形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラム
【課題】本発明は、高い寸法精度が要求される特定部位のコーナーＲの半径、距離又は角度等の寸法を、自動で算出することができる形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラムを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係る形状測定システムは、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、前記輪郭形状画像に対して、幾何学的パターンマッチング（以下ＰＭと略する場合がある。）を行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、第１評価領域，２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴としている。
【解決手段】本発明に係る形状測定システムは、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、前記輪郭形状画像に対して、幾何学的パターンマッチング（以下ＰＭと略する場合がある。）を行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、第１評価領域，２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴としている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば内燃機関で用いられるピストンリング材の特定部位におけるコーナーＲ半径、距離、角度等の寸法を高い精度で算出し評価することを目的とした形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の被測定対象の寸法測定を行う手段が、例えば下記特許文献１、特許文献２に開示されている。特許文献１によれば、２台の対向配置したレーザ距離計を水平方向に走行させてＨ型鋼の形状を測定し、得られた４つの輪郭形状データに対して同じ個所の測定情報を基に合成して同一空間座標に置き換え、この空間座標からＨ型鋼フランジ幅、脚長等の断面寸法を自動で算出するものである。この方法では、得られた輪郭形状データから寸法を算出するための幾何要素当てはめに直線近似を利用しており、直線近似によって求めた直線式を使って交点を算出しＨ型鋼フランジ幅、脚長等のように直線で構成される部分の寸法測定を行い、最終的には求めたフランジ幅、脚長等を用いて被測定対象の断面寸法を求めている。
【０００３】
特許文献２によれば、撮像した被測定対象画像に対して、画像内の設定された初期ウインドウ位置からエッジに沿って自立的に移動しながら必要なエッジ点をサンプリングして輪郭形状データを得る。その後、オペレータは求めたい物理量に対応した形状評価種類を選択する。形状評価種類とは、円、直線、ピーク点、接線、垂線などの幾何要素自体の物理量、又は交角、距離、半径、面積などの幾何要素と他の幾何要素との間の物理量のことである。そして、選択された形状評価種類に対応した測定領域の入力や幾何要素の選択がオペレータに促される。オペレータはこれに応答してマウスで測定領域の指定等を行うと、形状評価処理が実行され所望の寸法を得ることができるとされている。
【特許文献１】特開平８−３２７３２９号公報（段落番号００４５〜００４７）
【特許文献２】特開平１１−１１８４４４号公報（段落番号００３６〜００４０、００４５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ピストンリング材は内燃機関に用いられる部品であるため、シリンダと接触する面部の形状が特に重要となり、高い寸法精度が要求される。しかしながら、ピストンリング材の測定に特許文献１の方法を用いようとすると、幾何要素の当てはめが直線のみのために、ピストンリング材のようにＲが付いた場合の寸法算出には対応できない。更には、直線から円に変化する変曲点や円と直線の交点を使って距離を求めるといったような多彩な寸法算出方法に対応できない。
また、特許文献２の方法は測定領域を手作業で入力して測定を行う方法であるため、ピストンリング材のように求めたい寸法が多数存在して自動測定を行うことが必要となる場合には対応できない。そこで、一度行った操作を記憶して置き、その操作をトレースして自動寸法測定を行うとするとしても、毎回同じ位置に設定した測定領域内にある輪郭形状データを使って形状評価を行うこととなる。そのために、例えばピストンリング材のＲ部を円近似する場合には、同じ製品でも物が変れば輪郭形状も少なからず変化するために円弧部位ばかりか、直線部位の輪郭形状データをも測定領域内に含めて近似してしまい、誤った形状評価となる恐れがある。また、特許文献２に開示された二次元ベストフィット処理も、設計値データとして与えたデータと輪郭形状データとの照合度合いを定量的に評価するのみの手法であるため、適切な位置に測定領域を設定するものではない。仮に、ベストフィットで測定領域を設定したとしても大まかな位置検出でしかなく、ピストンリング材のような高い寸法精度が要求される自動測定には対応が難しい。
【０００５】
本発明は、上記した問題に鑑み、高い寸法精度が要求される特定部位のコーナーＲの半径、距離又は角度等の寸法を、自動で算出することができる形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る形状測定システムは、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、前記輪郭形状画像に対して、幾何学的パターンマッチング（以下ＰＭと略する場合がある。）を行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、第１評価領域，２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
前記評価領域設定手段は、予め任意の輪郭形状画像から特定部位の画像を切り出して登録したマスター画像を、予め設定しておいたサーチ領域内で測定対象の前記輪郭形状画像とＰＭをさせて、被測定対象部位を探索するとともに、その時のマスター画像の所定位置を基準として探索した被測定対象部位の輪郭形状画像の所定周辺部に第１評価領域、第２評価領域を設定するものである。第１評価領域、第２評価領域は、輪郭形状が直線状である部分を囲うように設定している。
