ＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法
【課題】交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法、及びＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供する。
【解決手段】搭載部品を表示基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リール１６０から引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付ける際に、前記ＡＣＦ貼付装置２０は前記ＡＣＦ供給リール１６０を具備し前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセット１００と前記ＡＣＦカセット１００を固定するカセット固定部２００とを有し、前記ＡＣＦカセット１００を前記カセット固定部２００に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材１４１〜１４３、２４１〜２４３を前記ＡＣＦカセット１００と前記カセット固定部２００に対に複数組設けたことを特徴とする。
【解決手段】搭載部品を表示基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リール１６０から引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付ける際に、前記ＡＣＦ貼付装置２０は前記ＡＣＦ供給リール１６０を具備し前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセット１００と前記ＡＣＦカセット１００を固定するカセット固定部２００とを有し、前記ＡＣＦカセット１００を前記カセット固定部２００に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材１４１〜１４３、２４１〜２４３を前記ＡＣＦカセット１００と前記カセット固定部２００に対に複数組設けたことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法に関し、特に消費されていくＡＣＦ(Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜)の補充を短時間で行なうことができるＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置の製造工程には、ＴＡＢ(Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ)/ＣＯＦ(Ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ)やＣＯＧ(Ｃｈｉｐ ｏｎ ｇｌａｓｓ)等の搭載部品をＡＣＦを介して加熱圧着することで、搭載部品をＦＰＤ(Ｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ)表示基板またはプリント基板(以下、これ等を単に基板という)に搭載する工程がある。この搭載工程に先立って、その搭載位置にＡＣＦを貼り付ける。ＡＣＦは、粘着性のある電気絶縁物質からなるバインダ樹脂に導電粒子を分散させたものであり、基板において、このＡＣＦを貼り付けた上からＴＡＢを接合させ、その間に加熱下で圧着を行なうことによって、ＴＡＢ側の電極と基板側の電極とが導電粒子を介して電気的に接続される。
【０００３】
ＡＣＦは、これを保護するためのセパレータ上に積層されたＡＣＦテープの状態で、ＡＣＦ供給リールに所定の長さ分だけ巻き付けられている。基板にＡＣＦを貼り付けるには、リールからＡＣＦテープを繰り出して、所定の長さ毎にＡＣＦの部分のみをカットする、所謂ハーフカットを行い、基板上に圧着して貼り付け、その後、セパレータをＡＣＦから剥離し、剥離されたセパレータを回収する。
【０００４】
このように、ＡＣＦは順次消費されていくものであって、ＡＣＦ供給リールに巻回された量を使い切ると新たなＡＣＦ供給リール（ＡＣＦ）に交換する必要がある。
【０００５】
このような交換方法の従来技術としては特許文献１に開示されている方法がある。特許文献１には、予め交換用のＡＣＦ供給リールを用意し、使用済みＡＣＦ供給リールと交換し、その後貼付け処理をする貼付部に存在する複数のローラ間にＡＣＦテープを引き回す方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２９８３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された方法は、基本的にはＡＣＦ供給リールのみを交換するために引き回し作業に時間を要する課題ある。また、ＡＣＦテープを交換する際には交換した時にＡＣＦテープの貼付け位置へ正確に搬送することができることが重要である。特許文献１の方法では、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性を出すことが難しくＡＣＦテープを貼付け位置に正確に貼り付けできない課題がある。
【０００８】
本発明は上記の点を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。本発明の他の目的は、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために、搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付装置または方法に関するものであって、前記ＡＣＦ貼付装置は前記ＡＣＦ供給リールを具備し、前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセットと前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部とを有し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材を前記ＡＣＦカセットと前記カセット固定部に対に複数組設けることを第１の特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記複数組はそれぞれ前記６軸のうち１つ以上の軸を単独で位置決めすることを第２の特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第１または第２の特徴に加え、前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記各Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを第３の特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第３の特徴に加え、前記複数組は３組であることを第４の特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記ＡＣＦを貼り付ける貼付け位置の側部に設けたことを第５の特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第５の特徴に加え、前記側部に設けられた前記位置決め部材の対は前記６軸のうちの３軸を規定し、前記３軸はＹ方向、θｘ方向、θｚ方向であることを第６の特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記Ｘ、Ｚ方向の位置を規定するＸＺ方向規定の位置決め部材の対であることを第７の特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第７の特徴に加え、少なくとも前記Ｘ方向の位置を規定するために前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させることを第８の特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第７の特徴に加え、前記位置決め部材の対のうちＺ方向を規定するものであって、前記位置決め部材の対のうち前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避することを第９の特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記θｙ方向を規定するθｙ規定部材の対であることを第１０の特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させることを第１１の特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットの位置決め部材の位置を調整することを第１２の特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に搭載するＡＣＦカセット供給手段を有することを第１３の特徴とする。
【００２２】
