【課題】基板のずれ及び／又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板１０６の少なくとも２つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも２つのセンサ１４０Ａ、１４０Ｂを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット１１４又は１３０と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 （もっと読む）

【課題】 投影光学系の結像特性、特に露光光の角度特性を高精度に測定する。
【解決手段】 光源からの光を用いてマスクを照明する照明光学系と、マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置を用いて、基板を露光する露光光の角度分布を計測する。光源の波長をλ、投影光学系の射出側開口数をＮＡ、投影光学系の投影倍率をβとして、投影光学系の物体面にλ×１０／（ＮＡ×β）以上の線幅の特定パターンを配置し、特定パターンを照明し、投影光学系の光軸方向における複数の位置における特定パターンの像をセンサを用いて計測し、該計測結果を用いて露光光の角度特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】画像検査装置において、被検体からの光を複数の波長帯域に分けて画像を取得して画像検査を行う場合に、簡素な構成により高精度な検査を行うことができるようにする。
【解決手段】画像検査装置５０は、可視光Ｌ_１と、赤外光Ｌ_２とを、導体パターン２に照射する照明部４と、導体パターン２で反射された可視光Ｌ_１および赤外光Ｌ_２を結像する撮像光学系６と、撮像光学系６によって結像された像を撮像する撮像素子８と、導体パターン２と撮像素子８との間の光路上で進退可能に設けられ、可視光Ｌ_１の透過を阻止するとともに赤外光Ｌ_２を透過させる可視光カットフィルタ７ｂと、導体パターン２と撮像光学系６との間の光路上で進退可能に設けられ、赤外光Ｌ_２の透過を阻止するとともに可視光Ｌ_１を透過させる赤外光カットフィルタ７ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークがひずんでいる場合でもワークの被露光領域に応じてマスクのパターンを精度良く露光転写することができる露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】ワーク１２とマスク２１の両アライメントマークをアライメント検出系５２で検出する工程と、両アライメントマークのずれ量に基づいて、マスク２１とワーク１２の位置ずれ量とワーク１２のひずみ量とを算出し、算出された位置ずれ量に基づいて、アライメントを調整する工程と、算出されたひずみ量に基づいて、光源６１からの露光光の光束を反射する平面ミラー６６の曲率を補正する工程と、を備える。曲率補正工程は、露光光束の光路ＥＬにおいて平面ミラー６６より露光面側からレーザー光Ｌを照射し、カメラ９３によって撮像する工程と、平面ミラー６６の曲率を補正した際に撮像されるレーザー光Ｌ、Ｌ´の変位量Ｓ１，Ｓ２を検出する工程によりひずみ量α、βと対応するように曲率補正する。 （もっと読む）

【課題】アライメントテスタの校正作業に要するコストを低減できるとともに、アライメントテスタの校正作業を効率的に行うことができるアライメントテスタ校正装置を提供する。
【解決手段】校正ブロック５１・５２・５３と、校正ブロック５１・５２・５３を支持する支持部材４０と、左右方向における支持部材４０の傾斜を調整する傾斜調整機構２０と、第一レーザー６１および第二レーザー６２を照射するレーザー墨出し器６０と、校正ブロック５１・５２・５３が基準位置Ｐ１・Ｐ２・Ｐ３に位置決めされたときに第一レーザー６１を受光する第一受光器７１と、校正ブロック５１・５２・５３が基準位置Ｐ１・Ｐ２・Ｐ３に位置決めされたときに第二レーザー６２を受光する第二受光器７２と、左右方向に沿って支持部材４０を移動させる左右方向スライド機構３２と、上下方向を回動中心の軸方向として支持部材４０を回動させる回動機構３３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】箱体で一体化されていて高温環境での使用にも適う光ファイバセンサを実現。
