【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、ＮＧの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板１の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第１イメージおよび第２イメージをそれぞれ撮影する撮像装置１０および２０と、ガラス基板１の下方に配置され、撮像装置１０、２０側にガラス基板１を透過する暗視野照明装置３０と、第１イメージ上の不良の位置座標と、第２イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部４０とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ１は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ２、Ｐ３は、互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置１は、照明光から分岐された第１照明光を被計測物６に導く対物レンズ２４と、照明光から分岐された第２照明光を参照ミラー２８に導く対物レンズ２６と、第２照明光の光路長を調整する移動部３６と、被計測物６及び参照ミラー２８で反射される２つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ１２と、対物レンズ２４と被計測物６とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物が明るさ（色）の異なる複数の領域を有している場合に、適切にその測定対象物を３次元測定することができる３次元測定装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る３次元測定装置は、投影部と、撮像部と、制御部とを具備する。前記投影部は、照度を変化可能な照明を有し、前記照明からの光により測定対象物に縞を投影する。前記制御部は、前記撮像部により前記測定対象物の画像を撮像させ、撮像された前記測定対象物の画像から輝度値を取得し、取得された前記輝度値に基づいて、前記測定対象物に対して複数の検査ブロックを割り当て、割り当てられた前記検査ブロック毎に、前記照明の測定照度を決定し、決定された前記測定照度で、それぞれ、前記投影部により前記検査ブロックに対して縞を投影し、前記縞が投影された前記検査ブロックの縞画像を前記撮像部により撮像し、撮像された前記縞画像に基づいて前記測定対象物を３次元測定する。 （もっと読む）

【課題】軸受の複数のパラメータを検出する光ファイバ感知デバイスのための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサシステムは、光ファイバケーブルと、１つまたは複数の分離タブ２１８によって互いに接合された第１の接続端と第２の接続端２０４を含むキャリア２００とを備え、第１の接続端は、光ファイバケーブルの遠位端を第１の接続端に固定するように構成された第１のファイバ取付け点２１０を含み、第２の接続端は、光ファイバケーブルを第２の接続端に固定するように構成された第２のファイバ取付け点２１２を含み、さらに１つまたは複数の分離タブは、キャリアおよび分離タブよりも構造的に弱いブレークエリアを使用して第１の接続端と第２の接続端に接合されている。 （もっと読む）