最後に、本発明は、上記目的を達成するために、第３の特徴に加え、前記カセット固定部を前記θｚ方向にほぼ１８０度旋回させることを第１４の特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【００２４】
また、本発明によれば、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施形態のＡＣＦ貼付装置の構成及び動作を示した模式図である。
【図２Ａ】図１に示したＡＣＦ貼付装置の固定部にカセットを供給するＡＣＦカセット供給部を設けたときに、それらを上から見た図である。
【図２Ｂ】ＡＣＦカセット供給部の構成を示す斜視図である。
【図３】ＡＣＦカセット供給部を用いた処理フローを示した図である。
【図４】ＡＣＦカセットの表面側の構成と動作を模式的に示す図である。
【図５】図５(ａ)は固定部材を有するカセットの裏面に固定部に設けられた基準部材を重ね合わせて示した図である。図５(ｂ)は図５(ａ)を矢印Ｌ方向から見たときの側面図である。
【図６】固定部のカセット側即ち図５(ｂ)に示すＤ側を示した図である。
【図７】位置決め部材によるＹ、θz方向の位置決めを説明する図である。図７(ａ)は図５(ａ)に示すＹ、θz方向の位置決め部を拡大した図である。図７(ｂ)は位置決め部材の側面図を示し、図７(ｃ)は図７(ａ)のＡ−Ａ断面図を示す。
【図８】図５(ａ)に示すＸ、Ｚ方向の位置決め部の拡大図で、位置決め部材によるＸ、Ｚ方向の位置決めを説明する図である。
【図９】図５(ａ)に示すθy方向の位置決め部の拡大図で、位置決め部材によるθy方向の位置決めを説明する図である。
【図１０】固定部材の位置調整機構の構成図である。
【図１１】カセットのセットフローを示す図である。
【図１２】液晶パネルの要部外観を示した図である。
【図１３】ＡＣＦテープの断面構造図を示した図である。
【図１４】ＴＡＢ搭載位置の断面を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。図１２に液晶パネルの要部外観を示し、図１３にはＡＣＦテープの断面構造図を、さらに図１４にはＴＡＢ搭載位置の断面をそれぞれ示す。
【００２７】
図１２において、基板１はそれぞれガラス等の透明基板を２枚重ね合わせ、その間にセルギャップを形成して、このセルギャップに液晶が封入される。この基板１を構成する２枚の透明基板２，３を、それぞれ下基板２，上基板３という。下基板２の上基板３との対向面には所定のリードパターンが印刷手段等により形成されており、このリードパターンは所定本数ずつ群としてまとめられてリード群４を形成している。そして、下基板２には少なくとも１辺にそれぞれ複数のリード群４が形成される。フレキシブル基板５に集積回路素子６を搭載し、この集積回路素子６の両側にそれぞれ所定数のリード群７及び８を設けたＴＡＢ９(実際に搭載する際は図の表裏を逆にする)が、そのリード群７が下基板２のリード群４を構成する各リードと確実に電気的に接続されるようにして搭載される。
【００２８】
リード群７がリード群４に電気的に接続した状態でＴＡＢ９を下基板２に搭載するために用いられるのが図１３に示すＡＣＦ１０である。ＡＣＦ１０はセパレータ１１に積層されてＡＣＦテープ１２を構成する。セパレータ１１は、ＡＣＦ１０との積層面に剥離層を有している。これにより、ＡＣＦテープ１２を下基板２に貼り付けた後、セパレータ１１をＡＣＦ１０から剥離できる。なお、セパレータの幅は１ｍｍ〜３ｍｍ、厚さは５０μｍ程度である。
【００２９】
また、ＡＣＦ１０は、電気絶縁性を有し、かつ粘着力を持ったバインダ樹脂１０ａ内に均一に導電粒子１０ｂを分散させたものからなり、この導電粒子１０ｂはリード群７及びリード群４におけるリード間間隔より十分に小さい粒子からなっている。そこで、バインダ樹脂１０ａを加熱し、軟化させた状態で、下基板２とＴＡＢ９との間に所定の押圧力を加えると、図１４に示すように導電粒子１０ｂの粒径とほぼ一致する状態にまで圧縮され、もって導電粒子１０ｂがリード群４，７を構成する各リード４ａ，７ａに当接して、その間を電気的に接続する。また、バインダ樹脂が硬化すると、ＴＡＢ９が下基板２に固着されることになる。
【００３０】
図１は、本実施形態のＡＣＦ貼付装置２０の構成を模式的に示した図である。ＡＣＦ貼付装置は、大別して、ヘッド本体５０と、ＡＣＦテープを装着するＡＣＦカセット１００(以下、単にカセットという)及びカセットをヘッド本体に固定するカセット固定部(以下、単に固定部いう)２００を有する。ヘッド本体と固定部２００は共通の本体ベース２１に載置されている。カセット１００は後述する方法で固定部に保持されているが、説明の都合上図１では矢印Ａ方向に１８０度回転させ離れた状態を示している。
【００３１】
図１に示すカセットは、ＡＣＦ供給リール１６０を装着しＡＣＦテープを引き回しする側を表面とすると、固定部に固定する後述するカセット側の位置決め部材１４１〜１４４を有する裏面を表している。固定部２００はカセットを固定する固定部側の位置決め部材２４１〜２４４を有する面を示す。また、固定部は、カセットを図１の状態から矢印Ａ´の方向に１８０度回転させた状態で前述した互いの位置決め部材を係合させたカセットを保持している。さらに、固定部２００はカセット１００を保持した状態で旋回軸２１１に固定され、エアシリンダ(図示せず)による当該旋回軸の回転により矢印Ｃに示すように約１８０度回転できる固定部駆動部２１０有する。固定部駆動部２１０はベース２１に固定され、前記の旋回軸の他、固定部を上下に移動させる自由度を有する。ヘッド本体５０は、圧着刃５１と下刃５２とＡＣＦを基板１に貼り付けるために圧着刃５１を昇降(矢印Ｂ)させるシリンダ５５とを有する。
【００３２】
図２Ａは、図１に上述したＡＣＦ貼付装置２０の固定部２００にカセット１００を供給するＡＣＦカセット供給部３００を設けたときに、それらを上から見た図である。図２ＢはＡＣＦカセット供給部の構成を示す斜視図である。
図２Ａに示すように、ＡＣＦのテープ切れが発生したときは、ＡＣＦカセット１００ａを保持した固定部２００を旋回軸２１１により矢印Ｃに示すように１８０度回転し、ＡＣＦカセットを破線で示す１００ｂの状態にし、ＡＣＦカセット供給部３００に受け渡す。あるいは、逆に、ＡＣＦカセット供給部から新たなＡＣＦカセット１００ｂを受取り、固定部２００を旋回軸２１１に矢印Ｃ´方向に回転させＡＣＦ貼付処理ができる状態にする。
【００３３】
図２Ｂに示すように、ＡＣＦカセット供給部３００は、使用済みのカセット及び新たなカセットを載置するカセット載置台３２２、カセット載置台を１８０度Ｑ方向に回転させる回転テーブル３２３及び回転テーブルとカセット載置台を搭載しＰ方向に移動させる移動体３２０を有する。移動体は供給部ベース３２４に設置したレール３２１上を移動する。カセット載置台３２２は、表裏両面にカセットを装着できる構造を有し、新たなカセットを装着して図２Ａに示すカセット交換位置Ｒに移動し、使用済みカセットを受取り、回転テーブル３２３により１８０度回転し、固定部２００に新たなカセットを供給する。
【００３４】
図３はＡＣＦカセット供給部３００を用いたカセット交換処理フローを主体に示した図である。図３(ａ)はＡＣＦカセット供給部を主体にした自動交換処理フローを、図３(ｂ)は作業員による作業処理フローを示す。以下、図２Ａ、図２Ｂを参照しながら説明する。なお、図３において破線内の図は、図３(ｃ)に示すように、各ステップにおけるカセット載置台に対するカセット、使用済みＡＣＦリール及び新たなＡＣＦリールの位置関係並びにカセット載置台のＡＣＦカセット供給部での位置を示す。
まず、現在ＡＣＦ貼付装置２０はＡＣＦ貼付処理中である(Ｓｔｅｐ１ａ)。Ｓｔｅｐ１ａの処理中に作業員は、前回の使用済みカセット１００をカセット載置台３２２から取り外し(Ｓｔｅｐ１ｂ)、使用済みＡＣＦリールを新たなＡＣＦリールに交換し(Ｓｔｅｐ２ｂ)、新たなＡＣＦリールを装着したカセット１００をカセット載置台にセットする(Ｓｔｅｐ３ｂ)。その後は、カセット載置台はその状態でＡＣＦテープ切れが発生するまで待機する。
【００３５】
図３(ａ)の自動交換処理フローでは、ＡＣＦ貼付装置２０がＡＣＦテープ切れを検出する(Ｓｔｅｐ２ａ)。ＡＣＦテープ切れを検出すると、ＡＣＦ貼付装置はカセット載置台３２２を図２Ａに示すカセット交換位置Ｒに移動させる(Ｓｔｅｐ３ａ)。また、前記移動と並行して固定部２００を旋回軸２１１により回転させ、カセット載置台のうちカセットを保持していない面に正対させる(Ｓｔｅｐ４ａ)。次に、固定部が保持している使用済みのカセットをカセット載置台に受け渡す(Ｓｔｅｐ５ａ)。次に、カセット載置台は回転テーブル３２３により１８０度回転し(Ｓｔｅｐ６ａ)、固定部２００に新たなカセットを受け渡す(Ｓｔｅｐ７ａ)。その後、カセット載置台をＡＣＦリール交換位置Ｔ(図２Ａ参照)に戻し(Ｓｔｅｐ８ａ)、作業員によるＡＣＦテープの交換を待つ。Ｓｔｅｐ８ａに並行してＡＣＦ貼付装置２０は、後述するカセット１００の各方向の位置決めを実施し(Ｓｔｅｐ９ａ)、固定部２００を旋回軸２１１により回転させ、ＡＣＦ貼付処理の準備を完了させる(Ｓｔｅｐ１０ａ)。その後Ｓｔｅｐ１ａに戻り、ＡＣＦ貼付処理を継続する。
上記実施形態では自動でカセット１００を固定部２００に載置したり取り外したりしたが、作業員が実際にカセットを載置したり取り外したりしても良い。
【００３６】
