光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材
【課題】被検出体の位置の検出精度の高い光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材を提供する。
【解決手段】センサ本体とこのセンサ本体に対向配置される反射部材６とを備えた光電センサにおいて、反射部材６の反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更可能とするブラケット１２及び遮光板１３を設けた。
【解決手段】センサ本体とこのセンサ本体に対向配置される反射部材６とを備えた光電センサにおいて、反射部材６の反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更可能とするブラケット１２及び遮光板１３を設けた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投光手段及び受光手段を備えたセンサ本体と該センサ本体に対向配置される反射部材とを備えた光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に記載されているように、投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体と該センサ本体に対向配置され投光素子から出射された光を略同軸方向に反射させて受光素子に受光させる反射部材とを備えた光電センサがある。光電センサは、センサ本体と反射部材との間に被検出体が配置されることによる受光素子の受光量の変化に基づいて該被検出体を検出する。
【０００３】
特許文献１の場合、光電センサは、カセットに多数挿入された液晶用ガラス板の飛び出しを検出するために用いられており、光電センサを構成するセンサ本体及び反射部材は、カセットにおけるガラス板の配列方向一側にその一方が、他側にその他方が互いに対向するように配置される。そして、光電センサは、カセット内に挿入されているガラス板とカセットからガラス板を取り出すために作動するロボットアームとがその作動時に接触しないように、ガラス板の突出禁止領域側への飛び出しを検出している。
【特許文献１】特開平１０−２５５６１２号公報（第１４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したように、センサ本体及び反射部材はガラス板の配列方向両側にそれぞれ配置されるため、カセットに挿入されるガラス板の枚数が増加しカセットが大きなものになるほど、センサ本体と反射部材との間の距離が増加する。そのため、センサ本体及び反射部材を設置したフレームなどの取付箇所の振動により、反射部材におけるセンサ本体（投光素子）からの光の入射位置がずれ、反射部材からの受光光量が変動してガラス板の検出が安定してできない。
【０００５】
そこで、反射部材への光の入射位置にずれが発生しても受光光量の変動が抑えられるように反射部材に入射させる光のスポット径（入射領域）を大きくすることが行われているが、反射部材に入射させる光のスポット径を大きくすると、その分だけ検出領域が大きくなってしまい、光電センサによるガラス板の位置の検出精度が低下してしまう。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体に対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される被検出体を検出する光電センサであって、前記反射部材は、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【０００８】
同構成によれば、有効領域変更手段により反射面の有効領域が設定されるため、投光手段からの入射光及び反射光が制限され、光電センサの検出領域が小さく絞られる。しかも、有効領域変更手段により反射面の有効領域を変更することができるため、センサ本体及び反射部材の相対位置が変わっても被検出体の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサを得ることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光電センサにおいて、前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更する。
同構成によれば、有効領域変更手段は反射面における有効領域の位置を変更することでその反射面の有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光電センサにおいて、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００１１】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体にカセットに挿入された板状部材の配列方向で対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される板状部材を検出する板状部材検出装置であって、前記反射部材は、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【００１３】
同構成では、センサ本体及び反射部材はカセットに挿入されたガラス板の配列方向両側に対向配置されカセットからのガラス板の飛び出しを検出する。このようにカセットからのガラス板の飛び出しを検出する場合、センサ本体及び反射部材間の距離が大きくなりがちで、取付箇所（フレームなど）の振動によりセンサ本体及び反射部材の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、大きなスポット径（入射領域）の光がセンサ本体の投光手段から出射されるように構成されている。従って、この場合、光電センサの検出領域を小さく絞り、しかも、反射面の有効領域を変更することができる有効領域変更手段は特に有効である。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の板状部材検出装置において、前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更する。
