貼付装置及び貼付方法
【課題】帯状素材の長手方向に隙間無く貼付シートを形成し、各種ワークへ貼着できる貼付装置及び貼付方法を提供する。
【解決手段】貼付装置の一例であるマウント装置１は、テーブル８０上に配置されたワークに貼付シートを貼着する装置であり、ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材Ｍを支持する帯状素材支持機構１０と、ワークの大きさに応じてフィルムに切り込みを施して、帯状素材Ｍの長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構２０と、貼付シートをベースシートから剥離し、貼付シートをワークに貼着する貼合機構５０と、を備える。
【解決手段】貼付装置の一例であるマウント装置１は、テーブル８０上に配置されたワークに貼付シートを貼着する装置であり、ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材Ｍを支持する帯状素材支持機構１０と、ワークの大きさに応じてフィルムに切り込みを施して、帯状素材Ｍの長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構２０と、貼付シートをベースシートから剥離し、貼付シートをワークに貼着する貼合機構５０と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種ワーク同士の固定、或いは、各種ワークへの保護シートの貼着等、薄膜状のシートを各種ワークに貼付することが工業的に行われている。例えば、半導体ウエハをダイシングする際、半導体ウエハをリングフレームの内側領域に配置し、それらの面にダイシングテープを貼着し、リングフレームに半導体ウエハを固定することが行われている。
【０００３】
リングフレームに半導体ウエハを固定する方法及び装置として、特許文献１に開示の発明がある。特許文献１に開示の発明は、ベースシートにダイシングテープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する支持手段と、帯状素材のフィルム面に切り込みを設けてダイシングテープを形成するプリカット手段と、ダイシングテープをベースシートから剥離してリングフレーム及び半導体ウエハに貼着する貼合手段とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、プリカット手段で形成されるダイシングテープは、リングフレームの形状に相応し略円形状に形成される。ダイシングテープは、カッター刃を備えたローラーとダイ受けとの間に帯状素材を通過させることで形成される。ここで、帯状素材に閉ループである略円形状の切り込みを設けるため、同様に閉ループに形成されたカッター刃を備えるローラーが用いられる。
【０００６】
ローラーに閉ループで良好な刃先断面を有するカッター刃を形成するため、隣り合う閉ループの間には必要最小程度の隙間が設けられる。この隙間は、具体的に８〜１０ｍｍ程度に設定される。
【０００７】
よって、上記のようなプリカット手段で略円形状のダイシングテープを形成すると、隣り合うダイシングテープの間には８〜１０ｍｍの隙間が生じ、それだけ帯状素材に無駄が生じてしまう。
【０００８】
本発明は、上記事項に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、帯状素材の長手方向に隙間無く貼付シートを形成し、各種ワークへ貼着できる貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第一の観点に係る貼付装置は、
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付装置において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、を備える、
ことを特徴とする。
【００１０】
また、前記プリカット機構は、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを有するカッティングローラーを備え、
前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成することが好ましい。
【００１１】
また、前記カッティングローラーはシートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回されて構成され、
前記ローラーに巻回されて前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されていることが好ましい。
【００１２】
また、前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる制御部を備えることが好ましい。
【００１３】
また、前記プリカット機構と前記貼合機構との間に、前記帯状素材に張力を与える可動ローラーと、前記可動ローラーの位置を検出するセンサとを有し、前記帯状素材に所定の張力を与えるテンション調整機構を備え、
検出された前記可動ローラーの位置に基づいて前記帯状素材の移動速度を調節し、前記可動ローラーを所定範囲内に保持することが好ましい。
【００１４】
本発明の第二の観点に係る貼付方法は、
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付方法において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を送り出し、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成し、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する、
ことを特徴とする。
【００１５】
また、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを備え、前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有するカッティングローラーを用い、
前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成することが好ましい。
【００１６】
また、シートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回され、前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている前記カッティングローラーを用いることが好ましい。
【００１７】
また、前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る貼付装置では、帯状素材のフィルムに切り込みを施して、帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成することができる。一巻きの帯状素材からより多くの貼付シートを形成できるので、帯状素材を無駄なく使用でき、帯状素材のコストの低減を実現できる。更に、帯状素材の消費量が低減するので、省資源化にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】マウント装置の概略構成図である。
【図２】帯状素材の斜視図である。
【図３】カッティングローラーの斜視図である。
【図４】（Ａ）はシート状刃物の平面図、（Ｂ）はシート状刃物の側面図である。
【図５】貼付シートが形成された帯状素材の平面図である。
【図６】テンション調整機構の概略構成図である。
【図７】（Ａ）は可動ローラーが上限位置まで上昇した際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置まで下降した際の状態図である。
【図８】（Ａ）は可動ローラーが上限位置をオーバーランした際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置をオーバーランした際の状態図である。
