【課題】
走査型露光装置を用いる基板上のショット配列の精度を計測する計測方法において、より短時間でショットの配列精度を評価する計測方法を提供する。
【解決手段】
第１の露光においてウェハ上に転写されたショットＡ(i,j+１), Ａ(i,j)と、そのウェハを９０°回転させた第２の露光においてウェハ上に転写されたショットＢ(i,j), Ｂ(i+１,j)とを重畳させ、その重畳領域において、ショットＡ(i,j+１), Ｂ(i+１,j)に含まれる中実箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中空箱型マークが重なり合い、ショットＡ(i,j)に含まれる中空箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中実箱型マークが重なり合う。形成した重ね合わせマーク３７〜４２を、全ての重畳領域内のマークに関して計測し、これら重畳領域を形成する全てのショットの相対的な位置誤差および回転誤差を一括して演算する。 （もっと読む）

【課題】 渦巻きばねの撮影画像から内フックや外フックの位置を正しく特定する。
【解決手段】 形状測定装置は、渦巻きばねを撮影した撮影画像を入力する画像入力手段と、前記撮影画像を極座標変換した極座標画像を作成する画像変換手段と、前記極座標画像を用いて、前記撮影画像中の内フックが撮影されている内フック位置、及び／又は、外フックが撮影されている外フック位置を特定するフック位置特定手段を備えている。この装置によると、渦巻きばねの撮影画像から内フックや外フックの位置を正しく特定し、渦巻きばねの形状測定を正しく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】屈折・回折型レンズを用いたSchupmann光学系で配置される分光光学系により垂直落射照明を可能とし、かつ、ＤＵＶ−ＵＶ（２００ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１０と、視野絞り１１１と、リレーレンズ系１４０と、フィールドレンズ系１５０と、結像レンズ系１６０と、分光器１７０とを有し、リレーレンズ系１４０、フィールドレンズ系１５０および結像レンズ系１６０は、屈折型レンズおよび／または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系１４０と結像レンズ系１６０のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系１５０が２枚以上のレンズで構成され、そのうちの１箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物を再利用可能な状態で簡便かつ良好に固定保持することができ、気温等の影響を受けることなく精度の高い変位の測定を行なうことができる積層電子部品の変位測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】被測定物５０をテーブル３０の吸引穴４０Ａ〜４０Ｄのいずれかに所望の向きで置くとともに、開閉弁２２Ａ〜２２Ｄを「開」として真空ポンプ１４で吸引すると、被測定物５０はテーブル３０上に吸着される。位置調整部６４でレーザ照射検出部６０の位置を調整し、レーザ光を被測定物５０に照射する。被測定物５０を横に置けばセラミックス積層体５２にレーザ光が当たり、被測定物５０を縦に置けば電極５４にレーザ光が当たる。この状態で、通電部６２から被測定物５０に対して所定の通電を行なうと、被測定物５０が変位し、レーザ光に周波数変化が生ずる。これをレーザ照射検出部６０で検出することで、被測定物５０の変位が測定される。 （もっと読む）

【課題】容易に設置でき、しかも特定箇所の正確な位置情報を安定して取得できる位置情報取得システムを提供する。
【解決手段】伝送用光ファイバ線路２と、伝送用光ファイバ線路２の少なくとも１箇所に設けられた位置表示モジュール３と、伝送用光ファイバ線路２に試験光を入射する光パルス試験器１０と、を備えた位置情報取得システム１。位置表示モジュール３は、伝送用光ファイバ線路２に歪みを印加する歪印加部５を内蔵している。光パルス試験器１０は、戻り光に基づいて歪印加部５における歪みを検出可能である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコイルの板幅方向のエッジ位置を検出し、コイルの板幅方向のセンターを検出できるようにする。
【解決手段】鋼板を巻き取ってなるコイルＣの表面をその径方向から撮影する撮像装置１００と、撮像装置１００の撮影方向と略同方向からコイルＣの表面に光を照射する光源２００とを備える。検出装置３００は、撮像装置１００による撮影画像をモニタ３０６に表示するとともに、撮影画像に基づいてコイルＣの板幅方向のエッジ位置を検出し、その検出したエッジ位置を用いてコイルＣの板幅方向のセンターを検出する。そして、コイルＣの板幅方向のセンターと予め設定されているコイルスキッド４００のセンターとのずれ量を求めて、そのずれ量が所定の量を超えている場合、オペレータに警告を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面が光沢を有していても、また検査台が鏡面状であってもコントラストが良好でありかつ輪郭が明瞭な成形物の画像が得られる外形検査システムを提供する。
【解決手段】検査台上の被検査物の外形を検査する外形検査システムにおいて、撮像装置及び直線ＬＥＤ照明を用い、撮像装置を被検査物の直上位置に配置し、直線ＬＥＤ照明からの照明光線が直接被検査物に照射されずに検査台に照射される位置に直線ＬＥＤ照明を配置してなる外形検査システム。 （もっと読む）

