保護テープ剥離装置
【課題】 保護テープをウェハからの剥ぎ取りを、人が指で行うように近い形にすることにより、剥離力によるウェハの破損を防止することができる。
【解決手段】 接着状態にある剥離テープＴと保護テープＰは、位置Ａ１において折り畳まれるようにして折り返し、ウェハＷ側に密着する状態になる。即ち、剥離テープＴのうち、保護テープＰと接着している部分の近傍で下流側（剥離テープＴの搬送方向下流側）に位置する部分が、ウェハＷの表面側に折り返し、折り返された部分がウエア表面側に密着するように押圧されている。そして、上記の状態においては、保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆく。
【解決手段】 接着状態にある剥離テープＴと保護テープＰは、位置Ａ１において折り畳まれるようにして折り返し、ウェハＷ側に密着する状態になる。即ち、剥離テープＴのうち、保護テープＰと接着している部分の近傍で下流側（剥離テープＴの搬送方向下流側）に位置する部分が、ウェハＷの表面側に折り返し、折り返された部分がウエア表面側に密着するように押圧されている。そして、上記の状態においては、保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆく。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウェハ（以下ウェハと略称する）の表面を保護するために、その表面に貼着された保護テープを、剥離テープを利用して剥ぎ取る保護テープ剥離装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、パターン形成処理の済んだウェハの裏面を研磨（バックグラインド）する際には、予めウェハ表面に保護テープを貼り付ける。保護テープを貼り付ける際は、ウェハより幅広の保護テープをウェハ表面に貼り付けた後、ウェハ外周からはみ出している部分をウェハ外周縁に沿って切り抜取るようにする。表面全体が保護テープで保護されたウェハは、その表面側から吸盤で吸着保持して研磨処理が行われるようになっている。その後、不要になった保護テープは、ウェハ表面から剥ぎ取られることになる。
【０００３】
この保護テープを剥ぎ取る方法としては、剥離テープを利用する方法がある。この方法は、ウェハの表面に貼り付けられている保護テープの上に、強い粘着力を有する剥離テープを貼り付け、ウェハ上を転動しながら移動する剥離ローラによって剥離テープを巻き取ることにより、保護テープをウェハから剥ぎ取るものである。
【０００４】
しかしながら、剥離テープが剥離ローラによって略垂直方向に巻き取られるため、ウェハの表面と保護テープとの剥離点における剥離力は、ウェハに対して略直交する方向に作用することになる。このため、薄くて脆弱なウェハには、剥離力が直接作用し、折損が発生する虞がある。
【０００５】
そこで、この問題を解消したものとして、特許文献１に開示された保護テープ剥離装置がある。この保護テープ剥離装置は、図１３に示すように、支持台１０１に支持されたウェハＷの表面に貼着された保護テープＰの上に剥離テープＴを貼り付け、この剥離テープＴの表面にエッジ部材１００を接触させながら保護テープＰに沿って走行させ、エッジ部材１００の先端部で剥離テープＴを９０°以上の大きい角度で折り返して剥離させることで、保護テープＰを剥離テープＴと一体にウェハ表面から剥ぎ取るものである。このように、エッジ部材１００の先端部で剥離テープＴに傾斜角θを持たせて折り返し、このエッジ部材１００を利用して保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取るようになっているため、ウェハＷの表面と保護テープとの剥離点における剥離力がこの傾斜角θ方向に傾き、ウェハＷの破損防止を図るようにしている。
【０００６】
ところが、前述した保護テープ剥離装置では、エッジ部材１００の先端が先鋭なエッジで形成されているため、剥離テープＴにより保護テープＰを剥離する際に、ウェハＷの表面を傷つける可能性がある。
さらに、剥離力が傾斜角θ方向に傾けられることにより、ウェハに対して略直交する方向に作用する剥離力は低減されるものの、完全には無くならないでの、ウェハＷの破損防止を確実に行うことができない。
【特許文献１】特開２００２−１２４４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、ウェハに損傷を与えることなく表面に貼着された保護テープを確実に剥ぎ取ることができる保護テープ剥離装置及びテープ剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した課題を解決するために、本発明が提供する保護テープ剥離装置は、ウェハの表面に貼着された保護テープを剥離テープに貼り付け、前記剥離テープを引っ張ることにより、前記保護テープを前記ウェハから剥ぎ取る保護テープ剥離装置において、前記剥離テープが巻回され、前記剥離テープを送り出す送出ドラムと、前記送出ドラムから送り出された剥離テープを下流側で巻き取る巻取ドラムと、前記送出ドラムと前記巻取ドラムの間のテープ搬送路に位置し、前記剥離テープを前記保護テープに貼り付ける貼付手段と、前記剥離テープのうち、前記保護テープと接着している部分の近傍で下流側に位置する部分を、前記ウェハの表面側に折り返し、折り返された部分が前記ウエア表面側に密着するように、前記剥離テープを前記ウェハ側に押圧する押圧手段と、前記貼付手段による接着位置を順次ずらせてゆくとともに、前記巻取ドラムを回転させて前記剥離テープを下流側へ引っ張る移動剥離手段とを具備することを特徴としている。
【０００９】
上記構成において、前記移動剥離手段は、前記ウェハを移動させることにより前記接着位置をずらせてゆくウェハ移動手段を有することが望ましい。
【００１０】
上記構成において、前記押圧手段は、予め定められた軌道に沿って移動する複数のローラから構成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、ウェハに損傷を与えることなく表面に貼着された保護テープを確実に剥ぎ取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明における実施形態について図面を参照して説明する。