【０００８】
前記形状評価手段は、設定した形状評価の種類に応じて、前記測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行するものであり、その処理結果を表示手段に出力するようにすると良い。
【０００９】
前記、形状評価の種類は、例えばピーク点、接線、垂線、平行線、円、直線等の幾何要素自体の物理量や、例えば交点、距離、交角、半径等の一つの幾何要素と他の幾何要素との間で算出される物理量のことを言う。
【００１０】
また、本発明の形状測定システムは、測定すべき特定部位に係わるマスター画像、評価領域、測定領域、形状評価種類等のデータを測定箇所分予め記憶する外部記憶装置を備えると、複数の測定部位を順次自動的に測定することができるので好ましい。
【００１１】
本発明に係る形状測定方法は、被測定対象の輪郭形状データを読み込む輪郭形状入力段階と、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成段階と、輪郭画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定段階と、第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定段階と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価段階とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
本発明に係る形状測定プログラムは、コンピュータによって被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定するための形状測定プログラムであって、輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成ステップと、輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を算出するステップと、第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を算出するステップと、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行するステップとを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、上記のような構成の形状測定システムとしたので、被測定物の形状を測定するにあたり、パターンマッチングを用いて設定した第１、第２評価領域中に含まれる形状変化が起こり難い直線状部分を直線近似してなる２の直線の交点を基準として、測定すべき部位が含まれるように自動的に測定領域を設定し、測定領域に含まれる当該部位の幾何要素の物理量を測定するので、所定の形状に対して被測定物の形状に変化が生じている場合でも精度よく形状測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明について、その実施態様に基づき図面を参照しつつ説明する。なお、以下、計測の対象をエンジン等に装着されるピストンリングとし、該ピストンリングとシリンダとの接する面に存する、図６において符号３１ｅで示す幾何要素が円であり物理量が円の半径である角部のＲの寸法計測を例に説明する。
【００１５】
本発明の形状測定システムに係るコンピュータ装置は、コンピュータ本体、キーボード、マウス、及びディスプレイを備えて構成されている。コンピュータ本体は例えば、図２に示すように構成されている。即ち、ＣＰＵ１１と、本発明の形状測定システムを収納したプログラムメモリ１２と、ＣＰＵ１１での各種処理のための作業領域を提供するワークメモリ１３と、プログラムメモリ１２に格納されたプログラムに従って変換された画像情報を格納する画像メモリ１４と、画像メモリ１４に格納された画像情報をディスプレイに表示する表示制御部１５と、測定アイテム等の各種情報をマウス等で入力するインターフェース１６と、輪郭形状データやマスター画像、測定手順等を保存しておくための外部記憶装置１７を備えており、各種情報はバスを介してやり取りされる。
【００１６】
図１は、上記プログラムメモリ１２に格納された形状測定システムの構成を示す機能ブロック図である。輪郭形状画像生成手段２１は、ＣＰＵ１１からの読み出し要求に従い読み出された輪郭形状データを画像に変換し画像メモリ１４に格納する。評価領域設定手段２２は、画像メモリ１４に格納された画像に対してＰＭを実行してマスター画像と合致する部位を求め、その部位を基準にして予め設定しておいた相対位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する。測定領域設定手段２３は、第１評価領域、第２評価領域内にある輪郭形状データに対して直線近似を行い、２直線の交点を求め、交点から予め設定しておいた相対位置に測定領域を設定する。形状評価手段２４は、測定領域内の輪郭形状データに対して、指定された形状評価のための各種の演算処理を実行し、例えば結果をディスプレイに表示したり、別のシステムに出力したりする。
【００１７】
図３は、上記形状測定システムの全体の動作を示すフローチャートである。まず、本システムは、前処理としてマスター画像や評価領域の相対位置や測定領域の相対位置等の各種設定情報を読み込む（Ｓ１）。次に、本システムは、図４のフォーマットに従ってデータ個数と輪郭点情報を出力した輪郭形状データを読み込む（Ｓ２）。輪郭形状画像生成手段２１が輪郭形状データを画像に変換して画像メモリに格納する（Ｓ３）。次に、評価領域設定手段２２がＰＭによる位置検出にてマスター画像と合致する位置を検出し、第１評価領域と第２評価領域を算出する（Ｓ４）。続いて、測定領域設定手段２３が測定領域を算出する（Ｓ５）。測定領域が求まったら、形状評価手段２４が輪郭形状の評価処理を実行する（Ｓ６）。
以下、評価領域設定手段２２、測定領域設定手段２３及び形状評価手段２４の構成及び動作について具体的に説明する。なお、輪郭形状画像生成手段２１は周知の画像処理手段で構成することが可能であり詳細な説明を省略する。
【００１８】
