処理装置および処理装置のメンテナンス方法
【課題】簡易な構成でメンテナンスを行なうことができる処理装置および処理装置のメンテナンス方法を提供すること。
【解決手段】ワークＷを搬送する搬送ステージ１３〜１５と、搬送ステージ１３〜１５上を移動するワークＷに所定の処理を施して検査する検査ユニット１００と、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００を収容する外装１６と、を備えたＦＰＤ検査装置１であって、外装１６に設けられた挿入孔１６ａを介して外装１６の外部から内部に延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００に対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管２０を備えた。
【解決手段】ワークＷを搬送する搬送ステージ１３〜１５と、搬送ステージ１３〜１５上を移動するワークＷに所定の処理を施して検査する検査ユニット１００と、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００を収容する外装１６と、を備えたＦＰＤ検査装置１であって、外装１６に設けられた挿入孔１６ａを介して外装１６の外部から内部に延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００に対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管２０を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関し、特にフラットパネルディスプレイ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などを検査・処理する処理装置および処理装置のメンテナンス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板を検査・処理する処理装置は、ガラス基板等の大型化に伴って大型化している。処理装置の大型化によって、処理を行う各可動部も大型化しており、作業者の安全を損なうおそれがあった。この問題に対し、作業者の安全を確保するため、処理装置は、可動部等が外装カバーによって覆われている。
【０００３】
ところで、処理装置内で障害が発生した場合または処理装置のメンテナンスを行なう場合、処理装置の内部を確認する必要が生ずる。また、場合によっては、処理装置内に作業者が入って作業を行なう必要がある。
【０００４】
上述した確認作業が可能なシステムとして、監視局の監視端末に表示された各監視カメラからの監視映像に大画面表示装置の操作ボタン等を配置し、ＧＵＩ操作によって監視端末で大画面表示装置の画面操作を行なう技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８８７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１が開示する技術によって処理装置内を監視する場合、処理装置内の監視すべき箇所にそれぞれ監視カメラを配設しなければならないため、装置にかかるコストが増大してしまうおそれがあった。また、従来の処理装置では、作業者が処理装置の内部でメンテナンスをする場合、処理装置の電源をオフする必要があるため、メンテナンス後の検査・処理の開始が遅れ、その結果、処理対象基板の検査に時間を要してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、簡易な構成でメンテナンスを行なうことができる処理装置および処理装置のメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる処理装置は、処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置であって、前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかるメンテナンス方法は、処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置に対して行なうメンテナンス方法であって、前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、複数のメンテナンス対象箇所に向けてそれぞれ配設される複数のメンテナンス管のうち、メンテナンス対象のメンテナンス管に対して、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通する挿通ステップと、前記メンテナンス管に挿通したメンテナンス手段を用いてメンテナンスを行なうメンテナンスステップと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる処理装置および処理装置のメンテナンス方法は、外装の外側から処理装置内部のメンテナンス対象箇所に向けてメンテナンス管を配設し、メンテナンス管内にメンテナンス手段を挿通して外装の外部から内部の観察および処理ができるようにしたので、簡易な構成でメンテナンスを行なうことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を模式的に示す側面図である。
【図３】図３は、図２に示すメンテナンス管内に内視鏡を挿通した場合を示す模式図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１の変形例１〜３にかかるＦＰＤ検査装置の搬送ステージを示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１の変形例１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１の変形例２にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成示す模式図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態１の変形例３にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２の変形例にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態３にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎず、従って、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。
【００１３】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる処理装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、ＦＰＤ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板（以下、ワークという）がインライン型の検査装置を例に挙げて説明する。ただし、これに限定されず、オフライン型の検査装置であってもよい。
