【課題】位置計測用のマークが存在しない移動体の位置を管理することを可能にする。
【解決手段】 所定形状のプレート５０が着脱可能に搭載された移動体ＷＳＴの位置をその移動座標系を規定する計測装置１８等で計測しつつ、プレート５０の一部をアライメント系ＡＬＧで検出するとともにその検出結果と対応する前記計測装置の計測結果とに基づいてプレート５０の外周エッジの位置情報を取得する。このため、その移動体ＷＳＴ上に位置計測用のマーク（基準マーク）などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレートの位置、すなわち移動体の位置を前記計測装置で規定される移動座標系上で管理することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、短時間に高い精度で用紙の移動状態を非接触で検出できる移動状態検出手段を用紙搬送路に配設し検出された用紙の移動状態を変更して、用紙の片寄り、用紙の変形による画像不良を未然に防止可能にする用紙搬送装置及び画像形成装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、用紙搬送手段と、移動する用紙表面における異なる領域を互いに連続的に撮影して画像を出力する複数の撮像手段ＩＳと、複数の撮像手段ＩＳより出力された画像に基づき複数の領域における用紙の移動速度、用紙の移動量、もしくは用紙の移動方向を検出する移動状態検出手段ＩＰと、移動状態検出手段ＩＰの検出結果に基づき用紙搬送手段を制御する用紙搬送制御手段Ｕ１００と、を備える用紙搬送装置２０を提供して、上記課題の解決を達成可能にする。 （もっと読む）

【課題】長い距離にわたるコンクリート壁面などのコンクリート構造物の診断を、安価にしかも短時間で行うことが可能な画像データ処理システムを提供する。
【解決手段】移動式架台１０に搭載された可視画像撮影用カメラ６０と赤外線カメラ７０と、最初の可視画像データ及び赤外線画像データに撮影された対象物上の基準点に基づいて、前記複数の可視画像データ及び赤外線画像データの位置関係を求め、前記最初の可視画像データ及び赤外線画像データに対して、あおり補正を施した上で、２番目以降の規格化可視画像データ及び規格化赤外線画像データを、前記位置関係に基づいて重畳し２番目以降の重畳データとし、前記最初の重畳データと前記２番目以降の重畳データとを連結することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非平坦な基体表面上に液滴を付着させるときの液滴配置誤差を減少させる。
【解決手段】基体の表面プロファイルを、液滴吐出装置の複数のノズルが配列する方向と平行な方向に沿って該基体を測る変位計測器のアレイを用いて、前記基体と前記液滴吐出装置との相対移動の方向に対して垂直な方向であって前記ノズルが配列する方向に沿った複数の位置で同時に、測定する。 （もっと読む）

【課題】液晶用カラーフィルターや有機ＥＬなどのディスプレイに用いられるカラーフィルターの製造工程における、塗膜コーテングでのスリットダイの搬送方向に発生している膜厚ムラを、膜厚ムラ検査装置の測定搬送時に発生している搬送擬似ムラと容易に、区別、判別することができる装置、方法を提供する。
【解決手段】透明基板８に製膜された塗工膜の欠陥を検査する装置、方法であって、撮像用センサーカメラ９と透過照明光源１０を透明基板８の搬送方向と垂直方向にスライトさせながら透明基板８を撮像し、その画像データを短形処理により画像補正処理することによって、透明基板８の搬送方向に発生する疑似搬送ムラを容易に判別でき、膜厚ムラや濃度ムラを的確に検査できる長所を有する。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、反射型フォトセンサの温度特性をキャンセルする。
【解決手段】１対の反射型フォトセンサＰＲ１,ＰＲ２を対向配置し、この１対のフォトセンサ間に、可動体に取り付けられた両面反射板５を移動可能に配置し、これらフォトセンサＰＲ１,ＰＲ２の２つの出力から反射板５の移動位置を検出する。この位置検出では、反射板の移動距離に応じてリニアな値が得られる演算式を用い、例えば１対の反射型フォトセンサの一方の出力をＶｏ１、他方の出力をＶｏ２とすると、（Ｖｏ１−Ｖｏ２）／（Ｖｏ１＋Ｖｏ２）の演算式を用いて位置検出を行う。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成でターゲット面と垂直な成分を含む方向の変位量を測定することができる画像相関変位センサを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる画像相関変位センサは、照射光を出射する照射部１３０'と、ターゲット面３００で生成したスペックルフィールドを複数回に亘って撮像するために用いられ、ターゲット面近傍においてターゲット面の法線方向から傾斜した光線路Ａと、光線路Ｂ'と、光線路Ａ，Ｂ'の少なくとも一方を偏向する素子１１０'と、を有する撮像部２４０と、光線路Ａにおいて撮像することにより得られた複数画像と光線路Ｂ'において撮像することにより得られた複数画像とに基づいて、ターゲット面３００の法線成分を含む方向の変位を計算する処理部２００と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン薄膜の表面の画像を検出して多結晶シリコン薄膜の表面の状態を観察し、多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査することを可能にする。
【解決手段】多結晶シリコン薄膜の検査装置を、表面に多結晶シリコン薄膜が形成された基板１００に光を照射する光照射手段８００と、光照射手段８００により基板１００に照射された光のうち多結晶シリコン薄膜を透過した光または多結晶シリコン薄膜で正反射した光の近傍の多結晶シリコン薄膜からの散乱光の像を撮像する撮像手段８２０と、この撮像手段８２０で撮像して得た散乱光の画像を処理して多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査する画像処理手段７４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の信頼性の向上を図る。
【解決手段】ＢＧＡ（半導体装置）の平坦度検査において、常温での平坦度の（＋）方向の許容範囲が（−）方向の許容範囲に比べて小さい平坦度規格を形成し、前記平坦度規格を用いて常温での半導体装置の平坦度検査を行って実装良品／実装不良品を判定することにより、リフロー実装等の際の加熱時のパッケージ反りに起因する実装不良を低減してＢＧＡの信頼性の向上を図るとともに、より実装状態を考慮した基板タイプの半導体装置の平坦度管理を行う。 （もっと読む）