図４はカセット１００の表面側の構成と動作を模式的に示す図である。ＡＣＦ供給リール１６０に巻き回されているＡＣＦテープ１２は、複数のガイドローラ１１２にガイドされ、テンション機構１１３により適切な張力を維持しながら、ヘッド部５０に設けられた圧着刃５１の下部の所定位置まで引き回される。このとき左右の平行ガイドローラ１１５Ｌ、１１５ＲによりＡＣＦテープは下刃５２に対して平行に維持される。そして、ハーフカットユニット１０４によりＡＣＦテープ１２のＡＣＦ１０(図１３参照)をカットする、所謂ハーフカットが行なわれる。ハーフカット後、圧着刃５１を下刃５２に保持された基板(図示せず)のところまで降下させ、ヒータブロック５３により加熱された圧着刃５１によりＡＣＦテープを所要時間加熱圧着する。その後圧着刃５１を上昇させ、ＡＣＦを冷却する。次に、セパレータ１１を基板に固定されたＡＣＦ１０から剥離する。剥離されたセパレータは平行ガイドローラ１１５Ｒ、ガイドローラ１１４及び巻取りローラ１２１，１２２によりセパレータ回収部１２０まで搬送される。なお、１３０はＡＣＦテープ切れを検出する光学センサである。
【００３７】
次に、図５及び図６を用いてカセット１００及び固定部２００のより詳細な構成とカセットを固定部に固定する方法を説明する。本実施形態の基本的な考え方は固定部に設けられた位置決め部材を基準部材として、その基準部材にカセットの対応する位置に設けられた位置決め部材を固定部材として固定して位置決めをする。
【００３８】
図５(ａ)は固定部材１４１〜１４３を有するカセットの裏面に固定部２００に設けられた基準部材２４１〜２４３(下２桁が同じ番号はそれぞれ対応する部材を示し、百の桁が１の場合はカセットの固定部材を、２は固定部の基準部材を示す)を重ね合わせて示した図である。さらに、図５(ａ)には位置決め部材の他、位置決めをするため位置決め用補助部材として基準部材用補助部材２４４及び基準部材用補助部材２４４に対応する固定部材用補助部材１４４を示している。図５(ｂ)は図５(ａ)を矢印Ｌ方向から見たときの側面図で、左から固定部２００、カセット１００そしてＡＣＦ供給リール１６０である。図６は固定部２００のカセット側、即ち図５(ｂ)に示すＤ側を示した図で、図５(ａ)と折り重ねることによって機能を果たす配置となっている。以下、説明では単独で説明に用いるときは基準部材、固定部材、基準部材用補助部材及び固定部材用補助部材の用語を用い、後述するように対で用いるときは位置決め部材、位置決め用補助部材の用語を使用する。
【００３９】
本実施形態ではカセット１００を固定部２００に固定するには、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の位置決めと、θｘ、θy、θz方向の回転防止(位置決め)をする必要がある。ここで、例えばθz方向とはＺ軸回りの回転を示す。位置決め部材は固定部材、基準部材がそれぞれ３組(１４１、２４１)（１４２、２４２）(１４３、２４３)の対を構成し、上述した６軸の位置決めの役目を果たしている。また、見方によっては特に３つの組のそれぞれの対が１つ以上の軸を単独で位置決めする役目を果たしており、複数の対で１つの軸を分担して位置決めすることの無い構成となっている。本実施形態では、位置決め部材(１４１、２４１)がＸ、Ｚ方向の位置決めを、位置決め部材(１４２、２４２)がθy方向の位置決めを、さらに位置決め部材(１４３、２４３)がＹ、θz、θｘ方向の位置決めの役割を果たす。位置決め用補助部材(１４４、２４４)は対になって位置決め部材(１４１、２４１)が位置決めするのを補助する。
【００４０】
位置決め部材(１４３、２４３)の上側のカセット１００には開口部２４７ｋがあり、その開口部を貫けた巻取りローラ１２１がローラ１２２をＥ方向に押付ける。この押し付け力により発生するカセットをθy、θｚ方向に回転させようとする力を利用し、位置決め部材(１４２、２４２)のθｙ方向、位置決め部材(１４３、２４３)のθｚ方向の位置決めを補助する。
図７は位置決め部材(１４３、２４３)によるＹ、θz、θｘ方向の位置決めを説明する図である。図７(ａ)は図５(ａ)に示すＹ、θz、θｘ方向の位置決め部を拡大した図である。図７(ｂ)は位置決め部材(１４３、２４３)の側面図を示し、図７(ｃ)は図７(ａ)のＡ−Ａ断面図を示す。カセットを下から持ち上げ、カセット固定部材１４３を基準部材２４３に挿入する。基準部材２４３の断面は円弧状の形状を有し、その形状は固定部材１４３が挿入し易く且つ最終的にＹ方向に位置ズレが発生しないようにガイドし、Ｙ方向の位置を規定している。また、基準部材２４３と固定部材１４３はＸ方向に長さを有しているので両者を係合することによりＸ軸を軸とするθｘ方向の回転ずれがないように規定している。
【００４１】
図７(ｃ)に示すように位置決め部材(１４３、２４３)はＸ方向に長くなっており、コ形状の１４３がバー形状の２４３を囲んで位置決めしている。このことによって、このθｚ方向に回転させようとする力が、カセット１００と固定部２００を平行に維持するように作用し、図７(ｃ)の矢印Ｆに示すようなＺ軸を軸とする回転を抑えている。この結果、先のθｘ方向の回転ずれ防止と合わせてカセットの全体姿勢は固定部２００と平行面になるように規定される。
この回転力を発生している回転力発生機構２４７は図６に示す回転力発生シリンダ２４７ｓと巻取りローラ１２１(図４も参照)を有する。回転力発生シリンダ２４７ｓによってＳを支点としてリンク２４７ｂを介し巻取りローラ１２１を矢印Ｇ(図６と図７(ａ)と見る方向が紙面の表裏となるので矢印Ｅとは反対になる)に旋回移動させ、巻取りローラ１２１と固定部２００が有する巻取りローラ１２２でセパレータを挟み込み、巻取りローラ１２１を回転させることでセパレータを巻き取るものである。
この結果、前述したようにカセットは固定部から所望の距離ΔＹ離れ、固定部に対し平行な面を維持できるように位置決めされる。
【００４２】
カセット１００を固定部２００に正確に位置決めする目的は、図４に示す圧着刃５１で基板上の所望の位置にＡＣＦを正確に貼り付けることである。従って、ＡＣＦを貼り付ける位置におけるカセット１００と固定部２００の両者の位置関係を正確に規定することが重要である。このために、６軸のうち３軸の位置決めする位置決め部材(１４３、２４３)を図４の圧着刃５１や下刃５２などの圧着位置近くに配置する。この結果、圧着刃に対するＡＣＦテープの位置決めが正解にできるので、ＡＣＦを基板の所望の位置に貼り付けることがきる効果を奏する。
【００４３】
図８は位置決め部材(１４１、２４１)による図５(ａ)に示すＸ、Ｚ方向の位置決め部の拡大図で、Ｘ、Ｚ方向の位置決めを説明する図である。基準部材２４１はＸ、Ｚ方向を規定するＬ字状のブロック形状を有する。そこで、カセットを下から持ち上げ、固定部材１４１をＬ字状の基準部材２４１にセットする。カセット１００の自重により固定部材１４１は基準部材２４１に乗ることになりＺ方向の位置決めが完了する。そして、図６に示すシリンダ２４４ｓを有すＸ位置機構２４８によって基準部材用補助部材２４４が固定部材用補助部材１４４を矢印Ｈ方向に押付けると、固定部材１４１はＬ字状の基準部材２４１の側部に押付けられる。固定部材１４１は後述する位置を補正する機構を有する。
【００４４】
図９は位置決め部材(１４２、２４２)による図５(ａ)に示すθy方向の位置決め部の拡大図で、θy方向の位置決めを説明する図である。固定部２００の基準部材２４２は図５(ｂ)に示すよう円柱状の形状を有している。一方、カセット１００の固定部材１４２も円柱状の形状を有する。そこで、図６に示した回転力発生機構２４７によってカセットを矢印Ｊ方向に回転させようとすると、固定部材１４２によってＹ軸を軸とした回転が抑えられる。この結果、カセットのθy方向の位置決めがされる。
【００４５】
しかしながら、カセットを下から持ち上げセットするときに、基準部材２４２が固定部材１４２の邪魔になる。そこで、基準部材２４２をＫ(Ｘ)方向に移動可能とし、セット時は邪魔にならないように破線で示す位置２４２Ａに退避し、セット後にカセット側の位置決め部材位置２４２Ｂに移動する。この移動は図６に示すシリンダ２４２ｓによって行なわれる。なお、固定部２００に付いている上の部材２４２ｕは、矢印Ｊ方向の回転力によりシリンダ２４２ｓのロッドの変形を防止する役目を果たす。
この結果、カセットは固定部２００に対しθy方向の所定の位置に位置決めされる。
【００４６】
次に、固定部材１４１、１４２の位置調整機構１５０を図１０を用いて説明する。位置調整機構１５０の機能は、所定の位置に位置決めされたときに、製作時による相性の違いを補正しその位置に固定部材１４１、１４２がくるように調整するものである。位置調整機構１５０は、固定板１５１の左右に設けた調整部１５１Ｌ、１５１Ｒで固定部材の１４１、１４２を調整し、カセット１００の傾きと高さ方向を調整することで、調整部は一端が位置決め部材１４１，１４２を支持し、他端がつまみ１５２Ｌ、１５２Ｒを有するネジ１５３Ｌ，１５３Ｒと固定板１５１とで上下方向に拘束される部位を有する。そこで、２つのネジ１５３Ｒ、１５３Ｌを調節して傾きと高さの位置決めをする。なお、固定板１５１には基準部材２４２が移動可能な切り欠き１５２がある。
【００４７】
