【課題】再現性の高い高精度の測定を、短時間で行える生産性に優れたボールねじ軸の累積リード誤差測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被測定ボールねじ軸Ｗを回転不動に固定する固定支持台１と、前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ溝に当接させるボール接触子５と、ボール接触子５を被測定ボールねじ軸Ｗの軸心Ｌｚに対し直交方向に往復移動させるとともにボール接触子５を所定の押し込み力で前記ねじ溝に当接させるボール接触子スライド手段と、ボール接触子スライド手段を軸心Ｌｚと平行に水平往復移動する位置検出スライド手段と、位置検出スライド手段を前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ部間で往復移動させる位置決め往復スライド手段２と、ボール接触子５の軸心Ｌｚ方向における位置を検出するリード位置測定手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物の周囲の形状を手軽に計測する。
【解決手段】バンドは、互いに平行な連結軸であるジョイントを介して複数のパネルが連結され、ジョイントを軸にして隣接するパネル間の角度であるパネル間角度を調節可能である。各ジョイントには、パネル間角度を検出する角度センサが設けられている。そして、検出された各パネル間角度に基づいて、バンドが装着された被計測物の周囲の少なくとも一部の形状である周囲形状が計測される。本技術は、例えば、腹囲計測装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダブロック等の貫通穴の内周面を簡便に測定する内周面測定装置を提供する。
【解決手段】内周面測定装置１は、測定スピンドル２９と第１支持部５と第２支持部１７とガイドブロック４８とを有する。第１支持部５及び第２支持部１７はシリンダブロック２の両端面に着脱自在に取付られ、シリンダブロック２の貫通穴３に挿通された、測定スピンドル２９を回転自在に支持する。測定スピンドル２９は、円筒形状であり、内面３２を切欠いて回転軸３０の方向に略平行にのびるスリット３３を有する。測定スピンドル２９の内側に配置されるガイドブロック４８には、貫通穴３の内周面４を計測する変位センサ５１が固定される。ガイドブロック４８は、スリット３３に係合し回転軸３０に沿って測定スピンドル２９内を手動でスライド移動する。任意の測位位置において測定スピンドル２９を手動で回転させて、内周面４の形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度で、しかも、スタイラスや測定アームなどの汚破損を少なくできる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ケーシング２８内においてブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成され、着脱機構はケーシング内に配置される。測定アームの円弧運動量を検出する変位検出器２７は、測定アームに配置されたスケール２７Ａと、ブラケット２２にスケールに対向して配置された検出ヘッドとを含んで構成され、スケールの検出面が測定アームの軸線上で測定アームの円弧運動面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】探知針の差し込み作業中でも、測定筒体に嵌挿している目盛を指示する測定体が、確実に差し込み深さ目盛を指示し、測定位置の高低にも拘らず測定作業をスムーズに処理できる下地検知具を提供する。
【解決手段】探知針ｊを出入する針孔を有する筒体ａ内に一端部が嵌挿し、他端部１７が飛出し、且内挿するコイルスプリングの付勢によって押圧される前記探知針ｊを飛出せしめる測定筒体ｄを有する下地材探知具において、前記測定筒体ｄの外周面部１３に飛出した探知針ｊの長さに比例する目盛１４を付記せしめると共に、前記測定筒体ｄに嵌挿する測定体ｋを嵌挿せしめた。 （もっと読む）

【課題】 プローブによって、垂直へ切り立った壁面や穴の内面であっても、安定して接触力を制御し、高速な形状計測を行うこと。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面と移動手段の方向の関係を推定する。その結果、被測定面と垂直に近い状態であると判断された方向の移動手段のみによって、プローブの接触力制御を行うこと。 （もっと読む）