＜実施形態＞
本発明の実施形態に係る保護テープ剥離装置１０について、図１乃至図１１を参照しつつ説明する。
【００１３】
（１）保護テープ剥離装置１０の構成
図１は本実施形態による保護テープ剥離装置１０の概略図、図２は保護テープ剥離装置１０の機能ブロック図を示している。この保護テープ剥離装置１０は、ウェハ搬送ユニット２０及びテープ剥離ユニット３０を具備しており、このユニット２０，３０は、図示しない同一の基台にそれぞれ備えられている。この保護テープ剥離装置１０は、ウェハＷの表面に貼着された保護テープＰを剥離テープＴにより剥ぎ取る装置である。
【００１４】
（１−１）ウェハ搬送ユニット２０
ウェハ搬送ユニット２０は、ウェハＷを吸着する移動ステージ２１と、基台に固定され、この移動ステージ２１を図面水平方向に移動させる移動アクチュエータ２５及び移動機構２６とを有する。移動ステージ２１には、ウェハＷが載置される凹部２１Ａと、この凹部２１Ａの底部に穿設された複数個の吸引孔２１Ｂ，２１Ｂ，…とが形成されている。吸引孔２１Ｂには、途中に電磁弁２２Ｂが接続された配管２２Ａを介して吸引ポンプ２２に接続されている。電磁弁２２Ｂはコントローラ５０からの信号を受けて吸気／停止／排気に切り換えられる３位置からなる。そして、凹部２１ＡにウェハＷを載置された状態で、コントローラ５０からの制御信号を受けて吸引ポンプ２２が起動され、電磁弁２２Ｂを吸気位置にすることにより、この吸引孔２１Ｂの開口部側に吸引力が発生し、この吸引力を受けたウェハＷが移動ステージ２１に固定される。
【００１５】
また、移動アクチュエータ２５には、配管（図示せず）を介して圧気源（例えば、エアポンプ）が接続され、配管の途中には電磁切換弁が設けられている。この電磁切換弁はコントローラ５０からの信号を受けて移動アクチュエータ２５へのエアの供給／停止を行う。移動アクチュエータ２５は、その可変部が移動機構２６を介して移動ステージ２１に連結されており、可変部の移動に伴って移動ステージ２１を矢示ａ方向に往復動させる。これにより、移動ステージ２１上のウェハＷがテープ剥離ユニット３０に対し矢示ａ方向に移動することになる。
【００１６】
（１−２）保護テープ剥離ユニット３０
保護テープ剥離ユニット３０は、剥離テープＴの一方が巻回された供給ドラム３１と、剥離テープＴの他方が巻き取られる巻取ドラム３２とを備えている。巻取ドラム３２の軸は巻取アクチュエータ３２Ａ（モータ）の軸に連結されている。巻取アクチュエータ３２Ａの軸は、モータによって回転し、この回転は巻取ドラム３２を矢示ｂ´方向に回動させ、剥離テープＴを巻き取るようになる。
剥離テープＴは、供給ドラム３１側から順に配設された送出ローラ４１，４２、貼付ローラ４３、巻上ドラム５１、テープ保持ローラ５２および送受ローラ５３によって所定位置で折り返しながら案内されて巻取ドラム３２に到達する。これらのローラ４１〜４３，５２，５３は、軸に対して回転自在に取り付けられている。巻上ドラム５１は図示しない巻上アクチュエータ５１Ａによって剥離テープＴの巻き上げ／送り出しが行われるようになっている。
また、テープ保持ローラ５２は、エアによって駆動される揺動アクチュエータ５２Ｂによってアーム５２Ａを介して矢示ｇ方向に揺動される。テープ保持ローラ５２は、半時計方向に揺動された場合には巻上ドラム５１との間に剥離テープＴを挟んで保持することになる。
【００１７】
また、送出ローラ４１，４２の間にはテンショナーローラ４４が配置されている。このテンショナーローラ４４は、送出ローラ４１の軸を回動中心として矢示ｃ方向に揺動するアーム４４Ａの先端に回転自在に取り付けられている。テンショナーローラ４４は、エアによって駆動される揺動アクチュエータ４４Ｂによってアーム４４Ａを介して揺動されて剥離テープＴに押し付けられる。揺動アクチュエータ４４Ｂは、時計方向に回動するときにのみ作動し、半時計方向には図示しないスプリングにより所定の付勢力を発生させている。これにより、アーム４４Ａが半時計方向に回動した場合には、テンショナーローラ４４が所定の付勢力でテープＴに対して張力を発生させることになる。
【００１８】
貼付ローラ４３は往復動アクチュエータ４３Ａによって矢示ｄ方向に略直線的に移動させられるもので、後述する部分貼着行程時に剥離テープＴをウェハＷ側に押し付けることにより、剥離テープＴを保護テープＰに貼り付ける。また、貼付ローラ４３には角調ローラ４５が配置され、このローラ４５は、貼付ローラ４３の軸を回動中心として矢示e方向に揺動するアーム４５Ａの先端に回転自在に取り付けられている。アーム４５Ａは、エアによって駆動される揺動アクチュエータ４５Ｂによって揺動され、剥離テープＴにより保護テープＰを剥ぎ取る際の開き角度（折曲部の開き角度）を調整するものである。
押圧ローラ４６は、往復動アクチュエータ４６Ａによって矢示ｆ方向に移動させられるもので、後述する折曲部形成工程及び保護テープ剥ぎ取り行程時に剥離テープＴをウェハＷ側に押し付ける。
【００１９】
保護テープ剥離装置１０には、吸引ポンプ２２、移動アクチュエータ２５、アクチュエータ３２Ａ，４３Ａ，４４Ｂ，４５Ｂ，４６Ａを制御するためのコントローラ５０が設けられている。このコントローラ５０は、各種センサ５４からの信号を受けてアクチュエータをそれぞれ駆動するための制御信号を出力する。コントローラ５０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）（いずれも図示せず）を具備しており、ＣＰＵはＲＯＭから読出した制御プログラムを実行することにより、後述する処理を行う。ＲＡＭは、ＣＰＵが各種制御プログラムを実行する際のワークエリアとして用いられる。また、コントローラ５０は、電気的な制御信号を出力するため、アクチュエータとエアポンプ（吸引ポンプ）とを接続する配管の途中に設けられた電磁切換弁を電気制御することによって、アクチュエータの動作を制御するようになっている。
【００２０】
（２）保護テープ剥離装置１０の動作
