【課題】低密度の反射対応から鏡面を再構築する。
【解決手段】点対応手順が鏡面物体２０３の画像のセットに適用され、低密度の反射対応が生成される（２１０）。画像のセットは、カメラ２０２によって取得される間、回転を受ける。すなわち、カメラ２０２、環境、又は物体２０３のいずれかが回転する。線形系ＡΘ＝０が解かれる（２２０）か、又は関連する二次錐計画（ＳＯＣＰ）が解かれる。ここで、Θは局所表面パラメーターのベクトルである。表面の勾配は局所二次曲面パラメーターから得られ（２３０）、勾配は法線を得るために統合される（２４０）。ここで法線は表面の形状を定義する。 （もっと読む）

【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の外形の検出精度を悪化させることなく、載置台から検査対象物にかかる応力を軽減できる外形検出装置および外形検出方法を提供する。
【解決手段】太陽電池セル７を載置面３ａの外周１７よりも内側に載置するステージ２ａと、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６と、太陽電池セル７および金属箔テープ６に照明光８を照射する同軸落射照明装置１１と、照明光８の反射光９を受光するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２の出力信号から、太陽電池セルの外形を検出する画像処理装置１３と、を備え、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６が、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように設置する。 （もっと読む）

【課題】ワークに対してカメラを任意の位置、姿勢に移動させながら視覚検査を行うことができるものであって、設備全体の小型化を図る。
【解決手段】支持台２上にＹＺロボット３を設け、その前方に回転テーブル４を設ける。ＹＺロボット３は、Ｚ軸移動機構５、Ｙ軸移動機構６、前後（Ｙ軸）方向に延びる光軸Ｏを有しワークＷを撮影するカメラ７を備え、カメラ７を前後（Ｙ軸）及び上下（Ｚ軸）方向に自在に移動させる。回転テーブル４は、ワークＷを載置し、垂直方向に延びる回転軸θ周りに自在に回転させる。カメラ７の先端に１８０度以上の画角を有する超広角レンズ１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】測定対象物より後方の物体での反射光をカメラが受像しないようにする。
【解決手段】測定対象物１に線状のレーザ光５ａを照射し、測定対象物１での反射光をカメラ４で受像することで、その形状を撮像するレーザ形状認識センサである。測定対象物１にレーザ光５ａを扇状に照射するレーザ光源５と、このレーザ光源５から照射されたレーザ光５ａの測定対象物１での反射光を、抽出したい波長のみを通過させるフィルター６を介して受像するカメラ４を有する。レーザ光源５のレーザ光５ａの照射範囲５ｂをカメラ４の素子列方向の視野４ａがカバーでき、かつ、カメラ４の高さ方向の検出範囲４ｂは測定対象物１より後方はカバーしないように、レーザ光５ａの光軸に対して角度θをつけてカメラ４を、同一の筐体７内に組み込む。
【効果】正確で安定に形状を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】実際の対象物と撮像手段との関係を確認する作業や、対象物と画像処理結果とを比較する作業を、モニタを用いることなく容易に行うことができるようにする。
【解決手段】撮像部１内に、ＬＣＤ１２を含む投光部１１をＣＣＤ１０と同軸になるように配備し、ＬＣＤ１２に表示された画像がＣＣＤ１０の視野に向けて投影されるようにする。処理部２では、ＣＣＤ１０により生成された画像を用いてワークＷ０の欠陥Ｄを検出し、その欠陥を含む領域Ｒに対応する領域ＲＰに周囲より明るい画像データが設定された投影用画像５０を生成し、これを投影部１１に与えて投影させる。この投影により、ワークＷ０の表面のうち、画像処理により欠陥として検出された範囲が、領域ＲＰの投影像によるマーキングパターンＭにより明示される。 （もっと読む）

