【課題】簡単な設備でワークの段積み状態を正確に認識することができるワーク段積み状態認識装置を提供する。
【解決手段】ワーク段積み状態認識装置１は、ワーク群Ｗの上方位置から下方を撮像するカメラ装置２と、ワーク群Ｗの側面に対向して配置されてカメラ装置２に向かってワーク群Ｗの側面を映す鏡面体６と、カメラ装置２で撮像した画像に基づいてワーク群Ｗのワーク段積み状態を認識する認識部３を有しており、ワーク群Ｗの側面を鏡面体６に映して上面と共に上方から撮像することにより、ワークｗａの立体形状を正確に認識する。 （もっと読む）

【課題】インデックスタイムを効果的に短縮することのできるＴＣＰハンドリング装置を提供する。
【解決手段】ＴＣＰハンドリング装置１において、キャリアテープにおける露光単位マーク５４を取得する第２カメラ６ｂと、ＴＣＰの外部端子およびコンタクト部の接続端子が正しく接続するように、位置ずれ補正を行うプッシャステージ４とを設ける。取得した露光単位マーク５４の画像情報に基づいて、試験部に新たな露光単位が位置したと判断したときに、プッシャステージ４は位置ずれ補正を行い、位置ずれ補正を行った後、次の露光単位が試験部に位置すると判断するまでは、コンタクト不良となる以外、プッシャステージ４は位置ずれ補正を行わない。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】構造物にひび割れが発生した場合に、そのひび割れの発生を、光ファイバを使用した簡易な構成でより確実に確認することができるひび割れ検知センサを提供する。
【解決手段】可視光が導入される光ファイバ２であり、その全長内の一部の区間部分２axが、検知対象部Ｗに発生するひび割れに応じて破断するように検知対象部Ｗに固定される光ファイバ２と、区間部分２axを被覆するように光ファイバ２に装着されており、区間部分２axが破断した状態で光ファイバ２に可視光を導入した時に区間部分２axの破断箇所から漏出する可視光を透過させつつ散乱させる可視光散乱機能と区間部分２axの防水を司る防水機能とを有する被覆部材３とを備える。 （もっと読む）

【課題】皮革に摩擦力がかからず、皮革に形成された溝の深さを高精度に測定することができる皮革残膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】スリットＳＷが形成されている皮革Ｗ１の部位における残膜の厚さを測定する皮革残膜厚測定装置１において、皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１の裏面に線状の先端部１１を接触させて、皮革Ｗ１を支持する基台１０と、基台１０で支持されている皮革Ｗ１の両端部側の部位が基台１０から離れて延出し、基台１０で支持されている皮革Ｗ１のスリットＳＷが開口するように、皮革Ｗ１の両端部を引っ張る皮革引っ張り手段２０と、皮革引っ張り手段２０で引っ張られている皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１における残膜の厚さを測定する残膜厚測定手段２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】設置の際に光ファイバにかかる応力を低減することが可能な歪センサを提供する。
【解決手段】応力を受けて光ファイバ２０に屈折率変化を生じさせる歪センサであって、棒状の複数のブロック１０と、前記複数のブロック１０のそれぞれをブロック間に間隔を空けて貫通する光ファイバ２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物保持機構と干渉光学系との相対的移動を高精度に行える機構を有する測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を被測定面軸Ｓの回りに回転させる被測定物回転機構７０および該回転機構を搭載し被測定面軸と直交または平行方向に直線移動させる第１スライド機構７を備える被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を保持し該光学系をその測定光軸Ｌと被測定面軸Ｓとのなす測定角度を変更可能に旋回させる光学系旋回機構８０および該旋回機構を搭載し第１スライド機構７の移動方向と直交方向に直線移動させる第２スライド機構８を備える干渉光学機構Ｂとを備え、測定角度を順次変更した毎に被測定物１０を回転させつつ光干渉測定を行う。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光源と受光センサのみの簡易な装置で容易に極細のパイプ形状を含む丸棒の外周面の疵や汚れ等の表面欠陥を検出することができる丸棒検査装置及び丸棒検査方法を提供することにある。
【解決手段】
パイプ形状を含む丸棒の軸に略垂直に外周面に平行光であるレーザ光を照射するレーザ光源と、丸棒の軸断面視で、丸棒の軸におけるレーザ光の入射方向とのなす角度が９０度を超え１８０度未満になるように設けられた受光センサとを備え、レーザ光の外周面での反射光を受光センサで受光し、受光した光のレベルから外周面を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置精度性能が向上した、改善されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】基準構造に対してある方向に移動可能である支持部と、第１の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第１測定信号を提供するように構成される第１位置測定システムと、第２の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第２測定信号を提供するように構成される第２位置測定システムと、（ａ）第２周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第１測定信号をフィルタリングし、（ｂ）第１周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第２測定信号をフィルタリングし、（ｃ）フィルタリング後の第１測定信号とフィルタリング後の第２測定信号とを結合して、上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す結合測定信号を生成するように構成されるプロセッサと、を備える。 （もっと読む）