【００１４】
図１は、本実施の形態１にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、ＦＰＤ検査装置１は、矩形をなすワークＷを搬送する搬送ステージ１３〜１５と、搬送ステージ１３〜１５上を移動するワークＷの欠陥を検出する検査ユニット１００と、を備える。なお、検査ユニット１００は、たとえばワークＷの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットには、検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、露光ユニット、測定ユニット等が含まれる。また、本発明にかかる検査装置は、ワークＷを載置するステージ（固定ステージ）上で上述した処理ユニットが基板に対して各処理を行う構成も含む。
【００１５】
ガントリステージ１０および搬送ステージ１３〜１５は、たとえば架台１１に固定される。架台１１は、たとえばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせたフレームなど、耐震性の高い部材によって構成される。加えて、架台１１と設置面（たとえば床）との間には、たとえばスプリングや油圧ダンパなどで構成された振動吸収機構１２が設けられる。これにより、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００の振動がさらに防止される。
【００１６】
搬送ステージ１３〜１５は、たとえば長方形の板（浮上プレート）がワークＷの搬送方向Ｄと垂直な方向にすのこ状に組み合わされた構造を有する。この搬送ステージ１３〜１５を搬送方向Ｄに並べることで、ワークＷの搬送経路が形成される。ワークＷの搬送方法としては、搬送ステージ１３上に搬入されたワークＷを支持して搬送ステージ１３に載置するリフトピン、搬送ステージ１３に載置されたワークＷを整列させる整列機構、搬送ステージ１３に浮上プレートを設けてワークＷをエア浮上させるとともにワークＷを保持して搬送させる吸着搬送、搬送ステージに複数のローラを設けてローラの回転により基板を搬送するローラ搬送等がある。
【００１７】
搬送ステージ１４は、例えば、図２に示すように、基板面に対して垂直な方向にエア（気体）を噴出させる複数の噴出孔Ｈを有する浮上プレート１４０と、噴出孔Ｈから噴出させるエアを送り込む送風部１４ａおよびポンプ１４ｂと、送風部１４ａに設けられ、送風部１４ａが送り込むエアの圧力を表示する圧力計１４ｃとを有する。
【００１８】
検査ユニット１００は、搬送ステージ１４が形成する搬送経路上に設定された検査ラインＬ１４を通過するワークＷを、顕微鏡１０１を介して撮像する図示しない撮像部を有する。この検査ユニット１００によって取得された画像を解析することで、ワークＷに欠陥が存在するか否かを検出することができる。なお、検査ユニット１００は、顕微鏡１０１を固定する移動ステージ１０２がガントリステージ１０に保持されており、ワークＷの搬送方向Ｄに対して垂直な方向および／または平行な方向に移動することが可能である。また、検査ユニット１００は、検査ラインＬ１４を上方から撮像するように設けられる。本説明では、検査ユニット１００が設けられる領域を検査空間ＰＲという。また、検査空間ＰＲ以外の領域を搬送空間ＴＲという。
【００１９】
また、ＦＰＤ検査装置１は、検査空間ＰＲおよび搬送空間ＴＲを囲む外装１６を備え、内部空間（クリーンルーム）を形成する。このクリーンルームは、ワークの搬入口および搬出口ならびに下部のダクトおよび後述するメンテナンス管２０の挿入孔１６ａ以外、密閉された空間である。
【００２０】
外装１６は、メンテナンス管２０を挿入可能な挿入孔１６ａと、検査ユニット１００の上方に、外装１６の内部空間にクリーンな空気（以下、クリーンエアという）を送り込むＦＦＵ１７とを有する。
【００２１】
ＦＦＵ１７は、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンエアを送出する。この結果、特に検査ユニット１００近傍および検査ラインＬ１４周辺（検査空間ＰＲ）を、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。また、検査ユニット１００近傍および検査ラインＬ１４周辺に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、主に下部の排気口から排気される。
【００２２】
メンテナンス管２０は、外装の外部側から内部側に延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設された略管状をなす。メンテナンス管２０は、図２に示すように、外装１６の挿入孔１６ａを介して内部に挿入され、先端部がメンテナンス対象箇所である圧力計１４ｃに向けられている。
【００２３】
図３は、図２に示すメンテナンス管２０に内視鏡２００を挿通した場合を示す模式図である。内視鏡２００は、屈曲可能な線状をなし、先端部に撮像ユニット２０１ａを有するメンテナンス手段としての挿通部２０１と、撮像ユニット２０１ａの撮像画像を表示する表示部２０２と、撮像ユニット２０１ａの撮像処理を指示する操作部２０３とを有する。なお、挿通部２０１の撮像ユニット２０１ａ近傍は、操作部２０３を操作することによって任意の方向に屈曲させることが可能である。
【００２４】
内視鏡２００の挿通部２０１をメンテナンス管２０内に挿通させると（挿通ステップ）、撮像ユニット２０１ａがメンテナンス管２０の先端部に配置される。この結果、撮像ユニット２０１ａが圧力計１４ｃを表示部２０２に表示させることによって、外装１６の外部から浮上プレート１４０の噴出孔Ｈから噴出するエアの圧力を確認する（メンテナンスステップ）ことが可能となる。
【００２５】
上述した実施の形態１のように、メンテナンス管の先端部をメンテナンス対象箇所に向け、内視鏡等のメンテナンス手段を挿通することによって、装置の電源をオフすることなく、メンテナンス対象箇所の確認を行なうことが可能となり、装置の再起動にかかる時間を削減し、メンテナンス後に再度検査を開始するまでの時間を短縮することができる。また、メンテナンス管を複数のメンテナンス対象箇所にそれぞれ配設し、確認を行なうメンテナンス管に内視鏡を挿通することで、各メンテナンス対象箇所に撮像ユニット（監視カメラ）を配置することなく、１つの撮像ユニットのみで複数のメンテナンス対象箇所をそれぞれ確認することができるため、装置構成を簡略化し、装置にかかるコストを抑制させることが可能となる。
【００２６】
