【課題】本発明は、３次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板と、基板上に設けられた半田ボールを有する被検査体の３次元形状測定方法において、半田ボールのイメージを取得し、半田ボールの中心部を決定する中心部決定ステップと、被検査体に正弦波形を形成し、基板の上面と半田ボールを同時に含む統合イメージを取得するイメージ取得ステップと、統合イメージから半田ボールの中心を通過する仮想の直線である基準線を選定し、基準線上に位置した半田ボールの中心部で正弦波形が投影された部分の位相値を抽出して半田ボールの中心部の位相値として決定し、基準線上に位置する基板で正弦波形が投影された部分の位相値を抽出して基板の位相値として決定する位相値決定ステップ、及び半田ボールの中心部の位相値と基板の位相値との差に基づき、基板の上面から半田ボールの中心部までの高さを算出する高さ算出ステップと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歯牙表面に被覆層を形成することなく歯牙表面の輪郭を正確に撮像できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】約３５０〜５００ｎｍの波長域に属する照明光に口腔内撮像装置１０のフリンジパターン発生器で所定空間周波数のフリンジパターン５０を付与し、偏光器で直線偏向させた後に投射レンズを介し歯牙２０に向け照射する。歯牙２０の表面又は内部で反射又は散乱された光を撮像レンズで検出光路上に取り込み、その光路上にあり偏光器のそれに対し平行な又は直交する偏光透過軸を有する検光器を介し検出器に入射させ、その検出器で画像データ（４４）を取得する。制御論理プロセッサは、パターン５０上の一部分又は複数部分５６，５８に亘り強度を調整する動作を、検出器の出力からもたらされる画像データに基づき、所与の指令乃至指令群に従い実行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステレオカメラを利用した３次元距離認識装置を提供する。
【解決手段】本発明の３次元距離認識装置は、測定しようとする選択点の視差を検出するステレオビジョンカメラ１１０と、前記選択点が視差を発生させない物体である場合、パターン柄を発生させて、前記パターン柄を前記選択点に投映させるパターン発生装置１２０とを具備することで、測定しようとする物体が単色の平面や透明な硝子の場合でも、測定しようとする選択支点の距離を正確に認識することができるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】計測レンジを維持しつつ、計測可能な高さを簡便に拡張する。
【解決手段】計測対象に投影された、位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測システムは、計測対象の高さの基準面を有する取付台に計測対象が取り付けられ、計測ヘッドが計測対象および基準面に光パタンを投影して撮像し、変位部が計測ヘッドを高さ方向へ変位させる。撮像された画像の或る画素における光パタンの位相を位相算出部７５が算出し、算出された位相に基づいて高さ算出部７７が計測対象の高さを算出し、算出された高さに基づいて送り量算出部７８が変位部を変位させるべき変位量を算出する。高さ算出部７７は、位相算出部７５が算出した位相に基づいて高さを算出し、算出した高さを、変位量に基づいて補正することにより、計測対象の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが限られていても測定しやすい干渉計を提供すること。
【解決手段】レーザ光源２からの光Ｌ１を参照面７２１に入射させるとともに被測定物４に入射させ、偏光面が直交する参照光Ｌ４および測定光Ｌ５を得、それらの合波光Ｌ６を射出するセンサヘッド７が、レーザ光源２などを備える本体部１０に、可撓性を有する偏波保存ファイバ３０９により接続されているので、センサヘッド７を適宜の位置に配置でき、設置スペースが限られていても簡単に被測定物４の変位量を測定できる。また、センサヘッド７が、偏光面を保存して導光する偏波保存ファイバ３０９により本体部１０と接続されているので、センサヘッド７から射出された合波光Ｌ６が偏波保存ファイバ３０９を透過する際に、参照光Ｌ４および測定光Ｌ５の偏光面が互いに直交した状態のまま保存される。そのため、合波光Ｌ６から被測定物４の変位量を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】 精度の高い測定を行うことが可能な３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象物４０の三次元形状を測定する三次元形状測定装置１において、