［評価領域設定手段］
評価領域設定手段２２について図５〜図９を参照し説明する。図５は評価領域設定手段２２の処理手順を示すフローチャートを示す図である。図６〜９は、図５の各ステップ（Ｓ４１〜４４）に対応する処理を可視的に示す概念図であり、図中の符号３１は、読み込まれた輪郭形状データを輪郭形状画像生成手段２１が変換してなるピストンリングの画像の輪郭であるワーク輪郭である。
【００１９】
まず、図６に示すように、原点Ｇを基準として所定の大きさを持つＸ，Ｙ平面Ｐ内の任意の位置に置かれたワーク輪郭３１の鉛直に伸びた第１の稜線３１ａと、水平に伸びた第２の稜線３１ｂを直線近似してなる直線の交点を求め第１基準点３４とする（図５のＳ４１）。次に、図７に示すように、第１基準点３４が平面Ｐの中心に位置するようにワーク輪郭３１を移動する。その後、例えば予め設定された座標（Iｘ、Ｉy）にサーチ領域３５の左側上方端点が位置するように、測定すべき角部のＲの稜線（以下測定稜線と称する。）３１ｅを含むワーク輪郭３１の左突端部の所定部位にサーチ領域３５を設定する（同Ｓ４２）。ここで、サーチ領域３５とは、所望の測定部位を含み後述するＰＭを行うための所定の大きさを有する矩形の領域である。
【００２０】
図８に示すように、サーチ領域３５内においてマスター画像３７を動かして、該サーチ領域３５内のワーク輪郭３１とマスター画像３７とのＰＭを所定のルールで行う。そして、マスター画像３７とワーク輪郭３１とが最も合致する位置におけるマスター画像３７の左側上方端点の位置（ＳＡx、ＳＡｙ）を第２基準点３６とする（同Ｓ４３）。ここで、本態様のマスター画像３７は、事前に基準となるピストンリングの形状を計測し、それから得られた測定稜線３１ｅに対応する所定部位の画像を取得しておいたものである。なお、マスター画像としては設計データを画像化したものなども使用することができる。
【００２１】
次に、図９に示すように、第１評価領域３８を設定する（同Ｓ４４）。ここで、第１評価領域３８は、測定稜線３１ｅの右方につながる水平な第３の稜線３１ｃの一部を包含するように、また、第２評価領域３９は、測定稜線３１ｅの下方につながる第１の稜線３１ａを含むように設定される。これは、第３の稜線３１ｃと第１の稜線３１ａとを直線近似してなる直線との交点が測定稜線３１ｅの計測における基準点となるためである。なお、本態様では、第１、第２評価領域３８、３９は、第２基準点３６から第１、第２評価領域３８、３９の左側上方端点までの距離が上記の条件を満たすような大きさとなるように設定される。すなわち、図示するように、第１評価領域３８についてはＸ、Ｙ軸方向にＨＡｘ、ＨＡｙと、第２評価領域３９についてはＸ、Ｙ軸方向にＨＢｘ、ＨＢｙとなるように、第１、第２評価領域３８、３９の位置が設定される。なお、本態様では角部のＲの寸法を計測するため第３の稜線３１ｃ及び第１の稜線３１ａを含むように第１、２評価領域３８，３９を設定したが、例えば符号３１ｄで示す傾斜した稜線を含むように評価領域を設定するようにしてもよい。
【００２２】
上記のように第１、第２評価領域３８、３９は、計測されたピストンリングのワーク輪郭３１の形状とマスター画像３７を所定のルールでＰＭさせ、ＰＭで位置決めされたマスター画像３７の所定点を基準として設定される。したがって、計測されたピストンリングのワーク輪郭３１とマスター画像３７のピストンリングの輪郭とが完全に合致しない場合でも、第１、第２評価領域３８、３９が設定される。
【００２３】
［測定領域設定手段］
測定領域設定手段２３について図１０〜１２を参照し説明する。図１０は測定領域設定手段２２の処理手順を示すフローチャートを示す図である。図１１、１２は、図１０の各ステップ（Ｓ５１、５２）に対応する処理を可視的に示す概念図である。
【００２４】
まず、図１１に示すように、第１評価領域３８に包含された第３の稜線３１ｃを直線近似してなる直線４０を求める。また、同様にして、第２評価領域３９に包含された第３の稜線３１ａを直線近似してなる直線４１を求める。そして、この２つの直線４０，４１の交点を求め、第３基準点４２とする（図１０のＳ５１）。
【００２５】
次に、図１２に示すように、第３基準点４２を基準として所定の範囲に測定領域４３を設定する。ここで、測定領域４３は、測定稜線３１ｅを含むように設定される。本態様では、第３基準点４２から測定領域４３の左側上方端点までの距離が、Ｘ軸方向においてＰ０ｘ、Ｙ軸方向においてＰ０ｙとなるように設定されている（Ｓ５２）。
【００２６】
この測定領域４３は、上記した評価領域設定手段２２によりＰＭで設定された第２基準点３６を基準として設定することも可能である。しかしながら、測定領域設定手段２３により設定された第３基準点４２は、実際に測定されたピストンリングのワーク輪郭３１を基準として設定されるものである。したがって、第３基準点４２は実際のワーク輪郭３１の形状を反影したものとなるので、よりピストンリングの形状の変化に対応し精度よく寸法を計測することが可能となる。
【００２７】
［形状評価手段］
形状評価手段２４は、前記測定領域４３内のワーク輪郭３１に対し演算処理を行う。形状評価手段は、例えば任意の幾何要素を当てはめ、幾何要素自体の物理量の算出及び幾何要素と他の幾何要素との間の物理量の算出を実行する。ここで、幾何要素とは、例えばピーク点、接線、垂線、平行線、円、直線等のうちの少なくとも一つを含み、幾何要素自体の物理量及び幾何要素と他の幾何要素との間の物理量とは、例えば交点、距離、交角、半径等の少なくとも一つを含むものである。本態様においては、形状評価手段２４は、測定領域４３内の測定稜線３１ｅに対して円近似を行い、Ｒの半径を算出する。
【００２８】
以上、角部のＲの半径を求めるために、該Ｒを形成する測定稜線３１ｅができるだけ多く含まれるように測定領域４３を設定し、その測定稜線３１ｅに対して円近似するという方法を説明したが、測定領域設定手段２３においては、Ｒの半径を求めるため変曲点を用いることもできる。
【００２９】