また、従来の処理装置では、作業者が処理装置の内部でメンテナンスをする場合、装置の電源をオフする必要があるため、メンテナンス後の検査・処理の開始が遅れ、その結果、処理対象基板の検査に時間を要してしまうという問題があった。これに対し、本実施の形態１にかかる検査装置は、電源をオフすることなくメンテナンスを行なうことができるため、メンテナンス後、再度検査を開始するまでの時間を短縮することができる。
【００２７】
（変形例）
図４は、本実施の形態１の変形例１~３にかかるＦＰＤ検査装置の搬送ステージを示す模式図である。ＦＰＤ検査装置において、構成要素が駆動する各部分は、メンテナンス対象箇所として該当する。搬送ステージ１３は、図４に示すように、図２に示す搬送ステージ１４の浮上プレート１４０と同等の構成を有する浮上プレート１３０（基板浮上機構）と、搬送ステージ１３に載置されたワークＷを整列させる複数の整列部１３１Ａ〜１３１Ｅを有する整列機構１３１と、ワークＷの端部を吸着保持して搬送させる吸着搬送機構１３２と、搬送ステージ１３上に搬入されたワークＷを支持して搬送ステージ１３に載置するリフトピン１３３（支持機構）とを備える。
【００２８】
まず、変形例１について図４，５を参照して説明する。図５は、本実施の形態の変形例１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（整列機構１３１）を示す模式図である。整列機構１３１は、搬送ステージ１３上に載置されたワークＷに当接し、所定位置まで移動することによって、ワークＷを整列させるローラ１３１ａを有する。整列機構１３１（整列部１３１Ａ〜１３１Ｅ）は、ワークＷを取り囲むようにワークＷの各辺に配置される。図４においては、１つの辺に２つの整列部１３１Ｂ，１３１Ｃが配置され、他の辺にそれぞれ１つの整列部１３１Ａ，１３１Ｄ，１３１Ｅが配置されている。
【００２９】
このとき、整列機構１３１は、整列部１３１Ａ〜１３１ＣがまずワークＷに当接して挟み込み、図４のｙ軸方向に平行な辺を整列させた後、整列部１３１Ｄ，１３１ＥをワークＷに当接させて、図４のｘ軸方向に垂直な方向の辺を整列させる。なお、整列後にワークＷとの接触を避けるため、整列機構１３１は、図４のｚ軸方向（上下方向）に移動する移動機構を有することが好ましい。
【００３０】
メンテナンス管２１は、この整列機構１３１の各ローラ１３１ａの側面に先端部が向くように配設される。メンテナンス管２１に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによってローラ１３１ａを側面から確認することが可能となる。なお、メンテナンス管２１の一部を整列機構１３１の駆動部に固定してもよい。駆動部に固定することにより整列機構１３１の駆動中においてもローラ１３１ａを確認することが可能となる。
【００３１】
つぎに、変形例２について図４，６を参照して説明する。図６は、本実施の形態の変形例２にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（吸着搬送機構１３２）を示す模式図である。吸着搬送機構１３２は、浮上プレート１３０の図４のｙ方向の両端側に設けられ、搬送方向Ｄに沿って形成される搬送レール１３２ｃ上を移動する搬送部１３２ａと、搬送部１３２ａに固定され、ワークＷを吸着保持する吸着パッド１３２ｂとを有する。吸着パッド１３２ｂは、ワークＷが載置される面に吸気孔（図示せず）と吸気機構（図示せず）とを有し、吸着パッド１３２ｂに載置されたワークＷを吸着保持する。搬送レール１３２ｃは、搬送ステージ１３〜１５を連通して設けられ、吸着保持されたワークＷは、搬送部１３２ａの搬送レール１３２ｃ上の移動に従って、搬送ステージ１３〜１５を移動する。
【００３２】
メンテナンス管２２は、図６に示すように、吸着搬送機構１３２の側面側に傾斜して設けられ、先端部が吸着パッド１３２ｂの上面側に向いている。メンテナンス管２２に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによって吸着パッド１３２ｂの上面を確認することが可能となる。
【００３３】
なお、メンテナンス管２２の一部を吸着搬送機構１３２の駆動部に固定してもよい。駆動部に固定することにより吸着搬送機構１３２の駆動中においても吸着パッド１３２ｂを確認することが可能となる。また、メンテナンス管２２の一部を吸着搬送機構１３２の駆動部に固定した状態で、メンテナンス管２２の先端部を搬送レール１３２ｃに向けてもよい。吸着搬送機構１３２の駆動により搬送レール１３２ｃ全体を確認することが可能となる。
【００３４】
続いて、変形例３について図４，７を参照して説明する。図７は、本実施の形態の変形例３にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（リフトピン１３３）を示す模式図である。リフトピン１３３は、各浮上プレート１３０の間にそれぞれ複数設けられ、図４のｚ軸方向に移動可能である。リフトピン１３３は、外部の搬送機構からワークＷをＦＰＤ検査装置１に受け入れる際に、リフトピン１３３が上昇してワークＷを支持し、支持後下降して浮上プレート１３０上にワークＷを載置する。
【００３５】
メンテナンス管２３は、図７に示すように、各リフトピン１３３の頂点を通過する線Ｌと高さが等しく、撮像ユニット２０１ａの光軸と線Ｌとが交わるように設けられる。メンテナンス管２３に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによってリフトピン１３３の先端部分または各リフトピン１３３の相対的な高さを確認することが可能となる。
【００３６】
（実施の形態２）
図８は、本実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置１ａを示す模式図である。図８に示すＦＰＤ検査装置１ａにおいて、ガントリステージ１０は、リニアモータ３０と、リニアモータ３０に平行に設けられるリニアガイド３１と、矢印Ｙ方向に屈曲可能な略筒状のケーブルベア３２とを有する。検査ユニット１００は、顕微鏡１０１と、顕微鏡１０１を保持し、リニアモータ３０およびリニアガイド３１に対して矢印Ｙ方向に移動可能に支持された移動ステージ１０２とを有する。なお、リニアモータ３０、リニアガイド３１および移動ステージ１０２によって、駆動部を構成する。
【００３７】
メンテナンス管２４は、屈曲性または伸縮性を有する樹脂等を用いて実現され、外装１６に形成された挿入孔１６ｂから内部に挿入され、ケーブルベア３２内を挿通して先端部が移動ステージ１０２に固定されている。ここで、メンテナンス管２４の先端部は、リニアガイド３１に近接する位置に固定されている。また、メンテナンス管２４の外部側の端部は、注入器３００に接続されている。
【００３８】
注入器３００は、メンテナンス管２４を介してリニアガイド３１にメンテナンス手段としてのグリス等の潤滑剤を塗布する。注入器３００は、図示しないポンプまたはシリンジによってメンテナンス管２４内にグリスを注入する。
【００３９】