【課題】収束光学系を有するレーザ干渉測定装置における測定面上の位置の校正が簡便かつ高精度に行えるレーザ干渉測定装置の横座標校正治具および横座標校正方法を提供すること。
【解決手段】横座標校正治具１０は、マーカを有する画像を投影する画像投影手段１９と、画像投影手段１９を第１回動軸線Ａ１まわりに回動自在に支持しかつ第１回動軸線が所定の回動中心Ｃを通る第１支持機構１１と、第１支持機構を第２回動軸線Ａ２まわりに回動自在に支持しかつ第２回動軸線が回動中心Ｃで第１回動軸線Ａ１と交叉する第２支持機構１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】抗菌剤の抗菌性能の評価に要する時間および費用を低減する。抗菌剤の抗菌性能の評価において、細菌培養を行うことなく間接的な方法によって簡易な評価方法を提供する。さまざまな形状の抗菌加工品の各部位の抗菌性能を評価する方法を提供する。
【解決手段】本願発明の抗菌の抗菌性能の評価方法は、抗菌剤の少なくとも一部が表面から露出してなる抗菌加工品の抗菌性能を評価する評価方法であり、抗菌加工品の表面上に設定した関心領域の画像を取得し、関心領域において表面から露出する抗菌剤の露出の程度を表す露出率を画像から求め、予め求めておいた露出率と抗菌加工品の抗菌性能との相関関係に基づいて、画像から求めた露出率に対応する抗菌性能を求め、求めた抗菌性能によって抗菌加工品の抗菌性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】 シート材を高速搬送させても短時間で観察画像を取得することができ、シート材が搬送方向と垂直な方向であって、前記観察部の視野内にある前記シート材の搬送方向と直交する方向（つまり、シート材の厚み方向や幅方向）にバタツキや揺動を生じたとしても、観察画像の品質及び評価の質が損われることを防ぐことができる、シート材端部の観察・評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 観察対象となるシート材の端部を搬送させながら観察し、
観察視野範囲の一部分を観察領域として登録し、当該領域を別個に複数登録でき、当該観察部の外部から複数の部分観察領域を選択するかを指示して、複数登録された中から一つの部分観察領域に切り替える部分観察領域切替機能を有し、
シート端部位置検出器から得られた信号に基づいて観察部に対して部分観察領域が切り替わるように信号出力する、シート材端部の観察評価装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】 記録材からの透過光を検知することにより記録材の厚さを判別する方法では、記録材の白色度の違いにより記録材の厚みを精度良く判別できない可能性があった。
【解決手段】 カラーセンサにより記録材の白色度又は色度を検知し、記録材の白色度又は色度と透過光量に基づいて、記録材の厚さの判別を行うことにより、記録材の白色度又は色度に関わらず、記録材の判別精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】反射型サンプル基板上の欠陥の特性を、非破壊かつ高精度に評価可能な欠陥特性評価装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板であるマスク基板１１上の被検欠陥１２に対して、実際の露光で利用する波長のコヒーレント光を、マスク基板１１上の被検欠陥と略同一のサイズに集光する集光光学系１０と、集光光学系１０により集光され、マスク基板１１上にコヒーレント光を照射する照射部１６と、照射部１６により照射された照射パタン領域１３ｂからの回折光を２次元的に受光する二次元検出器１３と、二次元検出器１３による受光結果である画像情報を記録する記録部１７と、記録部１７により記録された画像情報から、被検欠陥１２の反射振幅と位相分布を反復計算により導出する導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】成形ドラムに巻き付けられたシート状部材の巻き付け状態を精度良く測定する。
【解決手段】ドラム周方向Ｃに沿った検出範囲Ｄを持つ二次元レーザセンサ１２を用い、成形ドラム５０をドラム幅方向Ｘに移動させながら、成形ドラム５０に巻き付けられたシート状部材７０に対し、シート状部材７０の全幅を含む範囲で二次元レーザセンサ１２によりレーザ光Ｌを照射して、反射面までの距離データを取得し、得られた距離データに基づいてシート状部材７０の幅方向両端部７８，８０の位置を求める。好ましくは、成形ドラム５０の全幅を含む範囲で上記距離データを取得し、成形ドラム５０の幅方向両端部６２，６４の位置も求めることである。また、シート状部材７０の接合部７６が二次元レーザセンサ１２の検出範囲Ｄ内に入るように位置合わせした上で、上記距離データを取得して、接合部７６を検査することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】単品状態および圧縮部に組み込まれた状態における分割面の隙間を測定することができるツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、単品の中間プレート５の分割面同士を突き合わせるための右スライドシリンダ４７ａ等、突き合わせられた分割面隙間Ｃを測定するためのＬＥＤ光源２７および画像センサ３６、中間プレート５の外径を測定するためのリニアセンサ６１等を具備する第一検査装置１００と、組み込まれた状態の中間プレート５の分割面同士を突き合わせて、中間プレート５の外径を測定するための第二検査装置２００と、第一検査装置１００が測定した分割面隙間Ｃが無い状態における中間プレート５の外径である単体隙間合計値Ｅ５と、第二検査装置２００が測定した中間プレート５の外径である組立隙間合計値Ｅ１５とを比較する制御装置３００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】表示基板に設けられたアライメントマークを撮像範囲の適正位置に出現させて、表示基板の搬送を安定化させることができるＦＰＤモジュール組立装置および表示基板の搬送方法を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュール組立装置は、複数の処理ユニットと、搬送部と、カメラと、制御部とを備えている。制御部は、表示基板の生産ロットが変更されると、カメラによって撮像されたアライメントマークの座標を検出し、検出回数が所定の回数になると、検出した複数の座標の平均及び標準偏差σを算出する。そして、複数の座標から−１．５σ＜Ｐ＜１．５σを満たす座標を抽出し、抽出した座標の平均に基づいて搬送部による表示基板の受取位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０に用いた光源部１２（光源装置）では、複数の発光素子１２０を発光素子１２０の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるＸＹ面（仮想面）に沿う広い範囲にわたって検出光Ｌ２を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子１２０の光軸方向の出射側には、レンズフィルム１９０（シート状光学部材）が配置されており、かかるレンズフィルム１９０は、ＸＹ面内方向における発光素子１２０からの出射光Ｌ１の発散角を拡大させるパワーを備え、Ｚ軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 （もっと読む）