パターン素子１４の格子パターンを測定対象物４０に対して投影する投影部１０と、測定対象物４０に投影された格子パターンを撮像する撮像部２０とを含み、前記格子パターンを基準面ＳＰに対して投影した場合に基準面ＳＰ上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】３次元表面プロファイル測定のための小視野を有する光学式ゲージ（１０）は、光源（２２）と、照射光路に沿って光を誘導する照射光学系（２８、３０、４２）とを有するプロジェクタ（２０）を含む。光学格子装置（３４）は、照射光路に配置され、構造化光パターン（４６）を照射するために照射光の分布を変更する。移相装置（４７）は、前記被測定表面（８０）上の所望の位相ずれを伴う少なくとも３つの位置へ構造化光パターンを移動する。ビューア（５０）は、照射光路と平行ではない観察光路を有する観察光学系と、前記表面からの構造化光パターンの拡散反射の画像を感知する光感知アレイ（５８）と、画像を記録するカメラ（５７）とを含む。光学式ゲージは、カメラと通信するデータ入力部と、画像から得られる表面輪郭情報に基づいてプロファイリング対象表面をモデル化するプロセッサとを具備するコンピュータ（６１）をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】精度良くかつ簡易なキャリブレーションによる三次元形状計測を実現する。
【解決手段】 位相シフト法により三次元形状を求める場合において投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配して位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像から各画素の位相を算出し、算出した位相と既知の距離とから位相−距離関係を算出する。また距離が既知の位置に、距離方向に直交する平面上での２次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、基準グリッドに基づいて撮像画像の各画素の二次元座標を算出し、算出した各画素の二次元座標と既知の距離とから距離−二次元座標関係を算出する。実測定時には所定距離の位置に被測定物を配し、位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像の各画素の位相を算出し、位相−距離関係に基づいて距離を算出し、距離−二次元座標関係に基づいて画素の二次元座標を算出し、被測定物の三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】三角測量法を用いた手持ちの歯科用３Ｄカメラによる３次元物体の光学的走査方法および装置を提供する。
【解決手段】３Ｄデータセット１０は、物体２上に投影されたパターン３の複数の画像３０から決定され、画像は、走査シーケンスを生成する。パターン３は、周期的位相整合による輝度分布を有する。３Ｄカメラ１のカメラぶれを判断するため、物体２上に投影されたパターン２の少なくとも２枚の画像３０を記録し、これらの画像３０の少なくとも１つは、走査シーケンスの一部を生成する。手持ち３Ｄカメラ１のカメラぶれを判断するためのカメラぶれ分析ユニット４により、少なくとも１つの比較信号は、少なくとも２つの個々の画像３０を除算または減算することにより生成され、カメラぶれ指数５０は、この少なくとも１つの比較信号から算出される。 （もっと読む）

【課題】データ高速処理装置を不要として小型化できる光センサ計測装置を提供する。
【解決手段】複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルが閾値以上となるデータに基づいて各反射光スペクトルの中心を求める演算回路４１と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎの各々からの反射光スペクトルの中心を求めるための最適な閾値をそれぞれ保存する閾値保存用レジスタアレイ４３と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルのデータと閾値保存用レジスタアレイ４３で保存されている最適な閾値とを比較して演算回路４１に各反射光スペクトルに応じた最適な閾値を出力する比較回路４４とを備えた。各ＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎから反射される反射光スペクトルの中心を演算回路４１で計算するために必要な閾値を、予め閾値保存用レジスタアレイ４３で記憶された複数の最適な閾値から１つ選択する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の材質が、例えば、透明な樹脂などであるときは、被測定部に照射された光が被測定物の内部で散乱してしまうため、ストライプがぼけてしまうことがある。そのため、カメラによって撮像された画像において、ストライプとして識別できない場合がある。
【解決手段】第２のストライプを、第１の隣接距離以下の移動距離で移動させる第２のストライプ移動制御部と、マスターとなる三次元形状物の画像の座標、移動距離から算出された位置、長さが記憶されたテーブルを参照し、第２のストライプが照射された被測定部の画像の座標から被測定部の長さを検出する第２の長さ検出部と、を備え、ストライプ選択制御部は、第１のストライプが照射された被測定部の画像において、ストライプとして識別されたときは、第１のストライプを選択制御し、ストライプとして識別されなかったときは、第２のストライプを選択制御する。 （もっと読む）

