基板検出装置およびそれを備えた基板搬送装置
【課題】最小限の数のセンサでカセットに収納されている基板の飛び出しを早く検出することができる基板検出装置を提供すること
【解決手段】水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板Ｗを検出する基板検出装置において、センサ支持体６ａ，６ｂと、光軸が水平になるようセンサ支持体に設置される第１のセンサ９ａ，９ｂと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するようセンサ支持体に設置される第２のセンサ９ｃ，９ｄと、センサ支持体を基板Ｗの周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段５と、を備え、第１と第２のセンサの光軸を上下させて基板Ｗによって光軸Ｈ，Ｓを遮光させ、そのときの第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも基板の有無と、基板の斜め状態と、基板の飛び出しと、を検出する。
【解決手段】水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板Ｗを検出する基板検出装置において、センサ支持体６ａ，６ｂと、光軸が水平になるようセンサ支持体に設置される第１のセンサ９ａ，９ｂと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するようセンサ支持体に設置される第２のセンサ９ｃ，９ｄと、センサ支持体を基板Ｗの周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段５と、を備え、第１と第２のセンサの光軸を上下させて基板Ｗによって光軸Ｈ，Ｓを遮光させ、そのときの第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも基板の有無と、基板の斜め状態と、基板の飛び出しと、を検出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット内に収納された半導体ウェハやガラス基板の状態を検出する装置およびそれを備えた基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、あるいはこれらの検査装置において、半導体ウェハ、ガラス基板といった基板を所望の位置に精度良くかつクリーンに搬送するために、基板搬送装置が使用されている。基板搬送装置はアームやそれに類する機構に設けられたハンド上で基板を保持してこれを搬送する。基板搬送装置は、基板が多段に収納されたカセットから基板を搬送することが多いため、基板がカセット内でどのように収容されているか、という情報を把握する必要がある。つまり、基板の有無のほか、斜めに挿入されていないか、カセット１段に複数枚挿入されていないか、所定位置よりも飛び出していないか、などを把握した後、搬送を開始する必要がある。
よってこのような基板検出をおこなうための基板検出装置としては、例えば特許文献１などに記載されているものが知られている。特に特許文献１に開示された装置では、カセットからの基板の飛び出しを検出するために、複数回の上下運動をおこなっている。または、上下運動の回数を減らすために、複数のセンサを設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２１４４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように特許文献１など従来の基板検出装置は、カセットからの基板の飛び出しを検出するために複数回の上下運動が必要であったため、基板の検出時間を短縮することができないという問題があった。また、多数のセンサを設けると検出装置構造が複雑になる、コストが上昇するという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、最小限のセンサでカセットに収納されている基板の飛び出しを早く検出することができる基板検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置において、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備え、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出すること、を特徴とする基板検出装置とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項４に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項５に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項６に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項７に記載の発明は、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項８に記載の発明は、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項９に記載の発明は、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置を備え、前記基板検出装置が検出した前記基板の情報に基づいて前記基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板検出装置が、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサとを備え、前記基板搬送装置が、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段を備え、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出し、その検出結果に基づいて前記基板を搬送すること、を特徴とする基板搬送装置とするものである。
請求項１０に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１１に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１２に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１３に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項９記載の基板検出装置とするものである。
