【課題】被測定体の表面形状を取得する半導体装置において、表面形状の高解像度化を図る。
【解決手段】被測定体６０と各電極２８、３７との間の静電容量を検出するための各素子２９、３８が設けられた第１容量検出回路層２０および第２容量検出回路層３０を積層にし、各素子２９、３８の各電極２８、３７を各トレンチ２６、３５によって保護膜５０まで引き伸ばす。これにより、容量検出回路層が一層の場合よりも一定面積当たりに配置できる素子２９、３８を増加させ、被測定体６０の表面形状を高解像度で検出する。 （もっと読む）

【課題】静電容量方式を用いた第１の検出部における検出精度を低下させることなく、電磁誘導方式を用いた第２の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制する。
【解決手段】位置指示器２と、略平板状に形成された第１の検出部１３と、この第１の検出部の他方の面と対向する位置に設けられた第２の検出部１４とを備えている。位置指示器２は、コイル２７を有している。第１の検出部１３は、その一方の面に、人体との間の静電容量を検出するための検出電極５を備えている。また、第２の検出部１４は、磁束Ｇを検出するループコイル２４を備えている。そして、検出電極１５は、略平板状に形成されると共に、外縁から内側に延在するスリットを少なくとも一つ以上有している。これにより、静電容量方式を用いた第１の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制すると共に、電磁誘導方式を用いた第２の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制することができる。 （もっと読む）

特に接触検出システムのための第１及び第２の電気経路（Ｒ、Ｓ；Ｓ、ＶＰＳ）の間の不均衡を検出して定量化するための装置は、それぞれの入力で第１及び第２の経路を受信する比較手段（ＣＣ；ＣＤ）と、経路の少なくとも一方に接続した可変移送キャパシタンス手段（ＣＰＢ；ＣＰＣ）と、比較手段と可変移送キャパシタンス手段の間に接続され、かつ不均衡の補償まで比較手段によって生成される結果（Ｑ）に応じて可変移送キャパシタンス手段の可変移送キャパシタンスを変えるようになった制御ユニット（ＵＣ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 通常のＬＳＩ製造プロセスに用いられる材料で製造が可能であって、微細な間隔を有する表面の凹凸を検出可能な静電容量式センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 被検出物の表面に近接或いは接触する検出面上に複数配列されたセンサ部２０を備えてなり、各センサ部２０が、検出面より下方に後退して形成された第１センサ電極１０と、上端面が前記検出面に露出して形成された第２センサ電極１３と、第１センサ電極１０の上層、並びに第１センサ電極１０と第２センサ電極１３の間に形成されると共に、前記検出面の一部を構成する第１絶縁膜１２と、を有し、第１センサ電極１０の側面と第２センサ電極１３の側面とが第１絶縁膜１２を介して対向する。 （もっと読む）

【課題】 人の指などの物体の接近や位置を検出する静電検出装置において、複数の電極間の静電容量が大きい場合でも、クロストークを抑えて、精度の高い位置検出を可能にする。
【解決手段】 配線が隣接する電極が異なるグループになるようにグルーピングし、他のグループの電極の静電容量を検出している間に、検出していないグループの電極を定電圧に接続するようにした。 （もっと読む）

【課題】所定の測定パラメーターを検出するための少なくとも１つの測定部を有すると共に前記測定部を他の１つの電気装置と接続するための少なくとも１つの接続部を有するセンサーストランドを少なくとも１本備えた検出装置を提供する。
【解決手段】センサーストランド２０２は、少なくとも１つの測定部２０４，２０４’および少なくとも１つの接続部２０６，２０６’において多数の導体ストランドを有し、少なくとも測定部２０４，２０４において少なくとも２本の導体ストランドが共通の防湿体により少なくとも部分的にその周辺から隔離され、少なくとも接続部２０６，２０６’において少なくとも１本の導体ストランドが防湿体により少なくとも他の１本の導体ストランドから少なくとも部分的に隔離される。 （もっと読む）