次に、カセットのセットフローの観点から図１１を用いて説明する。まず、固定部側の位置決め部材２４２を退避位置に移動し、カセット載置台３２２から固定部にカセットを受け渡す(Ｓｔｅｐ１)。その後、位置決め部材(１４２、２４２)によるθy方向の位置決め(Ｓｔｅｐ２）、位置決め部材(１４１、２４１)によるＸ、Ｚ方向の位置決めセットをする(Ｓｔｅｐ３)。次に、回転力発生機構２４７を作動し、回転力発生シリンダ２４７ｓによりセパレータを保持(挟込)(Ｓｔｅｐ４)すると共に、回転力発生機構による回転力と位置決め部材(１４３、２４３)によるＹ、θx及びθz方向の位置決めをする(Ｓｔｅｐ５)。Ｓｔｅｐ５で固定部２００にカセット１００をセットできたので、旋回軸２１１により固定部を回転する(Ｓｔｅｐ６)。その後、ＡＣＦの貼付処理を実施する(Ｓｔｅｐ７)。
【００４８】
以上、本実施形態によれば、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【００４９】
また、本実施形態によれば、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【符号の説明】
【００５０】
１：表示基板(基板) ９：ＴＡＢ
１０：ＡＣＦ １１：セパレータ
１２：ＡＣＦテープ ２０；ＡＣＦ貼付装置
５０：ヘッド本体 ５１：圧着刃
１００：ＡＣＦカセット（カセット） １２１、１２２：巻取りローラ
１４１〜１４３：固定部材（位置決め部材）
１４４：固定部材用補助部材 １５０：位置調整機構
１６０：ＡＣＦ供給リール ２００：カセット固定部（固定部）
２１１：旋回軸 ２４１〜２４３：基準部材（位置決め部材）
２４４：基準部材用補助部材 ２４７：回転力発生機構
２４７ｓ：回転力発生シリンダ ２４８：Ｘ位置規定機構
３００：ＡＣＦカセット供給部 ３２２：カセット載置台
３２３：回転テーブル。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法に関し、特に消費されていくＡＣＦ(Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜)の補充を短時間で行なうことができるＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置の製造工程には、ＴＡＢ(Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ)/ＣＯＦ(Ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ)やＣＯＧ(Ｃｈｉｐ ｏｎ ｇｌａｓｓ)等の搭載部品をＡＣＦを介して加熱圧着することで、搭載部品をＦＰＤ(Ｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ)表示基板またはプリント基板(以下、これ等を単に基板という)に搭載する工程がある。この搭載工程に先立って、その搭載位置にＡＣＦを貼り付ける。ＡＣＦは、粘着性のある電気絶縁物質からなるバインダ樹脂に導電粒子を分散させたものであり、基板において、このＡＣＦを貼り付けた上からＴＡＢを接合させ、その間に加熱下で圧着を行なうことによって、ＴＡＢ側の電極と基板側の電極とが導電粒子を介して電気的に接続される。
【０００３】
ＡＣＦは、これを保護するためのセパレータ上に積層されたＡＣＦテープの状態で、ＡＣＦ供給リールに所定の長さ分だけ巻き付けられている。基板にＡＣＦを貼り付けるには、リールからＡＣＦテープを繰り出して、所定の長さ毎にＡＣＦの部分のみをカットする、所謂ハーフカットを行い、基板上に圧着して貼り付け、その後、セパレータをＡＣＦから剥離し、剥離されたセパレータを回収する。
【０００４】
このように、ＡＣＦは順次消費されていくものであって、ＡＣＦ供給リールに巻回された量を使い切ると新たなＡＣＦ供給リール（ＡＣＦ）に交換する必要がある。
【０００５】
このような交換方法の従来技術としては特許文献１に開示されている方法がある。特許文献１には、予め交換用のＡＣＦ供給リールを用意し、使用済みＡＣＦ供給リールと交換し、その後貼付け処理をする貼付部に存在する複数のローラ間にＡＣＦテープを引き回す方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２９８３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された方法は、基本的にはＡＣＦ供給リールのみを交換するために引き回し作業に時間を要する課題ある。また、ＡＣＦテープを交換する際には交換した時にＡＣＦテープの貼付け位置へ正確に搬送することができることが重要である。特許文献１の方法では、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性を出すことが難しくＡＣＦテープを貼付け位置に正確に貼り付けできない課題がある。
【０００８】
本発明は上記の点を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。本発明の他の目的は、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために、搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付装置または方法に関するものであって、前記ＡＣＦ貼付装置は前記ＡＣＦ供給リールを具備し、前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセットと前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部とを有し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材を前記ＡＣＦカセットと前記カセット固定部に対に複数組設けることを第１の特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記複数組はそれぞれ前記６軸のうち１つ以上の軸を単独で位置決めすることを第２の特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第１または第２の特徴に加え、前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記各Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを第３の特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第３の特徴に加え、前記複数組は３組であることを第４の特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記ＡＣＦを貼り付ける貼付け位置の側部に設けたことを第５の特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第５の特徴に加え、前記側部に設けられた前記位置決め部材の対は前記６軸のうちの３軸を規定し、前記３軸はＹ方向、θｘ方向、θｚ方向であることを第６の特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記Ｘ、Ｚ方向の位置を規定するＸＺ方向規定の位置決め部材の対であることを第７の特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第７の特徴に加え、少なくとも前記Ｘ方向の位置を規定するために前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させることを第８の特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第７の特徴に加え、前記位置決め部材の対のうちＺ方向を規定するものであって、前記位置決め部材の対のうち前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避することを第９の特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記複数組のうち１組は前記θｙ方向を規定するθｙ規定部材の対であることを第１０の特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第４の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させることを第１１の特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットの位置決め部材の位置を調整することを第１２の特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明は、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に搭載するＡＣＦカセット供給手段を有することを第１３の特徴とする。
【００２２】
最後に、本発明は、上記目的を達成するために、第３の特徴に加え、前記カセット固定部を前記θｚ方向にほぼ１８０度旋回させることを第１４の特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【００２４】