【００１５】
同構成によれば、有効領域変更手段は反射面における有効領域の位置を変更することでその反射面の有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の板状部材検出装置において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００１７】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体に対向配置されるものであり、前記投光手段から出射された光を反射させて前記受光手段にて受光させるための光電センサ用反射部材であって、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【００１９】
同構成によれば、有効領域変更手段により反射面の有効領域が設定されるため、投光手段からの入射光及び反射光が制限され、光電センサの検出領域が小さく絞られる。しかも、有効領域変更手段により反射面の有効領域を変更することができるため、センサ本体及び反射部材の相対位置が変わっても被検出体の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサを得ることができる。
【００２０】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００２１】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００２２】
請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する複数の遮光板を備え、複数の前記遮光板は、それぞれが前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００２３】
同構成によれば、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、板状部材検出装置としての光電センサ１は、多数の液晶用ガラス板２が板面方向に沿って挿入され該ガラス板２の板厚方向に配列されて収容されたカセット３の挿入口３ａ近傍に設けられ、カセット３の挿入口３ａからのガラス板２の所定量以上の飛び出しを検出するものである。カセット３の周囲にはフレーム４が設けられており、カセット３の挿入口３ａ近傍にはカセット３の挿入口３ａよりも大きな四角形状の取付枠４ａが設けられている。光電センサ１は、取付枠４ａの下枠４ｂの中央部に固定されたセンサ本体５と取付枠４ａの上枠４ｃの中央部に固定されセンサ本体５に対してガラス板２の配列方向に対向配置された反射部材６とからなる。
【００２６】
センサ本体５は、投光手段としての投光素子７と、受光手段としての受光素子８とを備えている。投光素子７には、ガラス板２の検出に好適な波長の光を出射するように構成された素子が用いられ、受光素子８には、その投光素子７の発する光の波長に対応した素子が用いられ、投光素子７からの光が受光素子８にて受光可能とされている。
【００２７】
図２及び図３に示すように、反射部材６は、リフレクタ１１と、有効領域変更手段を構成するブラケット１２と、同じく有効領域変更手段を構成する遮光板１３とを備えている。
【００２８】
リフレクタ１１は、基台１４と、反射手段としての回帰ミラー１５とを備えている。基台１４は、略長方形板状に形成され、その長手方向一側の角部に取付手段としての取付孔１４ａ（図３参照）がそれぞれ設けられている。基台１４には、略正方形状の反射面１５ａを有する回帰ミラー１５が固定されている。回帰ミラー１５の反射面１５ａは、投光素子７から出射された光を受光素子８にて受光させるべくその光と略同軸方向に反射する。
【００２９】
図３に示すように、ブラケット１２は、一枚の板材からなり、リフレクタ１１を固定するためのリフレクタ固定部１２ａを備えている。リフレクタ固定部１２ａの長手方向一側には、リフレクタ１１の取付孔１４ａと対応したリフレクタ取付孔１２ｂが設けられ、長手方向他側には、リフレクタ１１の反取付孔１４ａ側端部に当接するように直角に起立された起立部１２ｃが形成されている。リフレクタ１１及びブラケット１２は、リフレクタ１１の取付孔１４ａ及びブラケット１２のリフレクタ取付孔１２ｂにそれぞれ挿通されるネジ１４ｂによりフレーム４に締め付け固定される。
【００３０】
また、リフレクタ固定部１２ａの両側部には、長手方向に沿って延びる一対のガイド部１２ｄが形成されている。各ガイド部１２ｄは、反センサ本体５側に開口する断面略コ字状に形成され、リフレクタ固定部１２ａの両側部から直角に起立された側壁部１２ｅと該側壁部１２ｅの端縁部から外側に直角に折り曲げられる載置部１２ｆと該載置部１２ｆの端縁部から側壁部１２ｅに対向するように直角に折り曲げられた外側部１２ｇとを備えている。ガイド部１２ｄの載置部１２ｆの長手方向中間部には、内周にネジ山が形成されたネジ孔１２ｈが設けられている。
【００３１】
遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなる一枚の板材にて略長方形状に形成され、その長手方向長さがブラケット１２の同方向長さよりも長く、短手方向の長さがブラケット１２の同方向長さ（外側部１２ｇ間の長さ）と略等しい長さの被覆部１３ａを備えている。被覆部１３ａの両側部には、ブラケット１２のガイド部１２ｄの外側部１２ｇに当接する壁部１３ｂが設けられており、遮光板１３は、ガイド部１２ｄの載置部１２ｆに載置されながら各壁部１３ｂにて案内され、長手方向（ガラス板２の挿入・取出方向）に沿って位置調整可能に構成されている。
【００３２】
また、被覆部１３ａの長手方向略中央部には、短手方向に長い長方形状の開口部１３ｃが設けられている。因みに、開口部１３ｃの長手方向長さは、前記回帰ミラー１５の反射面１５ａの一辺と略等しい長さに設定され、開口部１３ｃの短手方向長さは、前記回帰ミラー１５の反射面１５ａの一辺よりも短く設定されている。また、被覆部１３ａの長手方向長さは、開口部１３ｃが反射面１５ａ上の一方の端部から他方の端部まで遮光板１３を移動させた場合に、開口部１３ｃ以外の部分が常に被覆部１３ａにより覆われるような長さに設定されている。
【００３３】