【図９】テーブルにリングフレーム及び半導体ウエハが配置された状態を示す平面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）は貼り合わせの様子を示す図である。
【図１１】（Ａ）〜（Ｄ）は貼り合わせの様子を示す図である。
【図１２】リングフレームに半導体ウエハが固定された状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
貼付装置及び貼付方法の具体的な一例として、以下、図を参照しつつ、マウント装置及びマウント方法について説明する。マウント装置１は、半導体ウエハＷのダイシングを行うに際し、半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するために用いられる装置である。
【００２１】
本実施の形態に係るマウント装置１は、図１に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された帯状素材Ｍを支持する帯状素材支持機構１０と、リングフレームＲＦの大きさに応じてフィルムＦに切り込みを施し、帯状素材Ｍの長手方向に連続して直列に並び、且つ、それぞれ接触する貼付シートＳを形成するプリカット機構２０と、貼付シートＳをベースシートＢＳから剥離し、貼付シートＳをリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着して半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定する貼合機構５０と、を備える。
【００２２】
帯状素材Ｍは、図２に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された構造である。フィルムＦはベースシートＢＳから剥離可能な構成である。この帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０としての巻き出しローラー１１にロール状に巻回されて支持されている。
【００２３】
帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０の巻き出しローラー１１から巻き出され、プリカット機構２０、テンション調整機構３０、貼合機構５０を順次通過した後、巻き取りローラー７０に巻き取られてゆく。
【００２４】
帯状素材Ｍの巻き出しは、主として駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０によって行われる。駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置によって、矢印で示すように帯状素材Ｍを巻き出しローラー１１から引き出し、巻き取りローラー７０で巻き取る方向（以下、順方向とも言う）へ回転駆動される。
【００２５】
巻き出しローラー１１から引き出された帯状素材Ｍは、ガイドローラー１２を介して、プリカット機構２０へと向かう。なお、巻き出しローラー１１は、巻き出される帯状素材Ｍが弛まないよう、不図示のモーター等の駆動装置により、巻き出し方向とは逆向き（以下、逆方向ともいう）に回転駆動されている。
【００２６】
プリカット機構２０は、主としてカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６から構成されている。プリカット機構２０は、帯状素材Ｍがカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の間を通過する際に、帯状素材ＭのフィルムＦに切り込みを施し、貼付シートＳを形成する機構である。カッティングローラー２１は、不図示の駆動装置によって、順方向に回転駆動される。
【００２７】
カッティングローラー２１は、図３の斜視図に示すように、ローラー２５とローラー２５面から径方向に突出した刃２４が形成された構成である。刃２４はリングフレームＲＦの形状に応じて略円形状に閉ループに形成されている。
【００２８】
より具体的には、カッティングローラー２１は、図４（Ａ）の平面図、及び、図４（Ｂ）の側面図に示すシート状刃物２２が、図３の斜視図に示すように、ローラー２５に巻回されて構成されている。シート状刃物２２は、シート２３上に刃２４が立設して一体的に形成された構造である。
【００２９】
シート状刃物２２の刃２４は、平面視で略半円弧状の刃２４が２つ、それぞれの円弧が接するように形成されている。それぞれの円弧が接する箇所に直線部２４ａが形成されている。この直線部２４ａは、シート状刃物２２がローラー２５に巻かれた際、ローラー２５の軸に平行になるよう形成されている。
【００３０】
このシート状刃物２２がローラー２５に巻かれることで、図４に示すように、シート状刃物２２の両端（図４（Ａ）、（Ｂ）における左右の両端）が接触する。そして、刃２４の直線部２４ｂと直線部２４ｃが接触し、且つ、刃２４の直線部２４ｄと直線部２４ｅが接触し、リングフレームＲＦの形状に応じた略円形状の刃２４が形成される。なお、直線部２４ａ、直線部２４ｂと直線部２４ｃからなる直線、及び、直線部２４ｄと直線部２４ｅからなる直線の長さは、明らかに直線であると認識できる長さ以上であるとともに、シート状刃物２２のローラー回転方向における長さＬａ、及び、直線部２４ｂ、２４ｃから直線部２４ｄ、２４ｅまでの長さＬｂがリングフレームＲＦの内径寸法より長いことが好ましい。具体的には、リングフレームＲＦの内径が円形である場合、刃２４の円弧に接線を引いたとすると、直線部２４ａ〜２４ｅは、この接線に平行で、且つ、円の直径の０．１％〜３％程度、円弧から円の中心方向へ離間した位置に形成されていることが好ましい。
【００３１】
また、シート状刃物２２の両端部に位置する刃２４には、それぞれローラー２５の回転方向に沿って直線部２４ｂ〜２４ｅが形成されている。これにより、シート状刃物２２をローラー２５に巻回して設置する際、位置合わせが容易である。
【００３２】
上記のプリカット機構２０では、帯状素材ＭのフィルムＦ面がカッティングローラー２１に対向するように、帯状素材Ｍを通過させるので、カッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の押圧及び回転により、刃２４がフィルムＦに食い込み、切り込みが施される。なお、フィルムＦのみに切り込みが施されるよう刃２４の長さ及びカッティングローラー２１の押圧力等が設定されているので、貼付シートＳはベースシートＢＳを残した状態で形成される。
【００３３】
カッティングローラー２１が一回転するにつき、貼付シートＳが一枚形成される。そして、カッティングローラー２１が順次回転することにより、帯状素材Ｍの長手方向に連続して貼付シートＳが複数形成される。
【００３４】
図５に、カッティングローラー２１によって、フィルムＦに切り込みを施し、複数の略円形状の貼付シートＳａ〜Ｓｅが形成された帯状素材Ｍの平面図を示す。シート状刃物２２では、刃２４の直線部２４ａでそれぞれの貼付シートＳを分割するよう形成するので、貼付シートＳは、それぞれ隣り合う貼付シートＳと直線状に線接触して形成される。一例を示すと、貼付シートＳｂは貼付シートＳａ及び貼付シートＳｃとそれぞれ帯状素材Ｍの長手方向に線接触して形成されている。
【００３５】
それぞれの貼付シートＳが互いに接触して形成されるので、それぞれの貼付シートＳａ〜Ｓｅの間にはフィルムＦが残らない。このため、帯状素材Ｍを無駄なく使用でき、一巻きの帯状素材Ｍから形成できる貼付シートＳの数が増加するので、帯状素材Ｍのコストの低減を実現できる。更に、帯状素材Ｍの消費量が低減するので、省資源化にも有効である。
【００３６】
更に、ローラー２５の両端側に位置する刃２４が直線状であるので、幅の短い帯状素材Ｍを用いることができ、コストの低減並びに省資源化に対し、より効果がある。
【００３７】