次に、図３〜図１０を参照しつつ、保護テープ剥離装置１０による保護テープＰの剥離動作について説明する。なお、図３〜図１０では、便宜上ウェハ搬送ユニット２０の図示は省略し、ウェハＷのみを図示している。図３〜図９は、各行程におけるローラ等の状態を示した図であり、図１０は剥離テープＴに折曲部Ｂを形成してから剥離テープＴにより保護テープＰを剥ぎ取る状態を拡大して示した図である。また、ウェハＷの矢示ａ方向への位置を規定するために、貼付ローラ４３をウェハＷ側に降ろした線を位置Ａ０とし、押圧ローラ４６をウェハＷ側に降ろした線を位置Ａ１とする。
【００２１】
（ａ）ウェハ固定工程
図３は、ウェハ搬送装置（図示せず）で搬送されたウェハＷを移動ステージ２１に吸着固定する工程を示している。この工程では、剥離テープＴは、図示の如く、送出ローラ４１，４２、貼付ローラ４３、巻上ドラム５１、テープ保持ローラ５２および送受ローラ５３により引き回されている。この状態では、ウェハＷの保護テープＰには、剥離テープＴは貼り付けられていない。この工程において、ウェハＷの一端が位置Ａ０に位置する。
【００２２】
（ｂ）部分貼付行程
図４及び図５は、ウェハＷの一端側に剥離テープＴを部分貼付する行程を示している。この行程では、図４に示すように、コントローラ５０は、往復動アクチュエータ４３Ａを駆動させて貼付ローラ４３を矢示ｄ方向の下側に移動させる。これにより、貼付ローラ４３は、剥離テープＴをウェハＷ側に押し付けられることになる。この際、巻上ドラム５１を送り出し状態にすることにより、剥離テープＴが若干引き戻される。
図５及び図１０（ａ）に示すように、貼付ローラ４３をウェハＷに押し付けた状態のまま、移動ステージ２１を矢示ａ方向に位置Ａ１までウェハＷを若干移動させる。ウェハＷの移動に伴い、位置Ａ０からＡ１に移動した部分の保護テープＰがウェハＷに貼着したまま剥離テープＴに貼り付けられる。
【００２３】
（ｃ）折曲部形成行程
図６は、剥離テープＴに折曲部Ｂを形成する行程を示している。この行程では、コントローラ５０は、往復動アクチュエータ４３Ａを駆動させて貼付ローラ４３を矢示ｄ方向の上側に移動させると共に、往復動アクチュエータ４６Ａを駆動させて押圧ローラ４６を矢示ｆ方向の下側に移動させる。これにより、貼付ローラ４３による剥離テープＴのウェハＷ側への押し付けを解除し、押圧ローラ４６で剥離テープＴの折り返し部分を上側から押し付けて折曲部Ｂを形成する（図１０（ｂ）、参照）。さらに、コントローラ５０は、揺動アクチュエータ４５Ｂを駆動させてアーム４５Ａを矢示ｅの時計方向に回動させて角調ローラ４５が剥離テープＴを案内する。図６の場合には、剥離テープＴが保護テープＰに貼着されている部分と貼着されていない部分とを合わせるようになるため、折曲部Ｂの開き角度は殆ど零度となる。
【００２４】
（ｄ）保護テープ剥ぎ取り行程
図７は、剥離テープＴによる保護テープを剥ぎ取る行程を示している。この行程では、コントローラ５０は、ウェハＷの他端が位置Ａ１になるところまで移動ステージ２１を移動させると共に、巻上アクチュエータ５１Ａにより巻上ドラム５１を回転させて剥離テープＴを巻き上げる。この際、移動ステージ２１による移動速度と巻上ドラム５１による剥離テープＴの巻上速度とを同じ速度にする。これにより、図１０（ｃ）〜図１０（ｅ）に示すように、接着状態にある剥離テープＴと保護テープＰは、位置Ａ１において折り畳まれるようにして折り返し、ウェハＷ側で密着する。
剥離テープＴのうち、保護テープＰが接着している部分の近傍で下流側（剥離テープＴの搬送方向下流側）に位置する部分が、ウェハＷの表面側に折り返えされ、この折り返された部分がウエア表面側に密着するように押圧ローラ４６により押圧されている。そして、上記の状態においては、保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆく。
【００２５】
そして、図７に示すように、移動ステージ２１の移動によりウェハＷの他端が位置Ａ１に至ると、ウェハＷに貼着された保護テープＰは剥離テープＴによって完全に剥がされる。
さらに、コントローラ５０は、保護テープ剥離工程の途中段階で、テンショナーローラ４４を矢示ｃの半時計方向に付勢力させることにより、剥離テープＴに張力を発生させている。
【００２６】
この処理動作は、図１１に示すように、人が指で保護テープＰを剥がすときと同様に、押圧ローラ４６を指のように機能させることができる。図１１のイメージは、指Ｆが、保護テープＰに貼り付けた剥離テープＴを折り曲げ、この折曲部をウェハＷ側に押し付けつつ平面方向にスライドさせて剥離テープＴを剥ぎ取っていく。これにより、剥離力はほぼウェハＷの平面方向に作用してウェハＷの破損を防止しつつ保護テープを剥離テープに貼り付け、保護テープＴをウェハＷから確実に剥ぎ取る。そして、本実施形態においては、図１１に示す剥離工程と同様の原理により、ウェハＷに加わる剥離力はウェハＷの平面に略平行な方向に作用することになり、ウェハＷを破損することなく保護テープＰを確実に剥ぎ取ることが可能となる。
また、折り返し後の剥離テープＴの角度は、押圧ローラ４６の半径Ｒに依存している。即ち、図１３に示すように、折り返し後の剥離テープＴは、円周上の各点において押圧ローラ４６（半径Ｒ）の接線方向（折曲部Ｂの開き角度θ１，θ２）に引っ張られることになる。これにより、従来、保護テープをウェハから剥ぎ取るときに発生していたウェハに鉛直方向に働く剥離力を低減でき、ウェハＷの破損を防止しつつ保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取ることができる。
【００２７】
（ｅ）剥離テープ準備行程