また、本発明によれば、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施形態のＡＣＦ貼付装置の構成及び動作を示した模式図である。
【図２Ａ】図１に示したＡＣＦ貼付装置の固定部にカセットを供給するＡＣＦカセット供給部を設けたときに、それらを上から見た図である。
【図２Ｂ】ＡＣＦカセット供給部の構成を示す斜視図である。
【図３】ＡＣＦカセット供給部を用いた処理フローを示した図である。
【図４】ＡＣＦカセットの表面側の構成と動作を模式的に示す図である。
【図５】図５(ａ)は固定部材を有するカセットの裏面に固定部に設けられた基準部材を重ね合わせて示した図である。図５(ｂ)は図５(ａ)を矢印Ｌ方向から見たときの側面図である。
【図６】固定部のカセット側即ち図５(ｂ)に示すＤ側を示した図である。
【図７】位置決め部材によるＹ、θz方向の位置決めを説明する図である。図７(ａ)は図５(ａ)に示すＹ、θz方向の位置決め部を拡大した図である。図７(ｂ)は位置決め部材の側面図を示し、図７(ｃ)は図７(ａ)のＡ−Ａ断面図を示す。
【図８】図５(ａ)に示すＸ、Ｚ方向の位置決め部の拡大図で、位置決め部材によるＸ、Ｚ方向の位置決めを説明する図である。
【図９】図５(ａ)に示すθy方向の位置決め部の拡大図で、位置決め部材によるθy方向の位置決めを説明する図である。
【図１０】固定部材の位置調整機構の構成図である。
【図１１】カセットのセットフローを示す図である。
【図１２】液晶パネルの要部外観を示した図である。
【図１３】ＡＣＦテープの断面構造図を示した図である。
【図１４】ＴＡＢ搭載位置の断面を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。図１２に液晶パネルの要部外観を示し、図１３にはＡＣＦテープの断面構造図を、さらに図１４にはＴＡＢ搭載位置の断面をそれぞれ示す。
【００２７】
図１２において、基板１はそれぞれガラス等の透明基板を２枚重ね合わせ、その間にセルギャップを形成して、このセルギャップに液晶が封入される。この基板１を構成する２枚の透明基板２，３を、それぞれ下基板２，上基板３という。下基板２の上基板３との対向面には所定のリードパターンが印刷手段等により形成されており、このリードパターンは所定本数ずつ群としてまとめられてリード群４を形成している。そして、下基板２には少なくとも１辺にそれぞれ複数のリード群４が形成される。フレキシブル基板５に集積回路素子６を搭載し、この集積回路素子６の両側にそれぞれ所定数のリード群７及び８を設けたＴＡＢ９(実際に搭載する際は図の表裏を逆にする)が、そのリード群７が下基板２のリード群４を構成する各リードと確実に電気的に接続されるようにして搭載される。
【００２８】
リード群７がリード群４に電気的に接続した状態でＴＡＢ９を下基板２に搭載するために用いられるのが図１３に示すＡＣＦ１０である。ＡＣＦ１０はセパレータ１１に積層されてＡＣＦテープ１２を構成する。セパレータ１１は、ＡＣＦ１０との積層面に剥離層を有している。これにより、ＡＣＦテープ１２を下基板２に貼り付けた後、セパレータ１１をＡＣＦ１０から剥離できる。なお、セパレータの幅は１ｍｍ〜３ｍｍ、厚さは５０μｍ程度である。
【００２９】
また、ＡＣＦ１０は、電気絶縁性を有し、かつ粘着力を持ったバインダ樹脂１０ａ内に均一に導電粒子１０ｂを分散させたものからなり、この導電粒子１０ｂはリード群７及びリード群４におけるリード間間隔より十分に小さい粒子からなっている。そこで、バインダ樹脂１０ａを加熱し、軟化させた状態で、下基板２とＴＡＢ９との間に所定の押圧力を加えると、図１４に示すように導電粒子１０ｂの粒径とほぼ一致する状態にまで圧縮され、もって導電粒子１０ｂがリード群４，７を構成する各リード４ａ，７ａに当接して、その間を電気的に接続する。また、バインダ樹脂が硬化すると、ＴＡＢ９が下基板２に固着されることになる。
【００３０】
図１は、本実施形態のＡＣＦ貼付装置２０の構成を模式的に示した図である。ＡＣＦ貼付装置は、大別して、ヘッド本体５０と、ＡＣＦテープを装着するＡＣＦカセット１００(以下、単にカセットという)及びカセットをヘッド本体に固定するカセット固定部(以下、単に固定部いう)２００を有する。ヘッド本体と固定部２００は共通の本体ベース２１に載置されている。カセット１００は後述する方法で固定部に保持されているが、説明の都合上図１では矢印Ａ方向に１８０度回転させ離れた状態を示している。
【００３１】
図１に示すカセットは、ＡＣＦ供給リール１６０を装着しＡＣＦテープを引き回しする側を表面とすると、固定部に固定する後述するカセット側の位置決め部材１４１〜１４４を有する裏面を表している。固定部２００はカセットを固定する固定部側の位置決め部材２４１〜２４４を有する面を示す。また、固定部は、カセットを図１の状態から矢印Ａ´の方向に１８０度回転させた状態で前述した互いの位置決め部材を係合させたカセットを保持している。さらに、固定部２００はカセット１００を保持した状態で旋回軸２１１に固定され、エアシリンダ(図示せず)による当該旋回軸の回転により矢印Ｃに示すように約１８０度回転できる固定部駆動部２１０有する。固定部駆動部２１０はベース２１に固定され、前記の旋回軸の他、固定部を上下に移動させる自由度を有する。ヘッド本体５０は、圧着刃５１と下刃５２とＡＣＦを基板１に貼り付けるために圧着刃５１を昇降(矢印Ｂ)させるシリンダ５５とを有する。
【００３２】
図２Ａは、図１に上述したＡＣＦ貼付装置２０の固定部２００にカセット１００を供給するＡＣＦカセット供給部３００を設けたときに、それらを上から見た図である。図２ＢはＡＣＦカセット供給部の構成を示す斜視図である。
図２Ａに示すように、ＡＣＦのテープ切れが発生したときは、ＡＣＦカセット１００ａを保持した固定部２００を旋回軸２１１により矢印Ｃに示すように１８０度回転し、ＡＣＦカセットを破線で示す１００ｂの状態にし、ＡＣＦカセット供給部３００に受け渡す。あるいは、逆に、ＡＣＦカセット供給部から新たなＡＣＦカセット１００ｂを受取り、固定部２００を旋回軸２１１に矢印Ｃ´方向に回転させＡＣＦ貼付処理ができる状態にする。
【００３３】
図２Ｂに示すように、ＡＣＦカセット供給部３００は、使用済みのカセット及び新たなカセットを載置するカセット載置台３２２、カセット載置台を１８０度Ｑ方向に回転させる回転テーブル３２３及び回転テーブルとカセット載置台を搭載しＰ方向に移動させる移動体３２０を有する。移動体は供給部ベース３２４に設置したレール３２１上を移動する。カセット載置台３２２は、表裏両面にカセットを装着できる構造を有し、新たなカセットを装着して図２Ａに示すカセット交換位置Ｒに移動し、使用済みカセットを受取り、回転テーブル３２３により１８０度回転し、固定部２００に新たなカセットを供給する。
【００３４】
図３はＡＣＦカセット供給部３００を用いたカセット交換処理フローを主体に示した図である。図３(ａ)はＡＣＦカセット供給部を主体にした自動交換処理フローを、図３(ｂ)は作業員による作業処理フローを示す。以下、図２Ａ、図２Ｂを参照しながら説明する。なお、図３において破線内の図は、図３(ｃ)に示すように、各ステップにおけるカセット載置台に対するカセット、使用済みＡＣＦリール及び新たなＡＣＦリールの位置関係並びにカセット載置台のＡＣＦカセット供給部での位置を示す。
まず、現在ＡＣＦ貼付装置２０はＡＣＦ貼付処理中である(Ｓｔｅｐ１ａ)。Ｓｔｅｐ１ａの処理中に作業員は、前回の使用済みカセット１００をカセット載置台３２２から取り外し(Ｓｔｅｐ１ｂ)、使用済みＡＣＦリールを新たなＡＣＦリールに交換し(Ｓｔｅｐ２ｂ)、新たなＡＣＦリールを装着したカセット１００をカセット載置台にセットする(Ｓｔｅｐ３ｂ)。その後は、カセット載置台はその状態でＡＣＦテープ切れが発生するまで待機する。
【００３５】
図３(ａ)の自動交換処理フローでは、ＡＣＦ貼付装置２０がＡＣＦテープ切れを検出する(Ｓｔｅｐ２ａ)。ＡＣＦテープ切れを検出すると、ＡＣＦ貼付装置はカセット載置台３２２を図２Ａに示すカセット交換位置Ｒに移動させる(Ｓｔｅｐ３ａ)。また、前記移動と並行して固定部２００を旋回軸２１１により回転させ、カセット載置台のうちカセットを保持していない面に正対させる(Ｓｔｅｐ４ａ)。次に、固定部が保持している使用済みのカセットをカセット載置台に受け渡す(Ｓｔｅｐ５ａ)。次に、カセット載置台は回転テーブル３２３により１８０度回転し(Ｓｔｅｐ６ａ)、固定部２００に新たなカセットを受け渡す(Ｓｔｅｐ７ａ)。その後、カセット載置台をＡＣＦリール交換位置Ｔ(図２Ａ参照)に戻し(Ｓｔｅｐ８ａ)、作業員によるＡＣＦテープの交換を待つ。Ｓｔｅｐ８ａに並行してＡＣＦ貼付装置２０は、後述するカセット１００の各方向の位置決めを実施し(Ｓｔｅｐ９ａ)、固定部２００を旋回軸２１１により回転させ、ＡＣＦ貼付処理の準備を完了させる(Ｓｔｅｐ１０ａ)。その後Ｓｔｅｐ１ａに戻り、ＡＣＦ貼付処理を継続する。
上記実施形態では自動でカセット１００を固定部２００に載置したり取り外したりしたが、作業員が実際にカセットを載置したり取り外したりしても良い。
【００３６】