上述のようにしてプリカット機構２０で貼付シートＳが形成された帯状素材Ｍは、テンション調整機構３０へと向かう。テンション調整機構３０は、前述したプリカット機構２０による帯状素材Ｍの送り速度と駆動ローラー６０による帯状素材Ｍの送り速度との誤差を吸収し、前述のプリカット機構２０において均一形状の貼付シートＳが形成されるよう、また、後述する貼合機構において帯状素材Ｍの弛みをなくし、ベースシートＢＳから貼付シートＳが剥離しやすいよう、帯状素材Ｍに適度なテンションを与える機構である。
【００３８】
テンション調整機構３０は、図６に示すように、主として可動ローラー位置検出センサ３１、センサドグ３２、可動ローラー３３、ばね３４、から構成される。
【００３９】
可動ローラー３３は弾性体であるばね３４を介して吊り下げられている。可動ローラー３３は図１、図６において上下方向に揺動自在に支持されている。可動ローラー３３の上方を帯状素材Ｍが通過する。センサドグ３２は可動ローラー３３の回転に支障を与えることなく、可動ローラー３３の上下方向への移動に追従するよう、一体的に設けられている。
【００４０】
可動ローラー位置検出センサ３１は、可動ローラー３３の移動方向に沿って、配置された上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃから構成される。上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃはそれぞれ可動ローラー３３と一体的に設けられたセンサドグ３２の位置を検出するセンサである。上限センサ３１ａはセンサドグ３２の上限位置を検出し、下限センサ３１ｃはセンサドグ３２の下限位置を検出し、共通センサ３１ｂはセンサドグのオーバーラン状態をそれぞれ検出する。
【００４１】
例えば、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも速い場合、図７（Ａ）に示すように、可動ローラー３３は上昇する。そして、可動ローラー３３の上昇に追従してセンサドグ３２も上昇する。この場合、センサドグ３２を上限センサ３１ａが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。これらの制御は制御部１００により行われる。図７（Ａ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも速くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が下降し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の駆動が停止するように制御すればよい。
【００４２】
一方、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも遅い場合、図７（Ｂ）に示すように、可動ローラー３３は下降する。そして、可動ローラー３３の下降に追従してセンサドグ３２も下降する。この場合、センサドグ３２を下限センサ３１ｃが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。図７（Ｂ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも遅くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が上昇し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の回転速度を速めるように制御すればよい。
【００４３】
また、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、何らかの異常によって可動ローラー３３が過度に上昇或いは下降した場合、センサドグ３２を共通センサ３１ｂが検出できなくなる。このように共通センサ３１ｂによる検出ができない場合、異常が生じたものとしてマウント装置１の駆動停止や、音や光或いは表示等で異常を報知するよう制御してもよい。
【００４４】
なお、上記のセンサはセンサドグ３２の位置を検出できるものであれば、赤外線センサや超音波センサ等、いずれを用いてもよい。センサドグ３２を用いた例について説明したが、直接可動ローラー３３の位置を検出する形態であってもよい。
【００４５】
帯状素材Ｍはテンション調整機構３０を通過した後、テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過する。テンションローラー４１は不図示のモーター等の駆動装置で回転駆動されている。テンションローラー４１は帯状素材Ｍが後述する貼合機構５０の剥離板５１近傍にて適度な張りが生じるよう、逆方向へバックテンションが加わるように回転している。
【００４６】
なお、駆動ローラー６０による帯状素材Ｍを順方向へ送る力は、テンションローラー４１による逆方向へバックテンションを加える力よりも大きくなるよう、制御部１００によってそれぞれのモーター等の駆動装置が制御されている。
【００４７】
テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過した帯状素材Ｍは、続いて貼合機構５０へと送られる。
【００４８】
貼合機構５０は、主として剥離板５１と貼付ローラー５２とで構成されている。貼合機構５０は剥離板５１にてベースシートＢＳから剥離した貼付シートＳを、貼付ローラー５２にてテーブル８０上に載置されているリングフレームＲＦと半導体ウエハＷに貼着する機構である。
【００４９】
テーブル８０は、略環状のリングフレームＲＦ及び略円形状の半導体ウエハＷが載置される台である。テーブル８０は、貼付ローラー５２の下方においてマウント装置１の内方−外方（図１において左右方向）へ移動可能に構成されている。
【００５０】
テーブル８０には、図９に示すように、リングフレームＲＦの内側領域に半導体ウエハＷが配置されるよう、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがそれぞれ載置される。リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷは、それぞれテーブル８０上の所定位置に載置されるようになっている。例えば、テーブル８０上面に突出する位置決めピンやテーブル上面に設けられた窪み等により、それぞれ一定の位置に載置されるよう構成される。また、貼付シートＳを貼着させる際にずれたりしないよう、テーブル８０上面に吸着孔を設け、減圧ポンプによってリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがテーブル８０の所定位置に保持されるように構成されていてもよい。
【００５１】
続いて、図１０、図１１を参照しつつ、貼り合わせの工程について説明する。まず、テーブル８０がマウント装置１から外方に出ている状態で、上記のようにテーブル８０上にリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷを載置する。
【００５２】
そして、図１０（Ａ）に示すように、テーブル８０はマウント装置１内方へと移動する。また、貼付シートＳａの先端部をベースシートＢＳから剥離し、貼付ローラー５２の下方へ達するまで剥離板５１から突出させる。帯状素材Ｍは剥離板５１にて急激に反転され、折り返しながら巻き取られるので、ベースシートＢＳから貼付シートＳａが剥離される。なお、貼付シートＳａがベースシートＢＳから正常に剥離したことをセンサ９０で検出する。
【００５３】
そして、図１０（Ｂ）に示すように、テーブル８０はリングフレームＲＦの端部が貼付ローラー５２の下方まで達し、停止する。
【００５４】
その後、図１０（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が下降する。貼付ローラー５２の押圧により、貼付シートＳａの端部がリングフレームＲＦに貼着される。
【００５５】