【課題】透明体からなる板状物であっても輪郭を明確に特定する形状認識装置を提供する。
【解決手段】板状物１０の輪郭を検出する形状認識装置６であって、板状物１０を保持する保持テーブル３と、保持テーブル３上に保持され板状物１０を撮像する撮像手段６１と、撮像手段６１下側に配設された照明手段６２と、照明手段６２によって照射され保持テーブル３上に保持された板状物１０で反射した反射光のうち撮像手段６１による撮像領域の正反射光を遮蔽する遮蔽手段６３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】接触角計において液滴の平面視輪郭形状をより高精度に測定可能な接触角計用画像処理装置および液滴の平面視輪郭形状導出方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る接触角計用画像処理装置１２０は、試料上の液滴の接触角を測定する接触角計において試料上の液滴を撮像した画像を処理する画像処理装置であって、試料上の液滴を上方から撮像した液滴平面画像に基づいて液滴の平面視輪郭形状を導出する形状導出手段１４０を備えている。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を高精度かつ短時間で測定する。
【解決手段】被検物の表面で反射された物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析する形状測定装置を用いて被検物の表面形状を測定する本発明の形状測定方法は、参照面を第１位置に固定して被検物の複数の位置における第１干渉縞を取得する第１工程と、参照面を参照光の光軸上の第２位置に固定して、複数の位置における第２干渉縞を取得する第２工程と、参照面を参照光の光軸上の第３位置に固定して、複数の位置における第３干渉縞を取得する第３工程と、第１干渉縞と、第２干渉縞と、第３干渉縞とを用いて、被検物の複数の位置における干渉縞の位相解析を行う位相解析工程Ｓ２０とを備え、第１干渉縞、第２干渉縞、及び第３干渉縞の少なくとも１つは、被検物を形状測定装置に対して相対移動させながら複数の位置の近傍で断続的に取得された複数の干渉縞に基づいて取得される。 （もっと読む）

【課題】数値処理可能な鮮明且つ正確なエッジ画像を撮像しつつ、測定する工具の両端のエッジの位置関係を正確に測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置９は、平行光を発する光源モジュール１１と、光源モジュール１１の発する平行光の光軸１６に沿って配置された対物レンズ２３と、対物レンズと共焦点を有する投影レンズ２４と、この共焦点に配置され入射光のうちの０次光の光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５とを備えた投影光学系を備えたレンズ鏡筒１３と、光軸１６を含む基準面に対して対称に、光束の方向を変えずに平行移動させて離間させる光線分離器３３と、結合させる光線結合器３４とを備えた光路シフト手段と、投影光学系により投影された映像を撮像するように撮像素子を備え、大型のワーク１７であっても正確な形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な表面構造を有する対象物の表面トポグラフィおよび／または他の特性を、走査干渉分光法を用いて測定する。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。複数のモデルに対応する情報は、試験対象物の各モデルに対応する走査干渉分光信号の変換分（例えば、フーリエ変換分）の少なくとも１つの振幅成分についての情報を含んでもよい。第２の側面では、モデルは固定された表面高さに対応するとともに、固定された表面高さとは異なる一連の特性によってパラメータ化されている。第３の側面では、比較は、走査干渉分光信号の系統的な影響を明確にすることを含む。 （もっと読む）

