説明

探針ヘッドを有する装置及び測定器

【課題】 現在取り付けられている探針ヘッドを認識できる装置を提供すること。
【解決手段】 着脱自在の探針ヘッド15を有し、ワークを測定するための装置であって、探針ヘッド15を取り付けるための受け部17.1と、該受け部17.1の所定の位置に配置されたセンサ17.2と、探針ヘッド15に設けられた幾つかの相対部材とを設けた。また、探針ヘッド15が受け部17.1に取り付けられると、相対部材はセンサ17.2と互いに作用し、探針ヘッド15のコード化を相対部材の位置を調整して設定するようにした。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、着脱自在の探針ヘッドを有する装置と、このような装置を有する測定器に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば測定器のように、交換可能な探針ヘッドを有する装置には様々のものがある。
従来の測定器のある実施の形態は、探針ヘッドはばね作用により探針システムに連結される構成である。
【0003】
また、永久磁石により探針ヘッドが測定器に固定されている例もあり、特許文献1にその好例が開示されている。
【0004】
さらに別の測定器が特許文献2に開示されており、この特殊な測定器は永久磁石により探針システムに連結された探針ヘッドを備えている。同様な方法が特許文献3に開示されている。
【0005】
交換可能な探針ヘッドを有する測定器の別の例は特許文献4に開示されており、探針ヘッドは永久磁石と電磁石を組み合わせて固定されている。
【0006】
【特許文献1】ドイツ国実用新案公開GM7400071
【特許文献2】米国特許第5,755,038号
【特許文献3】PCT国際公開WO03/087708
【特許文献4】ドイツ国特許3320127C2
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
交換可能な探針ヘッドはできるだけしっかりと固定され容易に着脱できるものでなければならない。加えて、例えば実際に使用される探針ヘッドの種類に応じて測定信号の評価に際し他のパラメータを適用することもあるので、測定器は異なる探針ヘッドを互いに区別できるものであることが重要である。探針ヘッドの形状やサイズに応じて探針ヘッドの他の接近経路や動作経路が使用される。
【0008】
したがって、本発明の目的は、どの探針ヘッドが現在取り付けられているかを認識できる装置を提供することである。
【0009】
また、本発明の別の目的は、使用された探針ヘッドを簡単で安全に認識する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記目的を達成するために、本発明のうちで請求項1に記載の発明は、着脱自在の探針ヘッドを有し、ワークを測定するための装置であって、前記探針ヘッドを取り付けるための受け部と、該受け部の所定の位置に配置されたn個のセンサと、前記探針ヘッドに設けられたm個の相対部材とを有し、nは2あるいは2より大きい整数で、mは1あるいは1より大きい整数であり、前記探針ヘッドが前記受け部に取り付けられると、前記相対部材は前記センサと互いに作用し合い、前記探針ヘッドのコード化を前記相対部材の位置を回転させて設定するようにしたことを特徴とする。
【0011】
また、請求項2に記載の発明は、前記n個のセンサは前記受け部における半径R1の円弧上に角度間隔β1で配置されていることを特徴とする。
【0012】
さらに、請求項3に記載の発明は、前記m個の相対部材は前記探針ヘッドにおける半径R2の円弧上に角度間隔β2で配置されており、R2≒R1で、β2≒β1であることを特徴とする。
【0013】
また、請求項4に記載の発明は、前記センサは磁場センサであり、前記相対部材は磁石であることを特徴とする。
【0014】
また、請求項5に記載の発明は、機械的回転手段の形態の調整機構をさらに備え、前記回転手段の角度位置に応じて前記m個の相対部材に対する前記n個のセンサの相対的角度位置からコード化を行うようにしたことを特徴とする。
【0015】
また、請求項6に記載の発明は、前記相対部材と前記センサとの相互作用により2進コードを示す信号を発生することを特徴とする。
【0016】
また、請求項7に記載の発明は、前記2進コードにより2個の異なる探針ヘッドを識別するようにしたことを特徴とする。
【0017】
また、請求項8に記載の発明は、前記n個のセンサを評価する評価装置をさらに備え、該評価装置によりコード化を行うようにしたことを特徴とする。
【0018】
また、請求項9に記載の発明は、前記装置は測定器であり、前記探針ヘッドは3次元ワークを走査する触針を有する変更プレートであることを特徴とする。
【0019】