また、被覆部１３ａにおいて開口部１３ｃの両側には、該被覆部１３ａの長手方向に延びる長孔よりなる一対のスライド孔１３ｄが設けられている。各スライド孔１３ｄにはネジ１６が挿通されて前記ブラケット１２のネジ孔１２ｈに螺入され、遮光板１３がブラケット１２に固着される。また、各ネジ１６を若干緩めると、遮光板１３がブラケット１２のガイド部１２ｄに沿って移動可能（位置調整可能）となり、被覆部１３ａの開口部１３ｃが反射面１５ａ上の任意の位置に配置可能となる。つまり、反射面１５ａのうち被覆部１３ａの開口部１３ｃから露出される部分が反射面１５ａによる反射が可能な有効領域Ａ１であり、その有効領域Ａ１が任意に変更可能とされている。
【００３４】
ところで、本実施の形態の光電センサ１においても、センサ本体５と反射部材６との間の距離が大きいため、フレーム４の振動によりセンサ本体及び反射部材の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、回帰ミラー１５の反射面１５ａと同等なスポット径（入射領域Ａ２）の光がセンサ本体５の投光素子７から出射されるように構成されている。従って、遮光板１３の開口部１３ｃ、即ち反射面１５ａの有効領域Ａ１は、その短手方向長さが反射面１５ａの一辺の長さより小さいため、反射面１５ａの有効領域Ａ１に入射及び反射する投光素子７からの光が制限されることになる。また、遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなるため、遮光板１３に入射した光は拡散反射される（回帰反射されない）。従って、遮光板１３からの反射光により入射領域Ａ２を識別可能となる。
【００３５】
そして、このような構成の光電センサ１では、センサ本体５の投光素子７から光が出射された光が反射部材６の反射面１５ａの有効領域Ａ１に反射され受光素子８に受光される。この場合、ガラス板２の飛び出しが小さくセンサ本体５及び反射部材６の間の検出領域にまでガラス板２が到達していない場合には、センサ本体５における投光素子７からの光が反射部材６の有効領域Ａ１に直接入光し、反射部材６からの反射光が受光素子８に直接入光する。一方、ガラス板２の飛び出しが大きくセンサ本体５及び反射部材６の検出領域にまで飛び出すと、センサ本体５における投光素子７からの光が往路復路でガラス板２を２度通過して受光素子８に入光される。従って、ガラス板２がセンサ本体５及び反射部材６の検出領域に配置された場合では配置されていない場合と比べて受光素子８の受光量が低下するため、これによりガラス板２の飛び出しが検出される。
【００３６】
この検出時において、本実施の形態では、反射部材６の反射面１５ａ上に開口部１３ｃを有する遮光板１３を用いて有効領域Ａ１を設定し、投光素子７からの入射光及び反射光を制限しているため、光電センサ１の検出領域が小さく絞られている。そのため、ガラス板２の飛び出しが精度良く検出可能となっている。しかも、反射面１５ａ上の遮光板１３の取付位置が調整可能なため、例えばフレーム４に歪みが生じてセンサ本体５及び反射部材６の相対位置が変わりガラス板２の検出位置にズレが生じても、遮光板１３、即ち開口部１３ｃ（有効領域Ａ１）の位置を調整することで、ガラス板２の検出位置の正しい位置への補正が可能である。これにより、ガラス板２の位置の検出精度は高いものとなっている。
【００３７】
次に、上記実施の形態の作用効果を以下に記載する。
（１）ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１が設定されるため、投光素子７からの入射光及び反射光が制限され、光電センサ１の検出領域が小さく絞られる。しかも、ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更することができるため、センサ本体５及び反射部材６の相対位置が変わってもガラス板２の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、ガラス板２の位置の検出精度の高い光電センサ１を得ることができる。
【００３８】
（２）ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａにおける有効領域Ａ１の位置を変更することでその反射面１５ａの有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００３９】
（３）ブラケット１２及び遮光板１３により、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、遮光板１３のブラケット１２に対する固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００４０】
（４）センサ本体５及び反射部材６は、カセット３に挿入されたガラス板２の配列方向両側に対向配置され、光電センサ１は、カセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する。このようにカセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する場合、カセット３に挿入されたガラス板２の数に応じてセンサ本体５及び反射部材６間の距離が大きくなりがちで、フレーム４の振動によりセンサ本体５及び反射部材６の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、大きなスポット径（入射領域Ａ２）の光がセンサ本体５の投光素子７から出射されるように構成されている。従って、この場合、光電センサ１の検出領域を小さく絞り、しかも、反射面１５ａの有効領域を変更することができる有効領域変更手段としてのブラケット１２及び遮光板１３は特に有効である。
【００４１】
（５）遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなり、その遮光板１３に向けて出射された光は、拡散反射される（回帰反射されない）。よって、遮光板１３からの反射光により入射領域Ａ２を識別可能となり、センサ本体５及び反射部材６の光軸合わせが容易となる。
【００４２】