メンテナンス管２４は、移動ステージ１０２に固定されているため、移動ステージ１０２の移動に連動してリニアガイド３１にグリスを塗布することが可能である。このとき、メンテナンス管２４は、ケーブルベア３２によって管の移動方向が抑制されるため、撓み、ひねり等が生ずることなく移動することができ、メンテナンス管２４の移動によって管が他の部材に接触することがない。
【００４０】
上述した実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置１ａによって、内視鏡による確認のほか、メンテナンス対象箇所に対してグリスを塗布することが可能となる。また、移動する部材であってもケーブルベアを用いて部材に固定することで、他の部材に影響なくメンテナンスを行なうことができる。
【００４１】
（変形例）
図９は、本実施の形態２の変形例にかかるＦＰＤ検査装置１ｂを示す模式図である。図９に示すＦＰＤ検査装置１ｂは、図８に示すＦＰＤ検査装置１ａとほぼ同等の構成を有する。ＦＰＤ検査装置１ｂは、ケーブルベア３２を挿通したメンテナンス管２４が、先端付近で二つのメンテナンス管２４ａ，２４ｂに分岐させる分岐ユニット２４ｃを有する。
【００４２】
分岐ユニット２４ｃによって分岐されたメンテナンス管２４ａ，２４ｂの端部は、移動ステージ１０２の各リニアガイド３１近傍にそれぞれ配置され、注入器３００によってリニアガイド３１に潤滑剤を塗布することができる。
【００４３】
（実施の形態３）
図１０は、本実施の形態３にかかるＦＰＤ検査装置１ｃを示す模式図である。図１０に示すＦＰＤ検査装置１ｃは、図８に示すＦＰＤ検査装置１ａとほぼ同等の構成を有する。ＦＰＤ検査装置１ｃは、ケーブルベア３２に対して二本のメンテナンス管２４，２５を挿通し、それぞれ移動ステージ１０２に固定する。
【００４４】
移動ステージ１０２に固定されたメンテナンス管２４，２５にそれぞれ注入器３００、内視鏡２００を接続することによって、内視鏡２００によって観察しながらグリスの塗布を行なうことが可能となる。メンテナンス管２４，２５によって、異なるメンテナンス、例えば、内視鏡による観察とグリスの塗布とを同時に行なうことができる。
【００４５】
なお、実施の形態２，３にかかるメンテナンス管の先端の配置は、リニアガイド３１にグリスを塗布できる位置であるものとして説明したが、移動ステージ１０２のグリス塗布位置であってもよい。また、メンテナンス管によるグリスの塗布は、グリスの塗布を行なう他の箇所、例えばワークＷの吸着搬送を行なう搬送レール等に適用することが可能であり、必要に応じて、ケーブルベア３２を設けることで、他の部材への影響を抑制することができる。
【００４６】
また、グリス等の潤滑剤のほか、エタノール等を注入器によってメンテナンス対象箇所に塗布して部材の洗浄を行なうことも可能である。例えば、吸着パッドの上面に向けてメンテナンス管を配置し、エタノールを塗布して洗浄してもよい。
【００４７】
上述した実施の形態１〜３および変形例にかかるメンテナンス管は、任意に組み合わせて複数配置することができる。各メンテナンス対象箇所にそれぞれメンテナンス管を配設し、内視鏡を挿通または注入器を接続するのみで、装置電源をオフすることなく外部から内部のメンテナンスを行なうことが可能となり、メンテナンス箇所それぞれに撮像ユニット等を設ける必要がないため、製造コストまたは装置の使用にかかるコストを削減することが可能となる。
【００４８】
なお、内視鏡は、撮像ユニットのみに限らず、撮像ユニットに加えて挿通部の先端に潤滑剤等を塗布できる機構、処理対象物を挟んで保持できる把持機構等の処置具を有する構成であってもよい。
【００４９】
以上のように、本発明にかかる処理装置は、外部から内部の状態を確認および処理することに有用である。
【符号の説明】
【００５０】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ ＦＰＤ検査装置
１０ ガントリステージ
１１ 架台
１２ 振動吸収機構
１３〜１５ 搬送ステージ
１６ 外装
１６ａ，１６ｂ 挿入孔
１７ ＦＦＵ
２０，２１，２２，２３，２４，２４ａ，２４ｂ，２５ メンテナンス管
２４ｃ 分岐ユニット
３０ リニアモータ
３１ リニアガイド
３２ ケーブルベア
１００ 検査ユニット
１０１ 顕微鏡
１０２ 移動ステージ
１３１ 整列機構
１３１Ａ〜１３１Ｅ 整列部
１３１ａ ローラ
１３２ 吸着搬送機構
１３２ａ 搬送部
１３２ｂ 吸着パッド
１３２ｃ 搬送レール
１３３ リフトピン
２００ 内視鏡
２０１ 挿通部
２０１ａ 撮像ユニット
２０２ 表示部
２０３ 操作部
３００ 注入器
Ｌ１４ 検査ライン
ＰＲ 検査空間
ＴＲ 搬送空間
Ｗ ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関し、特にフラットパネルディスプレイ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などを検査・処理する処理装置および処理装置のメンテナンス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板を検査・処理する処理装置は、ガラス基板等の大型化に伴って大型化している。処理装置の大型化によって、処理を行う各可動部も大型化しており、作業者の安全を損なうおそれがあった。この問題に対し、作業者の安全を確保するため、処理装置は、可動部等が外装カバーによって覆われている。
【０００３】
ところで、処理装置内で障害が発生した場合または処理装置のメンテナンスを行なう場合、処理装置の内部を確認する必要が生ずる。また、場合によっては、処理装置内に作業者が入って作業を行なう必要がある。
【０００４】
上述した確認作業が可能なシステムとして、監視局の監視端末に表示された各監視カメラからの監視映像に大画面表示装置の操作ボタン等を配置し、ＧＵＩ操作によって監視端末で大画面表示装置の画面操作を行なう技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８８７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１が開示する技術によって処理装置内を監視する場合、処理装置内の監視すべき箇所にそれぞれ監視カメラを配設しなければならないため、装置にかかるコストが増大してしまうおそれがあった。