続いて、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態で、テーブル８０がマウント装置１の外方へ移動する。テーブル８０の移動に伴って、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷも移動する。剥離板５１からの貼付シートＳａの送り出し、及び、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態でテーブル８０が移動するため、貼付ローラー５２が回転しつつ、貼付シートＳａが順次リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されていく。なお、貼付シートＳａの送り出しはテーブル８０の移動速度と同期をとって略同じ速度で送り出される。
【００５６】
そして、図１１（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が貼付シートＳａの右端部付近まで移動したなら、貼付シートＳａの送り出しを停止させる。なお、この状態ではテーブル８０の移動（図中、左方向への移動）は継続している。
【００５７】
このように、テーブル８０の移動よりも、貼付シートＳａの送り出しを早期に停止させるとよい。帯状素材Ｍには貼付シートＳａ、Ｓｂが互いに接触して形成されているので、テーブル８０の移動停止と貼付シートＳａの送り出し停止を同時に行うと、貼付シートＳａに接触している貼付シートＳｂの端部が送り出されてしまい、貼付ローラー５２で押圧されるおそれがある。
【００５８】
なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止させることは、制御部１００にて行われる。
【００５９】
なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止しても、既に貼付シートＳａの大部分はリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されているため、テーブル８０の移動に伴って、貼付シートＳａはベースシートＢＳから引き剥がされるように分離する。
【００６０】
そして、図１１（Ｄ）に示すように、テーブル８０が更に移動して、リングフレームＲＦの右端が貼付ローラー５２の下方に達したならば、テーブル８０の移動が停止する。そして、貼付ローラー５２が上昇し、貼付が完了する。
【００６１】
貼付シートＳが剥離された帯状素材Ｍは、ガイドローラー５４、６１、６２、６３を介して巻き取りローラー７０に巻き取られる。
【００６２】
図１２に、貼付シートＳの貼付が完了し、リングフレームＲＦに半導体ウエハＷが固定された状態を示す。
【００６３】
なお、上述した巻き出しローラー１１、カッティングローラー２１、テンションローラー４１、駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０の回転駆動、並びにテーブル８０の直線移動は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置にて駆動されるが、これらは制御部１００による制御で同期をとって行われる。
【００６４】
また、上記実施の形態では、貼付シートＳを用いて半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するマウント装置及びマウント方法について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、液晶画面等に保護フィルムを貼付する際等にも用いることができる。即ち、上記実施形態における半導体ウエハＷ及び／又はリングフレームを種々のワークへ置き換えることで、種々のワークへの貼付シートの貼着に適用できるものである。
【符号の説明】
【００６５】
１ マウント装置
１０ 帯状素材支持機構
１１ 巻き出しローラー
１２ ガイドローラー
２０ プリカット機構
２１ カッティングローラー
２２ シート状刃物
２３ シート
２４ 刃
２４ａ〜２４ｅ 直線部
２５ ローラー
２６ カッター受けローラー
２７ ガイドローラー
３０ テンション調整機構
３１ 可動ローラー位置検出センサ
３１ａ 上限センサ
３１ｂ 共通センサ
３１ｃ 下限センサ
３２ センサドグ
３３ 可動ローラー
３４ ばね
４１ テンションローラー
４２ ガイドローラー
５０ 貼合機構
５１ 剥離板
５２ 貼付ローラー
５３，５４ ガイドローラー
６０ 駆動ローラー
６１，６２，６３ ガイドローラー
７０ 巻き取りローラー
８０ テーブル
９０ 剥離検出センサ
１００ 制御部
ＲＦ リングフレーム（ワーク）
Ｗ 半導体ウエハ（ワーク）
Ｍ 帯状素材
Ｆ フィルム
ＢＳ ベースシート
Ｓ，Ｓａ〜Ｓｅ 貼付シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種ワーク同士の固定、或いは、各種ワークへの保護シートの貼着等、薄膜状のシートを各種ワークに貼付することが工業的に行われている。例えば、半導体ウエハをダイシングする際、半導体ウエハをリングフレームの内側領域に配置し、それらの面にダイシングテープを貼着し、リングフレームに半導体ウエハを固定することが行われている。
【０００３】
リングフレームに半導体ウエハを固定する方法及び装置として、特許文献１に開示の発明がある。特許文献１に開示の発明は、ベースシートにダイシングテープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する支持手段と、帯状素材のフィルム面に切り込みを設けてダイシングテープを形成するプリカット手段と、ダイシングテープをベースシートから剥離してリングフレーム及び半導体ウエハに貼着する貼合手段とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、プリカット手段で形成されるダイシングテープは、リングフレームの形状に相応し略円形状に形成される。ダイシングテープは、カッター刃を備えたローラーとダイ受けとの間に帯状素材を通過させることで形成される。ここで、帯状素材に閉ループである略円形状の切り込みを設けるため、同様に閉ループに形成されたカッター刃を備えるローラーが用いられる。
【０００６】
ローラーに閉ループで良好な刃先断面を有するカッター刃を形成するため、隣り合う閉ループの間には必要最小程度の隙間が設けられる。この隙間は、具体的に８〜１０ｍｍ程度に設定される。
【０００７】
よって、上記のようなプリカット手段で略円形状のダイシングテープを形成すると、隣り合うダイシングテープの間には８〜１０ｍｍの隙間が生じ、それだけ帯状素材に無駄が生じてしまう。
【０００８】
本発明は、上記事項に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、帯状素材の長手方向に隙間無く貼付シートを形成し、各種ワークへ貼着できる貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第一の観点に係る貼付装置は、
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付装置において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、を備える、
ことを特徴とする。
【００１０】
また、前記プリカット機構は、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを有するカッティングローラーを備え、
前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成することが好ましい。
【００１１】
また、前記カッティングローラーはシートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回されて構成され、
前記ローラーに巻回されて前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されていることが好ましい。
【００１２】
また、前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる制御部を備えることが好ましい。
【００１３】