【課題】基準面側の荷重が変化した場合にも、基準面側のエアベアリングとガイドとの間の隙間を適正な所定値に保つことができるガイド機構およびそのガイド機構を有する３次元測定機を提供する。
【解決手段】第１の側に基準面を有するガイドと、前記基準面に沿ってスライド可能に前記ガイドに設けられる被案内部材と、前記ガイドの前記基準面との間に第１の隙間を有するように前記基準面を押圧し、前記被案内部材に設けられる基準側案内部材と、前記基準面と反対側の前記ガイドの第２の側面との間に第２の隙間を有するように前記第２の側面を与圧し、前記被案内部材に設けられる与圧案内部材と、を有し、前記第１の隙間が所定値になるように、前記予圧との位置が前記被案内部材に対して上下動するように設けられる前記押圧との相対関係が調整可能であることを特徴とするガイド機構である。 （もっと読む）

【課題】円環状測定物の測定点における外周位置及び内周位置の各軸方向形状を正確に測定するための円環状測定物の軸方向形状測定用治具及び軸方向形状測定装置を提供すること。
【解決手段】円環状測定物８の軸方向形状測定用治具１は、円環状測定物８の測定点Ｐにおける外周位置及び内周位置の各軸方向形状をそれぞれ測定する際に用い、架台２、回動軸３、回動ベース４及び保持する複数の保持クランプ４１を備えている。複数の保持クランプ４１は、回動軸３の回動中心Ａに円環状測定物８の測定点Ｐを合わせて円環状測定物８を保持する。回動ベース４は、回動軸３の回動中心Ａを中心に回動することによって測定点Ｐを中心に回動して、測定点Ｐの外周位置を所定の測定方向に向けた第１回動位置４０１と、測定点Ｐの内周位置を所定の測定方向に向けた第２回動位置とに回動停止させる。 （もっと読む）

【課題】 回折光学素子のように段差を有する光学素子であっても、高精度に面形状を測定することができる接触式形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定面を安定して倣い走査している状態のプローブ速度である目標速度と、目標速度とプローブ速度の差であるプローブ速度エラーに基づいて、プローブに作用力を加える。これにより、安定して倣い走査している状態のプローブ速度を目標にして、プローブに作用力を加えるため、不安定な測定区間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】計測精度の向上を実現したうえで、寸法計測から計測後の検査記録作成までの作業コストの低減及び作業時間の短縮を実現でき、平坦度や捻れ等の三次元データをも得ることが可能であるワーク寸法計測装置及びワーク寸法計測方法を提供する。
【解決手段】セグメントＷの寸法を計測するワーク寸法計測装置１であって、多関節アーム１２を具備して、アーム１２の先端に有する探触子１１をセグメントＷに接触させることで三次元座標値を得る複数の測定機１０と、複数の測定機１０の相対位置関係を校正する作業及び該複数の測定機１０で得られた各三次元座標値に基づいてセグメントＷの寸法を自動算出する作業を行う校正演算手段２１と、校正演算手段２１からの校正結果及び演算結果に基づいてセグメントＷの寸法計測結果を評価する計測評価手段２２と、計測評価手段２２からの計測結果を検査記録にまとめて出力するデータ管理手段３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】 測定子と測定テーブルとの平行出し作業が不要で、特殊な測定子を用いなくて済み、被測定物の厚み寸法を高精度に測定できるとともに、測定力を調整することもできる厚み測定方法を提供する。
【解決手段】 厚み測定方法は、互いに平行な下端面３１Ａ２と上端面３１Ｂ１とを有する治具本体３１および治具本体３１に着脱可能に装着され重さが調整可能な補助ウェイト３２を有する測定治具３を準備する準備工程と、測定テーブル１５に下端面３１Ａ２を載置するとともに、上端面３１Ｂ１に測定子１８を当接させ、このときのスピンドル１７の移動量を基準位置として設定する基準位置設定工程と、測定テーブル１５にフィルム２を載置したのち、このフィルム２の上に下端面３１Ａ２を載置するとともに、上端面３１Ｂ１に測定子１８を当接させ、このときのスピンドル１７の移動量と基準位置との差からフィルム２の厚み寸法Ｔを求める測定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】穴検査装置において、検査作業の作業性の向上を可能とする。
【解決手段】直交するＸ方向及びＹ方向に沿って検査ヘッド１０５を移動自在に支持し、この検査ヘッド１０５に対して測定ヘッド１２５，１２６をＸ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に沿って移動自在に支持し、この測定ヘッド１２５，１２６に複数の第１測定子１２７と複数の第２測定子１２８とを並んで並設し、Ｚ方向に対して後退可能であると共に前進した位置に保持可能とする。 （もっと読む）