【解決手段】 箱体１１と、一対のファイバ保持具２０，３０と、両保持具間に張られた部分が内部空間１２に収容されその張設部分にＦＢＧ８ａが形成されている光ファイバ８とを備え、ファイバ保持具２０，３０が離接方向への相対移動を許容する形で箱体１１に装着されており、巻付部材からなるファイバ係止部２１，３１と被測定物に対する取付部２６，３６との間の中継部２３〜２５，３３〜３５に断熱材が組み込まれており、箱体１１には冷却手段１５が付設されている。中継部２３〜２５が上層断熱板２３と中層連結板２４と下層断熱板２５とを具備し、ファイバ係止部２１と中層連結板２４とが上層断熱板２３を挟んで断熱性締結具２８にて連結され、中層連結板２４と取付部２６とが下層断熱板２５を挟んで耐熱性締結具２７にて連結される。ファイバ保持具３０も同様である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の振れ量を正確に測定可能な振れ計測装置及び振れ計測方法を提供する。
【解決手段】振れ計測装置（１）は、検査対象物（１０）の中心軸と略平行な検査方向に移動可能なセンサ保持部（５）と、センサ保持部（５）に取り付けられ、検査方向に沿った複数の測定位置において、検査方向と直交する面における検査対象物の位置を表す位置情報を取得する位置センサ（７ａ、７ｂ）と、センサ保持部（５）を検査方向に沿って移動させる駆動部（６）と、複数の測定位置で取得された位置情報から、検査対象物（１０）の中心位置を求め、その中心位置と検査対象物（１０）の中心軸との位置関係から少なくとも一つの測定位置における検査対象物（１０）の振れ量を算出する処理部（８３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】溶接部などの局所的な歪を近傍域内で測定するのに適した態様でＦＢＧ形成済み光ファイバを組み込む。
【解決手段】周面が形成された巻付部材１１と、周面が形成された巻付部材１２と、両巻付部材１１，１２の各周面に巻き付けられており両巻付部材間に張られた部分にＦＢＧ５ａが形成されている光ファイバ５と、被測定物の歪発生部３の両側に分かれて固設され一方側１で巻付部材１１を支持し他方側２で巻付部材１２を支持する支持部１３〜１５とを備える。光ファイバ５の巻き方は巻付部材１１，１２で逆巻きにする。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤカメラを用いた寸法検査において、被測定材が所望の値であるか否かを効率よく且つ精度よく行うこと。
【解決手段】金属鋼板を切断するための切断情報を入力する切断情報入力装置と、前記切断情報に応じて前記金属鋼板を切断して被測定材とする切断装置と、前記被測定材を載置する載置面、前記載置面上の前記被測定材の端部位置を認識するＣＣＤカメラ、前記端部位置から前記被測定材の寸法の測定情報を得る測定手段、前記測定情報と前記切断情報とを比較する比較手段、前記比較手段により比較結果を表示する表示手段、を具備する寸法検査装置と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して、簡易に形状を測定する。
【解決手段】ビデオカメラ１４によって取得された複数の画像から少なくも２枚以上の画像を選択し、選択された画像間での複数のマーカの距離の和に応じた角度に基づいて、選択された画像のうち少なくとも１つの画像を回転させ、回転された後の選択された画像に含まれる複数のマーカの画像上での位置に基づいて、互いに撮影位置及び撮影方向が異なる左ビデオカメラ及び右ビデオカメラの各々の撮影位置及び撮影方向を推定し、複数個の画像データ、推定された左ビデオカメラ及び右ビデオカメラの各々の撮影位置及び撮影方向に基づいて、複数個の画像データが示す複数の画像の各々の複数のマーカの位置を推測することにより、ホイール１２の少なくとも一部の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多重回折格子記録媒体のそれぞれの模様を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法に関する。
【解決手段】多重回折格子記録媒体の裏面側から透過光を照射する透過光照射部と、多重回折格子記録媒体を保持する保持部と、多重回折格子記録媒体の透過光軸方向に設けられ、多重回折格子記録媒体の透過光を偏光する偏光素子と、偏光素子を前記多重回折格子記録媒体の透過光の光軸を中心に所定の角度に回転する偏光素子回転部と、所定の角度に応じて多重回折格子記録媒体の透過光による各模様の読取を行う画像読取部を有する画像撮影部と、画像撮影部により読取られた各模様を演算処理し、あらかじめ記録した基準模様と比較して良否判定を行う画像処理部と、画像処理部により演算処理された模様と、良否判定の結果を表示する出力部を有する。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケーブル長さを正確かつ容易に計測できるようにする。