また、請求項10に記載の発明は、複数の着脱自在の探針ヘッドを有し、ワークを測定するための測定器であって、前記探針ヘッドの一つを取り付けるための受け部を有する探針システムと、前記受け部の所定の位置に配置されたn個のセンサと、前記探針ヘッドの各々に設けられたm個の相対部材とを有し、nは2あるいは2より大きい整数で、mは1あるいは1より大きい整数であり、前記探針ヘッドが前記受け部に取り付けられると、前記相対部材は前記センサと互いに作用し合い、前記m個の相対部材の位置を前記探針ヘッドの各々に対し調整して前記探針ヘッドのコード化を設定するようにしたことを特徴とする。
【0020】
また、請求項11に記載の発明は、前記測定器はワークを測定するCNC制御の歯測定器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、探針ヘッドのコード化を設定することができるので、現在取り付けられている探針ヘッドを容易に認識することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0022】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本実施の形態では、本発明を分かりやすくするために、関連する公開公報及び特許掲載公報にも使用されている用語を使用している。本発明の要旨や特許請求の範囲の保護範囲は用語の特定の選択によっては限定されるものではなく、本発明は他のシステムにも容易に適用できるものである。他の分野では、用語は同じように使用されている。
【0023】
本発明にかかる第1の装置10が図1A及び図1Bに図示されている。図1Aに示される装置10は、全自動CNC制御の歯測定器10である。歯測定器10は、例えば平歯車の歯や、切削ホイール、ウォーム及びウォームギヤ、ホブ、かさ歯車等のワーク11を検査したり、回転対称のワークの形状や位置の狂いや、円形のものやカム軸の測定や、ロータの測定に適している。
【0024】
歯測定器10は、コントローラ12により駆動される連結部13と心出し手段14とを備えており、駆動連結部13と心出し手段14は、図1Aに示されるように、測定される回転対称の精密部品(平歯車等のワーク)11が駆動連結部13と心出し手段14との間に同心状に挟持されるように配置されている。
【0025】
歯測定器10は、図1Bに示されるように、歯測定器10に取り付けられた精密部品11を触針15.1,15.2で3次元測定する少なくとも一つの探針ヘッド15を備えている(例えば、3座標探針システム)。好ましくは、座標軸zに平行な高さ方向に移動できる探針システム17が設けられる。加えて、探針ヘッド15は互いに直交する座標軸x及びyの方向に接近動作を行うことができ、適切な制御(CNC制御)を行う。探針ヘッド15は、着脱自在でワーク11を測定するために配設されている。歯測定器10は、矢印で示されるように探針ヘッド15を取り付けるための受け部17.1が探針システム17に設けられている。受け部17.1の所定の固定部位には、n個(例えば、4個)のセンサ17.2が配置されている。本発明では、nは通常2あるいはそれ以上の整数である。着脱自在の探針ヘッド15は、図1Bでは隠れて見えないが、m個の相対部材を備えており、これらは探針ヘッド15のプレート(変更プレート)15.3の裏側に取り付けられている。探針ヘッド15が受け部17.1に連結されると、m個の相対部材はn個のセンサ17.2と互いに作用し合う。本発明においては、着脱自在の探針ヘッド15をコード化することが可能で、n個の相対部材の位置を調整機構により機械的に調整することができる。
【0026】
この詳細をさらに別の実施の形態を参照して説明する。図2A乃至図2Cは、探針ヘッド15を取り付けるための受け部17.1を有する探針システム17の異なる図を示している。図2Aはx−z面における断面図である。本実施の形態の探針システム17の薄い表面の背後の部分17.7に隠れているn個のセンサ17.2を示すために、断面は探針システム17の表面の直下に位置しており、図2Cの平面図で認識することができる。図示された実施の形態では、4個のセンサ17.2が、半径R1の円弧部17.3上に配置されている。n個のセンサ17.2はそれぞれβ1の角度間隔があり、図示された例では22.5度である。
【0027】
図2Bの断面図では、センサ17.2の一つが切断されている。上述したように、センサ17.2は、探針システム17.2の表面直下に設けられている。したがって、センサ17.2は機械的に保護されている。さらに、表面が滑らかなので、清掃が容易である。幾つかのセンサ17.2が一体となって構造ユニットを構成している。
【0028】