また、従来の処理装置では、作業者が処理装置の内部でメンテナンスをする場合、処理装置の電源をオフする必要があるため、メンテナンス後の検査・処理の開始が遅れ、その結果、処理対象基板の検査に時間を要してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、簡易な構成でメンテナンスを行なうことができる処理装置および処理装置のメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる処理装置は、処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置であって、前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかるメンテナンス方法は、処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置に対して行なうメンテナンス方法であって、前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、複数のメンテナンス対象箇所に向けてそれぞれ配設される複数のメンテナンス管のうち、メンテナンス対象のメンテナンス管に対して、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通する挿通ステップと、前記メンテナンス管に挿通したメンテナンス手段を用いてメンテナンスを行なうメンテナンスステップと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる処理装置および処理装置のメンテナンス方法は、外装の外側から処理装置内部のメンテナンス対象箇所に向けてメンテナンス管を配設し、メンテナンス管内にメンテナンス手段を挿通して外装の外部から内部の観察および処理ができるようにしたので、簡易な構成でメンテナンスを行なうことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を模式的に示す側面図である。
【図３】図３は、図２に示すメンテナンス管内に内視鏡を挿通した場合を示す模式図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１の変形例１〜３にかかるＦＰＤ検査装置の搬送ステージを示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１の変形例１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１の変形例２にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成示す模式図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態１の変形例３にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２の変形例にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態３にかかるＦＰＤ検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎず、従って、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。
【００１３】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる処理装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、ＦＰＤ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板（以下、ワークという）がインライン型の検査装置を例に挙げて説明する。ただし、これに限定されず、オフライン型の検査装置であってもよい。
【００１４】
図１は、本実施の形態１にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、ＦＰＤ検査装置１は、矩形をなすワークＷを搬送する搬送ステージ１３〜１５と、搬送ステージ１３〜１５上を移動するワークＷの欠陥を検出する検査ユニット１００と、を備える。なお、検査ユニット１００は、たとえばワークＷの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットには、検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、露光ユニット、測定ユニット等が含まれる。また、本発明にかかる検査装置は、ワークＷを載置するステージ（固定ステージ）上で上述した処理ユニットが基板に対して各処理を行う構成も含む。
【００１５】
ガントリステージ１０および搬送ステージ１３〜１５は、たとえば架台１１に固定される。架台１１は、たとえばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせたフレームなど、耐震性の高い部材によって構成される。加えて、架台１１と設置面（たとえば床）との間には、たとえばスプリングや油圧ダンパなどで構成された振動吸収機構１２が設けられる。これにより、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００の振動がさらに防止される。
【００１６】
搬送ステージ１３〜１５は、たとえば長方形の板（浮上プレート）がワークＷの搬送方向Ｄと垂直な方向にすのこ状に組み合わされた構造を有する。この搬送ステージ１３〜１５を搬送方向Ｄに並べることで、ワークＷの搬送経路が形成される。ワークＷの搬送方法としては、搬送ステージ１３上に搬入されたワークＷを支持して搬送ステージ１３に載置するリフトピン、搬送ステージ１３に載置されたワークＷを整列させる整列機構、搬送ステージ１３に浮上プレートを設けてワークＷをエア浮上させるとともにワークＷを保持して搬送させる吸着搬送、搬送ステージに複数のローラを設けてローラの回転により基板を搬送するローラ搬送等がある。
【００１７】
搬送ステージ１４は、例えば、図２に示すように、基板面に対して垂直な方向にエア（気体）を噴出させる複数の噴出孔Ｈを有する浮上プレート１４０と、噴出孔Ｈから噴出させるエアを送り込む送風部１４ａおよびポンプ１４ｂと、送風部１４ａに設けられ、送風部１４ａが送り込むエアの圧力を表示する圧力計１４ｃとを有する。
【００１８】
検査ユニット１００は、搬送ステージ１４が形成する搬送経路上に設定された検査ラインＬ１４を通過するワークＷを、顕微鏡１０１を介して撮像する図示しない撮像部を有する。この検査ユニット１００によって取得された画像を解析することで、ワークＷに欠陥が存在するか否かを検出することができる。なお、検査ユニット１００は、顕微鏡１０１を固定する移動ステージ１０２がガントリステージ１０に保持されており、ワークＷの搬送方向Ｄに対して垂直な方向および／または平行な方向に移動することが可能である。また、検査ユニット１００は、検査ラインＬ１４を上方から撮像するように設けられる。本説明では、検査ユニット１００が設けられる領域を検査空間ＰＲという。また、検査空間ＰＲ以外の領域を搬送空間ＴＲという。
【００１９】
また、ＦＰＤ検査装置１は、検査空間ＰＲおよび搬送空間ＴＲを囲む外装１６を備え、内部空間（クリーンルーム）を形成する。このクリーンルームは、ワークの搬入口および搬出口ならびに下部のダクトおよび後述するメンテナンス管２０の挿入孔１６ａ以外、密閉された空間である。
【００２０】
外装１６は、メンテナンス管２０を挿入可能な挿入孔１６ａと、検査ユニット１００の上方に、外装１６の内部空間にクリーンな空気（以下、クリーンエアという）を送り込むＦＦＵ１７とを有する。