請求項１４に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１５に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１６に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１７に記載の発明は、前記基板検出装置の前記センサ支持体が、前記基板を保持するハンドであって、前記ハンドの先端に前記第１と第２のセンサが設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１８に記載の発明は、前記センサ支持体駆動手段が、水平多関節のアームであることを特徴とする請求項１７記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１９に記載の発明は、前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、アラームを出力して停止することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項２０に記載の発明は、前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、その検出結果から、前記基板の搬送に支障が無いことを判断すると、前記基板の搬送を開始することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項２１に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
請求項２２に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする液晶製造装置とするものである。
請求項２３に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置とするものである。
請求項２４に記載の発明は、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備えた基板検出装置において、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する方法であって、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を前記基板の周縁に近づけるステップと、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上方又は下方に垂直に移動させるステップと、前記移動させるステップを行ないながら、前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔を検出するステップと、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出するステップと、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出するステップと、を備えたことを特徴とする基板検出方法とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、従来のように、カセットからの基板の飛び出しを検出するためにセンサの複数回の上下運動を必要とせず、少なくとも基板の有無と、基板の斜め状態と、基板の飛び出しを同時に検出して、基板の検出時間を短縮することができる。
また、基板の飛び出しを検出する時間を短くするためには、より多数のセンサを設ける必要があったが、本発明は、必要最小限の数のセンサにするとともに、それに伴い検出装置の構造を簡単にしてコストを下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の側面図
【図２】本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の平面図
【図３】本発明の基板検出装置の正面図
【図４】遮光型光センサ９ａ、９ｂがビームＨを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図
【図５】遮光型光センサ９ｃ、９ｄがビームＳを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の側面図、図２は、本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の平面図である。図において１はベース、２は基板搬送装置で、上記ベース１上に設置されている。基板搬送装置２は、次のように構成されている。すなわち、ベース１上に固定ベース３が固定され、この固定ベース３に、旋回および上下動可能な搬送装置本体４が取り付けられている。また、搬送装置本体４の上面に、搬送用アーム５が旋回可能に取り付けられている。搬送用アーム５は、基板検出装置６を回転可能に支持する第２アーム５ａと、この第２アーム５ａを回転可能に支持する第１アーム５ｂとからなっている。基板検出用装置６は、カセット８からの基板搬出、カセット８への基板搬入の基板搬送にも使用されるよう、基板Ｗを保持可能にハンド型に形成されている。なお、基板検出装置６と、基板搬送用のハンドを別々に設けることも可能である。７はベース１上に載置されたカセット台で、その上面に、内部に基板Ｗを収納するカセット８を載置している。
【００１０】
次に、本発明の要点である基板検出装置６について、詳細に説明する。図２に概略を示すとおり、基板検出装置６は、水平方向に互いに離間した左右一対のセンサ支持体６ａ、６ｂと、センサ支持体６ａ、６ｂにそれぞれが設置され、水平方向に一定の距離を置いて取り付けられた、二組の透過型光センサ９を備えている。前記二組の透過型光センサ９のうち一組（第１の透過型光センサ９ａ、９ｂ）は、センサ支持体６の先端側に取り付けられ、基板有無および基板姿勢検出に使用する。また、もう一組（第２の透過型光センサ９ｃ、９ｄ）は、センサ支持体６の後端側に取り付けられ、基板飛び出し検出に使用する。
【００１１】
センサ支持体の先端側に取り付けられた第１の透過型光センサ９ａ，９ｂは、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂのうちの一方に取り付けられた発光器９ａ、および他方に取り付けられた受光器９ｂの組み合わせによって構成される。図３は、基板検出装置６の正面図である。図３（Ａ）に示すとおり、発光器９ａおよび受光器９ｂは、互いに光軸を合わせて、センサ支持体６の裏面に、水平に取り付けられている。発光器９ａから受光器９ｂに向けて水平ビームＨを照射し、その際の受光器９ｂの受光信号により、ビームＨの進路途中にある基板Ｗの有無および姿勢を検出する。
【００１２】
