真空弁用プラグ
【課題】真空弁の製造コストを下げ、部品点数を削減できる、真空弁用プラグを提供する。
【解決手段】ケース２１と、前記ケース２１に形成した弁体収納孔２１１に収納する弁体２２と、からなる真空弁２の前記弁体収納孔２１１を封止するための真空弁用プラグ１であって、前記弁体２２と嵌合可能な係止部を有し、前記弁体収納孔２１１に螺合可能であり、前記ケース２１との接触面には、前記弁体収納孔２１１の開口を囲繞するＯリングを設ける。
【解決手段】ケース２１と、前記ケース２１に形成した弁体収納孔２１１に収納する弁体２２と、からなる真空弁２の前記弁体収納孔２１１を封止するための真空弁用プラグ１であって、前記弁体２２と嵌合可能な係止部を有し、前記弁体収納孔２１１に螺合可能であり、前記ケース２１との接触面には、前記弁体収納孔２１１の開口を囲繞するＯリングを設ける。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧容器の真空状態を維持するための真空弁及び真空弁を取り付ける減圧容器の漏洩検査に用いる、真空弁用プラグに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タンクなどの減圧容器から真空ポンプで空気を吸引し、その真空状態を維持するために、吸気路を遮蔽する真空弁が使用されている。
例えば、特開２００９−２８７７６０号公報に記載された真空弁のように、ケースに形成した吸気路及び排気路に連通する弁体収納孔を設け、弁体収納孔に弁体を収納した状態で移動して全閉にすることにより、吸気路を遮断して、減圧容器を真空状態に維持するものである。
この真空弁は、弁体収納孔の底部に、吸気路の外周を囲むように溝を形成し、この溝にＯリングを嵌挿することにより、弁体とＯリングが密着して吸気路を遮断する構成を有している。
また、漏洩検査のために真空弁を開放した際の、弁体収納孔と弁体との隙間からの真空漏れを防ぐために、弁体の外周にＯリングを嵌挿する構成を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２８７７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような構成を有する真空弁及びプラグは、Ｏリングを嵌挿して配置するためのＯリング溝の加工費及びＯリングの材料費が必要である。
【０００５】
本発明は、真空弁の製造コストを下げ、部品点数を削減できる、真空弁用プラグを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本願の第１発明は、ケースと、前記ケースに形成した弁体収納孔に収納する弁体と、からなる真空弁の前記弁体収納孔を封止するための真空弁用プラグであって、前記弁体と嵌合可能な係止部を有し、前記弁体収納孔に螺合可能であり、前記ケースとの接触面には、前記弁体収納孔の開口を囲繞するＯリングを設けることを特徴とする、真空弁用プラグを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、上記した課題を解決するための手段により、次のような効果の少なくとも一つを得ることができる。
＜１＞プラグの接触面にＯリングを設けるため、Ｏリング劣化時の交換が容易である。
＜２＞プラグの接触面に設けたＯリングにより、弁体収納孔の開口を封止できるため、弁体の円筒面にＯリング及びＯリング溝を設ける必要がない。
＜３＞プラグの係止部を弁体に嵌合することにより、プラグの締め、緩めに伴って弁体が進退できる。このため、漏洩検査時の弁体の位置が一定となり、排気路の開口も一定となるため、検査のばらつきが生じにくい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】真空弁及び本発明に係る真空弁用プラグの斜視図
【図２】真空弁用プラグの使用状態の断面図
【図３】真空弁用プラグの斜視図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図に示す実施例に基づき、本発明を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１０】
