感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

【課題】露光感度に特に優れ、表面のタック性が小さく、ラミネート性、取扱い性が良好で、保存安定性に優れ、現像後に優れた耐メッキ性、耐薬品性、表面硬度、耐熱性などを発現する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。
【解決手段】アルカリ可溶性共重合体と、α位に置換メチル基を持つビニル基を少なくとも１つ有する重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。特に、重合性化合物が、下記一般式（１）で表される構造を少なくとも含む態様が好ましい。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アルカリ可溶性共重合体と、（Ｂ）α位に置換メチル基を持つビニル基を少なくとも１つ有する重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱架橋剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
【請求項２】
（Ｂ）重合性化合物が、下記一般式（１）で表される構造を少なくとも含む請求項１に記載の感光性組成物。
【化１】

ただし、前記一般式（１）中、Ｘ^１は、ヘテロ原子、ＯＨ基、ＳＨ基、−Ｏ−、及び有機官能基のいずれかを表す。Ｚ^１は、シアノ基、及び−ＣＯＹ−Ｘ^２のいずれかで表される置換基であり、Ｙは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、及び−ＮＸ^３−で表されるいずれかである。Ｘ^２及びＸ^３はそれぞれ独立して、有機官能基を表す。Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、及び有機官能基のいずれかを表す。なお、Ｘ^１とＸ^２、Ｒ^１とＲ^２、Ｘ^１とＲ^１、及びＸ^１とＲ^２の少なくともいずれかが互いに結合し環構造を形成してもよい。
【請求項３】
Ｚ^１が、−ＣＯＯＲ^３である請求項２に記載の感光性組成物。
ただし、前記Ｒ^３は、水素原子、アルキル基、アリール基、及びアラルキル基の少なくとも何れかを表し、それぞれ置換基を有していてもよい。
【請求項４】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が、エポキシアクリレートである請求項１から３のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項５】
（Ａ）アルカリ可溶性共重合体が、無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して０．１〜１．２当量の１級アミン化合物を反応させて得られる請求項１から３のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項６】
（Ｃ）光重合開始剤が、ハロゲン化炭化水素誘導体、ホスフィンオキサイド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩及びケトオキシムエーテルから選択される少なくとも１種を含む請求項１から５のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項７】
（Ｄ）熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、及びメラミン誘導体から選択される少なくとも１種である請求項１から６のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項８】
（Ｄ）熱架橋剤が、アルキル化メチロールメラミンである請求項７に記載の感光性組成物。
【請求項９】
（Ｄ）熱架橋剤が、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも含むエポキシ化合物である請求項７に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
支持体と、該支持体上に、請求項１から９のいずれかに記載の感光性組成物が積層されてなる感光層と、を有することを特徴とする感光性フィルム。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれかに記載の感光性組成物を、基材の表面に塗布し、乾燥して感光層を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の感光性フィルムを、加熱及び加圧の少なくともいずれかの下において基材の表面に積層した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項１３】
基材が、配線形成済みのプリント配線基板である請求項１１から１２のいずれかに記載の永久パターン形成方法。
【請求項１４】
請求項１１から１３のいずれかに記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターン。
【請求項１５】
保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかである請求項１４に記載の永久パターン。

【図１】