また、前記プリカット機構と前記貼合機構との間に、前記帯状素材に張力を与える可動ローラーと、前記可動ローラーの位置を検出するセンサとを有し、前記帯状素材に所定の張力を与えるテンション調整機構を備え、
検出された前記可動ローラーの位置に基づいて前記帯状素材の移動速度を調節し、前記可動ローラーを所定範囲内に保持することが好ましい。
【００１４】
本発明の第二の観点に係る貼付方法は、
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付方法において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を送り出し、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成し、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する、
ことを特徴とする。
【００１５】
また、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを備え、前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有するカッティングローラーを用い、
前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成することが好ましい。
【００１６】
また、シートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回され、前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている前記カッティングローラーを用いることが好ましい。
【００１７】
また、前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る貼付装置では、帯状素材のフィルムに切り込みを施して、帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成することができる。一巻きの帯状素材からより多くの貼付シートを形成できるので、帯状素材を無駄なく使用でき、帯状素材のコストの低減を実現できる。更に、帯状素材の消費量が低減するので、省資源化にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】マウント装置の概略構成図である。
【図２】帯状素材の斜視図である。
【図３】カッティングローラーの斜視図である。
【図４】（Ａ）はシート状刃物の平面図、（Ｂ）はシート状刃物の側面図である。
【図５】貼付シートが形成された帯状素材の平面図である。
【図６】テンション調整機構の概略構成図である。
【図７】（Ａ）は可動ローラーが上限位置まで上昇した際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置まで下降した際の状態図である。
【図８】（Ａ）は可動ローラーが上限位置をオーバーランした際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置をオーバーランした際の状態図である。
【図９】テーブルにリングフレーム及び半導体ウエハが配置された状態を示す平面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）は貼り合わせの様子を示す図である。
【図１１】（Ａ）〜（Ｄ）は貼り合わせの様子を示す図である。
【図１２】リングフレームに半導体ウエハが固定された状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
貼付装置及び貼付方法の具体的な一例として、以下、図を参照しつつ、マウント装置及びマウント方法について説明する。マウント装置１は、半導体ウエハＷのダイシングを行うに際し、半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するために用いられる装置である。
【００２１】
本実施の形態に係るマウント装置１は、図１に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された帯状素材Ｍを支持する帯状素材支持機構１０と、リングフレームＲＦの大きさに応じてフィルムＦに切り込みを施し、帯状素材Ｍの長手方向に連続して直列に並び、且つ、それぞれ接触する貼付シートＳを形成するプリカット機構２０と、貼付シートＳをベースシートＢＳから剥離し、貼付シートＳをリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着して半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定する貼合機構５０と、を備える。
【００２２】
帯状素材Ｍは、図２に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された構造である。フィルムＦはベースシートＢＳから剥離可能な構成である。この帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０としての巻き出しローラー１１にロール状に巻回されて支持されている。
【００２３】
帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０の巻き出しローラー１１から巻き出され、プリカット機構２０、テンション調整機構３０、貼合機構５０を順次通過した後、巻き取りローラー７０に巻き取られてゆく。
【００２４】
帯状素材Ｍの巻き出しは、主として駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０によって行われる。駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置によって、矢印で示すように帯状素材Ｍを巻き出しローラー１１から引き出し、巻き取りローラー７０で巻き取る方向（以下、順方向とも言う）へ回転駆動される。
【００２５】
巻き出しローラー１１から引き出された帯状素材Ｍは、ガイドローラー１２を介して、プリカット機構２０へと向かう。なお、巻き出しローラー１１は、巻き出される帯状素材Ｍが弛まないよう、不図示のモーター等の駆動装置により、巻き出し方向とは逆向き（以下、逆方向ともいう）に回転駆動されている。
【００２６】
プリカット機構２０は、主としてカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６から構成されている。プリカット機構２０は、帯状素材Ｍがカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の間を通過する際に、帯状素材ＭのフィルムＦに切り込みを施し、貼付シートＳを形成する機構である。カッティングローラー２１は、不図示の駆動装置によって、順方向に回転駆動される。
【００２７】
カッティングローラー２１は、図３の斜視図に示すように、ローラー２５とローラー２５面から径方向に突出した刃２４が形成された構成である。刃２４はリングフレームＲＦの形状に応じて略円形状に閉ループに形成されている。
【００２８】
より具体的には、カッティングローラー２１は、図４（Ａ）の平面図、及び、図４（Ｂ）の側面図に示すシート状刃物２２が、図３の斜視図に示すように、ローラー２５に巻回されて構成されている。シート状刃物２２は、シート２３上に刃２４が立設して一体的に形成された構造である。
【００２９】
シート状刃物２２の刃２４は、平面視で略半円弧状の刃２４が２つ、それぞれの円弧が接するように形成されている。それぞれの円弧が接する箇所に直線部２４ａが形成されている。この直線部２４ａは、シート状刃物２２がローラー２５に巻かれた際、ローラー２５の軸に平行になるよう形成されている。
【００３０】
