【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】内管の周囲に巻き付けられたワイヤの巻き付け不良をタイムリーに検出する。
【解決手段】ワイヤＷを内管ゴム１４の周囲に巻き付けるワイヤ巻き付け装置２０にはワイヤ補強層検査装置１０が設けられている。ワイヤ補強層検査装置１０は、ワイヤ補強層１６の表面形状を測定する表面形状測定装置５０と、その表面形状に基づきワイヤ補強層１６の巻き付け不良を検出するコントローラ７０とを備えている。表面形状測定装置５０は、ワイヤ補強層１６にレーザ光５４を照射するレーザ光射出部５２と、反射したレーザ光５５をイメージセンサに結像させてワイヤ補強層１６の表面形状を測定する測定部５６とを備えている。回転盤２４が９０度回転する毎に、表面形状測定装置５０でワイヤ補強層１６の表面形状を測定し、コントローラ７０に取り込まれた最新の画像データと直近の画像データとを比較することで、ワイヤＷの巻き付け不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】異形断面を有する長尺部材のねじれ方向、及びねじれ角をインラインで高精度に測定することができるねじれ検出方法、及びねじれ検出装置を提供する。
【解決手段】異形断面形状を有する長尺部材のねじれ角及びねじれ方向を検出するねじれ検出方法である。周方向に沿って所定角度で離間した少なくとも二つ以上の位置からの長尺部材の夫々の投影線径を、少なくとも一つの軸方向任意位置において測定して、夫々の投影線径を測定する測定工程と、測定工程において測定した夫々の投影線径の実測値を、測定対象となる長尺部材の断面形状と同一の断面形状をなす断面モデルにおいて、周方向に沿って所定角度で離間した少なくとも二つ以上の夫々の位置からの投影線径から算出される断面モデルの相関関係と比較して、実測した長尺部材のねじれ角及びねじれ方向を求める割出工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ウエハテーブルの位置計測を高精度に行う。
【解決手段】エンコーダ本体（１６Ｙａ，１６Ｙｂ等）から射出されるレーザ光（Ｌｙ１，Ｌｙ２等）は、ウエハテーブルＷＴＢにＰＢＳ１８を介して外部から入射し、露光領域ＩＡの直下に位置する点ＩＡａにて、グレーティング２４に到達し、該グレーティングで回折される。そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。従って、ＰＢＳを透過した第１の偏光成分が、第２の偏光成分と再度合成されるまでの間は、ウエハテーブル内を通過し、外部雰囲気中を進行することが無いので、測長ビームがウエハテーブルの周辺雰囲気の揺らぎの影響を受けることなく、高精度なウエハテーブルの位置計測を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】オーバレイ測定を向上させる。
【解決手段】生成物マーカ格子の非対称性などの生成物マーカ格子の横プロファイルに関する情報が測定結果から判定される。オーバレイマーカ格子がレジスト膜に印刷された後、生成物マーカ格子に対するオーバレイマーカ格子の横オーバレイがスキャトロメータによって、且つ適宜の処理モデルと組み合わせた判定済みの非対称情報を使用して測定される。アライメントセンサの情報を使用して、先ず生成物格子を再構築してもよく、この情報はスキャトロメータに送られ、スキャトロメータは生成物とレジスト格子との積層を測定し、積層によって散乱された光は、オーバレイを計算するために積層のモデルを再構築するために利用される。 （もっと読む）

【課題】大量の遺物を複数方向から同時計測し、欠損の少ない遺物単位の三次元表面モデルを取得する、レーザ計測装置を用いて被計測物を複数方向から同時計測するシステムを提供する。
【解決手段】ガラステーブル１１上に載置した複数の被計測物Ｒ１〜Ｒ４及び計測用マーカ１６に対し、上下方向からレーザを照射し上記複数の被計測物及び計測用マーカの三次元座標の計測データを取得する複数のレーザ計測装置１２〜１４と、モデリング生成部１５とからなる。モデリング生成部１５は、計測用マーカ１６に関する特徴線について位置合わせを行い、幾何変換行列を獲得した後で、各レーザ計測装置１２〜１４から得られた単位点群を幾何変換して統合データを取得し、ラベリング技術を用いて被計測物毎の統合データに分離してメモリに記憶する。 （もっと読む）