【課題】パン方向、チルト方向、更には、ROTATION方向の回転角度を広範囲で、磁場影響を受けずに、高精度で小型の光学式角度センサを提供すること。
【解決手段】測定対象部に設けられた２色以上の色パターンと、前記色パターン上に照射する光源と、前記色パターンの透過又は反射光を前記色パターンに集光する光学レンズと、前記光学レンズで集光された光強度検出する多画素光センサを備え、第一色パターンのＰａｎ方向の移動量を測定しＰａｎ方向角度を算出し、第二色パターンを第一色パターンから分離検出してチルト方向の移動量を測定しチルト方向角度を算出することで、色パターンを測定対象の回転に応じ回転する球面上に設置し、その所定位置を観測することで、広角度範囲で高精度で小型で測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 三次元構造物の位置や形状について被対象物の面の傾きや表面の状態（荒さ) に影響されない光学的な測定装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、共焦点光学系により被測定対象物からの反射光を検知する第一の光検知手段に加え、被測定対象物を覆うように取り付けた放物面反射ミラーと、放物面反射ミラーの放物面からの光を集光する集光レンズ、光の収束位置に設けられたピンホール、およびピンホールを介した光を検知する光量検知器から構成される第二の光検知手段を備え、第一の光検知手段の集光範囲を超えた光を検知することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 伸縮性を有する基板の伸縮状態を高精度に測定する。
【解決手段】 伸縮測定装置は、可撓性を有する基板を該基板の表面に沿って移送する移送部と、基板の移送方向に沿って所定間隔を隔てて基板に形成され基板の移送にともない該基板の移送経路上の第１及び第２検出領域内にそれぞれ移動された第１及び第２マークを検出する検出部と、第１及び第２検出領域間の移送経路に沿った基板の長さを基準長さに設定する基板長さ設定部と、第１及び第２マークの検出結果に基づいて基板の移送方向に関する伸縮情報を導出する導出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ３次元形状の測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の３次元形状の測定方法は、データベースからフィーチャー情報を読み出し、ボードを測定位置に移動し、測定ヘッドをボードの検査領域に移動し、３次元測定のための第１光と２次元測定のための第２光とを検査領域に照射して、反射された第１反射イメージと第２反射イメージとを撮影し、フィーチャー情報と、第１反射イメージおよび第２反射イメージのうち少なくとも一つ以上とを比較して検査領域の歪曲を検査し、検査領域を再設定し、再設定された検査領域を検査することを含むことを特徴とする。本発明の測定方法によれば、３次元形状を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）

【課題】余分な構成を必要とせずに、基準格子からの反射回折光によるノイズを除去することができるモアレ縞測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基準格子Ｌからの反射回折光によるノイズ成分については、アダマール変換部３２で変換された直交変換画像において、周囲の画素の画素値に対して特異な画素値を有する画素となる特異画素に変換される。したがって、特異画素算出部３３で求められた特異画素の画素値を周囲の画素の画素値で補間部３４が補間し、その補間部３４で補間された直交変換画像に対して逆アダマール変換部３５は逆アダマール変換を施して元の画像に戻すことで、ノイズを除去することになる。その結果、余分な構成を必要とせずに、基準格子Ｌからの反射回折光によるノイズを除去することができる。 （もっと読む）

【課題】ゲル状物の表面に形成されたなだらかな凹凸であっても検出することができるゲル状物の表面凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】検査位置４１に液晶パネル７１を設け、バックライト７２からの光を液晶表示部７３でマスクして縞模様の照明をシャーレ２の底面１１側から照射したり、面発光した状態の照明をマスクすることなくシャーレ２の底面１１側から照射できるように構成する。制御装置７４は、液晶パネル７１を全面発光した状態でシャーレ２の平面画像を取得して画像解析することで、シャーレ２の分離壁１３の延在方向を検出した後、検出した分離壁１３の延在方向に合わせた縞模様を液晶パネル７１に表示して、寒天３表面４での凹凸を検査する。 （もっと読む）