図3A乃至図3Dには、探針15の背面図が概略的に図示されている。図示された例では、探針15は1個の相対部材15.6を備えており、センサ17.2の位置はローマ数字I、II、III、IVで示されている。図3Aでは、探針15のコード化が調整され、探針15が受け部17.1に取り付けられると、探針システム17の位置Iにあるセンサ17.2の前に相対部材15.6は位置することになる。相対部材15.6は位置Iのセンサ17.2の隣あるいは間近にあるので、センサ17.2はその存在を認識することができる。
【0029】
本発明によれば、センサ17.2と相対部材15.6は、これらが互いに作用し合うように選択される。好ましくは、磁場センサ(リードスイッチ)がセンサ17.2として使用され、磁石が相対部材15.6として使用される。例えば、光学的、容量的、誘導的に作動する他の能動あるいは受動素子を対にしてセンサと相対部材に採用することもできる。センサと相対部材を選択するに際し、全体の構成ができるだけ簡単に何らの支承もなく作動することが重要である。
【0030】
装置10の評価装置は、コードあるいはコード化についての一覧表を決定するためにn個のセンサ17.2の各々を評価することができる。図3Aでは、位置Iにあるセンサ17.2は信号を発生するのに対し、他のセンサ17.2は信号を出さないか、実質的に弱い信号を出す。2進法に換算すると、図3Aに示される位置は(0001)に相当する。
【0031】
別の探針ヘッド15は、図3Bに示されるように相対部材15.6が位置IIに配置されるようにコード化される。図3Bにおいては、位置IIにあるセンサ17.2は信号を発生するのに対し、他のセンサ17.2は信号を出さないか、実質的に弱い信号を出す。2進法に換算すると、図3Bに示される位置は(0010)に相当する。
【0032】
さらに別の探針ヘッド15は、図3Cに示されるように相対部材15.6が位置IIIに配置されるようにコード化される。図3Cにおいては、位置IIIにあるセンサ17.2は信号を発生するのに対し、他のセンサ17.2は信号を出さないか、実質的に弱い信号を出す。2進法に換算すると、図3Cに示される位置は(0100)に相当する。
【0033】
さらに別の探針ヘッド15は、図3Dに示されるように相対部材15.6が位置IVに配置されるようにコード化される。図3Dにおいては、位置IVにあるセンサ17.2は信号を発生するのに対し、他のセンサ17.2は信号を出さないか、実質的に弱い信号を出す。2進法に換算すると、図3Dに示される位置は(1000)に相当する。
【0034】
探針ヘッド15がなかったり、センサ17.2の一つと対応しない位置に相対部材15.6が配置されるようにコード化がなされると、評価装置は探針ヘッド15が取り付けられていないと判断する。しかしながら、信号(0000)は間違った探針ヘッド15が取り付けられたことを示すように評価装置をプログラムすることもできる。
【0035】
整数n及びmにより幾つかの異なる変形例が可能になり、コストとスペースの関係で、できるだけ少ないセンサを設けた実施の形態が好ましい。
【0036】
4個(n=4)のセンサ17.2と8個(m=8)の相対部材15.6を配置した実施の形態は特に好ましい。この場合、図4(a)〜(p)から明らかなように、2個の異なる探針ヘッド15を識別することができる。この好ましい実施の形態によれば、16の異なる位置を半径R2の円弧15.4上に設定することができ、どの場合も角度間隔β2は22.5度である。すなわち、R2≒R1で、β2≒β1である。合計16の異なる角度位置の8箇所に、図4(a)〜(p)の黒い円で示される相対部材15.6がある。この特殊な配置により、読み取って直接処理できる4ビットの2進語を得ることができる。図4(a)〜(p)の各々において、回転ディスクあるいは回転リングの調整分だけ異なる探針ヘッドが図示されている。回転ディスクは紙面上にあり、探針システム17に同心状に配置される。探針システム17の4個のセンサ17.2は四つの白丸で示されている。センサ17.2の位置は変化しないが、探針ヘッド15を機械的に変化させる結果としてコード変化が発生する。
【0037】
図4(a)には、旋回ディスクあるいは回転リングを調整することにより、探針ヘッド15を探針システム17に取り付けると、4個のセンサ17.2の前に相対部材が一切存在しないように相対部材15.6が設定された探針ヘッド15が図示されている。これは2進法では(0000)に相当する。図4(b)には、旋回ディスクあるいは回転リングを調整することにより、探針ヘッド15を探針システム17に取り付けると、4個のセンサ17.2の一つの前に相対部材15.6の一つが存在するように相対部材15.6が設定された探針ヘッド15が図示されている。これは2進法では(0001)に相当する。図4(c)には、旋回ディスクあるいは回転リングを調整することにより、探針ヘッド15を探針システム17に取り付けると、4個のセンサ17.2の二つの前に相対部材15.6の二つが存在するように相対部材15.6が設定された探針ヘッド15が図示されている。これは2進法では(0011)に相当する。