【課題】測定対象が大きくても内視鏡を利用して精度良く測定対象の寸法を測定することを可能とする内視鏡用測定アタッチメント及び内視鏡システムを提供する。
【解決手段】内視鏡用測定アタッチメント３０は、内視鏡挿入部３Ａの先端部３ｃに装着されて、内視鏡挿入部３Ａが有する測定手段６を利用して測定対象の寸法を測定するためのもので、内視鏡挿入部３Ａの中心軸に略直交する測定方向Ｐの一方側に向かって測定手段６が有する基準点Ｏ６から測定対象の一端部までの距離を測定手段６によって測定可能に、内視鏡挿入部３Ａの先端部３ｃに固定される本体ブロック３１と、本体ブロック３１から測定方向Ｐの一方側と反対側の他方側に向かって突出し、測定対象の他端部に当接可能な当接部５１ａを有する当接ブロック３２とを備える。 （もっと読む）

【目的】パターンの用途或いは種別によって検査する際の判定閾値を多段階に変更可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、パターン形成されたフォトマスク１０１の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、フォトマスク１０１のパターン形成の基となる設計パターンデータを入力し、参照画像データを作成する参照回路１１２と、設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データとパターンの重要度情報とを入力し、領域データを用いて重要度情報に基づいた多値の解像度で示される画素値を有する領域画像データを作成する展開回路１４０と、領域画像データの各画素の画素値によって定まる複数の閾値あるいは複数の欠陥判定処理方法の１つを用いて、領域画像データが示す領域内の光学画像データと参照画像データとを画素毎に欠陥判定する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歯車歯形、ネジ形状、歯形・ネジのピッチなどを精度良く、しかも効率良く測定可能な非接触型の測定方法を提案すること。
【解決手段】輪郭形状測定方法では、被測定物体１の輪郭形状の理想輪郭形状に沿って等間隔の空隙３を作り出す補償用輪郭形状２ａを備えた補償用物体２を用意し、被測定物体１の理想輪郭形状からの偏差となる空隙３の変化を、光源４から空隙３の測定点Ｐ１に照射された光の通過光量の変化として、受光装置５において読み取ることができる。従来の輪郭投影機に見られるような画像分解能に関する光学的限界に支配されず、高精度の受光素子の有する光強度変化に関する分解能の限界まで輪郭形状の測定分解能を高めることが出来る。 （もっと読む）

【課題】 個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥と、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥とを両方一緒に検出する。
【解決手段】 検査対象物ＯＢを固定した固定治具１０を回転させながら回転軸方向に移動させるとともに、検査対象物ＯＢの微細格子構造Ｇにレーザ光を照射し、その反射光の強度と偏光状態とを検出する。反射光の強度が基準レベルより低下している場合には、その照射位置に、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥が存在すると判断する。また、上記大きな欠陥が存在していると判断した部位を除く領域において、反射光の偏光状態が理想の偏光状態に対して許容値を超える差を生じている場合には、その照射位置に、個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥が存在すると判断する。 （もっと読む）

【課題】ロール成形時における製品のダイナミックな変形を高速度カメラにより瞬時に判断し、その矯正のためのパラメータを自動計算するインラインロールの形状計測システムを提供すること。
【解決手段】ロール成形機３によって連続的に成形された後に走行切断機５によって所定長さに切断される金属製品７の形状を画像処理によって計測する形状計測システム２１であって、移動する金属製品７の上方からレーザ光を照射するレーザ光照射手段２５と、前記金属製品７における前記レーザ光が照射されている位置を撮像する撮像手段２３と、前記撮像手段２３によって得られた画像情報を処理する計算手段２６とを備え、前記撮像手段２３は、前記走行切断機５の下流側において前記金属製品７を撮像し、前記計算手段２６は、前記画像情報の時間変化に基づいて、前記金属製品７の基準形状に対する変形量を計測する。 （もっと読む）