図１３は円近似を行う場合に変曲点を用いた例である。図１３に示すように、第３の稜線３１ｃに直線近似させた水平方向に伸びる直線４０に沿い第３基準点４２を基準に所定の位置に第１の測定領域６１を設定する。また、同様に、第１の稜線３１ａに直線近似させた鉛直直線４１に沿い第３基準点４２を基準に所定の位置に第２の測定領域６２を設定する。次に、第１の測定領域６１内のワーク輪郭３１に対して直線４０から所定の距離だけ離れた最初の点を第１の変曲点６３とし、第２の測定領域６２内のワーク輪郭３１に対して直線４１から所定の距離離れた最初の点を第２の変曲点６４とする。そして、第１の変曲点６３と第２の変曲点６４の間に存在するワーク輪郭３１、すなわち測定稜線３１ｅに対して形状評価手段２４が円近似をし、Ｒの半径を求める。このように変曲点を用いＲの半径を求めることで、Ｒを形成する測定稜線３１ｅ以外のデータを除外できるので、更に精度良く角部のＲの半径を求めることが可能となる。
【００３０】
次に、図１４に基づいて、ピストンリングの幅８０を求める方法を説明する。本形状計測システムによれば、まず、上記説明と同様にして両突端部における外側の角部の第３基準点を求める。具体的には、左側突端部に設定した一方のサーチ領域３５内において一方のマスター画像３７を使いＰＭで求めた一方の第２基準点３６に基づいて一方の第１の測定領域７１及び第２の測定領域７２を設定し、一方の第３基準点７３を求める。同様に、右側突端部に設定した他方のサーチ領域７９内において他方のマスター画像７７を使いＰＭで求めた他方の第２基準点７８に基づいて他方の第１の測定領域７４及び第２の測定領域７５を設定し、他方の第３基準点７６を求める。そして、一方の第３基準点７３と他方の第３基準点７６の間の距離８０を求める。離れた２点間の距離を求める場合には、この例のようにサーチ領域を分けて各々で点を求める事で形状変化に追従した距離寸法の測定が可能となる。
【００３１】
以上、一つの幾何要素の物理量を求めた例を説明したが、例えば交点、距離、交角、半径等測定すべき形状評価項目が複数ある場合でも、所定の幾何要素の物理量に対する輪郭形状画像内でのサーチ領域の場所とＰＭに使うマスター画像、第１評価領域,第２評価領域,測定領域の相対位置、形状評価の種類等を外部記憶装置１７に記憶させておけば、図２に示す本形状評価システムの処理を順次実行させることで、設定した複数の形状測定を自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る形状計測システムの機能ブロック図である。
【図２】図１のシステムが内蔵されたコンピュータ装置の構成を示す構成図である。
【図３】図１のシステムの動作を示すフローチャートである。
【図４】図１のシステムで読み込まれる輪郭形状のデータ形式である。
【図５】図１のシステムにおける評価領域の設定処理方法を説明するフローチャートである。
【図６】図５のフローにおいて輪郭形状画像の座標系での基準点の算出方法を説明する図である。
【図７】図５のフローにおいてサーチ領域を設定する方法を説明する図である。
【図８】図５のフローにおいてＰＭを用いて位置を検出する方法を説明する図である。
【図９】図５のフローにおいて評価領域を設定する方法を説明する図である。
【図１０】図１のシステムにおける測定領域を設定処理方法を説明するフローチャートである。
【図１１】図１０のフローにおいて測定領域の基準点を算出する方法を説明する図である。
【図１２】図１０のフローにおいて測定領域を設定する方法を説明する図である。
【図１３】図１のシステムにおける変曲点を利用した円近似方法を説明する図である。
【図１４】図１のシステムにおける２点間の距離の算出方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１１ ＣＰＵ
１２ プログラムメモリ
１３ ワーキングメモリ
１４ 画像メモリ
１５ 表示制御部
１６ インターフェース
１７ 外部記憶装置
２１ 輪郭形状画像生成手段
２２ 評価領域設定手段
２３ 測定領域設定手段
２４ 形状評価手段
３１ ワーク輪郭
３２ 第１の稜線
３３ 第２の稜線
３４ 第１基準点
３５ サーチ領域（一方のサーチ領域）
３６ 第２基準点（一方の第２基準点）
３７ マスター画像（一方のマスター画像）
３８ 第１の評価領域
３９ 第２の評価領域
４０ 近似直線
４１ 近似直線
４２ 第３基準点
４３ 測定領域
６１ 第１の測定領域
６２ 第２の測定領域
６３ 第1の変曲点
６４ 第２の変曲点
７１ 一方の第１の測定領域
７２ 一方の第２の測定領域
７３ 一方の第３基準点
７４ 他方の第１の測定領域
７５ 他方の第２の測定領域
７６ 他方の第３基準点
７７ 他方のマスター画像
７８ 他方の第２基準点
７９ 他方のサーチ領域
８０ ピストンリングの幅
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば内燃機関で用いられるピストンリング材の特定部位におけるコーナーＲ半径、距離、角度等の寸法を高い精度で算出し評価することを目的とした形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の被測定対象の寸法測定を行う手段が、例えば下記特許文献１、特許文献２に開示されている。特許文献１によれば、２台の対向配置したレーザ距離計を水平方向に走行させてＨ型鋼の形状を測定し、得られた４つの輪郭形状データに対して同じ個所の測定情報を基に合成して同一空間座標に置き換え、この空間座標からＨ型鋼フランジ幅、脚長等の断面寸法を自動で算出するものである。この方法では、得られた輪郭形状データから寸法を算出するための幾何要素当てはめに直線近似を利用しており、直線近似によって求めた直線式を使って交点を算出しＨ型鋼フランジ幅、脚長等のように直線で構成される部分の寸法測定を行い、最終的には求めたフランジ幅、脚長等を用いて被測定対象の断面寸法を求めている。
【０００３】
特許文献２によれば、撮像した被測定対象画像に対して、画像内の設定された初期ウインドウ位置からエッジに沿って自立的に移動しながら必要なエッジ点をサンプリングして輪郭形状データを得る。その後、オペレータは求めたい物理量に対応した形状評価種類を選択する。形状評価種類とは、円、直線、ピーク点、接線、垂線などの幾何要素自体の物理量、又は交角、距離、半径、面積などの幾何要素と他の幾何要素との間の物理量のことである。そして、選択された形状評価種類に対応した測定領域の入力や幾何要素の選択がオペレータに促される。オペレータはこれに応答してマウスで測定領域の指定等を行うと、形状評価処理が実行され所望の寸法を得ることができるとされている。
【特許文献１】特開平８−３２７３２９号公報（段落番号００４５〜００４７）