［１］全体の構成
本発明の真空弁用プラグ１は、真空弁２の弁体収納孔２１１を密閉するためのものである。
【００１１】
（１）真空弁
真空弁２は、ケース２１と、弁体２２と、からなるものである。（図１、図２）
真空弁２は、鋼製や黄銅製等の腐食しにくい金属からなる。
ケース２１には、その一端から、その軸方向に所定径の円柱状の弁体収納孔２１１を、所定の深さまで穿孔する。
弁体収納孔２１１の内周面であって、当該一端から軸方向に所定の長さには、雌ネジ２１２を刻設する。
弁体収納孔２１１の底面には、弁体収納孔２１１と同軸芯であって、弁体収納孔２１１の径よりも小さい吸気路２１３を穿孔する。吸気路２１３はケース２１の外部まで貫通する。
ケース２１の外周から、弁体収納孔２１１に直交する方向に、排気路２１４を穿孔する。排気路２１４は弁体収納孔２１１に貫通している。
弁体収納孔２１１の中には、円柱形状の弁体２２を収納する。
弁体２２の、ケース２１の外周側に表出する面には、六角形状の凹部である係止部２２１を形成する。
また、弁体２２の係止部２２１が形成された側の端部の外周面の所定の範囲には、雄ネジ２２２を刻設する。
弁体収納孔２１１の底面には、吸気路２１３を囲むように、Ｏリング２３を設ける。
真空弁２は、排気路２１４から排気を行いながら、弁体２２を弁体収納孔２１１にねじ込んで、弁体２２とＯリング２３とにより吸気路２１３を遮蔽し、真空弁２を取り付けた容器の真空状態を保持する。
【００１２】
（２）漏洩検査
上記構成の真空弁２は、弁体２２の円筒面にＯリングを設けていない。
このため、高真空度下で実施するヘリウムガス等を用いた漏洩検査のために真空弁２を開放すると、弁体収納孔２１１の円周面と弁体２２の円筒面との隙間や、弁体収納孔２１１の雌ネジ２１２と弁体２２の雄ネジ２２２との隙間を通じて、弁体収納孔２１１から真空漏れが生じる可能性がある。
よって、漏洩検査を行う際には、プラグ１を真空弁２の弁体収納孔２１１に螺着し、弁体収納孔２１１を封止する。（図２）
【００１３】
（３）真空弁用プラグ
プラグ１は、レンチ等で掴んで弁体収納孔２１１に螺着するため、その一部外径は、六角柱状の形状を呈する。（図１、３）
プラグ１の材料については、ケース２１と同様に、鋼製や黄銅製など、腐食しにくい金属であれば広く採用できる。
プラグ１は、弁体収納孔２１１を封止するため、外径が弁体収納孔２１１の径より大きな封止面１１を有する。封止面１１は、ケース２１と接して弁体収納孔２１１を封止する。封止面１１には、弁体収納孔２１１に対応するように、弁体収納孔２１１より大径の凹部１１１を形成し、その凹部１１１にはＯリング１２を嵌合する。
封止面１１には、弁体収納孔２１１の雌ネジ２３と螺合する雄ネジ１３を立設する。雄ネジ１３の先端には、弁体２２の係止部２２１と嵌合する係合部１３１を形成する。
漏洩検査を行う際には、弁体２２の掛止部２２１とプラグ１の係合部１３１を嵌合して一体とし、ケース２１の弁体収納孔２１１に螺着する。（図１）
弁体２２およびプラグ１をねじ込んで、Ｏリング１２をケース２１に密着させる。
プラグ１のＯリング１２が、弁体収納孔２１１の開口を囲むように、ケース２１に密着すると、弁体収納孔２１１は封止され、漏洩検査を行うことができる。
通常は、弁体収納孔２１１の円周面や弁体２２の円筒面にＯリングを設けるが、その際には、Ｏリング溝の加工が必要となる。しかし、プラグ１にＯリング１２を設けるため、弁体２のＯリング溝の加工が不要となる。
【符号の説明】
【００１４】
１ プラグ
１１ 封止面
１１１ 凹部
１２ Ｏリング
１３ 雄ネジ
１３１ 係合部
２ 真空弁
２１ ケース
２１１ 弁体収納孔
２１２ 雌ネジ
２１３ 吸気路
２１４ 排気路
２２ 弁体
２２１ 係止部
２２２ 雄ネジ
２３ Ｏリング
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧容器の真空状態を維持するための真空弁及び真空弁を取り付ける減圧容器の漏洩検査に用いる、真空弁用プラグに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タンクなどの減圧容器から真空ポンプで空気を吸引し、その真空状態を維持するために、吸気路を遮蔽する真空弁が使用されている。