また、第２の透過型光センサ９ｃ，９ｄは、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂのうちの一方に取り付けられた発光器９ｃ、および他方に取り付けられた受光器９ｄの組み合わせによって構成される。図３（Ｂ）に示すとおり、発光器９ｃは、センサ支持体６の表面付近、受光器９ｄは、センサ支持体６の裏面に取り付けられている。また、発光器９ｃと受光器９ｄは、互いに光軸を合わせて、水平から一定角度傾けて取り付けられている。発光器９ｃから受光器９ｄに向けて傾斜ビームＳを照射し、その際の受光器９ｄの受光信号により、ビームＳの進路途中にある基板Ｗの飛び出しを検出する。
なお、本実施例では、基板検出に透過型光センサを使用したが、反射型光センサを使用してもよい。
【００１３】
図１に概略を示すように、カセット８の内部には、カセット８の内側壁に形成された溝（図示略）に挿入されることで、多数の基板Ｗが各々水平姿勢で上下方向に多段に整列させられた状態で収納保持されている。基板搬送装置２は、カセット８の前面のカセット基板出入り口８ａからこのカセット８の内部に、基板検出装置６の左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端を挿入させることで、透過型光センサ９の発光器９ａ、９ｃと、受光器９ｂ、９ｄを基板Ｗの端の左右両側に位置決めする。そして、搬送装置本体４を上下方向に移動させることによって基板検出装置６を上下方向に移動させ、ビームＨ、ビームＳの位置を一定間隔で上下方向の走査をおこない、ビームＨ、ビームＳの上下方向の各位置における受光信号を取得する。
本実施例の場合、基板搬送装置２のコントローラでもある制御演算装置１０により、取得したデータと、基板Ｗの有無、姿勢と飛び出しを判定するための閾値を比較することにより、カセット８内の各段における基板Ｗの有無、姿勢と飛び出しを判定する。
【００１４】
次に、基板Ｗの有無および姿勢検出方法について詳細に説明する。図４は、第１の遮光型光センサ９ａ、９ｂがビームＨを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図である。すなわち、図４（Ｂ）は、カセット８の構造を模式的に示しており、図４（Ａ）は、これに対応する受光信号ＳＬの波形を示している。図４（Ｂ）に示すように、この実施例ではカセット８内に基板Ｗが２５枚格納できるものと仮定しており、その一部に基板Ｗが実際に収納されているものとしている。受光器が受光状態と判断した場合は、受光信号ＳＬは０レベル（Ｌレベル）を示し、非受光状態（遮光状態）にある時には受信信号ＬＳは１レベル（Ｈレベル）を示す。図４（Ｂ）に示すように、水平に収納されている基板Ｗに対しては、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間が基板Ｗの厚みにほぼ相当している。一方、傾いて収納されている基板Ｗに対しては、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、基板Ｗを水平方向の光で投影した時の厚みに相当するので、基板Ｗの厚みよりもかなり広い。そこで、この実施例では、制御演算装置１０により、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）の時間と、基板Ｗの有無と姿勢を判断するための閾値を比較することにより、基板Ｗの有無および姿勢（斜め挿入）を検出する。
【００１５】
次に、基板Ｗの飛び出し検出方法について詳細に説明する。図５は、第２の遮光型光センサ９ｃ、９ｄがビームＳを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図である。すなわち、図５（Ｂ）は、カセット８の構造を模式的に示しており、図５（Ａ）は、これに対応する受光信号ＳＬの波形を示している。また、図５（Ｃ）は、カセット８の平面図である。図５（Ｂ）に示すように、この実施例ではカセット８内に基板Ｗが２５枚格納できるものと仮定しており、その一部に基板Ｗが実際に傾斜なく収納されているものとしている。図５（Ｂ）に示す基板Ｗは、図２のビームＳの光軸によって切断された断面図である。すなわち、図５（Ｃ）に示すように、カセット８の１段目に収納された基板Ｗのほうが、カセット８の２５段目に収納された基板Ｗより、前方に飛び出していることを意味する。また、この実施例では、カセット８の２５段目に収納されている基板は、前方に飛び出すことなく、正確に収納されているものとする。図５（Ｂ）に示すように、受光器が受光状態と判断した場合は、受光信号ＳＬは０レベル（Ｌレベル）を示し、非受光状態（遮光状態）にある時には受信信号ＬＳは１レベル（Ｈレベル）を示す。発光器９ｃ、受光器９ｄは、互いに光軸を合わせて、水平から一定角度傾けて取り付けられており、ビームＳの光軸が、水平より一定角度傾いているため、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、基板Ｗの切断面の長さに比例する。そのため、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、正確に収納されている基板Ｗより、前方に飛び出している基板Ｗのほうが長くなる。そこで、この実施例では、制御演算装置１０により、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）の時間と、基板Ｗの飛び出しを判断するための閾値を比較することにより、基板Ｗの飛び出しを検出する。
また、カセット８に対して基板Ｗが飛び出し、かつ傾いて収納されている場合は、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間が、基板Ｗの切断面の長さに比例しないが、この場合は、前記のように第１の透過型光センサによって検出された基板Ｗの有無および姿勢検出により、基板Ｗの傾きが検出されており、それを検出結果とする。
【００１６】
次に、基板検出装置２による、基板Ｗの有無、姿勢および飛び出しの検出の一連の動作について説明する。まず、基板搬送装置２は、カセット８の前面のカセット基板出入り口８ａから、基板検出装置６の左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端を、カセット８の最下段の基板Ｗ収納位置の更に下側に挿入させる。次に、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端（厳密にはビームＨおよびビームＳの照射位置）を、カセット８内に多段に整列された基板Ｗの左右両側における前後方向の基準位置（基板Ｗの有無、姿勢および飛び出し検出位置）に位置決めする。そして、その位置で、水平にビームＨを、水平より一定角度傾斜してビームＳを、それぞれ照射しながら、センサ支持体６ａ、６ｂを上方に移動させることにより、ビームＨ、ビームＳを上方に走査させながら、ビームＨ、ビームＳの上下方向の各位置における受光信号を取得する。最後に、走査が終了したら、取得したデータに基づいてカセット８内の各段における基板Ｗの有無、姿勢および飛び出しの検出をおこなう。