図８及び図９は、剥離テープ準備工程を示している。この工程では、保護テープＰが剥ぎ取られたウェハＷをウェハ搬送装置で搬送すると共に、コントローラ５０は、巻取ドラム３２による剥離テープＴの巻き取りを続行させたまま、往復動アクチュエータ４６Ａを駆動させて押圧ローラ４６を矢示ｆ方向の上側に移動させ、揺動アクチュエータ４４Ｂを駆動させて角調ローラ４５を矢示ｅの半時計方向に移動させる。これにより、図８に示すように、押圧ローラ４６とウェハＷとの間に挟まれた折曲部Ｂが解放されて、折曲部Ｂ付近の剥離テープＴがテンショナーローラ４４によって予め加えられた張力により引っ張られ、送出ローラ４１，４２間に位置した剥離テープＴがテンショナーローラ４４の付勢力に抗して「へ」の字状に折れ曲がり、貼付ローラ４３に剥離テープＴが掛けられる。テンショナーローラ４４が、剥離テープＴが張ったことを検知するまで、巻上ドラム５１で剥離テープＴを巻き上げ、検知されたらテンショナーローラ４４を矢示ｃの時計方向に回動させて元の位置に戻す。
このように、保護テープ剥離装置１０は、以上の処理を順次繰り返すことにより、ウェハＷに貼着された保護テープＰを剥離テープＴに貼り付けて、保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取るようになる。
【００２８】
（３）実施形態の効果
本実施形態による保護テープ剥離装置１０では、剥離テープＴに折曲部Ｂを形成した上で、押圧ローラ４６によりこの折曲部ＢをウェハＷ側に押し付けた状態で、巻上ドラム５１及び移動ステージ２１を同一速度で動作させるようになっている。これにより、移動する剥離テープＴに対して折曲部Ｂは押圧ローラ４６とウェハＷとの間（位置Ａ１）に停まり、この移動する折曲部Ｂを起点として保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取ることになる。この際、ウェハＷは押圧ローラ４６に上側から押さえ付けられ、折曲部Ｂに位置した剥離テープＴをウェハＷ表面の保護テープＰに密着させているため、保護テープＰの剥離時に発生する剥離力は、剥離テープＴが引っ張られる方向（ウェハＷの略水平方向）に作用することになる。これにより、保護テープＰの剥離時に発生する可能性のあったウェハＷの破損を確実に防止することができる。
【００２９】
しかも、本実施形態では、部分貼着工程にて保護テープＰの一部に剥離テープＴを予め貼着しておくだけで、その後の保護テープ剥ぎ取り行程にて保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆくようになっているのに対し、従来技術では、予めウェハＷの表面に剥離テープを貼り付けた上で、保護テープＰを剥ぎ取っていた。このため、本実施形態では、従来技術に比べて、大幅な作業工数削減を図ることができる。
【００３０】
（４）変形例
前記実施形態では、各アクチュエータをエアの供給によって駆動する構成としたが、電動アクチュエータによって構成してもよいことは勿論である。
【００３１】
また、前記実施形態では、テープ剥離ユニット３０に対してウェハ搬送ユニット２０が移動する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、逆にウェハ搬送ユニット２０に対してテープ剥離ユニット３０が移動してもよい。要するに、相対移動するような構成であればよい。
【００３２】
さらに、前記実施形態では、保護テープＰの一部に剥離テープＴを予め貼着した上で、剥離テープＴを巻き上げるとことにより、位置Ａ１において保護テープＰがウェハＷから折り返されるように剥離されてゆくようになっていたが、折り返される部分で貼着テープＴに保護テープＰを順次貼り付けて剥離するようにしてもよい。
【００３３】
さらにまた、押圧ローラ４６は、ウェハＷの厚さ寸法・強度、剥離テープＴの粘着力・弾性力・保護テープＰの厚さ、粘着力等をパラメータとして、その押圧力を調整するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態にかかる保護テープ剥離装置の構成を示す図である。
【図２】同装置の機能ブロックを示す図である。
【図３】同装置によるウェハ固定工程を示す図である。
【図４】同装置による部分貼付行程を示す図である。
【図５】図５に続く部分貼付行程を示す図である。
【図６】同装置による折曲部形成行程を示す図である。
【図７】同装置による保護テープ剥ぎ取り行程を示す図である。
【図８】同装置による剥離テープ準備工程を示す図である。
【図９】図８に続く剥離テープ準備工程を示す図である。
【図１０】折曲部形成行程及び保護テープ剥ぎ取り行程の詳細を示す拡大図である。
【図１１】本発明の保護テープ剥離装置による動作をイメージした図である。
【図１２】本発明による保護テープをウェハから剥ぎ取る部分を拡大して示した図である。
【図１３】従来技術の保護テープ剥離装置による保護テープの剥ぎ取り動作を示した図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…保護テープ剥離装置、
２０…ウェハ搬送ユニット、
２１…移動ステージ
３０…テープ剥離ユニット、
３１…供給ドラム、
３２…巻取ドラム、
４３…貼付ローラ、
４４…テンショナーローラ、
４５…角調ローラ、
４６…押圧ローラ、
５１…巻上ドラム
Ｗ…ウェハ、
Ｔ…剥離テープ、
Ｐ…保護テープ。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウェハ（以下ウェハと略称する）の表面を保護するために、その表面に貼着された保護テープを、剥離テープを利用して剥ぎ取る保護テープ剥離装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、パターン形成処理の済んだウェハの裏面を研磨（バックグラインド）する際には、予めウェハ表面に保護テープを貼り付ける。保護テープを貼り付ける際は、ウェハより幅広の保護テープをウェハ表面に貼り付けた後、ウェハ外周からはみ出している部分をウェハ外周縁に沿って切り抜取るようにする。表面全体が保護テープで保護されたウェハは、その表面側から吸盤で吸着保持して研磨処理が行われるようになっている。その後、不要になった保護テープは、ウェハ表面から剥ぎ取られることになる。
【０００３】
この保護テープを剥ぎ取る方法としては、剥離テープを利用する方法がある。この方法は、ウェハの表面に貼り付けられている保護テープの上に、強い粘着力を有する剥離テープを貼り付け、ウェハ上を転動しながら移動する剥離ローラによって剥離テープを巻き取ることにより、保護テープをウェハから剥ぎ取るものである。