【課題】比較的大きなサイズの欠陥を高感度で検出できると共に、高さ又は深さの変化量が１ｎｍ又はそれ以下の微細な欠陥も検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】照明光源１からの照明ビームを被検査基板２１に向けて投射する対物レンズ２０と、入射した照明ビームを、互いに干渉性を有する第１及び第２のサブビームに変換すると共に、基板の表面で反射したサブビーム同士を合成し、基板表面の高さ又は深さと関連する位相差情報を含む干渉ビームを出射させる微分干渉光学系１６と、出射した干渉ビームを受光する光検出手段２８と有する。微分干渉光学系のリターデーション量は、ｍを零又は正の整数とした場合に、第１と第２のサブビームとの間に（２ｍ＋１）π又はその近傍の位相差が形成されるように設定し、前記光検出手段から出力される出力信号のバックグランドの輝度レベルがほぼ零となる検査状態において基板表面を照明ビームにより走査する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置のキャブリレーションに用いる校正基準点を、小規模な装置環境で高精度に取得する。
【解決手段】校正対象の撮像装置２０に対してレーザ光のような広がりのない光を照射する発光装置１０、撮像装置１０の向きを調節する角度調節装置３０、該角度調節装置３０に角度指令を与える角度制御装置４０、撮像装置２０より得られる撮像画像から集光点位置を検出し、校正基準点を算出する画像処理装置５０を有する。 （もっと読む）

【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源１からの光を参照光と複層塗膜４への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な測定作業で任意の多角形の面積を非接触で測定することの可能なレーザ測距装置を提供する。
【解決手段】レーザ測距装置１は、測定対象物１０上の任意の多角形の面積を非接触で測定するレーザレーダ方式の測距装置である。２次元スキャナ３は、レーザダイオード２からのレーザ光を偏向させて測定対象物１０上の任意の多角形の頂点Ａ，Ｂ，…を照射する。フォトダイオード６は、各頂点Ａ，Ｂ，…で反射したレーザ光を受光して信号を出力する。演算制御部７は、フォトダイオード６からの出力信号と２次元スキャナ３の動作情報を用いて多角形の面積を算出する。２次元スキャナ３は、測定対象となる多角形をレーザ光の２次元走査により描画表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明の態様は、吸着保持装置の被吸着物を吸着する側の主面の表面領域に内在している欠陥部に対する定量評価を行うことができる吸着保持装置の表面評価方法を提供する。
【解決手段】被吸着物を吸着する吸着保持装置の前記被吸着物を吸着する側の主面に対する表面評価方法であって、レーザ顕微鏡を用いて求められた前記主面における干渉縞の像に基づいて前記主面に対する表面評価を行うことを特徴とする吸着保持装置の表面評価方法。 （もっと読む）