この場合、前記のように、第２の透過型光センサによる受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間を基に基板Ｗの飛び出し検出をおこなっているため、基板Ｗの飛び出し検出のために、センサ支持体６ａ、６ｂを複数回、上方へ移動させる必要はなく、迅速に検出をおこなうことが可能である。そして飛び出し検出と同時に基板の有無、姿勢を検出する。検出動作をおこなった後、カセット８内の基板Ｗの収納状態に異常がなければ、あるいは異常があっても基板搬送装置２の基板搬送に問題が無いときは、基板搬送装置２は、基板Ｗの搬送を開始する。基板Ｗの収納状態に異常があり、基板搬送装置２の基板搬送に問題があるときは、アラームを出して異常を知らせる。この場合、作業者が異常な状態を修復した後、基板搬送装置２は、基板Ｗの搬送を開始する。
【符号の説明】
【００１７】
１ ベース
２ 基板搬送装置
３ 固定ベース
４ 搬送装置本体
５ 搬送用アーム
５ａ 第２アーム
５ｂ 第１アーム
６ 基板検出装置
６ａ， ６ｂ センサ支持体
７ カセット台
８ カセット
８ａ カセット基板出入り口
９ 遮光型光センサ
９ａ， ９ｃ 発光器
９ｂ， ９ｄ 受光器
１０ 制御演算装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット内に収納された半導体ウェハやガラス基板の状態を検出する装置およびそれを備えた基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、あるいはこれらの検査装置において、半導体ウェハ、ガラス基板といった基板を所望の位置に精度良くかつクリーンに搬送するために、基板搬送装置が使用されている。基板搬送装置はアームやそれに類する機構に設けられたハンド上で基板を保持してこれを搬送する。基板搬送装置は、基板が多段に収納されたカセットから基板を搬送することが多いため、基板がカセット内でどのように収容されているか、という情報を把握する必要がある。つまり、基板の有無のほか、斜めに挿入されていないか、カセット１段に複数枚挿入されていないか、所定位置よりも飛び出していないか、などを把握した後、搬送を開始する必要がある。
よってこのような基板検出をおこなうための基板検出装置としては、例えば特許文献１などに記載されているものが知られている。特に特許文献１に開示された装置では、カセットからの基板の飛び出しを検出するために、複数回の上下運動をおこなっている。または、上下運動の回数を減らすために、複数のセンサを設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２１４４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように特許文献１など従来の基板検出装置は、カセットからの基板の飛び出しを検出するために複数回の上下運動が必要であったため、基板の検出時間を短縮することができないという問題があった。また、多数のセンサを設けると検出装置構造が複雑になる、コストが上昇するという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、最小限のセンサでカセットに収納されている基板の飛び出しを早く検出することができる基板検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置において、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備え、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出すること、を特徴とする基板検出装置とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項４に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項５に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項６に記載の発明は、前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項７に記載の発明は、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項８に記載の発明は、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置とするものである。
請求項９に記載の発明は、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置を備え、前記基板検出装置が検出した前記基板の情報に基づいて前記基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板検出装置が、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサとを備え、前記基板搬送装置が、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段を備え、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出し、その検出結果に基づいて前記基板を搬送すること、を特徴とする基板搬送装置とするものである。
請求項１０に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１１に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１２に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１３に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項９記載の基板検出装置とするものである。
請求項１４に記載の発明は、前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１５に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１６に記載の発明は、前記基板検出装置が、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１７に記載の発明は、前記基板検出装置の前記センサ支持体が、前記基板を保持するハンドであって、前記ハンドの先端に前記第１と第２のセンサが設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１８に記載の発明は、前記センサ支持体駆動手段が、水平多関節のアームであることを特徴とする請求項１７記載の基板搬送装置とするものである。