【課題】撮像された被計測物の撮像画像がボケていても、精度良く被計測物の位置を計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】被計測物Ｗを載置するとともに複数の反射光を放出するマーカー９０を備えたステージ７２と、前記マーカー９０に光を照射する光照射部４８と、前記被計測物Ｗと前記マーカー９０とを異なった視線方向から撮像する複数の撮像装置２０，２１とを備え、前記複数の撮像装置２０，２１により撮像された撮像画像Ｂから前記マーカー９０のマーカー画像１００を抽出して、前記マーカー画像１００から点拡散関数を求める点拡散関数算出部３６と、前記点拡散関数を用いて前記撮像画像Ｂを画像変換して変換画像Ｇを生成する画像生成部３７と、生成された前記変換画像Ｇから前記被計測物Ｗの位置を算出する位置算出部３９と、を有することを特徴とする位置計測装置１。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 地盤に形成した深い穴内に容易に設置することができ、地盤歪を高精度で検出可能な地盤歪検出端を提供する。
【解決手段】 複数の短尺管体１５をつなぎ合わせて変位標識管体５を形成し、その変位標識管体５に沿って光ファイバセンサ６を張力を掛けた状態で配置し且つその光ファイバセンサ６の複数個所を固定治具７で変位標識管体５に固定して検出端３を構成する。この検出端３は、短尺管体１５をつなぎ合わせながら且つ光ファイバセンサ６を固定しながら縦穴２内に挿入することで深い縦穴２内に容易に設置可能であり、挿入した後は縦穴２内に充填材８を充填して地盤と一体化することで、地盤歪に応じて光ファイバセンサ６に歪を生じ、それを散乱光強度分布の観測で検出することで地盤に発生した歪分布を精度良く測定できる。 （もっと読む）

レーザベースの変位検出器(26)を使用して、透明な物品(20)の一つの面に塗布された化粧コーティング(22)を検出し、それによって、レーザ加工システムの中に装填されているときにどの面が最も上になっているかを判定する。具体的には、可視光に対して透明で、レーザ加工システムの中で適切な向きにすることが特に困難である物品(20)が、レーザベースの変位検出器(26)を物品(20)上の部分コーティング(22)と共に使用することによって、向きを定められる。 （もっと読む）

【課題】剛体電車線の幅方向の摩耗に関する情報を得ることが可能で、剛体電車線の状態を高精度で簡易に測定する剛体電車線測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レール上を移動する保守用車に搭載されて剛体電車線１０の測定を行う剛体電車線測定装置であって、ローラー支持部材１３１によって回動可能に支持されると共に、前記剛体電車線１０に接触し前記保守用車の移動に伴い回転する摺接ローラー１３２と、前記摺接ローラー１３２の回転を検出するロータリーエンコーダー１３３と、前記剛体電車線１０の幅方向にわたる形状を計測するラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０と、前記ラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０を移動可能に搭載するリニアレール１４１と、前記ローラー支持部材１３１と前記リニアレール１４１とが搭載される計測基台１３０と、前記摺接ローラー１３２を一定の荷重で前記剛体電車線１０に接触させる定荷重バネ１２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上のマークの位置をより短い時間で検出し、基板へのパターンの転写のために要する時間を削減する。
【解決手段】原版のパターンを基板の複数のショット領域に順に転写する。各ショット領域は、チップ領域１０２ａとそれを取り囲むスクライブライン領域Ｓ１とを含む。露光装置は、走査方向に駆動されている基板における隣接する第１スクライブライン領域Ｓ１、第２スクライブライン領域Ｓ２を同時に観察し、前記第１スクライブライン領域、前記第２スクライブライン領域にそれぞれ配置されている第１マーク１０４ａ、第２マーク１０４ｂからの光を検出する検出器と、前記検出器から出力される検出信号を処理して前記第１マーク、前記第２マークの位置を決定する処理部とを備える。前記基板は、前記第１マークおよび前記第２マークの位置に基づいて位置決めされ、露光される。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】平面の形状を効率、精度よく測定できる平面形状測定装置、測定方法の提供。
【解決手段】光源１１からの射出光の一部を反射させて参照光を生成する部分反射板１４、残りの前記射出光を収束レンズ１５により収束された照明光に対して被測定平面２ａを傾斜させた支持状態を保ち被測定物２を光軸方向に相対移動可能な第１支持機構２０、被測定平面での反射光を被測定平面に向けて再び反射させる反射球面３０ａを有する反射鏡３０、反射球面の収束点ｃが照明光の収束点Ａと重なるように反射鏡を支持し、被測定物の移動に応じて照明光の光軸方向且つ反射光の光軸方向に反射鏡を移動可能な第２支持機構４０、被測定平面及び反射球面からの反射光と参照光から干渉縞を取得する撮像装置１８等と被測定平面の測定領域全体に照射され取得された第１干渉縞、照明光の収束点Ａが被測定平面上に位置するときの第２干渉縞から形状を算出する演算・制御部５０からなる。 （もっと読む）