【０００４】
しかしながら、剥離テープが剥離ローラによって略垂直方向に巻き取られるため、ウェハの表面と保護テープとの剥離点における剥離力は、ウェハに対して略直交する方向に作用することになる。このため、薄くて脆弱なウェハには、剥離力が直接作用し、折損が発生する虞がある。
【０００５】
そこで、この問題を解消したものとして、特許文献１に開示された保護テープ剥離装置がある。この保護テープ剥離装置は、図１３に示すように、支持台１０１に支持されたウェハＷの表面に貼着された保護テープＰの上に剥離テープＴを貼り付け、この剥離テープＴの表面にエッジ部材１００を接触させながら保護テープＰに沿って走行させ、エッジ部材１００の先端部で剥離テープＴを９０°以上の大きい角度で折り返して剥離させることで、保護テープＰを剥離テープＴと一体にウェハ表面から剥ぎ取るものである。このように、エッジ部材１００の先端部で剥離テープＴに傾斜角θを持たせて折り返し、このエッジ部材１００を利用して保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取るようになっているため、ウェハＷの表面と保護テープとの剥離点における剥離力がこの傾斜角θ方向に傾き、ウェハＷの破損防止を図るようにしている。
【０００６】
ところが、前述した保護テープ剥離装置では、エッジ部材１００の先端が先鋭なエッジで形成されているため、剥離テープＴにより保護テープＰを剥離する際に、ウェハＷの表面を傷つける可能性がある。
さらに、剥離力が傾斜角θ方向に傾けられることにより、ウェハに対して略直交する方向に作用する剥離力は低減されるものの、完全には無くならないでの、ウェハＷの破損防止を確実に行うことができない。
【特許文献１】特開２００２−１２４４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、ウェハに損傷を与えることなく表面に貼着された保護テープを確実に剥ぎ取ることができる保護テープ剥離装置及びテープ剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した課題を解決するために、本発明が提供する保護テープ剥離装置は、ウェハの表面に貼着された保護テープを剥離テープに貼り付け、前記剥離テープを引っ張ることにより、前記保護テープを前記ウェハから剥ぎ取る保護テープ剥離装置において、前記剥離テープが巻回され、前記剥離テープを送り出す送出ドラムと、前記送出ドラムから送り出された剥離テープを下流側で巻き取る巻取ドラムと、前記送出ドラムと前記巻取ドラムの間のテープ搬送路に位置し、前記剥離テープを前記保護テープに貼り付ける貼付手段と、前記剥離テープのうち、前記保護テープと接着している部分の近傍で下流側に位置する部分を、前記ウェハの表面側に折り返し、折り返された部分が前記ウエア表面側に密着するように、前記剥離テープを前記ウェハ側に押圧する押圧手段と、前記貼付手段による接着位置を順次ずらせてゆくとともに、前記巻取ドラムを回転させて前記剥離テープを下流側へ引っ張る移動剥離手段とを具備することを特徴としている。
【０００９】
上記構成において、前記移動剥離手段は、前記ウェハを移動させることにより前記接着位置をずらせてゆくウェハ移動手段を有することが望ましい。
【００１０】
上記構成において、前記押圧手段は、予め定められた軌道に沿って移動する複数のローラから構成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、ウェハに損傷を与えることなく表面に貼着された保護テープを確実に剥ぎ取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明における実施形態について図面を参照して説明する。
＜実施形態＞
本発明の実施形態に係る保護テープ剥離装置１０について、図１乃至図１１を参照しつつ説明する。
【００１３】
（１）保護テープ剥離装置１０の構成
図１は本実施形態による保護テープ剥離装置１０の概略図、図２は保護テープ剥離装置１０の機能ブロック図を示している。この保護テープ剥離装置１０は、ウェハ搬送ユニット２０及びテープ剥離ユニット３０を具備しており、このユニット２０，３０は、図示しない同一の基台にそれぞれ備えられている。この保護テープ剥離装置１０は、ウェハＷの表面に貼着された保護テープＰを剥離テープＴにより剥ぎ取る装置である。
【００１４】
（１−１）ウェハ搬送ユニット２０
ウェハ搬送ユニット２０は、ウェハＷを吸着する移動ステージ２１と、基台に固定され、この移動ステージ２１を図面水平方向に移動させる移動アクチュエータ２５及び移動機構２６とを有する。移動ステージ２１には、ウェハＷが載置される凹部２１Ａと、この凹部２１Ａの底部に穿設された複数個の吸引孔２１Ｂ，２１Ｂ，…とが形成されている。吸引孔２１Ｂには、途中に電磁弁２２Ｂが接続された配管２２Ａを介して吸引ポンプ２２に接続されている。電磁弁２２Ｂはコントローラ５０からの信号を受けて吸気／停止／排気に切り換えられる３位置からなる。そして、凹部２１ＡにウェハＷを載置された状態で、コントローラ５０からの制御信号を受けて吸引ポンプ２２が起動され、電磁弁２２Ｂを吸気位置にすることにより、この吸引孔２１Ｂの開口部側に吸引力が発生し、この吸引力を受けたウェハＷが移動ステージ２１に固定される。
【００１５】
また、移動アクチュエータ２５には、配管（図示せず）を介して圧気源（例えば、エアポンプ）が接続され、配管の途中には電磁切換弁が設けられている。この電磁切換弁はコントローラ５０からの信号を受けて移動アクチュエータ２５へのエアの供給／停止を行う。移動アクチュエータ２５は、その可変部が移動機構２６を介して移動ステージ２１に連結されており、可変部の移動に伴って移動ステージ２１を矢示ａ方向に往復動させる。これにより、移動ステージ２１上のウェハＷがテープ剥離ユニット３０に対し矢示ａ方向に移動することになる。
【００１６】
（１−２）保護テープ剥離ユニット３０