【課題】マシンビジョン検査システムでのプログラミングステップアンドリピート動作のためのＧＵＩを提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムは、撮像部と、撮像部の視野内に１つまたは複数のワークピースを保持するステージと、制御部と、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）とを含む。ユーザは、マシンビジョン検査システムを操作して、ワークピース特徴の第１の構成に対して実行すべき検査動作セットを定義する。ＧＵＩも操作して、ステップアンドリピートダイアログボックス３００を表示させ、定義された検査動作セットを実行するデフォルトステップアンドリピートロケーションセットを定義する第１の複数のパラメータを定義する。さらに定義されたデフォルトステップアンドリピートロケーションセットのサブセットである、検査動作を実際に実行すべき検査ステップアンドリピートロケーションセットを定義する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤロープのピッチを正確に測定することのできるワイヤロープピッチの測定方法とワイヤロープピッチ測定装置を提供し、さらに、ワイヤロープピッチに関する品質不良の発生を抑制できるワイヤロープの製造方法を提供する。
【解決手段】ワイヤロープ３０の側面に対向させたレーザ変位センサを用いて、ワイヤロープの径方向断面に沿ってワイヤロープ３０の側面にレーザ光３２を照射して該側面の変位の計測を行いつつ、レーザ変位センサをワイヤロープ３０の長さ方向に相対移動させ、レーザ変位センサのワイヤロープ３０に対する前記長さ方向の相対位置と前記変位の計測値との関係から前記ワイヤロープのピッチを算出する。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に傷が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】被包装物の平面サイズを正確に特定することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】計量包装値付機において、被包装物である商品が載置される載置面には、載置面に載置された商品の輪郭線の少なくとも一部と交差するような模様が形成されている。計量包装値付機の制御部は、商品が載置された状態の載置面を撮像して得られるデータと商品が載置されていない状態の載置面を撮像して得られるデータとの差分データから、商品の平面サイズを特定する。 （もっと読む）

【課題】透明体からなる板状物であっても輪郭を明確に特定する形状認識装置を提供する。
【解決手段】板状物１０の輪郭を検出する形状認識装置６であって、板状物１０を保持する保持テーブル３と、保持テーブル３上に保持され板状物１０を撮像する撮像手段６１と、撮像手段６１下側に配設された照明手段６２と、照明手段６２によって照射され保持テーブル３上に保持された板状物１０で反射した反射光のうち撮像手段６１による撮像領域の正反射光を遮蔽する遮蔽手段６３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】積層弾性体の変形測定時に変形量の測定が容易な積層支持体と、この積層支持体を用いた変形測定方法を得る。
【解決手段】積層支持体１２の積層弾性体１６は、金属板１８とゴム板２０とを張り合わされ、これらの外側端面を周囲から被覆する被覆ゴム２２を有する。被覆ゴム２２の外周面には、ＬＥＤ２６が取り付けられている。積層弾性体１６がせん断変形した状態で、ＬＥＤ２６を発光させて撮影し、変形量を測定する。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、変位量計測装置、及び、変位量計測装置の姿勢角決定方法を提供する。
【解決手段】エンジンマウント１０のマウント軸であるボルト１２の両端に固定した、半径が既知である２個の球体１３・１３の変位を、それぞれについて３箇所ずつレーザー変位計３１〜３３、３４〜３６で計測する球体変位計測工程と、球体変位計測工程で計測した球体１３・１３の変位結果に基づいて、球体１３・１３の中心Ｉ・Ｊの３次元座標Ｘ１・Ｘ２をそれぞれ算出する座標算出工程と、座標算出工程で算出した２個の３次元座標Ｘ１・Ｘ２に基づいて、ボルト１２の中心Ｋの３軸並進量、及び、ボルト１２の２軸回転量θ・φを算出するマウント軸変位算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価な２軸スライダーを用いて、高精度に（半）透明基板の板厚分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】（半）透明基板の一方の面から光を入射し、表面と裏面の反射位置を検出して板厚を測定する変位センサ−を用いた板厚分布を測定する方法であって、変位センサーの周辺に少なくとも３個のセンサーを配置し、これらのセンサーは、変位センサーと（半）透明基板との位置関係を測定して、（半）透明基板に対する変位センサーの位置及び姿勢を一定に制御しながら（半）透明基板の板厚分布を測定する方法であり、半透明基板における測定においては、半透明基板に接した、液体層を介して板厚の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】測定物を保持する際に測定物が自重の撓みにより変形されることのない測定物保持装置を提供する。
【解決手段】測定物１１の平面度測定に用いられる測定物保持装置２０であって、測定物１１が載置される載置面１１ａを有する載置台４０と、載置台４０に、載置面４００２から突出して測定物１１を下方から複数箇所で支持し載置面４００２からの高さが変更可能に設けられた複数の測定物支持部材６０と、各測定物支持部材６０が測定物１１に対して均一な接触圧力で接するように各測定物支持部材６０の載置面４００２からの高さを変更する制御手段８０とを備える構成にした。 （もっと読む）