【課題】被検物を傷めることなくより短時間で表面形状測定を行うことができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物１００の表面形状を測定するための形状測定センサ１は、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、プローブを、その摺動範囲内における中間部の所望の位置に位置決めして保持する第一の状態と、プローブの摺動に干渉しない第二の状態とに切り替え可能なストッパ部６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円筒体の円周寸法（外周長）を簡単な方法でかつ精度良く測定することができ、このような測定作業の効率を向上させることができる円筒体の円周寸法測定装置および円周寸法測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体の円周寸法測定装置１０は、印刷用ロール５０の外周面にそれぞれ当接されるべき２つの平面１４を有し、これらの２つの平面１４が所定の角度θをなして配置される本体部１２と、印刷用ロール５０の軸方向に直交する平面において本体部１２の２つの平面１４の交点Ｐから印刷用ロール５０の外周面までの最短距離Ｙを測定する距離測定部２０と、を備えている。 （もっと読む）

【目的】寸法測定装置および荷搬送ロボットの提供。
【解決手段】荷搬送ロボットの本体１６には、エリアセンサ２６と左右一対のアーム１７を設け、アーム１７の先端付近には対向する内側に向けて突設された手先部３０が傾動可能に設けられる。手先部３０を荷の基端面Ｗ１の左右端面に当接可能な位置でアーム１７を伸縮させることで、荷Ｗの側面に当接し傾動した状態の手先部３０は荷の遠端面Ｗ２において傾動状態から復帰し、そのときのアーム１７の伸長量から遠端面Ｗ２の位置を算出する。荷Ｗの奥行寸法は、エリアセンサ２６により測定した本体１６からの基端面Ｗ１の位置と、手先部３０が傾動復帰したときの遠端面Ｗ２の位置から演算する。 （もっと読む）

【課題】対象物のチャッキングとチャッキング解除動作が不要となって、作業性の向上を図ることが可能な外径測定装置及びころ軸受の製造方法を提供する。
【解決手段】被測定物１０を横倒し状として下方から受体１１にて受けられ、軸心方向の移動及び軸心廻りの回転を許容する。駆動手段１２にて、受体１１にて受けられている被測定物１０をその軸心廻りに回転させてその軸心方向の一方に移動させる。被測定物１０は、軸方向の移動が受部材１３にて規制される。外径寸法測定手段１４にて、受部材１３にて軸心方向の移動が規制されている被測定物１０がその軸心廻りに回転している状態で被測定物１０の外径寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】工具の平衡度を、該工具の先端の形状や温度等に依存せず、短時間で精度良く測定することができる平衡度測定装置及び平衡度測定方法を提供する。
【解決手段】工具Ｔが離間可能に当接される測定面１１を設けた測定部１０と、測定部１０の測定面１１に対向した付勢面１１ｂに当接し、測定部１０を付勢する付勢部２１と、測定部１０の付勢面１１ｂに当接した状態で設けられ、工具Ｔに当接された測定部１０が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、測定部１０の位置を検出する検出部３１と、測定部１０の測定面１１の側に設けられ、付勢部２１に付勢された測定部１０を離間可能に係留して停止させる係留部４０と、検出部３１と電気的に接続され、検出部３１が検出した測定部１０の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】プローブの構成に関係なく、先端にかかる負荷を高感度に検出することができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物の表面形状を測定するための形状測定センサは、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブに向かって流体を供給しつつ、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、流体の動態の変化を監視することにより、プローブの先端部にかかる負荷を検出する加速度センサ１６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）