レジスト用重合体、レジスト組成物、および、パターン形成方法
【課題】感度、解像度及びドライエッチング耐性といったレジスト性能、有機溶媒に対する溶解性に優れ、ラインエッジラフネスが少ないレジスト組成物用樹脂を提供する。
【解決手段】下記式（７）等で表される構成単位を１種以上含む（共）重合体。
【解決手段】下記式（７）等で表される構成単位を１種以上含む（共）重合体。
Notice: Undefined index: DEJ in /mnt/www/gzt_disp.php on line 298
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（７）で表される構成単位１種以上と、下記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上とを含む重合体。
【化１】
［式（７）中、Ｒ６、Ｒ７は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ６とＲ７とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。但し、式（７）は下記式（６）である場合を除く。
【化２】
（式（６）中、Ｒ１は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ２は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１とＲ２とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）］
【化３】
（式（８）中、Ｒ８は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ９は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化４】
（式（９）中、Ｒ１０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１１は水素原子、親水性官能基、親水性官能基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、親水性官能基を有する炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、親水性官能基を有する炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基、橋かけ環式炭化水素基および親水性官能基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化５】
（式（１０）中、Ｒ１２、Ｒ１３は、それぞれ、水素原子、メチル基またはエチル基を示し、ｑは１〜４の整数を示す。）
【請求項２】
下記式（１１）で表される構成単位１種以上を含む重合体。
【化６】
（式（１１）中、Ｗ１は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｋ−（ｋは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ２は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｌ−（ｌは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ３は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｍ−（ｍは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ１４は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１５は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ１６は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１５とＲ１６とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項３】
下記式（１２）で表される構成単位１種以上を含む重合体。
【化７】
（式（１２）中、Ｗ４は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｎ−（ｎは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｒ１７は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１８、Ｒ１９は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１８とＲ１９とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項４】
下記式（１３）で表される構成単位１種以上と、下記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上とを含む重合体。
【化８】
（式（１３）中、Ｗ５は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｘ−（ｘは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ６は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｙ−（ｙは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ７は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｚ−（ｚは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ２０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ２１、Ｒ２２は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ２１とＲ２２とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化９】
（式（８）中、Ｒ８は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ９は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１０】
（式（９）中、Ｒ１０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１１は水素原子、親水性官能基、親水性官能基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、親水性官能基を有する炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、親水性官能基を有する炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基、橋かけ環式炭化水素基および親水性官能基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１１】
（式（１０）中、Ｒ１２、Ｒ１３は、それぞれ、水素原子、メチル基またはエチル基を示し、ｑは１〜４の整数を示す。）
【請求項５】
前記式（１３）で表される構成単位が、下記式（１１）または（１２）で表される構成単位である請求項４に記載の重合体。
【化１２】
（式（１１）中、Ｗ１は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｋ−（ｋは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ２は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｌ−（ｌは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ３は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｍ−（ｍは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ１４は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１５は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ１６は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１５とＲ１６とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１３】
（式（１２）中、Ｗ４は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｎ−（ｎは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｒ１７は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１８、Ｒ１９は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１８とＲ１９とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項６】
質量平均分子量が１，０００〜１００，０００である請求項１〜５のいずれかに記載の重合体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の重合体１種以上と、上記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上とを含有する重合体混合物。
【請求項８】
請求項１に記載される式（７）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上を含有するレジスト組成物。
【請求項９】
請求項４に記載される式（１３）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上を含有するレジスト組成物。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載の重合体１種以上、または、請求項７に記載の重合体混合物を含有するレジスト組成物。
【請求項１１】
さらに、光酸発生剤を含有する請求項１０に記載のレジスト組成物。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれかに記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、２５０ｎｍ以下の波長の光または電子線で露光する工程と、現像を行う工程とを含むパターン形成方法。
【請求項１３】
前記露光する工程と、現像液を用いて現像する工程との間に、加熱処理工程をさらに含む請求項１２に記載のパターン形成方法。
【請求項１４】
露光に用いる光が、ＡｒＦエキシマーレーザーである請求項１２または１３に記載のパターン形成方法。
【請求項１】
下記式（７）で表される構成単位１種以上と、下記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上とを含む重合体。
【化１】
［式（７）中、Ｒ６、Ｒ７は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ６とＲ７とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。但し、式（７）は下記式（６）である場合を除く。
【化２】