例えば、特開２００９−２８７７６０号公報に記載された真空弁のように、ケースに形成した吸気路及び排気路に連通する弁体収納孔を設け、弁体収納孔に弁体を収納した状態で移動して全閉にすることにより、吸気路を遮断して、減圧容器を真空状態に維持するものである。
この真空弁は、弁体収納孔の底部に、吸気路の外周を囲むように溝を形成し、この溝にＯリングを嵌挿することにより、弁体とＯリングが密着して吸気路を遮断する構成を有している。
また、漏洩検査のために真空弁を開放した際の、弁体収納孔と弁体との隙間からの真空漏れを防ぐために、弁体の外周にＯリングを嵌挿する構成を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２８７７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような構成を有する真空弁及びプラグは、Ｏリングを嵌挿して配置するためのＯリング溝の加工費及びＯリングの材料費が必要である。
【０００５】
本発明は、真空弁の製造コストを下げ、部品点数を削減できる、真空弁用プラグを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本願の第１発明は、ケースと、前記ケースに形成した弁体収納孔に収納する弁体と、からなる真空弁の前記弁体収納孔を封止するための真空弁用プラグであって、前記弁体と嵌合可能な係止部を有し、前記弁体収納孔に螺合可能であり、前記ケースとの接触面には、前記弁体収納孔の開口を囲繞するＯリングを設けることを特徴とする、真空弁用プラグを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、上記した課題を解決するための手段により、次のような効果の少なくとも一つを得ることができる。
＜１＞プラグの接触面にＯリングを設けるため、Ｏリング劣化時の交換が容易である。
＜２＞プラグの接触面に設けたＯリングにより、弁体収納孔の開口を封止できるため、弁体の円筒面にＯリング及びＯリング溝を設ける必要がない。
＜３＞プラグの係止部を弁体に嵌合することにより、プラグの締め、緩めに伴って弁体が進退できる。このため、漏洩検査時の弁体の位置が一定となり、排気路の開口も一定となるため、検査のばらつきが生じにくい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】真空弁及び本発明に係る真空弁用プラグの斜視図
【図２】真空弁用プラグの使用状態の断面図
【図３】真空弁用プラグの斜視図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図に示す実施例に基づき、本発明を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１０】
［１］全体の構成
本発明の真空弁用プラグ１は、真空弁２の弁体収納孔２１１を密閉するためのものである。
【００１１】
（１）真空弁
真空弁２は、ケース２１と、弁体２２と、からなるものである。（図１、図２）
真空弁２は、鋼製や黄銅製等の腐食しにくい金属からなる。
ケース２１には、その一端から、その軸方向に所定径の円柱状の弁体収納孔２１１を、所定の深さまで穿孔する。
弁体収納孔２１１の内周面であって、当該一端から軸方向に所定の長さには、雌ネジ２１２を刻設する。
弁体収納孔２１１の底面には、弁体収納孔２１１と同軸芯であって、弁体収納孔２１１の径よりも小さい吸気路２１３を穿孔する。吸気路２１３はケース２１の外部まで貫通する。
ケース２１の外周から、弁体収納孔２１１に直交する方向に、排気路２１４を穿孔する。排気路２１４は弁体収納孔２１１に貫通している。
弁体収納孔２１１の中には、円柱形状の弁体２２を収納する。
弁体２２の、ケース２１の外周側に表出する面には、六角形状の凹部である係止部２２１を形成する。
また、弁体２２の係止部２２１が形成された側の端部の外周面の所定の範囲には、雄ネジ２２２を刻設する。
弁体収納孔２１１の底面には、吸気路２１３を囲むように、Ｏリング２３を設ける。