本発明は、ガラスファイバを歪みセンサとして使用する、光学歪み測定装置（１）に関する。この歪み測定装置は、被覆を有するガラスファイバを有する。この被覆は、ポリエーテル・エーテル・ケトンと、最小１０重量パーセント〜最大４０重量パーセント添加混合される粒径０．０８μｍ〜１２μｍの粒状無機充填材との混合物を有する。被覆の外径は、０．２ｍｍ〜１．２ｍｍである。被覆の外径Ｄとガラスファイバの直径ｄとの比率Ｄ／ｄは、２〜６である。ガラスファイバへの被覆の圧力は、ガラスファイバと被覆との間の相対運動が実質的に生じ得ない程度である。 （もっと読む）

【課題】エレベータ昇降路内にレーザ光を遮断する障害物が存在したとしても、正確な昇降路内の位置情報を取得することができるエレベータ昇降路内の位置情報取得装置と、この位置情報取得装置のガイド装置とを提供する。
【解決手段】エレベータの昇降路１内の被測定物の位置情報を取得する装置であって、昇降路１内の被測定物をレーザ光で走査して、走査されたレーザ光の被測定物からの反射光を受光して被測定物までの距離を計測し、計測された被測定物までの距離と被測定物へのレーザ光の照射角度とに基づいて被測定物の位置情報を測定するレーザスキャナ１０と、レーザスキャナ１０により測定された被測定物の位置情報を記憶する記憶部５３と、を有してなり、レーザスキャナ１０は、昇降路１内を昇降するかご３０に設けられたガイド部材３０ａ，４１，４２，４３に移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】被検物を搬送しながら外観などの画像検査を行う被検物の画像検査方法にあって、被検物を様々な方向から広範囲に亘って確実に検査できる画像検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像検査方法は、水平回転する第１の回転体１の外周面ｍにおいて側方に臨むように形成された第１の吸着孔１１に、単一の被検物ｂの第１の部位ｂ１を吸着させて搬送し、第１の画像検査手段１２により画像検査を行った後、水平回転する第２の回転体２の周縁部ｎにおいて上方に臨むように形成された第２の吸着孔２１に、被検物ｂの第１の部位ｂ１と異なる第２の部位ｂ２を吸着させて受け渡し、第２の吸着孔２１に吸着させて搬送し、第２の画像検査手段２２により画像検査を行うものである。 （もっと読む）

物体（３）の表面の歪みを測定するための装置であって、中心セクション（６）と、中心セクション（６）の両側に配置された２つの端部セクション（８）とが設けられたキャリア（５）を有する。歪み要素（１０）が、キャリア（５）に接続され、この歪み要素（１０）には、歪みセンサ（１１）が設けられている。歪みを測定するための装置（１）は、所定の距離離れて物体（３）の表面に直接取着されることができる２つの支持脚（９）を有する。キャリア（５）の２つの端部セクション（８）は、各セクションで１つの支持脚（９）に着脱可能に接続されている。
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【課題】 芯材となる紙管に紙を巻き取らせて形成された小巻取を印刷機等に供した場合に、紙が巻き解かれる速度変動で印刷ずれが生じないよう、円筒度が所定の許容範囲内に収まっている紙管のみを選定する円筒度測定装置を提供する。
【解決手段】 紙管製造機で製造された紙管Ｃの面間長さを所定の大きさとするために紙管Ｃの両端部を切断する紙管仕上装置１の仕上切断工程10に供されている紙管Ｃの中間部であって、最上部にある被測定位置Ｔにレーザー光を入射させる測距装置４を配設する。仕上切断のために回転する紙管Ｃにレーザー光を入射して被測定位置Ｔまでの距離の変化を捕捉し、紙管Ｃの円筒度が所定の許容範囲に収まっているか否かを判断する。収まっていない紙管Ｃにはマーキング装置７によりマーキングして、作業者が当該紙管Ｃを排除する。 （もっと読む）

【課題】外周縁の断面形状が表裏で異なるボタンの表裏を確実に判別することのできるボタンの表裏判別装置を提供する。
【解決手段】ボタンＢが載置される載置面Ｗａと、載置面Ｗａに斜光Ｌａを照射する斜光照明装置７と、記斜光Ｌａが載置面Ｗａに照射された際に、載置面上に形成されるボタンＢの影が投影されるように、複数の受光素子が配列されて載置面Ｗａに埋設されたイメージセンサ３と、イメージセンサ３の出力電圧を所定の検出レベルと比較することにより、ボタンＢの影を検出する検出手段１６と、検出レベルを、斜光照明装置７からのイメージセンサ３の各受光素子の距離に応じて斬減するように設定する検出レベル設定手段１９と、斜光Ｌａを照射した際に、前記検出手段１６で検出された影の長ＬＳさに基づいてボタンＢの表裏を判別する制御手段５とを設ける。 （もっと読む）