【課題】従来は、白黒の標線マークをビデオカメラで撮像しているので、撮像素子間の補間計算まで行って測定分解能を高めることはできなかった。
【解決手段】標線マークＭ１には、Ｘ座標＝０を挟んで±πの範囲内に連続した黒色濃度分布が、上下対称に印刷されている。その対称軸は、標線Ｇ１と一致している。ビデオカメラ６で標線マークＭ１を撮影し、コンピュータ８により標線位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物の複数の画像を獲得するための装置を提供する。
【解決手段】対象物が内部を通って４つの画像化領域に進む複数のトンネルを含む４つの長手方向移送機により、ガス圧力の差を利用してトンネルを通じて対象物を搬送し、少なくとも１つの長手方向移送機が特定の位置に配置されたときに、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的な部分を露出させる可動部を有する４つの長手方向移送機と、対象物の長手方向軸線のまわりで対象物を回転させるように構成された３つの回転モジュールであって、各回転は、２つの長手方向移送機の間に位置付けられる、３つの回転モジュールと、４つの画像化領域のそれぞれの中で、対象物の画像を得るように構成された撮像装置３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】正確な圧力値を測定でき、かつ低コストに製造が可能な光ファイバセンサユニットを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサユニット１０は、互いに並列して配置した２本の光ファイバセンサケーブル１１，１１どうしを、所定の間隔を開けて接続部１２によって接続（連結）してなる。コア２１の外周面２１ａは、中間層（スキン層）２４によって被覆されている。この中間層（スキン層）２４は、保護層２６との間で圧力測定用光ファイバ２５を保持する。中間層２４の外周面２４ａには、圧力測定用光ファイバ２５が螺旋状に巻回される。 （もっと読む）

【課題】シールド用の蓋体を設けた電子部品において、蓋体と回路を実装した基板との接合状態を高精度に検査することが可能な外観検査方法を提供する。
【解決手段】部品が実装された基板２と、この基板２の少なくとも一面を覆うとともに前記基板２に設けた電極４に半田５を介して接合、保持された金属製の蓋体３とからなる電子部品の検査方法であって、前記蓋体３と基板２の接続部６の裏面より一定照度の光を照射することによりハレーションを発生させて、蓋体３と基板２との間の凹部２０を他の部分より暗く浮かび上がらせることで不良箇所を検出する電子部品の外観検査方法とした。 （もっと読む）

【課題】より正確に且つ高精度に性能試験中の車両の位置を計測することが可能な画像処理による非接触式位置計測装置を提供する。
【解決手段】ローラ２１上に設置されホイル１１を回転させて性能試験を行う車両１の位置を計測する画像処理による非接触式位置計測装置を、車両１に車両１の前後方向に直交するように直線状に施される第一のマーカ３１と、走査方向が第一のマーカ３１の長手方向に直交するように配置されて第一のマーカ３１を撮像するラインセンサ４と、ラインセンサ４によって撮像された画像上の第一のマーカ３１の位置を検出し、検出した第一のマーカ３１の位置に基づいて車両の前後方向の位置を算出する画像処理部５とから構成した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で短時間で螺子部の螺旋形状を非接触状態で測定する。
【解決手段】雄螺子１０の螺子部１３に測定光を照射して得られる投影光により螺子部１３の形状を測定する雄螺子１０の測定装置２０であり、螺子部１３を突出させた状態で雄螺子１０を支持する支持部２１と、測定光を螺子部１３の一方の側方側から照射可能な照射部と、測定光により得られる螺子部１３の軸線Ｌに沿う最大断面形状の投影像の外縁により、外縁に対応する螺子部１３の検出位置を検出する検出部３５と、検出位置と螺子部１３の軸線Ｌとの間の垂直距離を演算することで、螺子部１３の螺旋形状の半径を求める処理部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】非球面光学素子の表面形状を簡易かつ低コストで短時間のうちに測定し得る光波干渉測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１からのレーザー光束がハーフミラー１３において反射され、コリメートレンズ２２を介して基準板２５に照射され、基準面２５ａにおいて、一部は参照光束として反射され、その余は透過される。透過光束は、波面形状可変レンズ１５において、該光束が被検非球面レンズ１７の各表面位置に所望の角度で入射するように出力される。該光束はレンズ１７で反射されて被検光とされ、基準面２５ａに戻る。この被検光と参照光とによる干渉縞が干渉計ＣＣＤカメラ３１により撮像され、その干渉縞情報は制御演算部５１に入力され、該制御演算部５１からは、その干渉縞をヌル縞とすべく、レンズ１５に対してレンズ形状制御信号を出力して、その屈折力分布を変化させる。この出力信号値に基づいてレンズ１７の表面形状が演算される。 （もっと読む）

【課題】複数個の位置基準マークを複数台のカメラにより分担して撮影し、基板上に付された各位置基準マークの位置を正確に画像認識する電子部品の実装方法、及び表面実装機を提供する。
【解決手段】表面実装機を用いた電子部品の実装方法であって、（１）予め設定された基台上の各カメラ撮影位置Ａ、Ｂに前記各基板認識カメラをそれぞれ移動させて、各カメラ撮影位置近傍に位置する位置基準マークＦａ、Ｆｂの画像を撮影し、（２）前記各カメラ撮影位置Ａ、Ｂに対する現実の撮影位置の誤差を算出、（３）前記撮影により得られた各カメラ撮影位置Ａ、Ｂでの各画像データと、前記誤差とに基づいて前記基台上における位置基準マークＦａ、Ｆｂの位置を認識し、認識された位置基準マークＦａ、Ｆｂの位置に従って前記基板に対する電子部品の実装位置を決定する。 （もっと読む）