図４はカセット１００の表面側の構成と動作を模式的に示す図である。ＡＣＦ供給リール１６０に巻き回されているＡＣＦテープ１２は、複数のガイドローラ１１２にガイドされ、テンション機構１１３により適切な張力を維持しながら、ヘッド部５０に設けられた圧着刃５１の下部の所定位置まで引き回される。このとき左右の平行ガイドローラ１１５Ｌ、１１５ＲによりＡＣＦテープは下刃５２に対して平行に維持される。そして、ハーフカットユニット１０４によりＡＣＦテープ１２のＡＣＦ１０(図１３参照)をカットする、所謂ハーフカットが行なわれる。ハーフカット後、圧着刃５１を下刃５２に保持された基板(図示せず)のところまで降下させ、ヒータブロック５３により加熱された圧着刃５１によりＡＣＦテープを所要時間加熱圧着する。その後圧着刃５１を上昇させ、ＡＣＦを冷却する。次に、セパレータ１１を基板に固定されたＡＣＦ１０から剥離する。剥離されたセパレータは平行ガイドローラ１１５Ｒ、ガイドローラ１１４及び巻取りローラ１２１，１２２によりセパレータ回収部１２０まで搬送される。なお、１３０はＡＣＦテープ切れを検出する光学センサである。
【００３７】
次に、図５及び図６を用いてカセット１００及び固定部２００のより詳細な構成とカセットを固定部に固定する方法を説明する。本実施形態の基本的な考え方は固定部に設けられた位置決め部材を基準部材として、その基準部材にカセットの対応する位置に設けられた位置決め部材を固定部材として固定して位置決めをする。
【００３８】
図５(ａ)は固定部材１４１〜１４３を有するカセットの裏面に固定部２００に設けられた基準部材２４１〜２４３(下２桁が同じ番号はそれぞれ対応する部材を示し、百の桁が１の場合はカセットの固定部材を、２は固定部の基準部材を示す)を重ね合わせて示した図である。さらに、図５(ａ)には位置決め部材の他、位置決めをするため位置決め用補助部材として基準部材用補助部材２４４及び基準部材用補助部材２４４に対応する固定部材用補助部材１４４を示している。図５(ｂ)は図５(ａ)を矢印Ｌ方向から見たときの側面図で、左から固定部２００、カセット１００そしてＡＣＦ供給リール１６０である。図６は固定部２００のカセット側、即ち図５(ｂ)に示すＤ側を示した図で、図５(ａ)と折り重ねることによって機能を果たす配置となっている。以下、説明では単独で説明に用いるときは基準部材、固定部材、基準部材用補助部材及び固定部材用補助部材の用語を用い、後述するように対で用いるときは位置決め部材、位置決め用補助部材の用語を使用する。
【００３９】
本実施形態ではカセット１００を固定部２００に固定するには、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の位置決めと、θｘ、θy、θz方向の回転防止(位置決め)をする必要がある。ここで、例えばθz方向とはＺ軸回りの回転を示す。位置決め部材は固定部材、基準部材がそれぞれ３組(１４１、２４１)（１４２、２４２）(１４３、２４３)の対を構成し、上述した６軸の位置決めの役目を果たしている。また、見方によっては特に３つの組のそれぞれの対が１つ以上の軸を単独で位置決めする役目を果たしており、複数の対で１つの軸を分担して位置決めすることの無い構成となっている。本実施形態では、位置決め部材(１４１、２４１)がＸ、Ｚ方向の位置決めを、位置決め部材(１４２、２４２)がθy方向の位置決めを、さらに位置決め部材(１４３、２４３)がＹ、θz、θｘ方向の位置決めの役割を果たす。位置決め用補助部材(１４４、２４４)は対になって位置決め部材(１４１、２４１)が位置決めするのを補助する。
【００４０】
位置決め部材(１４３、２４３)の上側のカセット１００には開口部２４７ｋがあり、その開口部を貫けた巻取りローラ１２１がローラ１２２をＥ方向に押付ける。この押し付け力により発生するカセットをθy、θｚ方向に回転させようとする力を利用し、位置決め部材(１４２、２４２)のθｙ方向、位置決め部材(１４３、２４３)のθｚ方向の位置決めを補助する。
図７は位置決め部材(１４３、２４３)によるＹ、θz、θｘ方向の位置決めを説明する図である。図７(ａ)は図５(ａ)に示すＹ、θz、θｘ方向の位置決め部を拡大した図である。図７(ｂ)は位置決め部材(１４３、２４３)の側面図を示し、図７(ｃ)は図７(ａ)のＡ−Ａ断面図を示す。カセットを下から持ち上げ、カセット固定部材１４３を基準部材２４３に挿入する。基準部材２４３の断面は円弧状の形状を有し、その形状は固定部材１４３が挿入し易く且つ最終的にＹ方向に位置ズレが発生しないようにガイドし、Ｙ方向の位置を規定している。また、基準部材２４３と固定部材１４３はＸ方向に長さを有しているので両者を係合することによりＸ軸を軸とするθｘ方向の回転ずれがないように規定している。
【００４１】
図７(ｃ)に示すように位置決め部材(１４３、２４３)はＸ方向に長くなっており、コ形状の１４３がバー形状の２４３を囲んで位置決めしている。このことによって、このθｚ方向に回転させようとする力が、カセット１００と固定部２００を平行に維持するように作用し、図７(ｃ)の矢印Ｆに示すようなＺ軸を軸とする回転を抑えている。この結果、先のθｘ方向の回転ずれ防止と合わせてカセットの全体姿勢は固定部２００と平行面になるように規定される。
この回転力を発生している回転力発生機構２４７は図６に示す回転力発生シリンダ２４７ｓと巻取りローラ１２１(図４も参照)を有する。回転力発生シリンダ２４７ｓによってＳを支点としてリンク２４７ｂを介し巻取りローラ１２１を矢印Ｇ(図６と図７(ａ)と見る方向が紙面の表裏となるので矢印Ｅとは反対になる)に旋回移動させ、巻取りローラ１２１と固定部２００が有する巻取りローラ１２２でセパレータを挟み込み、巻取りローラ１２１を回転させることでセパレータを巻き取るものである。
この結果、前述したようにカセットは固定部から所望の距離ΔＹ離れ、固定部に対し平行な面を維持できるように位置決めされる。
【００４２】
カセット１００を固定部２００に正確に位置決めする目的は、図４に示す圧着刃５１で基板上の所望の位置にＡＣＦを正確に貼り付けることである。従って、ＡＣＦを貼り付ける位置におけるカセット１００と固定部２００の両者の位置関係を正確に規定することが重要である。このために、６軸のうち３軸の位置決めする位置決め部材(１４３、２４３)を図４の圧着刃５１や下刃５２などの圧着位置近くに配置する。この結果、圧着刃に対するＡＣＦテープの位置決めが正解にできるので、ＡＣＦを基板の所望の位置に貼り付けることがきる効果を奏する。
【００４３】
図８は位置決め部材(１４１、２４１)による図５(ａ)に示すＸ、Ｚ方向の位置決め部の拡大図で、Ｘ、Ｚ方向の位置決めを説明する図である。基準部材２４１はＸ、Ｚ方向を規定するＬ字状のブロック形状を有する。そこで、カセットを下から持ち上げ、固定部材１４１をＬ字状の基準部材２４１にセットする。カセット１００の自重により固定部材１４１は基準部材２４１に乗ることになりＺ方向の位置決めが完了する。そして、図６に示すシリンダ２４４ｓを有すＸ位置機構２４８によって基準部材用補助部材２４４が固定部材用補助部材１４４を矢印Ｈ方向に押付けると、固定部材１４１はＬ字状の基準部材２４１の側部に押付けられる。固定部材１４１は後述する位置を補正する機構を有する。
【００４４】
図９は位置決め部材(１４２、２４２)による図５(ａ)に示すθy方向の位置決め部の拡大図で、θy方向の位置決めを説明する図である。固定部２００の基準部材２４２は図５(ｂ)に示すよう円柱状の形状を有している。一方、カセット１００の固定部材１４２も円柱状の形状を有する。そこで、図６に示した回転力発生機構２４７によってカセットを矢印Ｊ方向に回転させようとすると、固定部材１４２によってＹ軸を軸とした回転が抑えられる。この結果、カセットのθy方向の位置決めがされる。
【００４５】
しかしながら、カセットを下から持ち上げセットするときに、基準部材２４２が固定部材１４２の邪魔になる。そこで、基準部材２４２をＫ(Ｘ)方向に移動可能とし、セット時は邪魔にならないように破線で示す位置２４２Ａに退避し、セット後にカセット側の位置決め部材位置２４２Ｂに移動する。この移動は図６に示すシリンダ２４２ｓによって行なわれる。なお、固定部２００に付いている上の部材２４２ｕは、矢印Ｊ方向の回転力によりシリンダ２４２ｓのロッドの変形を防止する役目を果たす。
この結果、カセットは固定部２００に対しθy方向の所定の位置に位置決めされる。
【００４６】
次に、固定部材１４１、１４２の位置調整機構１５０を図１０を用いて説明する。位置調整機構１５０の機能は、所定の位置に位置決めされたときに、製作時による相性の違いを補正しその位置に固定部材１４１、１４２がくるように調整するものである。位置調整機構１５０は、固定板１５１の左右に設けた調整部１５１Ｌ、１５１Ｒで固定部材の１４１、１４２を調整し、カセット１００の傾きと高さ方向を調整することで、調整部は一端が位置決め部材１４１，１４２を支持し、他端がつまみ１５２Ｌ、１５２Ｒを有するネジ１５３Ｌ，１５３Ｒと固定板１５１とで上下方向に拘束される部位を有する。そこで、２つのネジ１５３Ｒ、１５３Ｌを調節して傾きと高さの位置決めをする。なお、固定板１５１には基準部材２４２が移動可能な切り欠き１５２がある。
【００４７】
