていることにより認識される。したがって、かかる状況で、ユーザが「チャート出力」ボタンを押下すれば、指示入力部１３０１は、「ガス流量」の測定情報（例えば、図８に示す情報）のうち、「３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４０」かつ「製造装置識別子＝Ｅ１」かつ「レシピ識別子＝Ｒ１、またはＲ５」の条件に合致する測定情報を出力する出力指示を受け付ける。なお、かかる出力指示の例は、例えば、「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４０ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」である。
【０１０５】
次に、指示送付部１３０２は、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」をサーバ装置１２に送信する。
【０１０６】
そして、サーバ装置１２の指示受付部１２０５は、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」を受信する。
【０１０７】
次に、サーバ装置１２の異常検知部１２１０は、測定情報格納部１２０１に格納されている測定情報から、出力指示「チャート出力 データタイプ＝"ガス流量" ａｎｄ ３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」に合致する測定情報を検索し、取得する。具体的には、異常検知部１２１０は、図８の測定情報管理表から、「３５＜＝製品ウェーハ枚数＜＝４ ａｎｄ 製造装置識別子＝"Ｅ１" ａｎｄ レシピ識別子＝"Ｒ１"ｏｒ"Ｒ２"」に合致するレコードを検索する。そして、異常検知部１２１０は、図１０の情報を得る。
【０１０８】
次に、異常検知部１２１０は、条件情報格納部１２０９から条件情報「３００＜＝ガス流量＜＝３５０」を読み出し、当該条件情報を用いて、図１０の測定情報の異常を検知する。図１０の情報「平均値」のすべてが、３００未満であるので、異常値である、と判断される。
【０１０９】
次に、出力情報構成部１２０６は、図１０の情報と、異常検知部１２１０の判断結果を用いて、出力情報であるチャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値（ガス流量の平均値）である折れ線グラフである。
【０１１０】
次に、出力部１２０７は、出力情報構成部１２０６が構成した折れ線グラフをクライアント装置１３に送信する。
【０１１１】
次に、クライアント装置１３の受付部１３０３は当該折れ線グラフを受信し、表示部１３０４は、図１１に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。図１１において、正常範囲を網掛けで示している。
【０１１２】
以上の処理により、ユーザは、所望の製品ウェーハ枚数を含む条件で測定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知ることができ、製造装置の異常の検出に極めて有効である。具体的には、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合があり、かかる状況に対応するため、所望の製品ウェーハ枚数を含む条件で測定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知り、異常の検出を精度高く行なえる。なお、図１１の折れ線グラフにおいて、製品ウェーハ枚数が３５から４０と多い場合に、ガスの流量が正常範囲より少なくなり（例えば、３００が正常な状態の下限値であるとする。）、不良が発生する可能性が高い、と判断できる、とする。
【０１１３】
また、図９において、ユーザが、ウェーハ枚数の「すべて」を選択した場合、ダミーウェーハと製品ウェーハ枚数からなる全ウェーハ枚数を含む条件で、測定情報を検索することとなる。かかる場合、測定情報は、全ウェーハ枚数の属性値を含むこととなる。
【０１１４】
また、図９において、ユーザは、ウェーハ枚数（製品ウェーハ枚数、または全ウェーハ枚数）、１以上の製造装置識別子、１以上のレシピ識別子を含む条件をいかように指定しても良い。つまり、ユーザは、製品ウェーハ枚数のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上の製造装置識別子のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上のレシピ識別子のみを指定してチャート出力を得ても良いし、製品ウェーハ枚数と１以上の製造装置識別子と１以上のレシピ識別子を指定してチャート出力を得ても良い。かかる場合も、チャートを出力するまでの処理は、上述した処理と同様である。また、図９において、指定したウェーハ枚数は、範囲を有する情報であった（ＦｒｏｍとＴｏのＢＯＸの両方がチェックされている）が、一の値のみの指定でも良いことは言うまでもない。
【０１１５】
以上、本実施の形態によれば、製品ウェーハ枚数を用いて、測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。その結果、精度の高い異常の検知ができる。具体的には、製品ウェーハには配線が接続されており、ダミーのウェーハには配線が接続されていないのが通常であるが、例えば、製品ウェーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合がある。本実施の形態によれば、かかる状況に対応した異常の検知が可能となるチャートの出力ができる。さらに具体的には、例えば、ダミーのウェーハ枚数を含めない製品ウェーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行うため、測定情報のばらつきを小さいくでき、そのため、異常の判断の閾値を狭く設定でき、その結果精度の高い異常の検知ができる。
【０１１６】
なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１２に示すように、出力指示（ＳＰＣチャートを出力する指示）に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートであっても良い。なお、図１２に示すＳＰＣチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＳＰＣチャートである。また、図１２に示すＳＰＣチャートにおいて、管理値（上限）、および管理値（下限）が出力されている。この管理値の外の値となった場合、異常であることを示している。管理値（上限）、および管理値（下限）は、条件情報格納部１２０９が予め保持している。
【０１１７】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１３に示すように、出力指示（相関チャートを出力する指示）に合致する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報（例えば、温度と圧力など）の相関を示すチャートである相関チャートであっても良い。なお、図１３に示す相関チャートは、例えば、一つの装置識別子の、二種類の測定情報から構成されている相関チャートである。また、図１３に示す相関チャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１８】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１４に示すように、出力指示（ＭＤチャートを出力する指示）が含む一以上の装置識別子のいずれか、または／および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報（例えば、２箇所の温度とガス流量と圧力）の相関を示すチャートであるＭＤチャートであっても良い。なお、図１４に示すＭＤチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＭＤチャートである。また、図１４に示すＭＤチャートは、例えば、マハラノビスの距離を用いて異常判定しているチャートである。さらに具体的には、図１４に示すＭＤチャートは、正常時のデータをモデル化し、マハラノビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、図１４に示すＭＤチャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１９】
また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の装置識別子または一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の折れ線グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図１５に示すように、出力指示が含む３つの装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットした３つのチャートであっても良い。かかる場合、出力指示は、例えば、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」の３つの装置識別子を含む。そして、異常検知部１２１０は、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」をそれぞれキーとして、３度、測定情報格納部１２０１を検索し、３度、測定情報を取得し、それぞれのキーごとに、出力情報構成部１２０６は、異なる点や線の属性値のチャートを別個に構成し、３つのチャートを得る。そして、３つのチャートが出力される。