請求項１９に記載の発明は、前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、アラームを出力して停止することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項２０に記載の発明は、前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、その検出結果から、前記基板の搬送に支障が無いことを判断すると、前記基板の搬送を開始することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置とするものである。
請求項２１に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
請求項２２に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする液晶製造装置とするものである。
請求項２３に記載の発明は、請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置とするものである。
請求項２４に記載の発明は、センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備えた基板検出装置において、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する方法であって、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を前記基板の周縁に近づけるステップと、前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上方又は下方に垂直に移動させるステップと、前記移動させるステップを行ないながら、前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔を検出するステップと、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出するステップと、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出するステップと、を備えたことを特徴とする基板検出方法とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、従来のように、カセットからの基板の飛び出しを検出するためにセンサの複数回の上下運動を必要とせず、少なくとも基板の有無と、基板の斜め状態と、基板の飛び出しを同時に検出して、基板の検出時間を短縮することができる。
また、基板の飛び出しを検出する時間を短くするためには、より多数のセンサを設ける必要があったが、本発明は、必要最小限の数のセンサにするとともに、それに伴い検出装置の構造を簡単にしてコストを下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の側面図
【図２】本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の平面図
【図３】本発明の基板検出装置の正面図
【図４】遮光型光センサ９ａ、９ｂがビームＨを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図
【図５】遮光型光センサ９ｃ、９ｄがビームＳを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の側面図、図２は、本発明の基板検出装置が適用される基板搬送装置の平面図である。図において１はベース、２は基板搬送装置で、上記ベース１上に設置されている。基板搬送装置２は、次のように構成されている。すなわち、ベース１上に固定ベース３が固定され、この固定ベース３に、旋回および上下動可能な搬送装置本体４が取り付けられている。また、搬送装置本体４の上面に、搬送用アーム５が旋回可能に取り付けられている。搬送用アーム５は、基板検出装置６を回転可能に支持する第２アーム５ａと、この第２アーム５ａを回転可能に支持する第１アーム５ｂとからなっている。基板検出用装置６は、カセット８からの基板搬出、カセット８への基板搬入の基板搬送にも使用されるよう、基板Ｗを保持可能にハンド型に形成されている。なお、基板検出装置６と、基板搬送用のハンドを別々に設けることも可能である。７はベース１上に載置されたカセット台で、その上面に、内部に基板Ｗを収納するカセット８を載置している。
【００１０】
次に、本発明の要点である基板検出装置６について、詳細に説明する。図２に概略を示すとおり、基板検出装置６は、水平方向に互いに離間した左右一対のセンサ支持体６ａ、６ｂと、センサ支持体６ａ、６ｂにそれぞれが設置され、水平方向に一定の距離を置いて取り付けられた、二組の透過型光センサ９を備えている。前記二組の透過型光センサ９のうち一組（第１の透過型光センサ９ａ、９ｂ）は、センサ支持体６の先端側に取り付けられ、基板有無および基板姿勢検出に使用する。また、もう一組（第２の透過型光センサ９ｃ、９ｄ）は、センサ支持体６の後端側に取り付けられ、基板飛び出し検出に使用する。
【００１１】
センサ支持体の先端側に取り付けられた第１の透過型光センサ９ａ，９ｂは、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂのうちの一方に取り付けられた発光器９ａ、および他方に取り付けられた受光器９ｂの組み合わせによって構成される。図３は、基板検出装置６の正面図である。図３（Ａ）に示すとおり、発光器９ａおよび受光器９ｂは、互いに光軸を合わせて、センサ支持体６の裏面に、水平に取り付けられている。発光器９ａから受光器９ｂに向けて水平ビームＨを照射し、その際の受光器９ｂの受光信号により、ビームＨの進路途中にある基板Ｗの有無および姿勢を検出する。
【００１２】
また、第２の透過型光センサ９ｃ，９ｄは、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂのうちの一方に取り付けられた発光器９ｃ、および他方に取り付けられた受光器９ｄの組み合わせによって構成される。図３（Ｂ）に示すとおり、発光器９ｃは、センサ支持体６の表面付近、受光器９ｄは、センサ支持体６の裏面に取り付けられている。また、発光器９ｃと受光器９ｄは、互いに光軸を合わせて、水平から一定角度傾けて取り付けられている。発光器９ｃから受光器９ｄに向けて傾斜ビームＳを照射し、その際の受光器９ｄの受光信号により、ビームＳの進路途中にある基板Ｗの飛び出しを検出する。
なお、本実施例では、基板検出に透過型光センサを使用したが、反射型光センサを使用してもよい。
【００１３】
図１に概略を示すように、カセット８の内部には、カセット８の内側壁に形成された溝（図示略）に挿入されることで、多数の基板Ｗが各々水平姿勢で上下方向に多段に整列させられた状態で収納保持されている。基板搬送装置２は、カセット８の前面のカセット基板出入り口８ａからこのカセット８の内部に、基板検出装置６の左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端を挿入させることで、透過型光センサ９の発光器９ａ、９ｃと、受光器９ｂ、９ｄを基板Ｗの端の左右両側に位置決めする。そして、搬送装置本体４を上下方向に移動させることによって基板検出装置６を上下方向に移動させ、ビームＨ、ビームＳの位置を一定間隔で上下方向の走査をおこない、ビームＨ、ビームＳの上下方向の各位置における受光信号を取得する。