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１の位置を変更可能としたが、反射面１５ａの有効領域Ａ１の大きさや形状を変更可能としてもよい。このようにしても、検出領域の調整を容易に行うことが可能である。
【００４３】
・上記実施の形態では、ガイド部１２ｄをリフレクタ１１とは別部材のブラケット１２に設けたが、リフレクタ１１側に一体的に設けてもよい。
・上記実施の形態では、遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更する構成としたが、例えば図４に示すように、リフレクタ１１の反射面１５ａにシール部材２０を接着し反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更する構成としてもよい。なお、この場合、シール部材２０として拡散反射材を用いれば、シール部材２０に照射された光が拡散され、反射面１５ａにおける光の入射領域Ａ２を上記実施の形態よりもさらに判別し易くなる。また、図５に示すように、ブラケット３０の長手方向（反射面１５ａの面方向）に沿って位置調整可能に固定された第１遮光板３１及び第２遮光板３２とブラケット３０の短手方向（反射面１５ａの面方向）に沿って位置調整可能に固定された第３遮光板３３及び第４遮光板３４とにより反射面１５ａの有効領域Ａ３を変更する構成としてもよい。なお、この場合、反射面１５ａの有効領域Ａ３の位置、大きさ及び形状を変更することができる。
【００４４】
・上記実施の形態のリフレクタ１１の取付孔１４ａ及びブラケット１２のリフレクタ取付孔１２ｂを長孔とし、フレーム４に対するリフレクタ１１及びブラケット１２の取付位置も更に変更可能としてもよい。
【００４５】
・上記実施の形態では、光電センサ１をカセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する場合に用いたが、例えばカセットからのウェハ（半導体材料）などの飛び出しを検出する場合など、その他の用途に適用してもよい。
【００４６】
・上記実施の形態では、遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなるとしたが、例えば樹脂などからなるとしてもよい。また、遮光板１３の表面（センサ本体５に対向する面）に拡散反射材を接着してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施の形態の光電センサを示す概略構成図。
【図２】本実施の形態の反射部材の斜視図。
【図３】本実施の形態の反射部材の分解斜視図。
【図４】別例の反射部材の正面図。
【図５】他の別例の反射部材の斜視図。
【符号の説明】
【００４８】
１…板状部材検出装置としての光電センサ、２…ガラス板としての液晶用ガラス板、３…カセット、４…取付箇所としてのフレーム、５…センサ本体、６…反射部材、７…投光手段としての投光素子、８…受光手段としての受光素子、１２…有効領域変更手段を構成するブラケット、１３，３１〜３４…有効領域変更手段を構成する遮光板、１３ａ…被覆部、１３ｃ…開口部、１４ａ…取付手段としての取付孔、１５…反射手段としての回帰ミラー、１５ａ…反射面、Ａ１，Ａ３…有効領域。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投光手段及び受光手段を備えたセンサ本体と該センサ本体に対向配置される反射部材とを備えた光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に記載されているように、投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体と該センサ本体に対向配置され投光素子から出射された光を略同軸方向に反射させて受光素子に受光させる反射部材とを備えた光電センサがある。光電センサは、センサ本体と反射部材との間に被検出体が配置されることによる受光素子の受光量の変化に基づいて該被検出体を検出する。
【０００３】
特許文献１の場合、光電センサは、カセットに多数挿入された液晶用ガラス板の飛び出しを検出するために用いられており、光電センサを構成するセンサ本体及び反射部材は、カセットにおけるガラス板の配列方向一側にその一方が、他側にその他方が互いに対向するように配置される。そして、光電センサは、カセット内に挿入されているガラス板とカセットからガラス板を取り出すために作動するロボットアームとがその作動時に接触しないように、ガラス板の突出禁止領域側への飛び出しを検出している。
【特許文献１】特開平１０−２５５６１２号公報（第１４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したように、センサ本体及び反射部材はガラス板の配列方向両側にそれぞれ配置されるため、カセットに挿入されるガラス板の枚数が増加しカセットが大きなものになるほど、センサ本体と反射部材との間の距離が増加する。そのため、センサ本体及び反射部材を設置したフレームなどの取付箇所の振動により、反射部材におけるセンサ本体（投光素子）からの光の入射位置がずれ、反射部材からの受光光量が変動してガラス板の検出が安定してできない。
【０００５】
そこで、反射部材への光の入射位置にずれが発生しても受光光量の変動が抑えられるように反射部材に入射させる光のスポット径（入射領域）を大きくすることが行われているが、反射部材に入射させる光のスポット径を大きくすると、その分だけ検出領域が大きくなってしまい、光電センサによるガラス板の位置の検出精度が低下してしまう。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体に対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される被検出体を検出する光電センサであって、前記反射部材は、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【０００８】