保護テープ剥離ユニット３０は、剥離テープＴの一方が巻回された供給ドラム３１と、剥離テープＴの他方が巻き取られる巻取ドラム３２とを備えている。巻取ドラム３２の軸は巻取アクチュエータ３２Ａ（モータ）の軸に連結されている。巻取アクチュエータ３２Ａの軸は、モータによって回転し、この回転は巻取ドラム３２を矢示ｂ´方向に回動させ、剥離テープＴを巻き取るようになる。
剥離テープＴは、供給ドラム３１側から順に配設された送出ローラ４１，４２、貼付ローラ４３、巻上ドラム５１、テープ保持ローラ５２および送受ローラ５３によって所定位置で折り返しながら案内されて巻取ドラム３２に到達する。これらのローラ４１〜４３，５２，５３は、軸に対して回転自在に取り付けられている。巻上ドラム５１は図示しない巻上アクチュエータ５１Ａによって剥離テープＴの巻き上げ／送り出しが行われるようになっている。
また、テープ保持ローラ５２は、エアによって駆動される揺動アクチュエータ５２Ｂによってアーム５２Ａを介して矢示ｇ方向に揺動される。テープ保持ローラ５２は、半時計方向に揺動された場合には巻上ドラム５１との間に剥離テープＴを挟んで保持することになる。
【００１７】
また、送出ローラ４１，４２の間にはテンショナーローラ４４が配置されている。このテンショナーローラ４４は、送出ローラ４１の軸を回動中心として矢示ｃ方向に揺動するアーム４４Ａの先端に回転自在に取り付けられている。テンショナーローラ４４は、エアによって駆動される揺動アクチュエータ４４Ｂによってアーム４４Ａを介して揺動されて剥離テープＴに押し付けられる。揺動アクチュエータ４４Ｂは、時計方向に回動するときにのみ作動し、半時計方向には図示しないスプリングにより所定の付勢力を発生させている。これにより、アーム４４Ａが半時計方向に回動した場合には、テンショナーローラ４４が所定の付勢力でテープＴに対して張力を発生させることになる。
【００１８】
貼付ローラ４３は往復動アクチュエータ４３Ａによって矢示ｄ方向に略直線的に移動させられるもので、後述する部分貼着行程時に剥離テープＴをウェハＷ側に押し付けることにより、剥離テープＴを保護テープＰに貼り付ける。また、貼付ローラ４３には角調ローラ４５が配置され、このローラ４５は、貼付ローラ４３の軸を回動中心として矢示e方向に揺動するアーム４５Ａの先端に回転自在に取り付けられている。アーム４５Ａは、エアによって駆動される揺動アクチュエータ４５Ｂによって揺動され、剥離テープＴにより保護テープＰを剥ぎ取る際の開き角度（折曲部の開き角度）を調整するものである。
押圧ローラ４６は、往復動アクチュエータ４６Ａによって矢示ｆ方向に移動させられるもので、後述する折曲部形成工程及び保護テープ剥ぎ取り行程時に剥離テープＴをウェハＷ側に押し付ける。
【００１９】
保護テープ剥離装置１０には、吸引ポンプ２２、移動アクチュエータ２５、アクチュエータ３２Ａ，４３Ａ，４４Ｂ，４５Ｂ，４６Ａを制御するためのコントローラ５０が設けられている。このコントローラ５０は、各種センサ５４からの信号を受けてアクチュエータをそれぞれ駆動するための制御信号を出力する。コントローラ５０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）（いずれも図示せず）を具備しており、ＣＰＵはＲＯＭから読出した制御プログラムを実行することにより、後述する処理を行う。ＲＡＭは、ＣＰＵが各種制御プログラムを実行する際のワークエリアとして用いられる。また、コントローラ５０は、電気的な制御信号を出力するため、アクチュエータとエアポンプ（吸引ポンプ）とを接続する配管の途中に設けられた電磁切換弁を電気制御することによって、アクチュエータの動作を制御するようになっている。
【００２０】
（２）保護テープ剥離装置１０の動作
次に、図３〜図１０を参照しつつ、保護テープ剥離装置１０による保護テープＰの剥離動作について説明する。なお、図３〜図１０では、便宜上ウェハ搬送ユニット２０の図示は省略し、ウェハＷのみを図示している。図３〜図９は、各行程におけるローラ等の状態を示した図であり、図１０は剥離テープＴに折曲部Ｂを形成してから剥離テープＴにより保護テープＰを剥ぎ取る状態を拡大して示した図である。また、ウェハＷの矢示ａ方向への位置を規定するために、貼付ローラ４３をウェハＷ側に降ろした線を位置Ａ０とし、押圧ローラ４６をウェハＷ側に降ろした線を位置Ａ１とする。
【００２１】
（ａ）ウェハ固定工程
図３は、ウェハ搬送装置（図示せず）で搬送されたウェハＷを移動ステージ２１に吸着固定する工程を示している。この工程では、剥離テープＴは、図示の如く、送出ローラ４１，４２、貼付ローラ４３、巻上ドラム５１、テープ保持ローラ５２および送受ローラ５３により引き回されている。この状態では、ウェハＷの保護テープＰには、剥離テープＴは貼り付けられていない。この工程において、ウェハＷの一端が位置Ａ０に位置する。
【００２２】
（ｂ）部分貼付行程
図４及び図５は、ウェハＷの一端側に剥離テープＴを部分貼付する行程を示している。この行程では、図４に示すように、コントローラ５０は、往復動アクチュエータ４３Ａを駆動させて貼付ローラ４３を矢示ｄ方向の下側に移動させる。これにより、貼付ローラ４３は、剥離テープＴをウェハＷ側に押し付けられることになる。この際、巻上ドラム５１を送り出し状態にすることにより、剥離テープＴが若干引き戻される。
図５及び図１０（ａ）に示すように、貼付ローラ４３をウェハＷに押し付けた状態のまま、移動ステージ２１を矢示ａ方向に位置Ａ１までウェハＷを若干移動させる。ウェハＷの移動に伴い、位置Ａ０からＡ１に移動した部分の保護テープＰがウェハＷに貼着したまま剥離テープＴに貼り付けられる。
【００２３】
（ｃ）折曲部形成行程
図６は、剥離テープＴに折曲部Ｂを形成する行程を示している。この行程では、コントローラ５０は、往復動アクチュエータ４３Ａを駆動させて貼付ローラ４３を矢示ｄ方向の上側に移動させると共に、往復動アクチュエータ４６Ａを駆動させて押圧ローラ４６を矢示ｆ方向の下側に移動させる。これにより、貼付ローラ４３による剥離テープＴのウェハＷ側への押し付けを解除し、押圧ローラ４６で剥離テープＴの折り返し部分を上側から押し付けて折曲部Ｂを形成する（図１０（ｂ）、参照）。さらに、コントローラ５０は、揺動アクチュエータ４５Ｂを駆動させてアーム４５Ａを矢示ｅの時計方向に回動させて角調ローラ４５が剥離テープＴを案内する。図６の場合には、剥離テープＴが保護テープＰに貼着されている部分と貼着されていない部分とを合わせるようになるため、折曲部Ｂの開き角度は殆ど零度となる。