次に、カセットのセットフローの観点から図１１を用いて説明する。まず、固定部側の位置決め部材２４２を退避位置に移動し、カセット載置台３２２から固定部にカセットを受け渡す(Ｓｔｅｐ１)。その後、位置決め部材(１４２、２４２)によるθy方向の位置決め(Ｓｔｅｐ２）、位置決め部材(１４１、２４１)によるＸ、Ｚ方向の位置決めセットをする(Ｓｔｅｐ３)。次に、回転力発生機構２４７を作動し、回転力発生シリンダ２４７ｓによりセパレータを保持(挟込)(Ｓｔｅｐ４)すると共に、回転力発生機構による回転力と位置決め部材(１４３、２４３)によるＹ、θx及びθz方向の位置決めをする(Ｓｔｅｐ５)。Ｓｔｅｐ５で固定部２００にカセット１００をセットできたので、旋回軸２１１により固定部を回転する(Ｓｔｅｐ６)。その後、ＡＣＦの貼付処理を実施する(Ｓｔｅｐ７)。
【００４８】
以上、本実施形態によれば、交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【００４９】
また、本実施形態によれば、ＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供することである。
【符号の説明】
【００５０】
１：表示基板(基板) ９：ＴＡＢ
１０：ＡＣＦ １１：セパレータ
１２：ＡＣＦテープ ２０；ＡＣＦ貼付装置
５０：ヘッド本体 ５１：圧着刃
１００：ＡＣＦカセット（カセット） １２１、１２２：巻取りローラ
１４１〜１４３：固定部材（位置決め部材）
１４４：固定部材用補助部材 １５０：位置調整機構
１６０：ＡＣＦ供給リール ２００：カセット固定部（固定部）
２１１：旋回軸 ２４１〜２４３：基準部材（位置決め部材）
２４４：基準部材用補助部材 ２４７：回転力発生機構
２４７ｓ：回転力発生シリンダ ２４８：Ｘ位置規定機構
３００：ＡＣＦカセット供給部 ３２２：カセット載置台
３２３：回転テーブル。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付装置において、
前記ＡＣＦ貼付装置は前記ＡＣＦ供給リールを具備し前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセットと前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部とを有し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材を前記ＡＣＦカセットと前記カセット固定部に対に複数組設けたことを特徴とするＡＣＦ貼付装置。
【請求項２】
前記複数組はそれぞれ前記６軸のうち１つ以上の軸を単独で位置決めすることを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項３】
前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを特徴とする請求項１または２に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項４】
前記複数組は３組であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項５】
前記複数組のうち１組は前記ＡＣＦを貼り付ける貼付け位置の側部に設けたことを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項６】
前記側部に設けられた前記位置決め部材の対は前記６軸のうちの３軸を規定することを特徴とする請求項５に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項７】
前記３軸はＹ方向、θｘ方向、θｚ方向であることを特徴とする請求項６に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項８】
前記位置決め部材の対はＸ方向に長く、前記位置決め部材のうち前記ＡＣＦカセットに設けられた固定部材は前記カセット固定部に設けられた基準部材を嵌め込む構造を有することを特徴とする請求項７に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項９】
前記複数組のうち１組は前記Ｘ、Ｚ方向の位置を規定するＸＺ方向規定部材の対であることを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１０】
少なくとも前記Ｘ方向の位置を規定するために前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させ、前記ＸＺ方向規定部材の対のうち前記ＡＣＦカセットの固定部材を前記カセット固定部の基準部材に押付けるＸ位置規定手段を有することを特徴とする請求項９に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１１】
前記Ｘ位置規定手段はさらに前記Ｚ方向も規定するＸＺ位置規定手段であることを特徴とする請求項１０に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１２】
前記位置決め部材の対のうちＺ方向を規定するものであって、前記位置決め部材の対のうち前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避する退避手段を有することを特徴とする請求項１０に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１３】
前記複数組のうち１組は前記θｙ方向を規定するθｙ規定部材の対であることを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１４】
前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させる回転力発生手段を有することを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１５】
前記回転力発生手段は前記θｙ方向の回転力を発生させる手段であって、請求項８に記載の前記位置決め部材の対によって前記θｚ方向の回転を防止する手段であることを特徴とする請求項１４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１６】
前記回転力発生手段は請求項１３に記載の前記θｙ方向の回転力を発生させる手段であって、前記θｙ規定部材の対のうち前記ＡＣＦカセットに設けられた固定部材をカセット固定部に設けられた基準部材に対してθｙ方向に押付ける手段であることを特徴とする請求項１４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１７】
前記位置決め部材の対のうち前記ＡＣＦカセットの位置決め部材の位置を調整する位置調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１８】
前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に搭載するＡＣＦカセット供給手段を有することを特徴とする請求項３に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１９】
前記カセット固定部を前記θｚ方向にほぼ１８０度旋回させる手段を有することを特徴とする請求項３に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項２０】
搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付方法において、
前記ＡＣＦ供給リールが装置され前記ＡＣＦテープを引き回した前記ＡＣＦカセットの位置決め用固定部材を前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部の位置決め用基準部材に載置し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の位置決めをし、その後に前記ＡＣＦを前記表示基板に貼り付けることを特徴とするＡＣＦ貼付方法。
【請求項２１】
前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記各Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２２】
前記位置決めは前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させるステップを有することを特徴とする請求項２０または２１に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２３】
前記回転はθｙ方向に回転させることを特徴とする請求項２２に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２４】
前記位置決めは前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させるステップを有することを特徴とする請求項２１に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２５】