【課題】角度検出感度を向上させるとともに、検出可能な角度範囲を広くする。
【解決手段】波長域が互いに異なる山形輝度分布が互いに重なり合うように帯状面光源を構成し、各波長域の撮影画像の該山形輝度分布に対応する画素値分布に基づいて検査面の角度を２段階で検出する。第１段階では、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値間の大小関係と曲線近似情報とに基づいて、光源面上周期内参照光位置ｘを決定し、第２段階では、明度の値と曲線近似情報とに基づいて、周期内参照光位置ｘがどの周期ｉに属するか、すなわち、周期始点位置Ｘｉを求める。次いで参照光位置Ｘ＝Ｘｉ＋ｘを検査ラインでの検出角に変換する。 （もっと読む）

【課題】反り量を搬送途中で正確に能率よく測定でき、カケの発生を防止するセラミック基板の反り検査装置を提供する。
【解決手段】所定の位置に搬送させる搬送手段と、搬送中のセラミック基板１１の全幅を測定対象として通過させながら２次元レーザ変位計１２で検出させる検出手段と、検出値を、フィルタを通して整理した反り量を算出させる算出手段とを備え、搬送手段は、セラミック基板１１を吸着ヘッド１７で吸着して複数の測定テーブル１８のそれぞれの上面に連続して載置させるロータリーアクチュエータ１３と、測定テーブル１８を水平間欠割出回転させながらその上のセラミック基板１１の反り量を検出手段と算出手段で測定させるインデックステーブル１４と、測定テーブル１８の近傍に反り量測定後のセラミック基板１１を反り量のランク別に測定テーブル１８上から排出させる掻き出し体１５を有する。 （もっと読む）

【課題】 反射基材の製造工程においてインラインでも評価可能であり、簡易な方法で確実に輝度ムラの発生原因となる基材表面性状を評価することが可能な反射基材の評価装置および反射基材を提供する。
【解決手段】 レーザ変位計３により反射基材の７の表面形状情報を取得する。次に、得られた凹凸情報をフーリエ変換し、反射基材の表面凹凸形状について、周波数と強度との関係を得る。次に、算出された周波数と強度との関係と、あらかじめ設定された基準データとを比較する。所定範囲の周波数領域において、強度が０．６を超える場合には不合格判定を行い、当該判断領域において０．６を超えるデータがなければ合格判定を行う。 （もっと読む）

【課題】記録媒体浮き検出の誤動作を防ぐことができる記録媒体浮き検出装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】検出ビームを出射、受光するための投光ユニット、受光ユニットを有する投光受光手段と、前記検出ビームの光路を平行移動させるための投光用平行平板と、を備え、前記投光用平行平板は、互いに平行な入射面と、出射面とを有する平板であり、前記検出ビームに垂直な回転軸を中心に回動することにより、前記入射面から入射した前記検出ビームを屈折させて前記出射面から前記検出ビームの光路を前記搬送面から離れる方向に平行移動させて出射するように構成され、所定のタイミングで、前記検出ビームを前記搬送面から離れる方向に平行移動させる記録媒体浮き検出装置。 （もっと読む）

【課題】薄いガラスシートのような可撓性物体(１４０)に無重力下形状を推定するための方法及び装置(１００，２００)を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態において、ベッドオブネイル(ＢＯＮ)ゲージ(１００)を用いて推定無重力下形状が生成され、次いで第２のゲージ(２００)を用いてさらに高い空間分解能で形状が測定されて、ＢＯＮゲージのピン(１１０)の間の理論サグが第２のゲージで測定された形状から差し引かれる。別の実施形態において、物体(１４０)の両面で形状測定が実施され、推定無重力下形状の信頼度を評定するために用いられる。別の実施形態において、ベッドオブネイルゲージ(１００)はピン(１１０)の高さ調節に最小二乗法最小化手順を用いる。 （もっと読む）

【課題】 メモリ容量が問題とならない位置ずれ量の検出を行い、位置ずれ量に基づき基板の位置を補正し基板の外観検査を行う。
【解決手段】 参照テーブル４２４に基づいて、推定基準点位置設定部４１３により推定基準点位置および仮基準点位置設定部４１５により仮基準点位置が設定される。距離指標値算出部４１４が推定基準点位置と仮基準点位置との距離の標準偏差を求め、該標準偏差が最小となるときの回転角および仮基準点位置と基準点位置との位置差分値を位置ずれ量４２５として取得する。該位置ずれ量４２５に基づき被検査基板６の位置合わせを行うことで、メモリの使用容量を増やすことなく、確実に位置合わせを行うことができるとともに、外観検査を行うことができる。 （もっと読む）