【０１２０】
本実施の形態において、上記のように３つ以上のチャート（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）の表示形態を自由に選択できるので、全数検査の結果に応じた、状況分析が可能となる。
【０１２１】
また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置１２が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段により製造装置１１から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置１２に渡される。
【０１２２】
また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて（測定情報の時間間隔やステップの間隔を変えて）チャート出力することは好適である。
【０１２３】
また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合、測定情報取得部や測定情報蓄積部は不要となる。
【０１２４】
また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信することは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ装置に与えられても良い。
【０１２５】
また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置１３を有さなくても良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置１２に対して、出力指示などの指示を入力する。
【０１２６】
また、本実施の形態の具体例において、装置識別子またはレシピ識別子を指定してチャートを出力したが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を指定してチャートを出力しても良い。ユーザが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を含む出力指定を入力した場合、異常検知部１２１０は、指定された１以上の各装置識別子および１以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとして測定情報（または元情報）を検索し、異常を検知し、出力情報構成部１２０６は、チャートを構成する。
【０１２７】
また、本実施の形態において、指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、リアルタイムに異常検知処理を行い、元情報を受信する毎に出力情報（チャートなど）を更新することは、極めて好適である。異常の発生がユーザに直ちに分かるからである。なお、かかるリアルタイムの異常検知は、以下の処理である。つまり、異常検知部は、測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、条件情報に合致するか否かを直ちに判断し、出力情報構成部は、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、出力部は、出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する。
【０１２８】
さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと、前記異常検知ステップの判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成ステップと、前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１２９】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断するプログラム、であることは好適である。
【０１３０】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断するプログラム、であることは好適である。
【０１３１】
また、上記プログラムにおいて、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断プログラム、であることは好適である。
【０１３２】
また、上記プログラムは、コンピュータに、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラム、であっても良い。
【０１３３】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成することは好適である。
【０１３４】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成することは好適である。
【０１３５】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成することは好適である。
【０１３６】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成することは好適である。
【０１３７】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成することは好適である。
【０１３８】
また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステップで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成することは好適である。
【０１３９】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１４０】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信するステップや、情報を受信するステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０１４１】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１４２】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（元情報受信部や出力部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０１４３】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１４４】
以上のように、本発明にかかるサーバ装置は、製品ウェーハ枚数をキーとして、測定された情報をフィルタリングできる、という効果を有し、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備する群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図を示す図
【図２】同半導体ウェーハ製造装置の例を示す図
【図３】同群管理システムのブロック図
【図４】同製造装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同サーバ装置の動作について説明するフローチャート
【図６】同元情報の例を示す図
【図７】同元情報管理表を示す図
【図８】同測定情報管理表を示す図
【図９】同クライアント装置の出力指示の入力画面の例を示す図
【図１０】同異常検知部が取得したチャートの元になる情報の例を示す図
【図１１】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１２】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１３】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１４】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１５】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【符号の説明】
【０１４６】
１１ 製造装置
１２ サーバ装置
１３ クライアント装置
１１０１ 入力受付部
１１０２ レシピ格納部
１１０３ 製造装置識別子格納部
１１０４ 製品ウェーハ枚数格納部
１１０５ 処理部
１１０６ 測定部
１１０７ 元情報蓄積部
１１０８ 元情報送信部
１２０１ 測定情報格納部
１２０２ 元情報受信部
１２０３ 測定情報取得部
１２０４ 測定情報蓄積部
１２０５ 指示受付部
１２０６ 出力情報構成部
１２０７ 出力部
１２０８ 出力指示蓄積部
１２０９ 条件情報格納部
１２１０ 異常検知部
１３０１ 指示入力部
１３０１ 指示入力受付部
１３０２ 指示送付部
１３０３ 受付部
１３０４ 表示部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、