同構成によれば、有効領域変更手段により反射面の有効領域が設定されるため、投光手段からの入射光及び反射光が制限され、光電センサの検出領域が小さく絞られる。しかも、有効領域変更手段により反射面の有効領域を変更することができるため、センサ本体及び反射部材の相対位置が変わっても被検出体の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサを得ることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光電センサにおいて、前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更する。
同構成によれば、有効領域変更手段は反射面における有効領域の位置を変更することでその反射面の有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光電センサにおいて、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００１１】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体にカセットに挿入された板状部材の配列方向で対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される板状部材を検出する板状部材検出装置であって、前記反射部材は、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【００１３】
同構成では、センサ本体及び反射部材はカセットに挿入されたガラス板の配列方向両側に対向配置されカセットからのガラス板の飛び出しを検出する。このようにカセットからのガラス板の飛び出しを検出する場合、センサ本体及び反射部材間の距離が大きくなりがちで、取付箇所（フレームなど）の振動によりセンサ本体及び反射部材の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、大きなスポット径（入射領域）の光がセンサ本体の投光手段から出射されるように構成されている。従って、この場合、光電センサの検出領域を小さく絞り、しかも、反射面の有効領域を変更することができる有効領域変更手段は特に有効である。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の板状部材検出装置において、前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更する。
【００１５】
同構成によれば、有効領域変更手段は反射面における有効領域の位置を変更することでその反射面の有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の板状部材検出装置において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００１７】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、投光手段及び受光手段を有するセンサ本体に対向配置されるものであり、前記投光手段から出射された光を反射させて前記受光手段にて受光させるための光電センサ用反射部材であって、取付箇所に取り付けるための取付手段と、前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段とを備えた。
【００１９】
同構成によれば、有効領域変更手段により反射面の有効領域が設定されるため、投光手段からの入射光及び反射光が制限され、光電センサの検出領域が小さく絞られる。しかも、有効領域変更手段により反射面の有効領域を変更することができるため、センサ本体及び反射部材の相対位置が変わっても被検出体の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサを得ることができる。
【００２０】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００２１】
同構成によれば、有効領域変更手段は、反射面よりも小さい開口部を有する遮光板が反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることにより構成されるため、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００２２】
請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する複数の遮光板を備え、複数の前記遮光板は、それぞれが前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定される。
【００２３】
同構成によれば、有効領域変更手段の固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、被検出体の位置の検出精度の高い光電センサ、板状部材検出装置及び光電センサ用反射部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、板状部材検出装置としての光電センサ１は、多数の液晶用ガラス板２が板面方向に沿って挿入され該ガラス板２の板厚方向に配列されて収容されたカセット３の挿入口３ａ近傍に設けられ、カセット３の挿入口３ａからのガラス板２の所定量以上の飛び出しを検出するものである。カセット３の周囲にはフレーム４が設けられており、カセット３の挿入口３ａ近傍にはカセット３の挿入口３ａよりも大きな四角形状の取付枠４ａが設けられている。光電センサ１は、取付枠４ａの下枠４ｂの中央部に固定されたセンサ本体５と取付枠４ａの上枠４ｃの中央部に固定されセンサ本体５に対してガラス板２の配列方向に対向配置された反射部材６とからなる。
【００２６】
センサ本体５は、投光手段としての投光素子７と、受光手段としての受光素子８とを備えている。投光素子７には、ガラス板２の検出に好適な波長の光を出射するように構成された素子が用いられ、受光素子８には、その投光素子７の発する光の波長に対応した素子が用いられ、投光素子７からの光が受光素子８にて受光可能とされている。
【００２７】
図２及び図３に示すように、反射部材６は、リフレクタ１１と、有効領域変更手段を構成するブラケット１２と、同じく有効領域変更手段を構成する遮光板１３とを備えている。
【００２８】