【0038】
より分かりやすくするために、表1には異なるコードが記載されている。
【表1】

【0039】
本発明にかかる装置10は次のように使用される。着脱自在の探針ヘッド15において、m個の相対部材の位置を調整することによりコードが設定される。上述したように、コード化は、例えば所定の固定位置にある相対部材15.6を支承するディスクあるいはリングを回転することにより設定される。しかしながら、磁石を孔に挿入したりねじ込んで再配置することもできる。
【0040】
このようにして探針ヘッド15がコード化された後、探針システム17に固定される。探針システム17あるいは探針システム17が固定される装置10は、探針ヘッド15に対し受け部17.1の所定の固定位置に配置されたn個のセンサ17.2を調べることによりコードを決定する。n個のセンサ17.2の各々のコードを決定するに際し、探針ヘッド15のm個の相対部材15.6の各々が作用しうる範囲にあるかどうかを決定する。このようにして決定されたコードは、格納されたコードと比較され、あるコードと合致すると、そのコードに対応する探針ヘッド15が取り付けられていることが認識される。
【0041】
初期設定時に装置10を適宜準備しておくのが好ましい。例えば、所定の探針ヘッド15を特徴づける格納されたコード情報が選択あるいは入力されるが、このことについて例をあげてさらに説明する。
【0042】
例えば、10個の探針ヘッド15がある場合、10個の探針ヘッド15のどれが(0000)で表され、10個の探針ヘッド15のどれが(0001)で表されるかを装置10が知っておく必要がある。この情報に加えて、さらに別のデータを初期設定時に与えるのが好ましい。このようにして探針ヘッド15のタイプが決定される。探針ヘッドの感度、走査領域、必要な増幅率、探針ヘッドの寸法(シャンク15.1の長さや走査ボール15.2)等に基づいて、他のデフォルトを与えることも可能である。
【0043】
これらのデフォルトに基づいて、例えば細いシャンク15.1は特に感度が高いので、探針ヘッド15を破壊しないように細いシャンク15.1を持つ探針ヘッド15を低速で動作させることができる。加えて、シャンク15.1の長さやボール15.2のサイズや探針ヘッド15の向きに応じて他の接近動作を行うようにすることもできる。
【0044】
調整機構はリングやディスクを使用するのが好ましく、リングやディスクは探針ヘッド15の縦軸に対し同心状に配置され、この軸の回りに回転自在に構成される。22.5度の角度間隔で異なるグリッド位置を設定してもよい。
【0045】
異なる実施の形態では、汎用性のある触知性探針の探針ヘッドが特に使用される。本発明は「探針ヘッド」という用語を使用してはいるが、触知性探針システムに限定されるものではなく、様々な探針ヘッドを使用することができる。
【0046】
探針ヘッドと探針システム間に電気接続を必要としない点は本発明の大きな利点である。さらに、コード化を容易に行うことができ、コードを調整するに際し工具を必要としない。
【図面の簡単な説明】
【0047】
【図1A】本発明にかかる第1の測定器の斜視図である。
【図1B】図1Aの測定器の要部の概略斜視図である。
【図2A】図1Aの測定器に設けられた探針システムの受け部の断面図である。
【図2B】図2Aの探針システムの断面図である。
【図2C】図2Aの探針システムの平面図である。
【図3A】探針システムの受け部に取り付けられる探針ヘッドの概略背面図であり、第1のコード調整を示している。
【図3B】図3Aの探針ヘッドの概略背面図であり、第2のコード調整を示している。
【図3C】図3Aの探針ヘッドの概略背面図であり、第3のコード調整を示している。
【図3D】図3Aの探針ヘッドの概略背面図であり、第4のコード調整を示している。
【図4】探針ヘッドの様々の異なる概略背面図であり、(a)〜(p)はそれぞれ異なるコード調整を示している。
【符号の説明】
【0048】
10 探針ヘッド付き装置、
11 ワーク、
12 コントローラ、
13 駆動連結部、
14 心出し手段、
15 探針ヘッド、
15.1 シャンク、
15.2 走査ボール、
15.3 プレート、
15.4 円弧、
15.6 相対部材、
17 探針システム、
17.1 受け部、
17.2 センサ、
17.3 円弧。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
着脱自在の探針ヘッドを有し、ワークを測定するための装置であって、