（式（６）中、Ｒ１は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ２は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１とＲ２とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）］
【化３】
（式（８）中、Ｒ８は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ９は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化４】
（式（９）中、Ｒ１０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１１は水素原子、親水性官能基、親水性官能基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、親水性官能基を有する炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、親水性官能基を有する炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基、橋かけ環式炭化水素基および親水性官能基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化５】
（式（１０）中、Ｒ１２、Ｒ１３は、それぞれ、水素原子、メチル基またはエチル基を示し、ｑは１〜４の整数を示す。）
【請求項２】
下記式（１１）で表される構成単位１種以上を含む重合体。
【化６】
（式（１１）中、Ｗ１は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｋ−（ｋは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ２は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｌ−（ｌは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ３は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｍ−（ｍは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ１４は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１５は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ１６は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１５とＲ１６とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項３】
下記式（１２）で表される構成単位１種以上を含む重合体。
【化７】
（式（１２）中、Ｗ４は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｎ−（ｎは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｒ１７は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１８、Ｒ１９は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１８とＲ１９とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項４】
下記式（１３）で表される構成単位１種以上と、下記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上とを含む重合体。
【化８】
（式（１３）中、Ｗ５は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｘ−（ｘは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ６は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｙ−（ｙは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ７は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｚ−（ｚは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ２０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ２１、Ｒ２２は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ２１とＲ２２とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化９】
（式（８）中、Ｒ８は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ９は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１０】
（式（９）中、Ｒ１０は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１１は水素原子、親水性官能基、親水性官能基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、親水性官能基を有する炭素数４〜８の環式炭化水素基、または、親水性官能基を有する炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記アルキル基、環式炭化水素基、橋かけ環式炭化水素基および親水性官能基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１１】
（式（１０）中、Ｒ１２、Ｒ１３は、それぞれ、水素原子、メチル基またはエチル基を示し、ｑは１〜４の整数を示す。）
【請求項５】
前記式（１３）で表される構成単位が、下記式（１１）または（１２）で表される構成単位である請求項４に記載の重合体。
【化１２】
（式（１１）中、Ｗ１は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｋ−（ｋは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｗ２は直接結合または炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｌ−（ｌは０〜３の整数を表す）］を示し、Ｗ３は炭素数１〜３のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｍ−（ｍは１〜３の整数を表す）］を示し、Ｒ１４は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１５は炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示し、Ｒ１６は水素原子、または、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１５とＲ１６とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の橋かけ環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。前記炭素数１〜３のメチレン鎖は、中にカルボニル基を有していてもよい。また、前記アルキル基および橋かけ環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【化１３】
（式（１２）中、Ｗ４は直接結合または炭素数１〜６のメチレン鎖［−（ＣＨ２）ｎ−（ｎは０〜６の整数を表す）］を示し、Ｒ１７は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ１８、Ｒ１９は、それぞれ、水素原子、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、炭素数４〜１６の環式炭化水素基、または、置換基として炭素数４〜１６の環式炭化水素基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基を示すか、あるいは、Ｒ１８とＲ１９とはそれらが結合している炭素原子とともに炭素数４〜１６の環式炭化水素基を示す。
ここで、前記炭素数１〜６のメチレン鎖は、置換基として、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基を有していてもよく、中に一つ以上のエーテル結合を有していてもよい。また、前記アルキル基および環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数２〜６のアシル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、および、炭素数１〜６のアルコールでエステル化されたカルボキシ基からなる群より選ばれる少なくとも一つの置換基を有していてもよい。）
【請求項６】
質量平均分子量が１，０００〜１００，０００である請求項１〜５のいずれかに記載の重合体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の重合体１種以上と、上記式（８）、（９）または（１０）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上とを含有する重合体混合物。
【請求項８】
請求項１に記載される式（７）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上を含有するレジスト組成物。
【請求項９】
請求項４に記載される式（１３）で表される構成単位１種以上を含む重合体１種以上を含有するレジスト組成物。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載の重合体１種以上、または、請求項７に記載の重合体混合物を含有するレジスト組成物。
【請求項１１】
さらに、光酸発生剤を含有する請求項１０に記載のレジスト組成物。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれかに記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、２５０ｎｍ以下の波長の光または電子線で露光する工程と、現像を行う工程とを含むパターン形成方法。
【請求項１３】
前記露光する工程と、現像液を用いて現像する工程との間に、加熱処理工程をさらに含む請求項１２に記載のパターン形成方法。
【請求項１４】
露光に用いる光が、ＡｒＦエキシマーレーザーである請求項１２または１３に記載のパターン形成方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１０−７７４４０（Ｐ２０１０−７７４４０Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２５７９１１（Ｐ２００９−２５７９１１）
【出願日】平成２１年１１月１１日（２００９．１１．１１）
【分割の表示】特願２００３−５３８１５３（Ｐ２００３−５３８１５３）の分割
【原出願日】平成１４年１０月２２日（２００２．１０．２２）
【出願人】（０００００６０３５）三菱レイヨン株式会社 (2,875)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月１１日（２００９．１１．１１）
【分割の表示】特願２００３−５３８１５３（Ｐ２００３−５３８１５３）の分割
【原出願日】平成１４年１０月２２日（２００２．１０．２２）
【出願人】（０００００６０３５）三菱レイヨン株式会社 (2,875)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]