本実施例の場合、基板搬送装置２のコントローラでもある制御演算装置１０により、取得したデータと、基板Ｗの有無、姿勢と飛び出しを判定するための閾値を比較することにより、カセット８内の各段における基板Ｗの有無、姿勢と飛び出しを判定する。
【００１４】
次に、基板Ｗの有無および姿勢検出方法について詳細に説明する。図４は、第１の遮光型光センサ９ａ、９ｂがビームＨを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図である。すなわち、図４（Ｂ）は、カセット８の構造を模式的に示しており、図４（Ａ）は、これに対応する受光信号ＳＬの波形を示している。図４（Ｂ）に示すように、この実施例ではカセット８内に基板Ｗが２５枚格納できるものと仮定しており、その一部に基板Ｗが実際に収納されているものとしている。受光器が受光状態と判断した場合は、受光信号ＳＬは０レベル（Ｌレベル）を示し、非受光状態（遮光状態）にある時には受信信号ＬＳは１レベル（Ｈレベル）を示す。図４（Ｂ）に示すように、水平に収納されている基板Ｗに対しては、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間が基板Ｗの厚みにほぼ相当している。一方、傾いて収納されている基板Ｗに対しては、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、基板Ｗを水平方向の光で投影した時の厚みに相当するので、基板Ｗの厚みよりもかなり広い。そこで、この実施例では、制御演算装置１０により、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）の時間と、基板Ｗの有無と姿勢を判断するための閾値を比較することにより、基板Ｗの有無および姿勢（斜め挿入）を検出する。
【００１５】
次に、基板Ｗの飛び出し検出方法について詳細に説明する。図５は、第２の遮光型光センサ９ｃ、９ｄがビームＳを照射しながら上昇する際に、受光器が発する受光信号ＳＬの波形を示す説明図である。すなわち、図５（Ｂ）は、カセット８の構造を模式的に示しており、図５（Ａ）は、これに対応する受光信号ＳＬの波形を示している。また、図５（Ｃ）は、カセット８の平面図である。図５（Ｂ）に示すように、この実施例ではカセット８内に基板Ｗが２５枚格納できるものと仮定しており、その一部に基板Ｗが実際に傾斜なく収納されているものとしている。図５（Ｂ）に示す基板Ｗは、図２のビームＳの光軸によって切断された断面図である。すなわち、図５（Ｃ）に示すように、カセット８の１段目に収納された基板Ｗのほうが、カセット８の２５段目に収納された基板Ｗより、前方に飛び出していることを意味する。また、この実施例では、カセット８の２５段目に収納されている基板は、前方に飛び出すことなく、正確に収納されているものとする。図５（Ｂ）に示すように、受光器が受光状態と判断した場合は、受光信号ＳＬは０レベル（Ｌレベル）を示し、非受光状態（遮光状態）にある時には受信信号ＬＳは１レベル（Ｈレベル）を示す。発光器９ｃ、受光器９ｄは、互いに光軸を合わせて、水平から一定角度傾けて取り付けられており、ビームＳの光軸が、水平より一定角度傾いているため、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、基板Ｗの切断面の長さに比例する。そのため、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間は、正確に収納されている基板Ｗより、前方に飛び出している基板Ｗのほうが長くなる。そこで、この実施例では、制御演算装置１０により、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）の時間と、基板Ｗの飛び出しを判断するための閾値を比較することにより、基板Ｗの飛び出しを検出する。
また、カセット８に対して基板Ｗが飛び出し、かつ傾いて収納されている場合は、受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間が、基板Ｗの切断面の長さに比例しないが、この場合は、前記のように第１の透過型光センサによって検出された基板Ｗの有無および姿勢検出により、基板Ｗの傾きが検出されており、それを検出結果とする。
【００１６】
次に、基板検出装置２による、基板Ｗの有無、姿勢および飛び出しの検出の一連の動作について説明する。まず、基板搬送装置２は、カセット８の前面のカセット基板出入り口８ａから、基板検出装置６の左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端を、カセット８の最下段の基板Ｗ収納位置の更に下側に挿入させる。次に、左右のセンサ支持体６ａ、６ｂの先端（厳密にはビームＨおよびビームＳの照射位置）を、カセット８内に多段に整列された基板Ｗの左右両側における前後方向の基準位置（基板Ｗの有無、姿勢および飛び出し検出位置）に位置決めする。そして、その位置で、水平にビームＨを、水平より一定角度傾斜してビームＳを、それぞれ照射しながら、センサ支持体６ａ、６ｂを上方に移動させることにより、ビームＨ、ビームＳを上方に走査させながら、ビームＨ、ビームＳの上下方向の各位置における受光信号を取得する。最後に、走査が終了したら、取得したデータに基づいてカセット８内の各段における基板Ｗの有無、姿勢および飛び出しの検出をおこなう。
この場合、前記のように、第２の透過型光センサによる受光信号ＳＬが１レベル（Ｈレベル）である時間を基に基板Ｗの飛び出し検出をおこなっているため、基板Ｗの飛び出し検出のために、センサ支持体６ａ、６ｂを複数回、上方へ移動させる必要はなく、迅速に検出をおこなうことが可能である。そして飛び出し検出と同時に基板の有無、姿勢を検出する。検出動作をおこなった後、カセット８内の基板Ｗの収納状態に異常がなければ、あるいは異常があっても基板搬送装置２の基板搬送に問題が無いときは、基板搬送装置２は、基板Ｗの搬送を開始する。基板Ｗの収納状態に異常があり、基板搬送装置２の基板搬送に問題があるときは、アラームを出して異常を知らせる。この場合、作業者が異常な状態を修復した後、基板搬送装置２は、基板Ｗの搬送を開始する。
【符号の説明】
【００１７】
１ ベース
２ 基板搬送装置
３ 固定ベース
４ 搬送装置本体
５ 搬送用アーム
５ａ 第２アーム
５ｂ 第１アーム
６ 基板検出装置
６ａ， ６ｂ センサ支持体
７ カセット台
８ カセット
８ａ カセット基板出入り口
９ 遮光型光センサ
９ａ， ９ｃ 発光器
９ｂ， ９ｄ 受光器