【特許文献２】特開平１１−１１８４４４号公報（段落番号００３６〜００４０、００４５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ピストンリング材は内燃機関に用いられる部品であるため、シリンダと接触する面部の形状が特に重要となり、高い寸法精度が要求される。しかしながら、ピストンリング材の測定に特許文献１の方法を用いようとすると、幾何要素の当てはめが直線のみのために、ピストンリング材のようにＲが付いた場合の寸法算出には対応できない。更には、直線から円に変化する変曲点や円と直線の交点を使って距離を求めるといったような多彩な寸法算出方法に対応できない。
また、特許文献２の方法は測定領域を手作業で入力して測定を行う方法であるため、ピストンリング材のように求めたい寸法が多数存在して自動測定を行うことが必要となる場合には対応できない。そこで、一度行った操作を記憶して置き、その操作をトレースして自動寸法測定を行うとするとしても、毎回同じ位置に設定した測定領域内にある輪郭形状データを使って形状評価を行うこととなる。そのために、例えばピストンリング材のＲ部を円近似する場合には、同じ製品でも物が変れば輪郭形状も少なからず変化するために円弧部位ばかりか、直線部位の輪郭形状データをも測定領域内に含めて近似してしまい、誤った形状評価となる恐れがある。また、特許文献２に開示された二次元ベストフィット処理も、設計値データとして与えたデータと輪郭形状データとの照合度合いを定量的に評価するのみの手法であるため、適切な位置に測定領域を設定するものではない。仮に、ベストフィットで測定領域を設定したとしても大まかな位置検出でしかなく、ピストンリング材のような高い寸法精度が要求される自動測定には対応が難しい。
【０００５】
本発明は、上記した問題に鑑み、高い寸法精度が要求される特定部位のコーナーＲの半径、距離又は角度等の寸法を、自動で算出することができる形状測定システム、形状測定方法及び形状測定プログラムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る形状測定システムは、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、前記輪郭形状画像に対して、幾何学的パターンマッチング（以下ＰＭと略する場合がある。）を行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、第１評価領域，２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
前記評価領域設定手段は、予め任意の輪郭形状画像から特定部位の画像を切り出して登録したマスター画像を、予め設定しておいたサーチ領域内で測定対象の前記輪郭形状画像とＰＭをさせて、被測定対象部位を探索するとともに、その時のマスター画像の所定位置を基準として探索した被測定対象部位の輪郭形状画像の所定周辺部に第１評価領域、第２評価領域を設定するものである。第１評価領域、第２評価領域は、輪郭形状が直線状である部分を囲うように設定している。
【０００８】
前記形状評価手段は、設定した形状評価の種類に応じて、前記測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め、所定の寸法測定処理を実行するものであり、その処理結果を表示手段に出力するようにすると良い。
【０００９】
前記、形状評価の種類は、例えばピーク点、接線、垂線、平行線、円、直線等の幾何要素自体の物理量や、例えば交点、距離、交角、半径等の一つの幾何要素と他の幾何要素との間で算出される物理量のことを言う。
【００１０】
また、本発明の形状測定システムは、測定すべき特定部位に係わるマスター画像、評価領域、測定領域、形状評価種類等のデータを測定箇所分予め記憶する外部記憶装置を備えると、複数の測定部位を順次自動的に測定することができるので好ましい。
【００１１】
本発明に係る形状測定方法は、被測定対象の輪郭形状データを読み込む輪郭形状入力段階と、読み込んだ輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成段階と、輪郭画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定段階と、第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定段階と、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価段階とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
本発明に係る形状測定プログラムは、コンピュータによって被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定するための形状測定プログラムであって、輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成ステップと、輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を算出するステップと、第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を算出するステップと、設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行するステップとを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、上記のような構成の形状測定システムとしたので、被測定物の形状を測定するにあたり、パターンマッチングを用いて設定した第１、第２評価領域中に含まれる形状変化が起こり難い直線状部分を直線近似してなる２の直線の交点を基準として、測定すべき部位が含まれるように自動的に測定領域を設定し、測定領域に含まれる当該部位の幾何要素の物理量を測定するので、所定の形状に対して被測定物の形状に変化が生じている場合でも精度よく形状測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明について、その実施態様に基づき図面を参照しつつ説明する。なお、以下、計測の対象をエンジン等に装着されるピストンリングとし、該ピストンリングとシリンダとの接する面に存する、図６において符号３１ｅで示す幾何要素が円であり物理量が円の半径である角部のＲの寸法計測を例に説明する。