リフレクタ１１は、基台１４と、反射手段としての回帰ミラー１５とを備えている。基台１４は、略長方形板状に形成され、その長手方向一側の角部に取付手段としての取付孔１４ａ（図３参照）がそれぞれ設けられている。基台１４には、略正方形状の反射面１５ａを有する回帰ミラー１５が固定されている。回帰ミラー１５の反射面１５ａは、投光素子７から出射された光を受光素子８にて受光させるべくその光と略同軸方向に反射する。
【００２９】
図３に示すように、ブラケット１２は、一枚の板材からなり、リフレクタ１１を固定するためのリフレクタ固定部１２ａを備えている。リフレクタ固定部１２ａの長手方向一側には、リフレクタ１１の取付孔１４ａと対応したリフレクタ取付孔１２ｂが設けられ、長手方向他側には、リフレクタ１１の反取付孔１４ａ側端部に当接するように直角に起立された起立部１２ｃが形成されている。リフレクタ１１及びブラケット１２は、リフレクタ１１の取付孔１４ａ及びブラケット１２のリフレクタ取付孔１２ｂにそれぞれ挿通されるネジ１４ｂによりフレーム４に締め付け固定される。
【００３０】
また、リフレクタ固定部１２ａの両側部には、長手方向に沿って延びる一対のガイド部１２ｄが形成されている。各ガイド部１２ｄは、反センサ本体５側に開口する断面略コ字状に形成され、リフレクタ固定部１２ａの両側部から直角に起立された側壁部１２ｅと該側壁部１２ｅの端縁部から外側に直角に折り曲げられる載置部１２ｆと該載置部１２ｆの端縁部から側壁部１２ｅに対向するように直角に折り曲げられた外側部１２ｇとを備えている。ガイド部１２ｄの載置部１２ｆの長手方向中間部には、内周にネジ山が形成されたネジ孔１２ｈが設けられている。
【００３１】
遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなる一枚の板材にて略長方形状に形成され、その長手方向長さがブラケット１２の同方向長さよりも長く、短手方向の長さがブラケット１２の同方向長さ（外側部１２ｇ間の長さ）と略等しい長さの被覆部１３ａを備えている。被覆部１３ａの両側部には、ブラケット１２のガイド部１２ｄの外側部１２ｇに当接する壁部１３ｂが設けられており、遮光板１３は、ガイド部１２ｄの載置部１２ｆに載置されながら各壁部１３ｂにて案内され、長手方向（ガラス板２の挿入・取出方向）に沿って位置調整可能に構成されている。
【００３２】
また、被覆部１３ａの長手方向略中央部には、短手方向に長い長方形状の開口部１３ｃが設けられている。因みに、開口部１３ｃの長手方向長さは、前記回帰ミラー１５の反射面１５ａの一辺と略等しい長さに設定され、開口部１３ｃの短手方向長さは、前記回帰ミラー１５の反射面１５ａの一辺よりも短く設定されている。また、被覆部１３ａの長手方向長さは、開口部１３ｃが反射面１５ａ上の一方の端部から他方の端部まで遮光板１３を移動させた場合に、開口部１３ｃ以外の部分が常に被覆部１３ａにより覆われるような長さに設定されている。
【００３３】
また、被覆部１３ａにおいて開口部１３ｃの両側には、該被覆部１３ａの長手方向に延びる長孔よりなる一対のスライド孔１３ｄが設けられている。各スライド孔１３ｄにはネジ１６が挿通されて前記ブラケット１２のネジ孔１２ｈに螺入され、遮光板１３がブラケット１２に固着される。また、各ネジ１６を若干緩めると、遮光板１３がブラケット１２のガイド部１２ｄに沿って移動可能（位置調整可能）となり、被覆部１３ａの開口部１３ｃが反射面１５ａ上の任意の位置に配置可能となる。つまり、反射面１５ａのうち被覆部１３ａの開口部１３ｃから露出される部分が反射面１５ａによる反射が可能な有効領域Ａ１であり、その有効領域Ａ１が任意に変更可能とされている。
【００３４】
ところで、本実施の形態の光電センサ１においても、センサ本体５と反射部材６との間の距離が大きいため、フレーム４の振動によりセンサ本体及び反射部材の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、回帰ミラー１５の反射面１５ａと同等なスポット径（入射領域Ａ２）の光がセンサ本体５の投光素子７から出射されるように構成されている。従って、遮光板１３の開口部１３ｃ、即ち反射面１５ａの有効領域Ａ１は、その短手方向長さが反射面１５ａの一辺の長さより小さいため、反射面１５ａの有効領域Ａ１に入射及び反射する投光素子７からの光が制限されることになる。また、遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなるため、遮光板１３に入射した光は拡散反射される（回帰反射されない）。従って、遮光板１３からの反射光により入射領域Ａ２を識別可能となる。
【００３５】
そして、このような構成の光電センサ１では、センサ本体５の投光素子７から光が出射された光が反射部材６の反射面１５ａの有効領域Ａ１に反射され受光素子８に受光される。この場合、ガラス板２の飛び出しが小さくセンサ本体５及び反射部材６の間の検出領域にまでガラス板２が到達していない場合には、センサ本体５における投光素子７からの光が反射部材６の有効領域Ａ１に直接入光し、反射部材６からの反射光が受光素子８に直接入光する。一方、ガラス板２の飛び出しが大きくセンサ本体５及び反射部材６の検出領域にまで飛び出すと、センサ本体５における投光素子７からの光が往路復路でガラス板２を２度通過して受光素子８に入光される。従って、ガラス板２がセンサ本体５及び反射部材６の検出領域に配置された場合では配置されていない場合と比べて受光素子８の受光量が低下するため、これによりガラス板２の飛び出しが検出される。
【００３６】
この検出時において、本実施の形態では、反射部材６の反射面１５ａ上に開口部１３ｃを有する遮光板１３を用いて有効領域Ａ１を設定し、投光素子７からの入射光及び反射光を制限しているため、光電センサ１の検出領域が小さく絞られている。そのため、ガラス板２の飛び出しが精度良く検出可能となっている。しかも、反射面１５ａ上の遮光板１３の取付位置が調整可能なため、例えばフレーム４に歪みが生じてセンサ本体５及び反射部材６の相対位置が変わりガラス板２の検出位置にズレが生じても、遮光板１３、即ち開口部１３ｃ（有効領域Ａ１）の位置を調整することで、ガラス板２の検出位置の正しい位置への補正が可能である。これにより、ガラス板２の位置の検出精度は高いものとなっている。
【００３７】
次に、上記実施の形態の作用効果を以下に記載する。