このシート状刃物２２がローラー２５に巻かれることで、図４に示すように、シート状刃物２２の両端（図４（Ａ）、（Ｂ）における左右の両端）が接触する。そして、刃２４の直線部２４ｂと直線部２４ｃが接触し、且つ、刃２４の直線部２４ｄと直線部２４ｅが接触し、リングフレームＲＦの形状に応じた略円形状の刃２４が形成される。なお、直線部２４ａ、直線部２４ｂと直線部２４ｃからなる直線、及び、直線部２４ｄと直線部２４ｅからなる直線の長さは、明らかに直線であると認識できる長さ以上であるとともに、シート状刃物２２のローラー回転方向における長さＬａ、及び、直線部２４ｂ、２４ｃから直線部２４ｄ、２４ｅまでの長さＬｂがリングフレームＲＦの内径寸法より長いことが好ましい。具体的には、リングフレームＲＦの内径が円形である場合、刃２４の円弧に接線を引いたとすると、直線部２４ａ〜２４ｅは、この接線に平行で、且つ、円の直径の０．１％〜３％程度、円弧から円の中心方向へ離間した位置に形成されていることが好ましい。
【００３１】
また、シート状刃物２２の両端部に位置する刃２４には、それぞれローラー２５の回転方向に沿って直線部２４ｂ〜２４ｅが形成されている。これにより、シート状刃物２２をローラー２５に巻回して設置する際、位置合わせが容易である。
【００３２】
上記のプリカット機構２０では、帯状素材ＭのフィルムＦ面がカッティングローラー２１に対向するように、帯状素材Ｍを通過させるので、カッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の押圧及び回転により、刃２４がフィルムＦに食い込み、切り込みが施される。なお、フィルムＦのみに切り込みが施されるよう刃２４の長さ及びカッティングローラー２１の押圧力等が設定されているので、貼付シートＳはベースシートＢＳを残した状態で形成される。
【００３３】
カッティングローラー２１が一回転するにつき、貼付シートＳが一枚形成される。そして、カッティングローラー２１が順次回転することにより、帯状素材Ｍの長手方向に連続して貼付シートＳが複数形成される。
【００３４】
図５に、カッティングローラー２１によって、フィルムＦに切り込みを施し、複数の略円形状の貼付シートＳａ〜Ｓｅが形成された帯状素材Ｍの平面図を示す。シート状刃物２２では、刃２４の直線部２４ａでそれぞれの貼付シートＳを分割するよう形成するので、貼付シートＳは、それぞれ隣り合う貼付シートＳと直線状に線接触して形成される。一例を示すと、貼付シートＳｂは貼付シートＳａ及び貼付シートＳｃとそれぞれ帯状素材Ｍの長手方向に線接触して形成されている。
【００３５】
それぞれの貼付シートＳが互いに接触して形成されるので、それぞれの貼付シートＳａ〜Ｓｅの間にはフィルムＦが残らない。このため、帯状素材Ｍを無駄なく使用でき、一巻きの帯状素材Ｍから形成できる貼付シートＳの数が増加するので、帯状素材Ｍのコストの低減を実現できる。更に、帯状素材Ｍの消費量が低減するので、省資源化にも有効である。
【００３６】
更に、ローラー２５の両端側に位置する刃２４が直線状であるので、幅の短い帯状素材Ｍを用いることができ、コストの低減並びに省資源化に対し、より効果がある。
【００３７】
上述のようにしてプリカット機構２０で貼付シートＳが形成された帯状素材Ｍは、テンション調整機構３０へと向かう。テンション調整機構３０は、前述したプリカット機構２０による帯状素材Ｍの送り速度と駆動ローラー６０による帯状素材Ｍの送り速度との誤差を吸収し、前述のプリカット機構２０において均一形状の貼付シートＳが形成されるよう、また、後述する貼合機構において帯状素材Ｍの弛みをなくし、ベースシートＢＳから貼付シートＳが剥離しやすいよう、帯状素材Ｍに適度なテンションを与える機構である。
【００３８】
テンション調整機構３０は、図６に示すように、主として可動ローラー位置検出センサ３１、センサドグ３２、可動ローラー３３、ばね３４、から構成される。
【００３９】
可動ローラー３３は弾性体であるばね３４を介して吊り下げられている。可動ローラー３３は図１、図６において上下方向に揺動自在に支持されている。可動ローラー３３の上方を帯状素材Ｍが通過する。センサドグ３２は可動ローラー３３の回転に支障を与えることなく、可動ローラー３３の上下方向への移動に追従するよう、一体的に設けられている。
【００４０】
可動ローラー位置検出センサ３１は、可動ローラー３３の移動方向に沿って、配置された上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃから構成される。上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃはそれぞれ可動ローラー３３と一体的に設けられたセンサドグ３２の位置を検出するセンサである。上限センサ３１ａはセンサドグ３２の上限位置を検出し、下限センサ３１ｃはセンサドグ３２の下限位置を検出し、共通センサ３１ｂはセンサドグのオーバーラン状態をそれぞれ検出する。
【００４１】
例えば、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも速い場合、図７（Ａ）に示すように、可動ローラー３３は上昇する。そして、可動ローラー３３の上昇に追従してセンサドグ３２も上昇する。この場合、センサドグ３２を上限センサ３１ａが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。これらの制御は制御部１００により行われる。図７（Ａ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも速くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が下降し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の駆動が停止するように制御すればよい。
【００４２】
一方、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも遅い場合、図７（Ｂ）に示すように、可動ローラー３３は下降する。そして、可動ローラー３３の下降に追従してセンサドグ３２も下降する。この場合、センサドグ３２を下限センサ３１ｃが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。図７（Ｂ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも遅くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が上昇し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の回転速度を速めるように制御すればよい。
【００４３】
また、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、何らかの異常によって可動ローラー３３が過度に上昇或いは下降した場合、センサドグ３２を共通センサ３１ｂが検出できなくなる。このように共通センサ３１ｂによる検出ができない場合、異常が生じたものとしてマウント装置１の駆動停止や、音や光或いは表示等で異常を報知するよう制御してもよい。
【００４４】
なお、上記のセンサはセンサドグ３２の位置を検出できるものであれば、赤外線センサや超音波センサ等、いずれを用いてもよい。センサドグ３２を用いた例について説明したが、直接可動ローラー３３の位置を検出する形態であってもよい。
【００４５】
帯状素材Ｍはテンション調整機構３０を通過した後、テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過する。テンションローラー４１は不図示のモーター等の駆動装置で回転駆動されている。テンションローラー４１は帯状素材Ｍが後述する貼合機構５０の剥離板５１近傍にて適度な張りが生じるよう、逆方向へバックテンションが加わるように回転している。
【００４６】
なお、駆動ローラー６０による帯状素材Ｍを順方向へ送る力は、テンションローラー４１による逆方向へバックテンションを加える力よりも大きくなるよう、制御部１００によってそれぞれのモーター等の駆動装置が制御されている。
【００４７】
テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過した帯状素材Ｍは、続いて貼合機構５０へと送られる。