【００２１】
ＦＦＵ１７は、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンエアを送出する。この結果、特に検査ユニット１００近傍および検査ラインＬ１４周辺（検査空間ＰＲ）を、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。また、検査ユニット１００近傍および検査ラインＬ１４周辺に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、主に下部の排気口から排気される。
【００２２】
メンテナンス管２０は、外装の外部側から内部側に延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設された略管状をなす。メンテナンス管２０は、図２に示すように、外装１６の挿入孔１６ａを介して内部に挿入され、先端部がメンテナンス対象箇所である圧力計１４ｃに向けられている。
【００２３】
図３は、図２に示すメンテナンス管２０に内視鏡２００を挿通した場合を示す模式図である。内視鏡２００は、屈曲可能な線状をなし、先端部に撮像ユニット２０１ａを有するメンテナンス手段としての挿通部２０１と、撮像ユニット２０１ａの撮像画像を表示する表示部２０２と、撮像ユニット２０１ａの撮像処理を指示する操作部２０３とを有する。なお、挿通部２０１の撮像ユニット２０１ａ近傍は、操作部２０３を操作することによって任意の方向に屈曲させることが可能である。
【００２４】
内視鏡２００の挿通部２０１をメンテナンス管２０内に挿通させると（挿通ステップ）、撮像ユニット２０１ａがメンテナンス管２０の先端部に配置される。この結果、撮像ユニット２０１ａが圧力計１４ｃを表示部２０２に表示させることによって、外装１６の外部から浮上プレート１４０の噴出孔Ｈから噴出するエアの圧力を確認する（メンテナンスステップ）ことが可能となる。
【００２５】
上述した実施の形態１のように、メンテナンス管の先端部をメンテナンス対象箇所に向け、内視鏡等のメンテナンス手段を挿通することによって、装置の電源をオフすることなく、メンテナンス対象箇所の確認を行なうことが可能となり、装置の再起動にかかる時間を削減し、メンテナンス後に再度検査を開始するまでの時間を短縮することができる。また、メンテナンス管を複数のメンテナンス対象箇所にそれぞれ配設し、確認を行なうメンテナンス管に内視鏡を挿通することで、各メンテナンス対象箇所に撮像ユニット（監視カメラ）を配置することなく、１つの撮像ユニットのみで複数のメンテナンス対象箇所をそれぞれ確認することができるため、装置構成を簡略化し、装置にかかるコストを抑制させることが可能となる。
【００２６】
また、従来の処理装置では、作業者が処理装置の内部でメンテナンスをする場合、装置の電源をオフする必要があるため、メンテナンス後の検査・処理の開始が遅れ、その結果、処理対象基板の検査に時間を要してしまうという問題があった。これに対し、本実施の形態１にかかる検査装置は、電源をオフすることなくメンテナンスを行なうことができるため、メンテナンス後、再度検査を開始するまでの時間を短縮することができる。
【００２７】
（変形例）
図４は、本実施の形態１の変形例１~３にかかるＦＰＤ検査装置の搬送ステージを示す模式図である。ＦＰＤ検査装置において、構成要素が駆動する各部分は、メンテナンス対象箇所として該当する。搬送ステージ１３は、図４に示すように、図２に示す搬送ステージ１４の浮上プレート１４０と同等の構成を有する浮上プレート１３０（基板浮上機構）と、搬送ステージ１３に載置されたワークＷを整列させる複数の整列部１３１Ａ〜１３１Ｅを有する整列機構１３１と、ワークＷの端部を吸着保持して搬送させる吸着搬送機構１３２と、搬送ステージ１３上に搬入されたワークＷを支持して搬送ステージ１３に載置するリフトピン１３３（支持機構）とを備える。
【００２８】
まず、変形例１について図４，５を参照して説明する。図５は、本実施の形態の変形例１にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（整列機構１３１）を示す模式図である。整列機構１３１は、搬送ステージ１３上に載置されたワークＷに当接し、所定位置まで移動することによって、ワークＷを整列させるローラ１３１ａを有する。整列機構１３１（整列部１３１Ａ〜１３１Ｅ）は、ワークＷを取り囲むようにワークＷの各辺に配置される。図４においては、１つの辺に２つの整列部１３１Ｂ，１３１Ｃが配置され、他の辺にそれぞれ１つの整列部１３１Ａ，１３１Ｄ，１３１Ｅが配置されている。
【００２９】
このとき、整列機構１３１は、整列部１３１Ａ〜１３１ＣがまずワークＷに当接して挟み込み、図４のｙ軸方向に平行な辺を整列させた後、整列部１３１Ｄ，１３１ＥをワークＷに当接させて、図４のｘ軸方向に垂直な方向の辺を整列させる。なお、整列後にワークＷとの接触を避けるため、整列機構１３１は、図４のｚ軸方向（上下方向）に移動する移動機構を有することが好ましい。
【００３０】
メンテナンス管２１は、この整列機構１３１の各ローラ１３１ａの側面に先端部が向くように配設される。メンテナンス管２１に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによってローラ１３１ａを側面から確認することが可能となる。なお、メンテナンス管２１の一部を整列機構１３１の駆動部に固定してもよい。駆動部に固定することにより整列機構１３１の駆動中においてもローラ１３１ａを確認することが可能となる。
【００３１】
つぎに、変形例２について図４，６を参照して説明する。図６は、本実施の形態の変形例２にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（吸着搬送機構１３２）を示す模式図である。吸着搬送機構１３２は、浮上プレート１３０の図４のｙ方向の両端側に設けられ、搬送方向Ｄに沿って形成される搬送レール１３２ｃ上を移動する搬送部１３２ａと、搬送部１３２ａに固定され、ワークＷを吸着保持する吸着パッド１３２ｂとを有する。吸着パッド１３２ｂは、ワークＷが載置される面に吸気孔（図示せず）と吸気機構（図示せず）とを有し、吸着パッド１３２ｂに載置されたワークＷを吸着保持する。搬送レール１３２ｃは、搬送ステージ１３〜１５を連通して設けられ、吸着保持されたワークＷは、搬送部１３２ａの搬送レール１３２ｃ上の移動に従って、搬送ステージ１３〜１５を移動する。
【００３２】
メンテナンス管２２は、図６に示すように、吸着搬送機構１３２の側面側に傾斜して設けられ、先端部が吸着パッド１３２ｂの上面側に向いている。メンテナンス管２２に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによって吸着パッド１３２ｂの上面を確認することが可能となる。
【００３３】