検知電極を有する容量タイプの近接センサが提供される。検知電極は、導電領域１１３及び非導電領域１１７をもつ表面を有し、センサは、検知電極と対象１０９、１１１との間の電界１１０、１１２を測定するように適応される。更に、医用Ｘ線診断及び／又はＸ線治療及び／又は核診断／治療（例えばＳＰＥＣＴ）のための装置、医用Ｘ線診断及び／又はＸ線治療及び／又は核診断／治療（例えばＳＰＥＣＴ）のためのシステム、医用Ｘ線診断及び／又はＸ線治療及び／又は核診断／治療のための装置（例えばＳＰＥＣＴ）と対象との間の衝突を回避する方法、プログラム要素及びコンピュータ可読媒体が記述される。接近する対象の感度がセンサ自体の特別なジオメトリからの改善された独立性を有する容量タイプの近接センサが開示される。
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【課題】動作対象の動きを簡易に検出することができるようにする。
【解決手段】本発明は、動き検出システムにおいて、識別指標によって区別された複数周波数からなる準静電界を、少なくとも２以上の電界発生源から発生する準静電界発生装置と、動作対象に設けられ、準静電界の受信周波数に基づいて各電界発生源までの距離をそれぞれ判定し、当該判定した各距離を通知する距離判定装置と、距離判定装置により通知される各距離に基づいて距離判定装置の位置を算出し、当該算出した位置と予め保持された基準位置との変化量を動作対象の動き量として検出する動き検出装置とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】侵入者の進入場所を特定できる信頼性の高い侵入位置検知装置を実現することを目的とする。
【解決手段】内側電極と、この内側電極に周設された圧電体層と、この圧電体層に周設した外側電極とを備えてケーブル状に構成した圧電センサ２をｎ個の領域に分割するｎ−１個の領域分割素子３を設置し、圧電センサ２の両端に設置した信号処理部７、８と信号処理部７、８の出力信号の差から侵入領域を特定する感圧領域検出手段９によって外部からの侵入者の進入領域を特定する。装置は耐久性があり、また直接雨に曝されることもなく、秘匿性もあるので信頼性も高い装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】１Ｋｇ程度の飼育ケース内に存在する１０〜３０ｇ程度と軽量な小動物の位置情報を、安価に収集するシステムを提供する
【解決手段】重心の変化を求める荷重計とは別に、重量を支える支柱２を用意することにより、広いダイナミックレンジの荷重計を用いる必要が無くなり、システムを低コストで提供することが可能となる。安価なシステムを提供できれば、これまで容易に評価できなかった開発機関でも導入がすすみ、より多くの研究者が積極的に研究できる体制を整備することが可能となる。また、医薬品や機能性食品等の研究開発における学術レベルの向上に貢献できる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が維持された表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂと、検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂの上に形成され、該静電気放電電極膜４４ｂの上に第１開口５１ａを備えたパッシベーション膜５１と、パッシベーション膜５１の上に形成され、第１開口５１ａが露出する第１窓５５ａを備えたテトラヘドラルアモルファスカーボンよりなる最上層の保護絶縁膜５５とを有し、静電気放電電極膜４４ｂの最上層に第１導電性酸化金属膜４５が形成された表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】 物体の接近を電極の浮遊容量により検出近接センサーにおいて、ノイズの影響を除去し、物体との距離が大きい場合でも高速で精度の高い位置検出を行うことの出来る近接検出装置を提供する。
【解決手段】 差動電極に位相の反転した充放電を行い、充放電の特性から差動電極の浮遊容量の和を求めることにより、ノイズをキャンセルされた浮遊容量から物体の接近や位置を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】外部からの電力供給により交番磁界を発生する一のマーカと、該交番磁界の周波数と同一またはその近傍に共振周波数を有する共振回路を備えた他のマーカとがともに存在した場合であっても、一のマーカの位置または方向を正確に検出する。
【解決手段】外部からの電力供給により、所定の周波数だけ離れた一組の第１の位置算出用周波数を有する第１の交番磁界を発生する第１のマーカ４と、一組の第１の位置算出用周波数に挟まれた略中心の周波数を共振周波数とする磁気誘導コイル５を搭載した第２のマーカ３と、その作動範囲の外部に配置され、第１の位置算出用周波数において磁界を検出する磁界検出部１３と、検出された磁界から一組の第１の位置算出用周波数を有する一組の第１の検出磁界成分の強度の加算値を抽出する抽出部３０と、抽出された加算値に基づいて第１のマーカ４の位置および方向の少なくとも一方を算出する位置方向解析部２２とを備える位置検出システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】雨などの水滴が飛散する環境にあっても誤動作し難い静電容量センサ、或いはこれを用いた信頼性の高い開閉体挟み込み検知装置を提供する。
【解決手段】センサ本体１やその周辺部分（ブラケット１１やヘム部１４）の外表面に撥水加工を施し、センサ本体１の検出面を凸形状とし、開閉体（スライドドア１０）をグランドに接続し、センサ本体１の検出面を、開閉体の開閉端部の先端（ヘム部１４の先端）よりもフロントドア１３の側に突出した位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】磁界検出部を検知体に近接して配置でき、装置の小型化、低コスト化を図りつつ、検知体の位置を精度よく検出する。
【解決手段】少なくとも１つの内蔵コイル３ａを含む回路を備える検知体３が配置される検出空間Ｓに対し、少なくとも１つの磁界発生コイルを備え第１の磁界を発生させる第１の磁界発生部２と、発生された第１の磁界により内蔵コイル３ａから発生される誘導磁界を検出するよう配列された複数の検出コイル４ａを備える磁界検出部４と、第１の磁界発生部２により発生され検出コイル４ａに入射する第１の磁界に対して略逆位相の磁界成分を有する少なくとも１つの磁界発生コイルを備え第２の磁界を発生させる第２の磁界発生部６とを備え、第１の磁界発生部２と検出コイル４ａとが、第１の磁界の発生方向と、誘導磁界の検出方向とを交差させるように配置されている位置検出装置１を提供する。 （もっと読む）