光学測定装置は、固定された主軸台（５７）が取り付けられた基準支持体（４０）、ならびに、固定された主軸台に対向し、および測定される部品を主軸台（５７）と心押し台（６０）との間で維持するために主軸台（５７）に近づいてくる、またはそこから離れて移動するための線形軸（ｘ）に沿って移動可能である、移動可能な心押し台（６０）、ならびに線形軸（ｘ）に沿って移動可能な可動式往復台（１００）を含むものであって、往復台は、コリメート光束が測定中の部品によって遮られるようにｘ軸を横切って方向付けるための光源（１１０）を担持し、往復台は、光源（１１０）に配列され、および測定中の部品によって遮られなかったコリメート光束の残留光を受けるように配置されている光学検出器（１２０）を、さらに担持する。測定装置は、光学往復台（１００）および心押し台（６０）が摺動可能に係合されている基準支持体（４０）上に固定されている直線状ガイド（４７）を有するのに対し、主軸台（５７）は、基準表面上に固定され、少なくとも一部が前記直線状ガイド（４７）上に懸下している主軸台担持部（５０）上に設置されている。
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【課題】被測定物の三次元形状測定を可能とする画像測定機を提供する。
【解決手段】テーブル１と、撮像光学部１０と、これらを相対移動させる相対移動機構５０とを有する画像測定機において、撮像光学部１０は、前側レンズ１２、後側レンズ１３およびテレセントリック絞り１４を有するテレセントリック光学系１１と、このテレセントリック光学系１１によって結像された被測定物の画像を撮像するＣＣＤカメラ１５とを含んで構成され、レーザ光を用いて、テレセントリック光学系１１の光軸上における被測定物表面の光軸方向の位置を非接触で測定するオートフォーカスレーザ変位計部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像面と撮像対象との位置関係を測定または判定する。
【解決手段】データ表示／センサ装置１００は、入力表示画面およびバックライトを有する表示／光センサ部と、入力表示画面に照明光を照射する外部照明部とを備えている。表示／光センサ部は、バックライトからの照明光が撮像対象に反射することによって生じる反射像を含む反射光画像と、外部照明部からの照明光によって生じる撮像対象の影の像を含む影画像とを撮像する。また、データ表示／センサ装置１００は、撮像対象から入力表示画面に下ろした垂線の足の位置である反射像位置を反射光画像から算出する反射像位置算出部７０５と、入力表示画面における上記影の位置を影画像から算出する影像位置算出部７０６と、反射像位置と影の位置とのずれに基づいて撮像対象の入力表示画面からの距離を算出する距離算出部８０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】作業スペースと設備投資との問題を解決し、外観検査の自動化を行うことが可能な検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明の検査システムは、固定されておらず、不確定な位置で検査対象の外観を撮像し撮像画像とする撮像装置と、予め検査対象を撮像した参照画像を記憶する記憶部と、撮像装置の撮像座標上の撮像画像を、参照画像を撮像した際の参照撮像座標上に座標変換し、変換した結果を比較画像として出力する画像処理部と、参照画像と比較画像とを比較するマッチング処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出対象を精度良く検出すること。
【解決手段】検出装置であって、所定の高さから下方に向けて設置されたセンサによって測定された各観測点の位置情報から、検出処理で使用する検出用位置情報を、高さの値に基づいて選択する選択部と、検出対象の形状に基づいて設定された検出対象特徴量を予め記憶する記憶部と、選択された検出用位置情報と、記憶部に記憶される検出対象特徴量とに基づいて、検出用位置情報から検出対象を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】予め登録しておくモデルデータのデータ量を抑制しながら、対象物の位置や姿勢を迅速に求めることができる物体認識方法及び物体認識装置を提供する。
【解決手段】距離センサ１により、対象物２０１を含む所定領域内の各点までの距離計測を行い、三次元物体認識手段３により、これら各点の計測データをメッシュデータ化し、このメッシュデータのグルーピングを行って複数のメッシュグループとし、各メッシュグループの法線ベクトルに垂直な投影平面を作成し、各メッシュグループを対応する投影平面に投影した投影データを求め、投影データの輪郭データを抽出して、輪郭データと対象物の二次元形状データとを比較して、対象物の位置及び姿勢を認識する。 （もっと読む）

【課題】 プレートが搭載されるステージの位置を位置計測系を用いて管理する。
【解決手段】 主制御装置は、所定形状のプレート５０が着脱可能に搭載されたステージＷＳＴの位置を位置計測系（１８等）を用いて計測しつつ、アライメント系ＡＬＧを用いてプレート５０の一部を検出するとともに、その検出結果と対応する位置計測系の計測結果とに基づいてプレート５０の外周エッジの位置情報を取得する。このため、そのステージＷＳＴ上に位置計測用のマーク（基準マーク）などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレート（すなわちステージ）の位置を前記位置計測系で設定される移動座標系上で管理することが可能になる。 （もっと読む）