前記載置する際に前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避することを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２６】
前記位置決めをする前に前記ＡＣＦカセットの固定部材の位置を調整することを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項１】
搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付装置において、
前記ＡＣＦ貼付装置は前記ＡＣＦ供給リールを具備し前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセットと前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部とを有し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材を前記ＡＣＦカセットと前記カセット固定部に対に複数組設けたことを特徴とするＡＣＦ貼付装置。
【請求項２】
前記複数組はそれぞれ前記６軸のうち１つ以上の軸を単独で位置決めすることを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項３】
前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを特徴とする請求項１または２に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項４】
前記複数組は３組であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項５】
前記複数組のうち１組は前記ＡＣＦを貼り付ける貼付け位置の側部に設けたことを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項６】
前記側部に設けられた前記位置決め部材の対は前記６軸のうちの３軸を規定することを特徴とする請求項５に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項７】
前記３軸はＹ方向、θｘ方向、θｚ方向であることを特徴とする請求項６に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項８】
前記位置決め部材の対はＸ方向に長く、前記位置決め部材のうち前記ＡＣＦカセットに設けられた固定部材は前記カセット固定部に設けられた基準部材を嵌め込む構造を有することを特徴とする請求項７に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項９】
前記複数組のうち１組は前記Ｘ、Ｚ方向の位置を規定するＸＺ方向規定部材の対であることを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１０】
少なくとも前記Ｘ方向の位置を規定するために前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させ、前記ＸＺ方向規定部材の対のうち前記ＡＣＦカセットの固定部材を前記カセット固定部の基準部材に押付けるＸ位置規定手段を有することを特徴とする請求項９に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１１】
前記Ｘ位置規定手段はさらに前記Ｚ方向も規定するＸＺ位置規定手段であることを特徴とする請求項１０に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１２】
前記位置決め部材の対のうちＺ方向を規定するものであって、前記位置決め部材の対のうち前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避する退避手段を有することを特徴とする請求項１０に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１３】
前記複数組のうち１組は前記θｙ方向を規定するθｙ規定部材の対であることを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１４】
前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させる回転力発生手段を有することを特徴とする請求項４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１５】
前記回転力発生手段は前記θｙ方向の回転力を発生させる手段であって、請求項８に記載の前記位置決め部材の対によって前記θｚ方向の回転を防止する手段であることを特徴とする請求項１４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１６】
前記回転力発生手段は請求項１３に記載の前記θｙ方向の回転力を発生させる手段であって、前記θｙ規定部材の対のうち前記ＡＣＦカセットに設けられた固定部材をカセット固定部に設けられた基準部材に対してθｙ方向に押付ける手段であることを特徴とする請求項１４に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１７】
前記位置決め部材の対のうち前記ＡＣＦカセットの位置決め部材の位置を調整する位置調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１８】
前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に搭載するＡＣＦカセット供給手段を有することを特徴とする請求項３に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項１９】
前記カセット固定部を前記θｚ方向にほぼ１８０度旋回させる手段を有することを特徴とする請求項３に記載のＡＣＦ貼付装置。
【請求項２０】
搭載部品を表示基板やプリント基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リールから引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付けるＡＣＦ貼付方法において、
前記ＡＣＦ供給リールが装置され前記ＡＣＦテープを引き回した前記ＡＣＦカセットの位置決め用固定部材を前記ＡＣＦカセットを固定するカセット固定部の位置決め用基準部材に載置し、前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の位置決めをし、その後に前記ＡＣＦを前記表示基板に貼り付けることを特徴とするＡＣＦ貼付方法。
【請求項２１】
前記位置姿勢方向の３軸は前記表示基板やプリント基板の一辺側の方向をＸ方向、表示基板表面と垂直な方向をＺ方向及び前記Ｘ及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とし、前記回転姿勢は前記各Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各軸を回転軸とするそれぞれの姿勢をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向とすることを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２２】
前記位置決めは前記ＡＣＦカセットを前記カセット固定部と平行な面内で回転させるステップを有することを特徴とする請求項２０または２１に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２３】
前記回転はθｙ方向に回転させることを特徴とする請求項２２に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２４】
前記位置決めは前記ＡＣＦカセットを前記Ｘ方向に移動させるステップを有することを特徴とする請求項２１に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２５】
前記載置する際に前記固定部材との干渉を回避するために前記基準部材を退避することを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【請求項２６】
前記位置決めをする前に前記ＡＣＦカセットの固定部材の位置を調整することを特徴とする請求項２０に記載のＡＣＦ貼付方法。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１１−２１１０３４（Ｐ２０１１−２１１０３４Ａ）
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−７８４９５（Ｐ２０１０−７８４９５）
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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