測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件情報格納部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、
前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、
前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置。
【請求項２】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、
前記異常検知部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、
前記異常検知部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備する請求項１から請求項３いずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、
前記異常検知部は、
前記測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する請求項４記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１２】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、格納している条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと、
前記異常検知ステップにおける判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報ステップと、
前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項１３】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、
前記異常検知ステップにおいて、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１２記載のプログラム。
【請求項１４】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、
前記異常検知ステップにおいて、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１２記載のプログラム。
【請求項１５】
コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるための請求項１２から請求項１４いずれか記載のプログラム。
【請求項１６】
前記指示受付ステップにおいて出力指示を受け付けたことをトリガーとして、
前記異常検知ステップにおいて、
前記測定情報取得ステップで次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、
前記出力情報構成ステップにおいて、
前記異常検知ステップでの判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、
前記出力ステップにおいて、
前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を更新しながら出力する請求項１５記載のプログラム。
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、
測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件情報格納部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、
前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、
前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置。
【請求項２】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、
前記異常検知部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、
前記異常検知部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備する請求項１から請求項３いずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、
前記異常検知部は、
前記測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する請求項４記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する請求項１、請求項２、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＳＰＣチャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記出力情報構成部は、
前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成したＭＤチャートを出力する請求項１、請求項３、請求項４または請求項５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１２】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のウェーハ枚数である製品ウェーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
製品ウェーハ枚数に関する条件である製品ウェーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、格納している条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと、
前記異常検知ステップにおける判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報ステップと、
前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項１３】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、
前記異常検知ステップにおいて、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１２記載のプログラム。
【請求項１４】
前記測定情報は、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、
前記出力情報の出力指示は、
製品ウェーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、
前記異常検知ステップにおいて、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項１２記載のプログラム。
【請求項１５】
コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるための請求項１２から請求項１４いずれか記載のプログラム。
【請求項１６】
前記指示受付ステップにおいて出力指示を受け付けたことをトリガーとして、
前記異常検知ステップにおいて、
前記測定情報取得ステップで次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致するか否かを判断し、
前記出力情報構成ステップにおいて、
前記異常検知ステップでの判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、
前記出力ステップにおいて、
前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を更新しながら出力する請求項１５記載のプログラム。
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１５】
【図２】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１５】
【図２】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００７−３０５６３３（Ｐ２００７−３０５６３３Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２２日（２００７．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１２９７２９（Ｐ２００６−１２９７２９）
【出願日】平成１８年５月９日（２００６．５．９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月２２日（２００７．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月９日（２００６．５．９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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