なお、メンテナンス管２２の一部を吸着搬送機構１３２の駆動部に固定してもよい。駆動部に固定することにより吸着搬送機構１３２の駆動中においても吸着パッド１３２ｂを確認することが可能となる。また、メンテナンス管２２の一部を吸着搬送機構１３２の駆動部に固定した状態で、メンテナンス管２２の先端部を搬送レール１３２ｃに向けてもよい。吸着搬送機構１３２の駆動により搬送レール１３２ｃ全体を確認することが可能となる。
【００３４】
続いて、変形例３について図４，７を参照して説明する。図７は、本実施の形態の変形例３にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成（リフトピン１３３）を示す模式図である。リフトピン１３３は、各浮上プレート１３０の間にそれぞれ複数設けられ、図４のｚ軸方向に移動可能である。リフトピン１３３は、外部の搬送機構からワークＷをＦＰＤ検査装置１に受け入れる際に、リフトピン１３３が上昇してワークＷを支持し、支持後下降して浮上プレート１３０上にワークＷを載置する。
【００３５】
メンテナンス管２３は、図７に示すように、各リフトピン１３３の頂点を通過する線Ｌと高さが等しく、撮像ユニット２０１ａの光軸と線Ｌとが交わるように設けられる。メンテナンス管２３に図３に示す内視鏡２００の挿通部２０１を挿通させることで、撮像ユニット２０１ａによってリフトピン１３３の先端部分または各リフトピン１３３の相対的な高さを確認することが可能となる。
【００３６】
（実施の形態２）
図８は、本実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置１ａを示す模式図である。図８に示すＦＰＤ検査装置１ａにおいて、ガントリステージ１０は、リニアモータ３０と、リニアモータ３０に平行に設けられるリニアガイド３１と、矢印Ｙ方向に屈曲可能な略筒状のケーブルベア３２とを有する。検査ユニット１００は、顕微鏡１０１と、顕微鏡１０１を保持し、リニアモータ３０およびリニアガイド３１に対して矢印Ｙ方向に移動可能に支持された移動ステージ１０２とを有する。なお、リニアモータ３０、リニアガイド３１および移動ステージ１０２によって、駆動部を構成する。
【００３７】
メンテナンス管２４は、屈曲性または伸縮性を有する樹脂等を用いて実現され、外装１６に形成された挿入孔１６ｂから内部に挿入され、ケーブルベア３２内を挿通して先端部が移動ステージ１０２に固定されている。ここで、メンテナンス管２４の先端部は、リニアガイド３１に近接する位置に固定されている。また、メンテナンス管２４の外部側の端部は、注入器３００に接続されている。
【００３８】
注入器３００は、メンテナンス管２４を介してリニアガイド３１にメンテナンス手段としてのグリス等の潤滑剤を塗布する。注入器３００は、図示しないポンプまたはシリンジによってメンテナンス管２４内にグリスを注入する。
【００３９】
メンテナンス管２４は、移動ステージ１０２に固定されているため、移動ステージ１０２の移動に連動してリニアガイド３１にグリスを塗布することが可能である。このとき、メンテナンス管２４は、ケーブルベア３２によって管の移動方向が抑制されるため、撓み、ひねり等が生ずることなく移動することができ、メンテナンス管２４の移動によって管が他の部材に接触することがない。
【００４０】
上述した実施の形態２にかかるＦＰＤ検査装置１ａによって、内視鏡による確認のほか、メンテナンス対象箇所に対してグリスを塗布することが可能となる。また、移動する部材であってもケーブルベアを用いて部材に固定することで、他の部材に影響なくメンテナンスを行なうことができる。
【００４１】
（変形例）
図９は、本実施の形態２の変形例にかかるＦＰＤ検査装置１ｂを示す模式図である。図９に示すＦＰＤ検査装置１ｂは、図８に示すＦＰＤ検査装置１ａとほぼ同等の構成を有する。ＦＰＤ検査装置１ｂは、ケーブルベア３２を挿通したメンテナンス管２４が、先端付近で二つのメンテナンス管２４ａ，２４ｂに分岐させる分岐ユニット２４ｃを有する。
【００４２】
分岐ユニット２４ｃによって分岐されたメンテナンス管２４ａ，２４ｂの端部は、移動ステージ１０２の各リニアガイド３１近傍にそれぞれ配置され、注入器３００によってリニアガイド３１に潤滑剤を塗布することができる。
【００４３】
（実施の形態３）
図１０は、本実施の形態３にかかるＦＰＤ検査装置１ｃを示す模式図である。図１０に示すＦＰＤ検査装置１ｃは、図８に示すＦＰＤ検査装置１ａとほぼ同等の構成を有する。ＦＰＤ検査装置１ｃは、ケーブルベア３２に対して二本のメンテナンス管２４，２５を挿通し、それぞれ移動ステージ１０２に固定する。
【００４４】
移動ステージ１０２に固定されたメンテナンス管２４，２５にそれぞれ注入器３００、内視鏡２００を接続することによって、内視鏡２００によって観察しながらグリスの塗布を行なうことが可能となる。メンテナンス管２４，２５によって、異なるメンテナンス、例えば、内視鏡による観察とグリスの塗布とを同時に行なうことができる。
【００４５】
なお、実施の形態２，３にかかるメンテナンス管の先端の配置は、リニアガイド３１にグリスを塗布できる位置であるものとして説明したが、移動ステージ１０２のグリス塗布位置であってもよい。また、メンテナンス管によるグリスの塗布は、グリスの塗布を行なう他の箇所、例えばワークＷの吸着搬送を行なう搬送レール等に適用することが可能であり、必要に応じて、ケーブルベア３２を設けることで、他の部材への影響を抑制することができる。
【００４６】
また、グリス等の潤滑剤のほか、エタノール等を注入器によってメンテナンス対象箇所に塗布して部材の洗浄を行なうことも可能である。例えば、吸着パッドの上面に向けてメンテナンス管を配置し、エタノールを塗布して洗浄してもよい。
【００４７】
上述した実施の形態１〜３および変形例にかかるメンテナンス管は、任意に組み合わせて複数配置することができる。各メンテナンス対象箇所にそれぞれメンテナンス管を配設し、内視鏡を挿通または注入器を接続するのみで、装置電源をオフすることなく外部から内部のメンテナンスを行なうことが可能となり、メンテナンス箇所それぞれに撮像ユニット等を設ける必要がないため、製造コストまたは装置の使用にかかるコストを削減することが可能となる。
【００４８】
なお、内視鏡は、撮像ユニットのみに限らず、撮像ユニットに加えて挿通部の先端に潤滑剤等を塗布できる機構、処理対象物を挟んで保持できる把持機構等の処置具を有する構成であってもよい。
【００４９】
以上のように、本発明にかかる処理装置は、外部から内部の状態を確認および処理することに有用である。
【符号の説明】
【００５０】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ ＦＰＤ検査装置
１０ ガントリステージ
１１ 架台
１２ 振動吸収機構
１３〜１５ 搬送ステージ
１６ 外装
１６ａ，１６ｂ 挿入孔
１７ ＦＦＵ
２０，２１，２２，２３，２４，２４ａ，２４ｂ，２５ メンテナンス管
２４ｃ 分岐ユニット
３０ リニアモータ
３１ リニアガイド
３２ ケーブルベア
１００ 検査ユニット
１０１ 顕微鏡