（１）ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１が設定されるため、投光素子７からの入射光及び反射光が制限され、光電センサ１の検出領域が小さく絞られる。しかも、ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更することができるため、センサ本体５及び反射部材６の相対位置が変わってもガラス板２の検出位置を正しい位置に補正することができる。よって、ガラス板２の位置の検出精度の高い光電センサ１を得ることができる。
【００３８】
（２）ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａにおける有効領域Ａ１の位置を変更することでその反射面１５ａの有効領域を変更するため、検出領域の位置の調整を容易に行うことが可能である。
【００３９】
（３）ブラケット１２及び遮光板１３により、有効範囲変更手段を簡素に構成できる。また、遮光板１３のブラケット１２に対する固定位置を変更するだけで有効領域を変更することができるため、有効領域の変更が容易である。
【００４０】
（４）センサ本体５及び反射部材６は、カセット３に挿入されたガラス板２の配列方向両側に対向配置され、光電センサ１は、カセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する。このようにカセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する場合、カセット３に挿入されたガラス板２の数に応じてセンサ本体５及び反射部材６間の距離が大きくなりがちで、フレーム４の振動によりセンサ本体５及び反射部材６の相対位置がずれても受光光量の変動が抑えられるように、大きなスポット径（入射領域Ａ２）の光がセンサ本体５の投光素子７から出射されるように構成されている。従って、この場合、光電センサ１の検出領域を小さく絞り、しかも、反射面１５ａの有効領域を変更することができる有効領域変更手段としてのブラケット１２及び遮光板１３は特に有効である。
【００４１】
（５）遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなり、その遮光板１３に向けて出射された光は、拡散反射される（回帰反射されない）。よって、遮光板１３からの反射光により入射領域Ａ２を識別可能となり、センサ本体５及び反射部材６の光軸合わせが容易となる。
【００４２】
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、ブラケット１２及び遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１の位置を変更可能としたが、反射面１５ａの有効領域Ａ１の大きさや形状を変更可能としてもよい。このようにしても、検出領域の調整を容易に行うことが可能である。
【００４３】
・上記実施の形態では、ガイド部１２ｄをリフレクタ１１とは別部材のブラケット１２に設けたが、リフレクタ１１側に一体的に設けてもよい。
・上記実施の形態では、遮光板１３により反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更する構成としたが、例えば図４に示すように、リフレクタ１１の反射面１５ａにシール部材２０を接着し反射面１５ａの有効領域Ａ１を変更する構成としてもよい。なお、この場合、シール部材２０として拡散反射材を用いれば、シール部材２０に照射された光が拡散され、反射面１５ａにおける光の入射領域Ａ２を上記実施の形態よりもさらに判別し易くなる。また、図５に示すように、ブラケット３０の長手方向（反射面１５ａの面方向）に沿って位置調整可能に固定された第１遮光板３１及び第２遮光板３２とブラケット３０の短手方向（反射面１５ａの面方向）に沿って位置調整可能に固定された第３遮光板３３及び第４遮光板３４とにより反射面１５ａの有効領域Ａ３を変更する構成としてもよい。なお、この場合、反射面１５ａの有効領域Ａ３の位置、大きさ及び形状を変更することができる。
【００４４】
・上記実施の形態のリフレクタ１１の取付孔１４ａ及びブラケット１２のリフレクタ取付孔１２ｂを長孔とし、フレーム４に対するリフレクタ１１及びブラケット１２の取付位置も更に変更可能としてもよい。
【００４５】
・上記実施の形態では、光電センサ１をカセット３からのガラス板２の飛び出しを検出する場合に用いたが、例えばカセットからのウェハ（半導体材料）などの飛び出しを検出する場合など、その他の用途に適用してもよい。
【００４６】
・上記実施の形態では、遮光板１３は、ステンレス（ＳＵＳ）からなるとしたが、例えば樹脂などからなるとしてもよい。また、遮光板１３の表面（センサ本体５に対向する面）に拡散反射材を接着してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施の形態の光電センサを示す概略構成図。
【図２】本実施の形態の反射部材の斜視図。
【図３】本実施の形態の反射部材の分解斜視図。
【図４】別例の反射部材の正面図。
【図５】他の別例の反射部材の斜視図。
【符号の説明】
【００４８】
１…板状部材検出装置としての光電センサ、２…ガラス板としての液晶用ガラス板、３…カセット、４…取付箇所としてのフレーム、５…センサ本体、６…反射部材、７…投光手段としての投光素子、８…受光手段としての受光素子、１２…有効領域変更手段を構成するブラケット、１３，３１〜３４…有効領域変更手段を構成する遮光板、１３ａ…被覆部、１３ｃ…開口部、１４ａ…取付手段としての取付孔、１５…反射手段としての回帰ミラー、１５ａ…反射面、Ａ１，Ａ３…有効領域。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体に対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される被検出体を検出する光電センサであって、
前記反射部材は、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする光電センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の光電センサにおいて、