【００２４】
（ｄ）保護テープ剥ぎ取り行程
図７は、剥離テープＴによる保護テープを剥ぎ取る行程を示している。この行程では、コントローラ５０は、ウェハＷの他端が位置Ａ１になるところまで移動ステージ２１を移動させると共に、巻上アクチュエータ５１Ａにより巻上ドラム５１を回転させて剥離テープＴを巻き上げる。この際、移動ステージ２１による移動速度と巻上ドラム５１による剥離テープＴの巻上速度とを同じ速度にする。これにより、図１０（ｃ）〜図１０（ｅ）に示すように、接着状態にある剥離テープＴと保護テープＰは、位置Ａ１において折り畳まれるようにして折り返し、ウェハＷ側で密着する。
剥離テープＴのうち、保護テープＰが接着している部分の近傍で下流側（剥離テープＴの搬送方向下流側）に位置する部分が、ウェハＷの表面側に折り返えされ、この折り返された部分がウエア表面側に密着するように押圧ローラ４６により押圧されている。そして、上記の状態においては、保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆく。
【００２５】
そして、図７に示すように、移動ステージ２１の移動によりウェハＷの他端が位置Ａ１に至ると、ウェハＷに貼着された保護テープＰは剥離テープＴによって完全に剥がされる。
さらに、コントローラ５０は、保護テープ剥離工程の途中段階で、テンショナーローラ４４を矢示ｃの半時計方向に付勢力させることにより、剥離テープＴに張力を発生させている。
【００２６】
この処理動作は、図１１に示すように、人が指で保護テープＰを剥がすときと同様に、押圧ローラ４６を指のように機能させることができる。図１１のイメージは、指Ｆが、保護テープＰに貼り付けた剥離テープＴを折り曲げ、この折曲部をウェハＷ側に押し付けつつ平面方向にスライドさせて剥離テープＴを剥ぎ取っていく。これにより、剥離力はほぼウェハＷの平面方向に作用してウェハＷの破損を防止しつつ保護テープを剥離テープに貼り付け、保護テープＴをウェハＷから確実に剥ぎ取る。そして、本実施形態においては、図１１に示す剥離工程と同様の原理により、ウェハＷに加わる剥離力はウェハＷの平面に略平行な方向に作用することになり、ウェハＷを破損することなく保護テープＰを確実に剥ぎ取ることが可能となる。
また、折り返し後の剥離テープＴの角度は、押圧ローラ４６の半径Ｒに依存している。即ち、図１３に示すように、折り返し後の剥離テープＴは、円周上の各点において押圧ローラ４６（半径Ｒ）の接線方向（折曲部Ｂの開き角度θ１，θ２）に引っ張られることになる。これにより、従来、保護テープをウェハから剥ぎ取るときに発生していたウェハに鉛直方向に働く剥離力を低減でき、ウェハＷの破損を防止しつつ保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取ることができる。
【００２７】
（ｅ）剥離テープ準備行程
図８及び図９は、剥離テープ準備工程を示している。この工程では、保護テープＰが剥ぎ取られたウェハＷをウェハ搬送装置で搬送すると共に、コントローラ５０は、巻取ドラム３２による剥離テープＴの巻き取りを続行させたまま、往復動アクチュエータ４６Ａを駆動させて押圧ローラ４６を矢示ｆ方向の上側に移動させ、揺動アクチュエータ４４Ｂを駆動させて角調ローラ４５を矢示ｅの半時計方向に移動させる。これにより、図８に示すように、押圧ローラ４６とウェハＷとの間に挟まれた折曲部Ｂが解放されて、折曲部Ｂ付近の剥離テープＴがテンショナーローラ４４によって予め加えられた張力により引っ張られ、送出ローラ４１，４２間に位置した剥離テープＴがテンショナーローラ４４の付勢力に抗して「へ」の字状に折れ曲がり、貼付ローラ４３に剥離テープＴが掛けられる。テンショナーローラ４４が、剥離テープＴが張ったことを検知するまで、巻上ドラム５１で剥離テープＴを巻き上げ、検知されたらテンショナーローラ４４を矢示ｃの時計方向に回動させて元の位置に戻す。
このように、保護テープ剥離装置１０は、以上の処理を順次繰り返すことにより、ウェハＷに貼着された保護テープＰを剥離テープＴに貼り付けて、保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取るようになる。
【００２８】
（３）実施形態の効果
本実施形態による保護テープ剥離装置１０では、剥離テープＴに折曲部Ｂを形成した上で、押圧ローラ４６によりこの折曲部ＢをウェハＷ側に押し付けた状態で、巻上ドラム５１及び移動ステージ２１を同一速度で動作させるようになっている。これにより、移動する剥離テープＴに対して折曲部Ｂは押圧ローラ４６とウェハＷとの間（位置Ａ１）に停まり、この移動する折曲部Ｂを起点として保護テープＰをウェハＷから剥ぎ取ることになる。この際、ウェハＷは押圧ローラ４６に上側から押さえ付けられ、折曲部Ｂに位置した剥離テープＴをウェハＷ表面の保護テープＰに密着させているため、保護テープＰの剥離時に発生する剥離力は、剥離テープＴが引っ張られる方向（ウェハＷの略水平方向）に作用することになる。これにより、保護テープＰの剥離時に発生する可能性のあったウェハＷの破損を確実に防止することができる。
【００２９】
しかも、本実施形態では、部分貼着工程にて保護テープＰの一部に剥離テープＴを予め貼着しておくだけで、その後の保護テープ剥ぎ取り行程にて保護テープＰが位置Ａ１においてウェハＷから折り返されるように剥離されてゆくようになっているのに対し、従来技術では、予めウェハＷの表面に剥離テープを貼り付けた上で、保護テープＰを剥ぎ取っていた。このため、本実施形態では、従来技術に比べて、大幅な作業工数削減を図ることができる。
【００３０】
（４）変形例
前記実施形態では、各アクチュエータをエアの供給によって駆動する構成としたが、電動アクチュエータによって構成してもよいことは勿論である。
【００３１】