１０ 制御演算装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置において、
センサ支持体と、
光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、
光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、
前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備え、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出すること、を特徴とする基板検出装置。
【請求項２】
前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項３】
前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項４】
前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項５】
前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項６】
前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項７】
前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項８】
前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項９】
水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置を備え、前記基板検出装置が検出した前記基板の情報に基づいて前記基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板検出装置が、
センサ支持体と、
光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、
光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサとを備え、
前記基板搬送装置が、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段を備え、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出し、その検出結果に基づいて前記基板を搬送すること、を特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
前記基板検出装置が、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記基板検出装置が、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項９記載の基板検出装置。
【請求項１４】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記基板検出装置が、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記基板検出装置が、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
前記基板検出装置の前記センサ支持体が、前記基板を保持するハンドであって、前記ハンドの先端に前記第１と第２のセンサが設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１８】
前記センサ支持体駆動手段が、水平多関節のアームであることを特徴とする請求項１７記載の基板搬送装置。
【請求項１９】
前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、アラームを出力して停止することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項２０】
前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、その検出結果から、前記基板の搬送に支障が無いことを判断すると、前記基板の搬送を開始することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項２１】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２２】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする液晶製造装置。
【請求項２３】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２４】
センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備えた基板検出装置において、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する方法であって、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を前記基板の周縁に近づけるステップと、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上方又は下方に垂直に移動させるステップと、
前記移動させるステップを行ないながら、前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔を検出するステップと、
前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出するステップと、
前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出するステップと、を備えたことを特徴とする基板検出方法。
【請求項１】
水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置において、
センサ支持体と、
光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、
光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、
前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備え、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出すること、を特徴とする基板検出装置。
【請求項２】
前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項３】
前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項４】