１０２ 移動ステージ
１３１ 整列機構
１３１Ａ〜１３１Ｅ 整列部
１３１ａ ローラ
１３２ 吸着搬送機構
１３２ａ 搬送部
１３２ｂ 吸着パッド
１３２ｃ 搬送レール
１３３ リフトピン
２００ 内視鏡
２０１ 挿通部
２０１ａ 撮像ユニット
２０２ 表示部
２０３ 操作部
３００ 注入器
Ｌ１４ 検査ライン
ＰＲ 検査空間
ＴＲ 搬送空間
Ｗ ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置であって、
前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記メンテナンス手段は、前記メンテナンス管に挿通される挿通部と、該挿通部の挿通方向の先端側に設けられ、前記メンテナンス対象箇所を撮像する撮像部とを有することを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記メンテナンス対象箇所は、当該処理装置の構成要素が駆動する部分であることを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記メンテナンス管は、前記メンテナンス対象箇所の駆動部に固定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項５】
前記メンテナンス手段は、
前記メンテナンス管に挿通される挿通部と、該挿通部の挿通方向の先端側に設けられ、前記メンテナンス対象箇所を撮像する撮像部とを有する内視鏡と、
前記メンテナンス管を介して前記メンテナンス対象箇所に塗布される潤滑剤と、
を有し、
前記メンテナンス対象箇所は、当該処理装置の各駆動部であることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項６】
前記メンテナンス管は、前記駆動部の動作に連動して屈曲可能なケーブルベアに挿通されることを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記メンテナンス管は、前記駆動部に固定されることを特徴とする請求項５または６に記載の処理装置。
【請求項８】
処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置に対して行なうメンテナンス方法であって、
前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、メンテナンス対象箇所に向けて配設されるメンテナンス管に対して、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通する挿通ステップと、
前記メンテナンス管に挿通したメンテナンス手段を用いてメンテナンスを行なうメンテナンスステップと、
を含むことを特徴とするメンテナンス方法。
【請求項９】
前記メンテナンス管は、前記メンテナンス対象箇所に対応して複数設けられ、
前記メンテナンス手段は、前記複数のメンテナンス管のうち、メンテナンスを行なうメンテナンス対象箇所のメンテナンス管に挿通されることを特徴とする請求項８に記載のメンテナンス方法。
【請求項１】
処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置であって、
前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記メンテナンス手段は、前記メンテナンス管に挿通される挿通部と、該挿通部の挿通方向の先端側に設けられ、前記メンテナンス対象箇所を撮像する撮像部とを有することを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記メンテナンス対象箇所は、当該処理装置の構成要素が駆動する部分であることを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記メンテナンス管は、前記メンテナンス対象箇所の駆動部に固定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項５】
前記メンテナンス手段は、
前記メンテナンス管に挿通される挿通部と、該挿通部の挿通方向の先端側に設けられ、前記メンテナンス対象箇所を撮像する撮像部とを有する内視鏡と、
前記メンテナンス管を介して前記メンテナンス対象箇所に塗布される潤滑剤と、
を有し、
前記メンテナンス対象箇所は、当該処理装置の各駆動部であることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項６】
前記メンテナンス管は、前記駆動部の動作に連動して屈曲可能なケーブルベアに挿通されることを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記メンテナンス管は、前記駆動部に固定されることを特徴とする請求項５または６に記載の処理装置。
【請求項８】
処理対象の基板を載置するステージと、前記基板に所定の処理を施す処理ユニットと、前記ステージおよび前記処理ユニットを収容する外装と、を備えた処理装置に対して行なうメンテナンス方法であって、
前記外装に設けられた挿入孔を介して前記外装の外部から内部へ延び、メンテナンス対象箇所に向けて配設されるメンテナンス管に対して、前記ステージおよび前記処理ユニットに対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通する挿通ステップと、
前記メンテナンス管に挿通したメンテナンス手段を用いてメンテナンスを行なうメンテナンスステップと、
を含むことを特徴とするメンテナンス方法。
【請求項９】
前記メンテナンス管は、前記メンテナンス対象箇所に対応して複数設けられ、
前記メンテナンス手段は、前記複数のメンテナンス管のうち、メンテナンスを行なうメンテナンス対象箇所のメンテナンス管に挿通されることを特徴とする請求項８に記載のメンテナンス方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１１−２５７２８０（Ｐ２０１１−２５７２８０Ａ）
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３２４０３（Ｐ２０１０−１３２４０３）
【出願日】平成２２年６月９日（２０１０．６．９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ケーブルベア
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月９日（２０１０．６．９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ケーブルベア
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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