また、前記実施形態では、テープ剥離ユニット３０に対してウェハ搬送ユニット２０が移動する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、逆にウェハ搬送ユニット２０に対してテープ剥離ユニット３０が移動してもよい。要するに、相対移動するような構成であればよい。
【００３２】
さらに、前記実施形態では、保護テープＰの一部に剥離テープＴを予め貼着した上で、剥離テープＴを巻き上げるとことにより、位置Ａ１において保護テープＰがウェハＷから折り返されるように剥離されてゆくようになっていたが、折り返される部分で貼着テープＴに保護テープＰを順次貼り付けて剥離するようにしてもよい。
【００３３】
さらにまた、押圧ローラ４６は、ウェハＷの厚さ寸法・強度、剥離テープＴの粘着力・弾性力・保護テープＰの厚さ、粘着力等をパラメータとして、その押圧力を調整するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態にかかる保護テープ剥離装置の構成を示す図である。
【図２】同装置の機能ブロックを示す図である。
【図３】同装置によるウェハ固定工程を示す図である。
【図４】同装置による部分貼付行程を示す図である。
【図５】図５に続く部分貼付行程を示す図である。
【図６】同装置による折曲部形成行程を示す図である。
【図７】同装置による保護テープ剥ぎ取り行程を示す図である。
【図８】同装置による剥離テープ準備工程を示す図である。
【図９】図８に続く剥離テープ準備工程を示す図である。
【図１０】折曲部形成行程及び保護テープ剥ぎ取り行程の詳細を示す拡大図である。
【図１１】本発明の保護テープ剥離装置による動作をイメージした図である。
【図１２】本発明による保護テープをウェハから剥ぎ取る部分を拡大して示した図である。
【図１３】従来技術の保護テープ剥離装置による保護テープの剥ぎ取り動作を示した図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…保護テープ剥離装置、
２０…ウェハ搬送ユニット、
２１…移動ステージ
３０…テープ剥離ユニット、
３１…供給ドラム、
３２…巻取ドラム、
４３…貼付ローラ、
４４…テンショナーローラ、
４５…角調ローラ、
４６…押圧ローラ、
５１…巻上ドラム
Ｗ…ウェハ、
Ｔ…剥離テープ、
Ｐ…保護テープ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの表面に貼着された保護テープを剥離テープに貼り付け、前記剥離テープを引っ張ることにより、前記保護テープを前記ウェハから剥ぎ取る保護テープ剥離装置において、
前記剥離テープが巻回され、前記剥離テープを送り出す送出ドラムと、
前記送出ドラムから送り出された剥離テープを下流側で巻き取る巻取ドラムと、
前記送出ドラムと前記巻取ドラムの間のテープ搬送路に位置し、前記剥離テープを前記保護テープに貼り付ける貼付手段と、
前記剥離テープのうち、前記保護テープと接着している部分の近傍で下流側に位置する部分を、前記ウェハの表面側に折り返し、折り返された部分が前記ウエア表面側に密着するように、前記剥離テープを前記ウェハ側に押圧する押圧手段と、
前記貼付手段による接着位置を順次ずらせてゆくとともに、前記巻取ドラムを回転させて前記剥離テープを下流側へ引っ張る移動剥離手段と
を具備することを特徴とする保護テープ剥離装置。
【請求項２】
前記移動剥離手段は、前記ウェハを移動させることにより前記接着位置をずらせてゆくウェハ移動手段を有することを特徴とする請求項１記載の保護テープ剥離装置。
【請求項３】
前記押圧手段は、予め定められた軌道に沿って移動する複数のローラから構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の保護テープ剥離装置。
【請求項１】
ウェハの表面に貼着された保護テープを剥離テープに貼り付け、前記剥離テープを引っ張ることにより、前記保護テープを前記ウェハから剥ぎ取る保護テープ剥離装置において、
前記剥離テープが巻回され、前記剥離テープを送り出す送出ドラムと、
前記送出ドラムから送り出された剥離テープを下流側で巻き取る巻取ドラムと、
前記送出ドラムと前記巻取ドラムの間のテープ搬送路に位置し、前記剥離テープを前記保護テープに貼り付ける貼付手段と、
前記剥離テープのうち、前記保護テープと接着している部分の近傍で下流側に位置する部分を、前記ウェハの表面側に折り返し、折り返された部分が前記ウエア表面側に密着するように、前記剥離テープを前記ウェハ側に押圧する押圧手段と、
前記貼付手段による接着位置を順次ずらせてゆくとともに、前記巻取ドラムを回転させて前記剥離テープを下流側へ引っ張る移動剥離手段と
を具備することを特徴とする保護テープ剥離装置。
【請求項２】
前記移動剥離手段は、前記ウェハを移動させることにより前記接着位置をずらせてゆくウェハ移動手段を有することを特徴とする請求項１記載の保護テープ剥離装置。
【請求項３】
前記押圧手段は、予め定められた軌道に沿って移動する複数のローラから構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の保護テープ剥離装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００６−１２９７１（Ｐ２００６−１２９７１Ａ）
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１８５００１（Ｐ２００４−１８５００１）
【出願日】平成１６年６月２３日（２００４．６．２３）
【出願人】（３９７０４９１５８）株式会社ハーモテック (7)
【出願人】（５０４２４２３２０）アポロ電子株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年６月２３日（２００４．６．２３）
【出願人】（３９７０４９１５８）株式会社ハーモテック (7)
【出願人】（５０４２４２３２０）アポロ電子株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
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