【課題】光ファイバ式岩盤内変位計システムにおいて、比較的小口径のボーリング孔内に多段に変位計を設置することができるようにする。
【解決手段】地盤に形成したボーリング孔１の浅い領域に複数段に設置した浅部用アンカー３ａ〜８ａと、深い領域に複数段に設置した深部用アンカー９ａ〜１４ａと、ボーリング孔の開口部に設置されて浅部用アンカーに先端部分が結合され浅部用アンカーの変位に応じて進退する変位伝達ロッド３ｂ〜８ｂの基端部分に結合され浅部用アンカーの変位量を検出する変位量検出センサーユニット３ｃ〜８ｃと、深部用アンカーの側近に設置され深部用アンカーの変位量を検出する深部用変位計９〜１４を備え、変位伝達ロッドは、各変位伝達ロッド毎にそれぞれに専用の小口径の保護シース３ｄ〜８ｄによって１本ずつ包囲することにより変位伝達ロッドの変位がボーリング孔内に充填されるグラウト材１６によって阻害されないように構成する。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、照明部が所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射する。紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が前記バンドパスフィルターに照射されると共に、熱線反射部材が前記バンドパスフィルターの後段の光路上に挿抜可能に設けられ、前記被検基板の非検査時に前記熱線反射部材が前記光路上に挿入されて、前記バンドパスフィルターを透過した熱線が前記熱線反射部材により反射されて前記バンドパスフィルターに照射される。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。
【解決手段】ターゲット面１４２に配置されたターゲット１４０の表面１４４に表示されたパターンを測定面１２２に配置された鏡面反射面１２４から反射させる。反射の画像が撮像面１５４において記録される。撮像面１５４に対する鏡面反射面１２４上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第１の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第１の関係を含む第２の関係から鏡面反射面の形状が決定される。 （もっと読む）

【課題】表裏のいずれか一方の面の周縁部が曲面となっているワークについて、確実な表裏の判別が可能なワークの表裏判別装置及びワークの表裏判別方法を提供する。
【解決手段】ワークの上面、または、下面の少なくとも一方の面を照明する照明手段と、ワークの照明手段により照明される側の面を撮影する撮像手段と、撮像手段により撮影された画像におけるワークの輪郭形状を検出する判別手段とを備え、判別手段は、撮像手段により撮影された画像におけるワークの輪郭形状と、予め記憶された輪郭形状とを比較することにより、ワークの表裏いずれの面が上面となっているかを判別する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体を撮像して得られる画像データに対して予め定められたパラメータの組を用いた処理を行うことで処理結果を得る処理装置に設定されるパラメータをより迅速かつ容易に決定できるパラメータ決定支援装置およびパラメータ決定支援プログラムを提供する。
【解決手段】試行された複数のパラメータ候補の各々について、その判定結果および統計的出力が一覧表示されることで、ユーザは、最適なパラメータセットを容易に選択することができる。たとえば、誤検出数がゼロである試行番号「２」，「４」，「５」が安定した処理を行なうことのできるといえ、その中でも、試行番号「２」が最も処理時間が短くて済むので、総合的には、試行番号「２」のパラメータセットが最適であると言える。 （もっと読む）

干渉計システムは、２つの間隔を空けて配置された参照フラットを含み得る。前記２つの間隔を空けて配置された参照フラットは、２つの平行参照表面間に光キャビティを形成する。第１のおよび第２の基板表面が対応する第１の参照表面および第２の参照表面に実質的に平行な様態で、前記第１のまたは第２の基板表面の間の空間が前記参照表面または減衰表面のうち対応するものから３ミリメートル以下の位置に来るように、前記基板を前記キャビティ内に配置するように基板ホルダが構成され得る。前記キャビティの直径方向において対向する両側においてかつ前記キャビティ光学的に結合して、干渉計デバイスが設けられ得る。
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【課題】描画光の波長とは異なる波長の観察光により描画用の光学系を介して対象物上のアライメントマークの位置を高精度に検出する。
【解決手段】パターン描画装置では、描画対象である基板の対象面上のアライメントマークが描画光の波長とは異なる波長の観察光により描画用の光学系を介して撮像部１５にて撮像され、マーク像強度分布３１１として記憶部３１に記憶される。また、パターン描画装置の記憶部３１には、対象面の高さに点光源を配置した場合に撮像部１５にて取得される点像強度分布３１３が記憶されている。マーク像強度分布３１１および点像強度分布３１３を用いて演算部３２の像回復部３２１にて像回復が行われ、アライメントマークを示すマーク強度分布３１２が取得される。これにより、対象物上のアライメントマークの位置が高精度に検出される。 （もっと読む）