真空弁２は、排気路２１４から排気を行いながら、弁体２２を弁体収納孔２１１にねじ込んで、弁体２２とＯリング２３とにより吸気路２１３を遮蔽し、真空弁２を取り付けた容器の真空状態を保持する。
【００１２】
（２）漏洩検査
上記構成の真空弁２は、弁体２２の円筒面にＯリングを設けていない。
このため、高真空度下で実施するヘリウムガス等を用いた漏洩検査のために真空弁２を開放すると、弁体収納孔２１１の円周面と弁体２２の円筒面との隙間や、弁体収納孔２１１の雌ネジ２１２と弁体２２の雄ネジ２２２との隙間を通じて、弁体収納孔２１１から真空漏れが生じる可能性がある。
よって、漏洩検査を行う際には、プラグ１を真空弁２の弁体収納孔２１１に螺着し、弁体収納孔２１１を封止する。（図２）
【００１３】
（３）真空弁用プラグ
プラグ１は、レンチ等で掴んで弁体収納孔２１１に螺着するため、その一部外径は、六角柱状の形状を呈する。（図１、３）
プラグ１の材料については、ケース２１と同様に、鋼製や黄銅製など、腐食しにくい金属であれば広く採用できる。
プラグ１は、弁体収納孔２１１を封止するため、外径が弁体収納孔２１１の径より大きな封止面１１を有する。封止面１１は、ケース２１と接して弁体収納孔２１１を封止する。封止面１１には、弁体収納孔２１１に対応するように、弁体収納孔２１１より大径の凹部１１１を形成し、その凹部１１１にはＯリング１２を嵌合する。
封止面１１には、弁体収納孔２１１の雌ネジ２３と螺合する雄ネジ１３を立設する。雄ネジ１３の先端には、弁体２２の係止部２２１と嵌合する係合部１３１を形成する。
漏洩検査を行う際には、弁体２２の掛止部２２１とプラグ１の係合部１３１を嵌合して一体とし、ケース２１の弁体収納孔２１１に螺着する。（図１）
弁体２２およびプラグ１をねじ込んで、Ｏリング１２をケース２１に密着させる。
プラグ１のＯリング１２が、弁体収納孔２１１の開口を囲むように、ケース２１に密着すると、弁体収納孔２１１は封止され、漏洩検査を行うことができる。
通常は、弁体収納孔２１１の円周面や弁体２２の円筒面にＯリングを設けるが、その際には、Ｏリング溝の加工が必要となる。しかし、プラグ１にＯリング１２を設けるため、弁体２のＯリング溝の加工が不要となる。
【符号の説明】
【００１４】
１ プラグ
１１ 封止面
１１１ 凹部
１２ Ｏリング
１３ 雄ネジ
１３１ 係合部
２ 真空弁
２１ ケース
２１１ 弁体収納孔
２１２ 雌ネジ
２１３ 吸気路
２１４ 排気路
２２ 弁体
２２１ 係止部
２２２ 雄ネジ
２３ Ｏリング
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースと、前記ケースに形成した弁体収納孔に収納する弁体と、からなる真空弁の前記弁体収納孔を封止するための真空弁用プラグであって、
前記弁体と嵌合可能な係止部を有し、
前記弁体収納孔に螺合可能であり、
前記ケースとの接触面には、前記弁体収納孔の開口を囲繞するＯリングを設けることを特徴とする、真空弁用プラグ。
【請求項１】
ケースと、前記ケースに形成した弁体収納孔に収納する弁体と、からなる真空弁の前記弁体収納孔を封止するための真空弁用プラグであって、
前記弁体と嵌合可能な係止部を有し、
前記弁体収納孔に螺合可能であり、
前記ケースとの接触面には、前記弁体収納孔の開口を囲繞するＯリングを設けることを特徴とする、真空弁用プラグ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−３１８７９（Ｐ２０１２−３１８７９Ａ）
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６９３８４（Ｐ２０１０−１６９３８４）
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５９２１２４９１９）株式会社コプラン (2)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５９２１２４９１９）株式会社コプラン (2)
【Ｆターム（参考）】
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