前記探針ヘッドを取り付けるための受け部と、該受け部の所定の位置に配置されたn個のセンサと、前記探針ヘッドに設けられたm個の相対部材とを有し、nは2あるいは2より大きい整数で、mは1あるいは1より大きい整数であり、前記探針ヘッドが前記受け部に取り付けられると、前記相対部材は前記センサと互いに作用し合い、前記探針ヘッドのコード化を前記相対部材の位置を回転させて設定するようにしたことを特徴とする装置。
【請求項2】
前記n個のセンサは前記受け部における半径R1の円弧上に角度間隔β1で配置されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
【請求項3】
前記m個の相対部材は前記探針ヘッドにおける半径R2の円弧上に角度間隔β2で配置されており、R2≒R1で、β2≒β1であることを特徴とする請求項2に記載の装置。
【請求項4】
前記センサは磁場センサであり、前記相対部材は磁石であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
【請求項5】
機械的回転手段の形態の調整機構をさらに備え、前記回転手段の角度位置に応じて前記m個の相対部材に対する前記n個のセンサの相対的角度位置からコード化を行うようにしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
【請求項6】
前記相対部材と前記センサとの相互作用により2進コードを示す信号を発生することを特徴とする請求項5に記載の装置。
【請求項7】
前記2進コードにより2個の異なる探針ヘッドを識別するようにしたことを特徴とする請求項6に記載の装置。
【請求項8】
前記n個のセンサを評価する評価装置をさらに備え、該評価装置によりコード化を行うようにしたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の装置。
【請求項9】
前記装置は測定器であり、前記探針ヘッドは3次元ワークを走査する触針を有する変更プレートであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。
【請求項10】
複数の着脱自在の探針ヘッドを有し、ワークを測定するための測定器であって、
前記探針ヘッドの一つを取り付けるための受け部を有する探針システムと、前記受け部の所定の位置に配置されたn個のセンサと、前記探針ヘッドの各々に設けられたm個の相対部材とを有し、nは2あるいは2より大きい整数で、mは1あるいは1より大きい整数であり、前記探針ヘッドが前記受け部に取り付けられると、前記相対部材は前記センサと互いに作用し合い、前記m個の相対部材の位置を前記探針ヘッドの各々に対し調整して前記探針ヘッドのコード化を設定するようにしたことを特徴とする測定器。
【請求項11】
前記測定器はワークを測定するCNC制御の歯測定器であることを特徴とする請求項10に記載の測定器。

【図1A】
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【図1B】
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【図2A】
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【図2B】
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【図2C】
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【図3A】
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【図3B】
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【図3C】
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【図3D】
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【図4】
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【公開番号】特開2006−30197(P2006−30197A)
【公開日】平成18年2月2日(2006.2.2)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−204432(P2005−204432)
【出願日】平成17年7月13日(2005.7.13)
【出願人】(504269327)クリンゲルンベルク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング (8)
【氏名又は名称原語表記】Klingelnberg GmbH
【Fターム(参考)】