【課題】記録材の所定の位置に高精度で画像を形成するように調整すること。
【解決手段】 画像形成装置であって、記録材の搬送方向に直交した幅方向に記録材を移動させる移動手段７と、移動手段７で移動された記録材に基準画像を形成する画像形成手段６と、記録材に形成された基準画像の位置を計測する計測手段２と、計測手段２が計測した基準画像の位置の、目標位置からのずれに基づいて、移動手段７による移動量を調整する調整手段５と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レンズの外形中心に対する光学面中心の偏芯情報が迅速かつ高精度で取得できるレンズ偏芯測定方法と、光学面中心の偏芯による影響を低減でき、所望の光学性能を達成できるレンズ組立方法を提供する
【解決手段】レンズ偏芯測定方法は、干渉計を用いてレンズの干渉縞情報を取得し、該情報に基づいてレンズの光学面中心を求めるステップと、レンズの外形中心を検出するステップと、得られた外形中心を基準として、光学面中心の偏芯情報（例えば、偏心量および偏心方向）を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】傾動台を滑らかに動かすことで、傾動精度を高めるようにした。
【解決手段】傾動装置１は、平板状の基台３に対して所定間隔をもって配置された傾動台２と、傾動台２と基台３との間に配置され、基台３の上面に対して略平行となる方向に延在するとともに、その延在方向をなす第１方向に伸縮可能な圧電素子５と、圧電素子５と基台３との間に配置され、圧電素子５の伸縮による第１方向の変位を自身の変形により基台３に対して略直交する第２方向に拡大させるとともに、この拡大による変位を傾動台２に伝える伝達部６６を有する変位拡大部材とを備えている。変位拡大部材は、圧電素子５の延在方向の一端を係止するとともに、伝達部６６によって傾動台２を下方より支持し、圧電素子５の変位に応じて伝達部６６が第２方向に変位し、傾動台２が基台３に対して相対的に傾動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】傾動台の中心を傾動中心とすることが可能であり、しかも傾装置を大型化させずに傾動台の傾動角度を大きくすることができる。
【解決手段】傾動装置１は、基台３に対して傾動台２を傾動可能に支持する傾動台支持部４と、基台３の上面３ａに対して略平行となる方向に延在し、その延在方向に伸縮可能な一対の圧電素子５と、各圧電素子５の伸縮による第１の変位を自身の変形により基台３の上面３ａに略直交する方向に拡大させるとともに、この拡大による第２の変位を傾動台２に伝えるＶ溝部６６を有する変位拡大部材６とを備えている。傾動台支持部４は、支柱４１と、支柱４１に対して第１軸線を中心にして回転可能に支持された回動リングとを有し、傾動台２が回動リングに対して第２軸線を中心にして回転可能に支持される構成とした。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能な厚さ測定装置及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】厚さ測定装置１は、投光部２と、配置面１１Ａ上に光透過性物体９が無い場合における配置面反射光Ｌ２３と、配置面上に光透過性物体が在る場合における裏面反射光Ｌ２２とをそれぞれ受光可能な受光部１３と、受光部における反射光の受光位置Ｘ３及び裏面反射光の受光位置Ｘ２間の距離ΔＸ２と、光透過性物体の厚さｄ１とにおける相関関係に基づき光透過性物体の厚さを測定する測定部８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】キャリアおよびキャリアに収容された半導体ウエハの姿勢を精度良く測定することのできる形状測定機を提供する。
【解決手段】測定対象であるキャリア１８を支持するステージ１２，２０と、測定対象の形状を測定する測定部１０とを有する。ステージ１２，２０は、キネマティックカップリングによって測定対象を支持するために、キネマティックカップリングピン２０ａ，２０ｂ，２０ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部と、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対して光を照射する照明装置と、被検査基材１０を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラ２２と、カラーセンサカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、カラー画像のうちパッド部からの反射率が低く、めっき層からの反射率が高くなる特定波長成分のみを含む画像成分を抽出する成分抽出部３２と、特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部３３と、めっき層の欠けを判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】レーザ変位センサを利用して部品等の寸法精度を判定可能なレーザ検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】レーザ検査装置は、部品５を保持する保持部１２、及び部品５に予め設定された複数の測定部位１５の近傍のゲージ本体１１に穿設されたガイド挿入孔１３を有する検査ゲージ２と、ガイド挿入孔１３に挿入可能なガイド部１８を有し、レーザ６の照射可能な変位センサ３と、変位センサ３と接続し、反射レーザ２０から測定データを生成するセンサ制御部と、センサ制御部と接続し、検査基準データと測定データを比較し、部品５の寸法精度を判定処理可能な検査制御部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で品質管理に用いる管理値を精度良く算出できるチップ型電子部品の形状測定方法、及びこれを用いたチップ型電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】このチップ型電子部品の形状測定方法では、素体１の角部１ｂにレーザ変位計４を走査して得られる形状プロファイル１０のうち、微分プロファイル２０の微分値ｆ’（ｘ）が予め設定された抽出閾値の絶対値の範囲内となる部分を抽出して円フィッティングを行っている。この方法では、素体１の角部１ｂにおける円弧状部分１２と、角部１ｂを形成している素体１の側面１ｃ，１ｄに相当する平面部分１１，１３と、これらの境界付近に存在するダレ部分１４，５とを容易に判別することができる。抽出閾値を用いて形状プロファイル１０から円弧状部分１２を抽出することにより、簡単且つ精度良く角部１ｂの円フィッティングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定を行ったとしても、被検査体に形成された薄膜の品質が劣化することを防ぎ、次に続く工程や実際の最終製品においても被検査体を使用できるようにする膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】測定室Ｍ内において被検査体Ｅの膜厚を測定するものであって、前記測定室Ｍの外側に形成された送風経路Ｓと、前記測定室Ｍに形成され、前記送風経路Ｓの一端が接続される流入口Ｍ１と、前記流入口Ｍ１に設けられたフィルタ３３と、を備えており、前記送風経路Ｓに非反応性ガスを導入する導入口３５を設けた。 （もっと読む）

【課題】回転対称で複雑な被検面の形状を高精度に光干渉計測できるようにする。
【解決手段】面中心軸Ｃが測定光軸Ｌと一致した基準姿勢から、被検面８０を径方向に分割してなる複数の輪帯状領域上に測定光軸Ｌが順次移動するように、被検面８０の相対姿勢を順次変更し、相対姿勢が変更される毎に被検面８０を回転軸Ｅ回りに回転せしめる。回転する被検面８０に対して、ミロー対物干渉光学系２３より収束しながら進行する測定光を照射し、複数の回転位置毎に、各回転位置別干渉縞を１次元イメージセンサ３２により撮像する。撮像された各回転位置別干渉縞に基づき各輪帯領域別形状情報を求め、これらを繋ぎ合わせることにより測定領域全域の形状情報を求める。 （もっと読む）