【００１５】
本発明の形状測定システムに係るコンピュータ装置は、コンピュータ本体、キーボード、マウス、及びディスプレイを備えて構成されている。コンピュータ本体は例えば、図２に示すように構成されている。即ち、ＣＰＵ１１と、本発明の形状測定システムを収納したプログラムメモリ１２と、ＣＰＵ１１での各種処理のための作業領域を提供するワークメモリ１３と、プログラムメモリ１２に格納されたプログラムに従って変換された画像情報を格納する画像メモリ１４と、画像メモリ１４に格納された画像情報をディスプレイに表示する表示制御部１５と、測定アイテム等の各種情報をマウス等で入力するインターフェース１６と、輪郭形状データやマスター画像、測定手順等を保存しておくための外部記憶装置１７を備えており、各種情報はバスを介してやり取りされる。
【００１６】
図１は、上記プログラムメモリ１２に格納された形状測定システムの構成を示す機能ブロック図である。輪郭形状画像生成手段２１は、ＣＰＵ１１からの読み出し要求に従い読み出された輪郭形状データを画像に変換し画像メモリ１４に格納する。評価領域設定手段２２は、画像メモリ１４に格納された画像に対してＰＭを実行してマスター画像と合致する部位を求め、その部位を基準にして予め設定しておいた相対位置に第１評価領域、第２評価領域を設定する。測定領域設定手段２３は、第１評価領域、第２評価領域内にある輪郭形状データに対して直線近似を行い、２直線の交点を求め、交点から予め設定しておいた相対位置に測定領域を設定する。形状評価手段２４は、測定領域内の輪郭形状データに対して、指定された形状評価のための各種の演算処理を実行し、例えば結果をディスプレイに表示したり、別のシステムに出力したりする。
【００１７】
図３は、上記形状測定システムの全体の動作を示すフローチャートである。まず、本システムは、前処理としてマスター画像や評価領域の相対位置や測定領域の相対位置等の各種設定情報を読み込む（Ｓ１）。次に、本システムは、図４のフォーマットに従ってデータ個数と輪郭点情報を出力した輪郭形状データを読み込む（Ｓ２）。輪郭形状画像生成手段２１が輪郭形状データを画像に変換して画像メモリに格納する（Ｓ３）。次に、評価領域設定手段２２がＰＭによる位置検出にてマスター画像と合致する位置を検出し、第１評価領域と第２評価領域を算出する（Ｓ４）。続いて、測定領域設定手段２３が測定領域を算出する（Ｓ５）。測定領域が求まったら、形状評価手段２４が輪郭形状の評価処理を実行する（Ｓ６）。
以下、評価領域設定手段２２、測定領域設定手段２３及び形状評価手段２４の構成及び動作について具体的に説明する。なお、輪郭形状画像生成手段２１は周知の画像処理手段で構成することが可能であり詳細な説明を省略する。
【００１８】
［評価領域設定手段］
評価領域設定手段２２について図５〜図９を参照し説明する。図５は評価領域設定手段２２の処理手順を示すフローチャートを示す図である。図６〜９は、図５の各ステップ（Ｓ４１〜４４）に対応する処理を可視的に示す概念図であり、図中の符号３１は、読み込まれた輪郭形状データを輪郭形状画像生成手段２１が変換してなるピストンリングの画像の輪郭であるワーク輪郭である。
【００１９】
まず、図６に示すように、原点Ｇを基準として所定の大きさを持つＸ，Ｙ平面Ｐ内の任意の位置に置かれたワーク輪郭３１の鉛直に伸びた第１の稜線３１ａと、水平に伸びた第２の稜線３１ｂを直線近似してなる直線の交点を求め第１基準点３４とする（図５のＳ４１）。次に、図７に示すように、第１基準点３４が平面Ｐの中心に位置するようにワーク輪郭３１を移動する。その後、例えば予め設定された座標（Iｘ、Ｉy）にサーチ領域３５の左側上方端点が位置するように、測定すべき角部のＲの稜線（以下測定稜線と称する。）３１ｅを含むワーク輪郭３１の左突端部の所定部位にサーチ領域３５を設定する（同Ｓ４２）。ここで、サーチ領域３５とは、所望の測定部位を含み後述するＰＭを行うための所定の大きさを有する矩形の領域である。
【００２０】
図８に示すように、サーチ領域３５内においてマスター画像３７を動かして、該サーチ領域３５内のワーク輪郭３１とマスター画像３７とのＰＭを所定のルールで行う。そして、マスター画像３７とワーク輪郭３１とが最も合致する位置におけるマスター画像３７の左側上方端点の位置（ＳＡx、ＳＡｙ）を第２基準点３６とする（同Ｓ４３）。ここで、本態様のマスター画像３７は、事前に基準となるピストンリングの形状を計測し、それから得られた測定稜線３１ｅに対応する所定部位の画像を取得しておいたものである。なお、マスター画像としては設計データを画像化したものなども使用することができる。
【００２１】
次に、図９に示すように、第１評価領域３８を設定する（同Ｓ４４）。ここで、第１評価領域３８は、測定稜線３１ｅの右方につながる水平な第３の稜線３１ｃの一部を包含するように、また、第２評価領域３９は、測定稜線３１ｅの下方につながる第１の稜線３１ａを含むように設定される。これは、第３の稜線３１ｃと第１の稜線３１ａとを直線近似してなる直線との交点が測定稜線３１ｅの計測における基準点となるためである。なお、本態様では、第１、第２評価領域３８、３９は、第２基準点３６から第１、第２評価領域３８、３９の左側上方端点までの距離が上記の条件を満たすような大きさとなるように設定される。すなわち、図示するように、第１評価領域３８についてはＸ、Ｙ軸方向にＨＡｘ、ＨＡｙと、第２評価領域３９についてはＸ、Ｙ軸方向にＨＢｘ、ＨＢｙとなるように、第１、第２評価領域３８、３９の位置が設定される。なお、本態様では角部のＲの寸法を計測するため第３の稜線３１ｃ及び第１の稜線３１ａを含むように第１、２評価領域３８，３９を設定したが、例えば符号３１ｄで示す傾斜した稜線を含むように評価領域を設定するようにしてもよい。
【００２２】
上記のように第１、第２評価領域３８、３９は、計測されたピストンリングのワーク輪郭３１の形状とマスター画像３７を所定のルールでＰＭさせ、ＰＭで位置決めされたマスター画像３７の所定点を基準として設定される。したがって、計測されたピストンリングのワーク輪郭３１とマスター画像３７のピストンリングの輪郭とが完全に合致しない場合でも、第１、第２評価領域３８、３９が設定される。
【００２３】
［測定領域設定手段］
測定領域設定手段２３について図１０〜１２を参照し説明する。図１０は測定領域設定手段２２の処理手順を示すフローチャートを示す図である。図１１、１２は、図１０の各ステップ（Ｓ５１、５２）に対応する処理を可視的に示す概念図である。