【００４８】
貼合機構５０は、主として剥離板５１と貼付ローラー５２とで構成されている。貼合機構５０は剥離板５１にてベースシートＢＳから剥離した貼付シートＳを、貼付ローラー５２にてテーブル８０上に載置されているリングフレームＲＦと半導体ウエハＷに貼着する機構である。
【００４９】
テーブル８０は、略環状のリングフレームＲＦ及び略円形状の半導体ウエハＷが載置される台である。テーブル８０は、貼付ローラー５２の下方においてマウント装置１の内方−外方（図１において左右方向）へ移動可能に構成されている。
【００５０】
テーブル８０には、図９に示すように、リングフレームＲＦの内側領域に半導体ウエハＷが配置されるよう、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがそれぞれ載置される。リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷは、それぞれテーブル８０上の所定位置に載置されるようになっている。例えば、テーブル８０上面に突出する位置決めピンやテーブル上面に設けられた窪み等により、それぞれ一定の位置に載置されるよう構成される。また、貼付シートＳを貼着させる際にずれたりしないよう、テーブル８０上面に吸着孔を設け、減圧ポンプによってリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがテーブル８０の所定位置に保持されるように構成されていてもよい。
【００５１】
続いて、図１０、図１１を参照しつつ、貼り合わせの工程について説明する。まず、テーブル８０がマウント装置１から外方に出ている状態で、上記のようにテーブル８０上にリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷを載置する。
【００５２】
そして、図１０（Ａ）に示すように、テーブル８０はマウント装置１内方へと移動する。また、貼付シートＳａの先端部をベースシートＢＳから剥離し、貼付ローラー５２の下方へ達するまで剥離板５１から突出させる。帯状素材Ｍは剥離板５１にて急激に反転され、折り返しながら巻き取られるので、ベースシートＢＳから貼付シートＳａが剥離される。なお、貼付シートＳａがベースシートＢＳから正常に剥離したことをセンサ９０で検出する。
【００５３】
そして、図１０（Ｂ）に示すように、テーブル８０はリングフレームＲＦの端部が貼付ローラー５２の下方まで達し、停止する。
【００５４】
その後、図１０（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が下降する。貼付ローラー５２の押圧により、貼付シートＳａの端部がリングフレームＲＦに貼着される。
【００５５】
続いて、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態で、テーブル８０がマウント装置１の外方へ移動する。テーブル８０の移動に伴って、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷも移動する。剥離板５１からの貼付シートＳａの送り出し、及び、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態でテーブル８０が移動するため、貼付ローラー５２が回転しつつ、貼付シートＳａが順次リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されていく。なお、貼付シートＳａの送り出しはテーブル８０の移動速度と同期をとって略同じ速度で送り出される。
【００５６】
そして、図１１（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が貼付シートＳａの右端部付近まで移動したなら、貼付シートＳａの送り出しを停止させる。なお、この状態ではテーブル８０の移動（図中、左方向への移動）は継続している。
【００５７】
このように、テーブル８０の移動よりも、貼付シートＳａの送り出しを早期に停止させるとよい。帯状素材Ｍには貼付シートＳａ、Ｓｂが互いに接触して形成されているので、テーブル８０の移動停止と貼付シートＳａの送り出し停止を同時に行うと、貼付シートＳａに接触している貼付シートＳｂの端部が送り出されてしまい、貼付ローラー５２で押圧されるおそれがある。
【００５８】
なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止させることは、制御部１００にて行われる。
【００５９】
なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止しても、既に貼付シートＳａの大部分はリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されているため、テーブル８０の移動に伴って、貼付シートＳａはベースシートＢＳから引き剥がされるように分離する。
【００６０】
そして、図１１（Ｄ）に示すように、テーブル８０が更に移動して、リングフレームＲＦの右端が貼付ローラー５２の下方に達したならば、テーブル８０の移動が停止する。そして、貼付ローラー５２が上昇し、貼付が完了する。
【００６１】
貼付シートＳが剥離された帯状素材Ｍは、ガイドローラー５４、６１、６２、６３を介して巻き取りローラー７０に巻き取られる。
【００６２】
図１２に、貼付シートＳの貼付が完了し、リングフレームＲＦに半導体ウエハＷが固定された状態を示す。
【００６３】
なお、上述した巻き出しローラー１１、カッティングローラー２１、テンションローラー４１、駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０の回転駆動、並びにテーブル８０の直線移動は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置にて駆動されるが、これらは制御部１００による制御で同期をとって行われる。
【００６４】
また、上記実施の形態では、貼付シートＳを用いて半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するマウント装置及びマウント方法について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、液晶画面等に保護フィルムを貼付する際等にも用いることができる。即ち、上記実施形態における半導体ウエハＷ及び／又はリングフレームを種々のワークへ置き換えることで、種々のワークへの貼付シートの貼着に適用できるものである。
【符号の説明】
【００６５】
１ マウント装置
１０ 帯状素材支持機構
１１ 巻き出しローラー
１２ ガイドローラー
２０ プリカット機構
２１ カッティングローラー
２２ シート状刃物
２３ シート
２４ 刃
２４ａ〜２４ｅ 直線部
２５ ローラー
２６ カッター受けローラー
２７ ガイドローラー
３０ テンション調整機構
３１ 可動ローラー位置検出センサ
３１ａ 上限センサ
３１ｂ 共通センサ
３１ｃ 下限センサ
３２ センサドグ
３３ 可動ローラー
３４ ばね
４１ テンションローラー
４２ ガイドローラー
５０ 貼合機構
５１ 剥離板
５２ 貼付ローラー
５３，５４ ガイドローラー
６０ 駆動ローラー
６１，６２，６３ ガイドローラー
７０ 巻き取りローラー
８０ テーブル
９０ 剥離検出センサ
１００ 制御部
ＲＦ リングフレーム（ワーク）
Ｗ 半導体ウエハ（ワーク）
Ｍ 帯状素材
Ｆ フィルム
ＢＳ ベースシート
Ｓ，Ｓａ〜Ｓｅ 貼付シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付装置において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、を備える、
ことを特徴とする貼付装置。
【請求項２】
前記プリカット機構は、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを有するカッティングローラーを備え、