【課題】船舶における操船性の向上が図れるプロペラレーシング監視装置を得る。
【解決手段】船体１０に設置され、水面１１にレーザ光１ａを照射するレーザ発振器１と、船体１０の側壁に設置されレーザ光が水面１１から散乱する散乱光を検出する複数の光センサ２を備え、これらにより水面位置を検出する水面位置検出装置と、水面位置検出装置で検出した水面位置と、プロペラの位置との関係からプロペラレーシングの可能性を判断するプロペラレーシング判断装置とを具備し、プロペラレーシングの可能性ありと判断したとき、推進器４に対してプロペラ３の回転数を下げるように指令を与えるもの。
水面位置検出装置は、船舶周辺の水面状態が逐次どのように変化しているのかを定量的に測定する。そして、プロペラ３の空気中への露出する可能性が高いと判断した場合、予めプロペラ３の回転数を下げるよう推進器４を制御する指令を送出する。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】太陽電池ウェハの表面及び裏面の形状のみならず、太陽電池ウェハの厚みを高速に算出する。
【解決手段】光源１２１，１３１は太陽電池ウェハの表面及び裏面に光切断線ＣＬを照射する。カメラ１２２，１３２は太陽電池ウェハが所定距離搬送される都度、測定試料５００の表面及び裏面の光切断線画像を連続撮像する。計測データ算出部１２３，１３３は角光切断線画像から光切断線ＣＬが現れている重心座標を表面計測データ及び裏面計測データとして算出する。高さデータ算出部１４３は、表面計測データ及び裏面計測データから太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータを算出する。厚みデータ算出部１４６は、太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータから太陽電池ウェハの厚みデータを求める。 （もっと読む）

【課題】投影面傾き計測装置、プロジェクタを小型化する。
【解決手段】投影面傾き計測装置１１は、投光ユニットと、入射角センサと、を備える。入射角センサは、水平方向、垂直方向にそれぞれ、２つずつ配置される。投光ユニットは、スクリーンＳ上の水平方向、垂直方向に、それぞれ、設定された２つの測距点に光を投光して投光スポットを形成する。入射角センサは、投光スポットからの反射光を受光して、その入射角を検出する。この入射角センサは、２分割受光素子からなり、２つの受光素子に入射した光の受光割合に基づいて、反射光の入射角を検出する。このような構成により、位相センサで必須のレンズが不要となり、レンズの焦点距離を確保する必要もないので、小型化も可能となる。 （もっと読む）

【課題】能率よく、かつ正確に適切な矯正を行うことができる矯正プレスを提供する。
【解決手段】被矯正プレートＰを載せるベッド５と、ベッド５の上方から被矯正プレートＰを押圧する上型７とを有する矯正プレスであって、被矯正プレートＰの平坦度を測定する平坦度計を備えており、平坦度計が、レーザー光投射器１０とカメラ２０からなり、レーザー光投射器１０は、プレスの一側においてレーザー光を被矯正プレートＰの上面に照射できる位置に配置されており、カメラ２０は、プレスの他側においてレーザー光の照射方向に対し被矯正プレートＰの送り方向においてオフセットした位置に配置されている。レーザー光投射器１０とカメラ２０が１対もしくは２対用いられる矯正プレスは、ベッドとクラウン部をコラムを介して連結した構造であって、前後コラム間のサイドオープニング開口ＳＯは被矯正プレートの幅（Ｗ）に対する比がＳＯ／Ｗ≧0.3が好ましい。 （もっと読む）

【課題】駆動装置を用いることなく、小型であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる変位センサを提供する。
【解決手段】光源部を有する投光部と、光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第１受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、投光部は、光源部と、第１レンズと、第１ハーフミラーとを具備し、照射部は、第１ハーフミラーと、第２レンズとを具備し、第１受光部は、第１ハーフミラーと、少なくとも４つの穴を有し、この４つの穴はそれぞれｘｙ軸上に配置されているスリット板と、第３レンズと、第１受光素子とを具備し、照射部及び第１受光部は、照射部の光軸と第１受光部の光軸とが一致するように配置され、投光部は、該投光部の光軸が照射部及び前記第１受光部の光軸と垂直に交わるように第１ハーフミラーを介して配置する。 （もっと読む）