【００２４】
まず、図１１に示すように、第１評価領域３８に包含された第３の稜線３１ｃを直線近似してなる直線４０を求める。また、同様にして、第２評価領域３９に包含された第３の稜線３１ａを直線近似してなる直線４１を求める。そして、この２つの直線４０，４１の交点を求め、第３基準点４２とする（図１０のＳ５１）。
【００２５】
次に、図１２に示すように、第３基準点４２を基準として所定の範囲に測定領域４３を設定する。ここで、測定領域４３は、測定稜線３１ｅを含むように設定される。本態様では、第３基準点４２から測定領域４３の左側上方端点までの距離が、Ｘ軸方向においてＰ０ｘ、Ｙ軸方向においてＰ０ｙとなるように設定されている（Ｓ５２）。
【００２６】
この測定領域４３は、上記した評価領域設定手段２２によりＰＭで設定された第２基準点３６を基準として設定することも可能である。しかしながら、測定領域設定手段２３により設定された第３基準点４２は、実際に測定されたピストンリングのワーク輪郭３１を基準として設定されるものである。したがって、第３基準点４２は実際のワーク輪郭３１の形状を反影したものとなるので、よりピストンリングの形状の変化に対応し精度よく寸法を計測することが可能となる。
【００２７】
［形状評価手段］
形状評価手段２４は、前記測定領域４３内のワーク輪郭３１に対し演算処理を行う。形状評価手段は、例えば任意の幾何要素を当てはめ、幾何要素自体の物理量の算出及び幾何要素と他の幾何要素との間の物理量の算出を実行する。ここで、幾何要素とは、例えばピーク点、接線、垂線、平行線、円、直線等のうちの少なくとも一つを含み、幾何要素自体の物理量及び幾何要素と他の幾何要素との間の物理量とは、例えば交点、距離、交角、半径等の少なくとも一つを含むものである。本態様においては、形状評価手段２４は、測定領域４３内の測定稜線３１ｅに対して円近似を行い、Ｒの半径を算出する。
【００２８】
以上、角部のＲの半径を求めるために、該Ｒを形成する測定稜線３１ｅができるだけ多く含まれるように測定領域４３を設定し、その測定稜線３１ｅに対して円近似するという方法を説明したが、測定領域設定手段２３においては、Ｒの半径を求めるため変曲点を用いることもできる。
【００２９】
図１３は円近似を行う場合に変曲点を用いた例である。図１３に示すように、第３の稜線３１ｃに直線近似させた水平方向に伸びる直線４０に沿い第３基準点４２を基準に所定の位置に第１の測定領域６１を設定する。また、同様に、第１の稜線３１ａに直線近似させた鉛直直線４１に沿い第３基準点４２を基準に所定の位置に第２の測定領域６２を設定する。次に、第１の測定領域６１内のワーク輪郭３１に対して直線４０から所定の距離だけ離れた最初の点を第１の変曲点６３とし、第２の測定領域６２内のワーク輪郭３１に対して直線４１から所定の距離離れた最初の点を第２の変曲点６４とする。そして、第１の変曲点６３と第２の変曲点６４の間に存在するワーク輪郭３１、すなわち測定稜線３１ｅに対して形状評価手段２４が円近似をし、Ｒの半径を求める。このように変曲点を用いＲの半径を求めることで、Ｒを形成する測定稜線３１ｅ以外のデータを除外できるので、更に精度良く角部のＲの半径を求めることが可能となる。
【００３０】
次に、図１４に基づいて、ピストンリングの幅８０を求める方法を説明する。本形状計測システムによれば、まず、上記説明と同様にして両突端部における外側の角部の第３基準点を求める。具体的には、左側突端部に設定した一方のサーチ領域３５内において一方のマスター画像３７を使いＰＭで求めた一方の第２基準点３６に基づいて一方の第１の測定領域７１及び第２の測定領域７２を設定し、一方の第３基準点７３を求める。同様に、右側突端部に設定した他方のサーチ領域７９内において他方のマスター画像７７を使いＰＭで求めた他方の第２基準点７８に基づいて他方の第１の測定領域７４及び第２の測定領域７５を設定し、他方の第３基準点７６を求める。そして、一方の第３基準点７３と他方の第３基準点７６の間の距離８０を求める。離れた２点間の距離を求める場合には、この例のようにサーチ領域を分けて各々で点を求める事で形状変化に追従した距離寸法の測定が可能となる。
【００３１】
以上、一つの幾何要素の物理量を求めた例を説明したが、例えば交点、距離、交角、半径等測定すべき形状評価項目が複数ある場合でも、所定の幾何要素の物理量に対する輪郭形状画像内でのサーチ領域の場所とＰＭに使うマスター画像、第１評価領域,第２評価領域,測定領域の相対位置、形状評価の種類等を外部記憶装置１７に記憶させておけば、図２に示す本形状評価システムの処理を順次実行させることで、設定した複数の形状測定を自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る形状計測システムの機能ブロック図である。
【図２】図１のシステムが内蔵されたコンピュータ装置の構成を示す構成図である。
【図３】図１のシステムの動作を示すフローチャートである。
【図４】図１のシステムで読み込まれる輪郭形状のデータ形式である。
【図５】図１のシステムにおける評価領域の設定処理方法を説明するフローチャートである。
【図６】図５のフローにおいて輪郭形状画像の座標系での基準点の算出方法を説明する図である。
【図７】図５のフローにおいてサーチ領域を設定する方法を説明する図である。
【図８】図５のフローにおいてＰＭを用いて位置を検出する方法を説明する図である。
【図９】図５のフローにおいて評価領域を設定する方法を説明する図である。
【図１０】図１のシステムにおける測定領域を設定処理方法を説明するフローチャートである。
【図１１】図１０のフローにおいて測定領域の基準点を算出する方法を説明する図である。
【図１２】図１０のフローにおいて測定領域を設定する方法を説明する図である。
【図１３】図１のシステムにおける変曲点を利用した円近似方法を説明する図である。
【図１４】図１のシステムにおける２点間の距離の算出方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１１ ＣＰＵ
１２ プログラムメモリ
１３ ワーキングメモリ
１４ 画像メモリ
１５ 表示制御部
１６ インターフェース
１７ 外部記憶装置
２１ 輪郭形状画像生成手段
２２ 評価領域設定手段
２３ 測定領域設定手段
２４ 形状評価手段
３１ ワーク輪郭