前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成する、ことを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
【請求項３】
前記カッティングローラーはシートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回されて構成され、
前記ローラーに巻回されて前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている、ことを特徴とする請求項２に記載の貼付装置。
【請求項４】
前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる制御部を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項５】
前記プリカット機構と前記貼合機構との間に、前記帯状素材に張力を与える可動ローラーと、前記可動ローラーの位置を検出するセンサとを有し、前記帯状素材に所定の張力を与えるテンション調整機構を備え、
検出された前記可動ローラーの位置に基づいて前記帯状素材の移動速度を調節し、前記可動ローラーを所定範囲内に保持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項６】
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付方法において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を送り出し、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成し、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する、
ことを特徴とする貼付方法。
【請求項７】
ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを備え、前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有するカッティングローラーを用い、
前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成する、ことを特徴とする請求項６に記載の貼付方法。
【請求項８】
シートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回され、前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている前記カッティングローラーを用いる、ことを特徴とする請求項７に記載の貼付方法。
【請求項９】
前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる、ことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の貼付方法。
【請求項１】
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付装置において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、を備える、
ことを特徴とする貼付装置。
【請求項２】
前記プリカット機構は、ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを有するカッティングローラーを備え、
前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成する、ことを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
【請求項３】
前記カッティングローラーはシートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回されて構成され、
前記ローラーに巻回されて前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている、ことを特徴とする請求項２に記載の貼付装置。
【請求項４】
前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる制御部を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項５】
前記プリカット機構と前記貼合機構との間に、前記帯状素材に張力を与える可動ローラーと、前記可動ローラーの位置を検出するセンサとを有し、前記帯状素材に所定の張力を与えるテンション調整機構を備え、
検出された前記可動ローラーの位置に基づいて前記帯状素材の移動速度を調節し、前記可動ローラーを所定範囲内に保持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項６】
テーブル上に配置されたワークに貼付シートを貼着する貼付方法において、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を送り出し、
前記ワークの大きさに応じて前記フィルムに切り込みを施して、前記帯状素材の長手方向に連続し、且つ、それぞれ線接触する貼付シートを形成し、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する、
ことを特徴とする貼付方法。
【請求項７】
ローラーと前記ローラーの面から突出して形成された刃とを備え、前記刃の一部に前記ローラーの軸に平行な直線部を有するカッティングローラーを用い、
前記直線部による切り込みでそれぞれ直線状に線接触する前記貼付シートを形成する、ことを特徴とする請求項６に記載の貼付方法。
【請求項８】
シートに前記刃が設けられたシート状刃物が前記ローラーに巻回され、前記シート状刃物の両端が互いに接触する箇所の前記刃が前記ローラーの回転方向に沿って直線状に形成されている前記カッティングローラーを用いる、ことを特徴とする請求項７に記載の貼付方法。
【請求項９】
前記帯状素材を剥離板にて折り返しながら巻き取ることで前記貼付シートを前記ベースシートから剥離させ、前記剥離板から前記貼付シートを前記ワーク上へ送り出し、
貼付ローラーで前記貼付シートを前記ワークに押圧した状態で前記ワークを移動させて前記貼付シートを前記ワークに貼着し、
前記ワークの移動停止よりも前記帯状素材の巻き取りを早期に停止させる、ことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の貼付方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１１−１９２８５０（Ｐ２０１１−１９２８５０Ａ）
【公開日】平成２３年９月２９日（２０１１．９．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５８５３０（Ｐ２０１０−５８５３０）
【出願日】平成２２年３月１５日（２０１０．３．１５）
【特許番号】特許第４５６８３７４号（Ｐ４５６８３７４）
【特許公報発行日】平成２２年１０月２７日（２０１０．１０．２７）
【出願人】（５９１１８２９５０）大宮工業株式会社 (10)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月２９日（２０１１．９．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月１５日（２０１０．３．１５）
【特許番号】特許第４５６８３７４号（Ｐ４５６８３７４）
【特許公報発行日】平成２２年１０月２７日（２０１０．１０．２７）
【出願人】（５９１１８２９５０）大宮工業株式会社 (10)
【Ｆターム（参考）】
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