前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項５】
前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項６】
前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項７】
前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項８】
前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【請求項９】
水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する基板検出装置を備え、前記基板検出装置が検出した前記基板の情報に基づいて前記基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板検出装置が、
センサ支持体と、
光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、
光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサとを備え、
前記基板搬送装置が、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段を備え、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上下させて前記基板によって前記光軸を遮光させ、そのときの前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出し、その検出結果に基づいて前記基板を搬送すること、を特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
前記基板検出装置が、前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記基板検出装置が、前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、受光器と発光器とからなる透過型光センサであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、反射型センサであることを特徴とする請求項９記載の基板検出装置。
【請求項１４】
前記基板検出装置の前記第１と第２のセンサは、前記第１のセンサの光軸と前記第２のセンサの光軸とが、水平方向にずれて前後に並ぶように前記センサ支持体に設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記基板検出装置が、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出する際、前記第１と第２のセンサが遮光される間隔が、予め記憶している閾値よりも大きいときにそれらの検出を判断することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記基板検出装置が、前記第２のセンサが前記基板の飛び出しを検出し、かつ前記第１のセンサが前記基板の有無及び前記基板の斜め状態を検出したとき、前記第１のセンサの前記基板の斜め状態の検出を検出結果とすることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
前記基板検出装置の前記センサ支持体が、前記基板を保持するハンドであって、前記ハンドの先端に前記第１と第２のセンサが設置されることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１８】
前記センサ支持体駆動手段が、水平多関節のアームであることを特徴とする請求項１７記載の基板搬送装置。
【請求項１９】
前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、アラームを出力して停止することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項２０】
前記基板検出装置が、少なくとも、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、前記基板の飛び出しと、を検出したとき、その検出結果から、前記基板の搬送に支障が無いことを判断すると、前記基板の搬送を開始することを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項２１】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２２】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする液晶製造装置。
【請求項２３】
請求項９記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２４】
センサ支持体と、光軸が水平になるよう前記センサ支持体に設置される第１のセンサと、光軸が水平よりも一定角度傾斜するよう前記センサ支持体に設置される第２のセンサと、前記センサ支持体を前記基板の周縁に対して前後及び上下させるセンサ支持体駆動手段と、を備えた基板検出装置において、水平な状態で上下多段にカセット内に収容された基板を検出する方法であって、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を前記基板の周縁に近づけるステップと、
前記センサ支持体駆動手段によって前記第１と第２のセンサの光軸を上方又は下方に垂直に移動させるステップと、
前記移動させるステップを行ないながら、前記第１と第２のセンサの光軸が遮光された間隔を検出するステップと、
前記第１のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の有無と、前記基板の斜め状態と、を検出するステップと、
前記第２のセンサの光軸が遮光された間隔によって、前記基板の飛び出しを検出するステップと、を備えたことを特徴とする基板検出方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−２１９２０９（Ｐ２０１０−２１９２０９Ａ）
【公開日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−６２７９９（Ｐ２００９−６２７９９）
【出願日】平成２１年３月１６日（２００９．３．１６）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月１６日（２００９．３．１６）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]