３２ 第１の稜線
３３ 第２の稜線
３４ 第１基準点
３５ サーチ領域（一方のサーチ領域）
３６ 第２基準点（一方の第２基準点）
３７ マスター画像（一方のマスター画像）
３８ 第１の評価領域
３９ 第２の評価領域
４０ 近似直線
４１ 近似直線
４２ 第３基準点
４３ 測定領域
６１ 第１の測定領域
６２ 第２の測定領域
６３ 第1の変曲点
６４ 第２の変曲点
７１ 一方の第１の測定領域
７２ 一方の第２の測定領域
７３ 一方の第３基準点
７４ 他方の第１の測定領域
７５ 他方の第２の測定領域
７６ 他方の第３基準点
７７ 他方のマスター画像
７８ 他方の第２基準点
７９ 他方のサーチ領域
８０ ピストンリングの幅
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータシステムを用いて被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定する形状測定システムにおいて、
輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、
輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データを直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴とする形状測定システム。
【請求項２】
コンピュータシステムを用いて被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定する方法において、
輪郭形状データを読み込む輪郭形状入力段階と、
輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成段階と、
輪郭画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定段階と、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定段階と、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価段階とを備えたことを特徴とする形状測定方法。
【請求項３】
コンピュータによって被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定するための形状測定プログラムであって、
輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成ステップと、
輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を算出するステップと、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を算出するステップと、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行するステップとを備えたことを特徴とする形状測定プログラム。
【請求項１】
コンピュータシステムを用いて被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定する形状測定システムにおいて、
輪郭形状データから輪郭形状画像を生成する輪郭形状画像生成手段と、
輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定手段と、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データを直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定手段と、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価手段とを備えたことを特徴とする形状測定システム。
【請求項２】
コンピュータシステムを用いて被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定する方法において、
輪郭形状データを読み込む輪郭形状入力段階と、
輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成段階と、
輪郭画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を設定する評価領域設定段階と、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を設定する測定領域設定段階と、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行する形状評価段階とを備えたことを特徴とする形状測定方法。
【請求項３】
コンピュータによって被測定対象の輪郭形状データを基に被測定対象部位の寸法を測定するための形状測定プログラムであって、
輪郭形状データから輪郭形状画像を作成する輪郭形状画像生成ステップと、
輪郭形状画像にパターンマッチングを行って求めた被測定対象部位の周辺所定位置に第１評価領域，第２評価領域を算出するステップと、
第１評価領域，第２評価領域内の輪郭形状データに基づき直線近似した２直線の交点を基準として測定領域を算出するステップと、
設定した形状評価の種類に応じて測定領域内の輪郭形状データに対して幾何要素の物理量を求め所定の寸法測定処理を実行するステップとを備えたことを特徴とする形状測定プログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００６−２１４８７０（Ｐ２００６−２１４８７０Ａ）
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２７９９７（Ｐ２００５−２７９９７）
【出願日】平成１７年２月３日（２００５．２．３）
【出願人】（０００００５０８３）日立金属株式会社 (2,051)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年２月３日（２００５．２．３）
【出願人】（０００００５０８３）日立金属株式会社 (2,051)
【Ｆターム（参考）】
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