前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更することを特徴とする光電センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光電センサにおいて、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ。
【請求項４】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体にカセットに挿入された板状部材の配列方向で対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される板状部材を検出する板状部材検出装置であって、
前記反射部材は、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の板状部材検出装置において、
前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更することを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の板状部材検出装置において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項７】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体に対向配置されるものであり、前記投光手段から出射された光を反射させて前記受光手段にて受光させるための光電センサ用反射部材であって、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする光電センサ用反射部材。
【請求項８】
請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ用反射部材。
【請求項９】
請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する複数の遮光板を備え、
複数の前記遮光板は、それぞれが前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ用反射部材。
【請求項１】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体に対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される被検出体を検出する光電センサであって、
前記反射部材は、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする光電センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の光電センサにおいて、
前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更することを特徴とする光電センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光電センサにおいて、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ。
【請求項４】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体と、このセンサ本体にカセットに挿入された板状部材の配列方向で対向配置された反射部材とを備え、前記投光手段から出射された光を前記反射部材にて反射させて前記受光手段にて受光し、その受光量に基づいて前記センサ本体と前記反射部材との間に配置される板状部材を検出する板状部材検出装置であって、
前記反射部材は、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の板状部材検出装置において、
前記有効領域変更手段は、前記反射面の一部を覆い前記反射面における前記有効領域の位置を変更することを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の板状部材検出装置において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項７】
投光手段及び受光手段を有するセンサ本体に対向配置されるものであり、前記投光手段から出射された光を反射させて前記受光手段にて受光させるための光電センサ用反射部材であって、
取付箇所に取り付けるための取付手段と、
前記投光手段からの光を前記受光手段に向けて反射させるための反射面を有する反射手段と、
前記反射面の有効領域を変更可能とする有効領域変更手段と
を備えたことを特徴とする光電センサ用反射部材。
【請求項８】
請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する遮光板を備え、
前記遮光板は、前記反射面よりも小さい開口部を有し、前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ用反射部材。
【請求項９】
請求項７に記載の光電センサ用反射部材において、
前記有効領域変更手段は、前記投光手段から出射された光を遮光する複数の遮光板を備え、
複数の前記遮光板は、それぞれが前記反射面の面方向に沿って位置調整可能に固定されることを特徴とする光電センサ用反射部材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００８−５３１６０（Ｐ２００８−５３１６０Ａ）
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２３０８４６（Ｐ２００６−２３０８４６）
【出願日】平成１８年８月２８日（２００６．８．２８）
【出願人】（０００１０６２２１）サンクス株式会社 (578)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月２８日（２００６．８．２８）
【出願人】（０００１０６２２１）サンクス株式会社 (578)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]