本発明は、センサ装置、及び該装置に対する四肢、特に使用者の手の空間的位置、及び／又は動きを表す電子信号を生成する装置と方法とに関する。かかる電子信号は、データ処理装置、通信装置、及び他の電気機器で入力処理を実行するのに使用できる。本発明によるセンサ装置は、送信電極部と、交流電圧を送信電極に印可する電圧発生器と、第１、第２、第３の受信電極部と、を備え、前記第１、第２、第３の受信電極部は、高抵抗の読み出しシステムに接続される。好ましくは、前記第１、第２、第３の受信電極部は、インピーダンス変換システムの高抵抗入力部に接続され、各インピーダンス変換部の出力部に生じる電気的事象間の違いに基づいて、場所又は動きを示す情報が取得される。 （もっと読む）

【課題】外科用針を患者の身体の標的臓器へ進めるための新規の方法およびシステムを提供する。
【解決手段】外科用針１０６を患者の身体の標的臓器へ進めるためのシステム１００であって、そのシステムが着脱可能なマンドレル１０８と、医療用測位システム（ＭＰＳ）１０２と、電磁場発生装置１０４と、ＭＰＳセンサユニット１１０を含み、着脱可能なマンドレルが外科用針の内部に設置され、その着脱可能なマンドレルが外科用針に出し入れすることができて、その着脱可能なマンドレルの先端にＭＰＳセンサが設置され、電磁場発生装置が電磁場を発生させ、ＭＰＳがＭＰＳセンサおよび電磁場発生装置に連結され、電磁場に基づいてＭＰＳセンサが出力を生成し、ＭＰＳがＭＰＳの各座標系における着脱可能なマンドレルの先端の位置を確認し、ＭＰＳが着脱可能なマンドレルの先端の位置の各示度を生じ、外科用針を標的臓器へ進めることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、伝い水による静電容量型センサの誤動作をより確実に防止することができるとともに外力が加わっても変形しにくく、静電容量型センサの取付け工程が簡単で、取付け工程に要する時間の短縮化を図ることができる静電容量型センサの取付け構造を提供することにある。
【解決手段】近接した物体を検知する静電容量型センサの車両のドアへの取付け構造であって、ドアヘム５の端縁における車内側に配置された静電容量型センサ２とドアヘム５との間に設けられるスペーサ１を備え、スペーサ１の外表面には、ドアヘム５から静電容量型センサ２への伝い水を防止するための水滴防止部１１が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサを構成する金属部材の形成装置の種類を少なくすること。
【解決手段】半導体基板の表面に層間絶縁膜を介して第１および第２導電配線をスパッタ法で形成し、第１および第２導電配線と層間絶縁膜を第１絶縁膜で覆い、第１絶縁膜の上に第２絶縁膜を積層し、第１導電配線上の第１および第２絶縁膜を除去し、それによって第２絶縁膜表面から第１導電配線に達する溝を形成し、第２絶縁膜と溝の側壁および底とを覆う導電膜をスパッタ法で形成し、前記導電膜の上から溝幅より広いレジスト膜で溝を覆い、レジスト膜をマスクとして前記導電膜と第２絶縁膜とを除去して第１絶縁膜を露出させ、レジスト膜を除去した後、第３絶縁膜をその表面が前記導電膜の表面と同一表面になるように第１絶縁膜上に形成する表面形状認証用センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】較正を簡略化し、かつ測定精度の向上を可能とするカテーテル追跡システムを提供する。
【解決手段】人または動物の身体１の部分内でカテーテル頭部１６の位置を位置決めおよび追跡するための、図１、図２および図３に示したようなカテーテル追跡システム。このカテーテル追跡システムは、人または動物の身体を介して所望の位置に導かれるように構成された頭部１６を有するカテーテル１０と、複数の磁界変換器であって、そのうちの少なくとも１つがカテーテル１８上に配置され、他のものが身体内部および／または周囲に配置されると共に基準変換器１９として機能する複数の変換器と、複数の磁界変換器を付勢する制御ユニットとを備える。磁界信号を処理する際、基準変換器１９に対してカテーテル頭部１６の位置を決定する。 （もっと読む）