【解決手段】ケーブル計測管理装置１００は、ケーブルドラム９から引き出されたケーブル２を支持するケーブル支えユニット１５−１、１５−２と、ケーブル支えユニット１５−１、１５−２により支持されたケーブルの表面に光を照射し、その反射光を撮像面に結像させることにより該ケーブル表面の画像を撮像し、連続位置で撮像された画像間の相関をもとにケーブル２の長さを計測するケーブル計測ユニット１３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された紡糸孔の内部に付設される複数個の流動調整部材の形状変化を検査して、紡糸口金部材である流動調整部材のピン軸の形状異常を少なくとも検出する異常検査装置とその方法を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラを用いて、保持部材に垂直に立設された複数個の流動調整部材を撮影して画像データを取得し、これら画像データを二値化処理してから流動調整部材の上端面形状を認識し、認識した上端面形状の二値化画像データからその中心座標値を算出して、中心座標値が正常な値より許容値を超えてずれていた時に異常と認識する検査装置とその方法とする。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、マスクの面形状の情報を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】レチクルの形状情報を計測する計測装置において、投影光学系ＰＬの物体面側に配置され、複数の位相マーク２０が形成されたパターン面を有するレチクルＲと、投影光学系ＰＬの像面側に配置され、位相マーク２０に対応して複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、撮像素子３８の検出信号からそのパターン面の形状情報を求める演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】より小さいターゲット上のより正確な測定 を行うことができる、改善されたメトロロジ方法および基板上の複数のターゲットの特性を測定するように構成されたメトロロジ装置等を提供する。
【解決手段】メトロロジ装置を配置してオフアクシス照明モードで複数のターゲットを照明する。１つの１次回折ビームのみを用いてターゲットのイメージを得る。ターゲットが複合格子である場合、回折格子のイメージの強度からオーバーレイ測定値を得ることができる。イメージフィールド内の格子の位置変動に起因するエラーについてオーバーレイ測定値を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸発管が肉盛溶接された場合であっても、蒸発管の減肉量を正確に算出することができるボイラ火炉蒸発管の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】蒸発管４に固定される支持部１４と、支持部１４に支持される変位センサ１２と、変位センサ１２からの信号を処理する信号処理装置１６とを備える検査装置１１を用いて、蒸発管４の基準位置を示す基準マークを含む蒸発管４の表面形状を計測する。計測された蒸発管４の表面形状を、信号処理装置１６によって、記憶手段に予め記憶された減肉がない状態における、前記基準マークを含む蒸発管４の基準表面形状に重ね合わせて、両者の差分から蒸発管４の減肉量を算出する。このとき、基準マークに基づいて、蒸発管４の軸方向の同一位置における表面形状と基準表面形状とを重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】互いのウェハを位置合わせして重ね合わせるときに、ステージの回転量が所定量を超えてしまうと、ステージの正確な位置を把握することが困難となる。ステージの回転量が所定量を超えないように制御するには、そもそも最初にステージに置かれるウェハの位置を厳密に管理する必要がある。
【解決手段】位置検出装置は、第１基板に設けられた少なくとも２個の第１基板指標を一度の撮像動作により撮像する第１撮像ユニットと、第１撮像ユニットにより撮像された画像に基づいて第１基板指標の位置を計測することにより、第１基板の姿勢を測定する測定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）