【課題】処理対象物に所定の処理を施す処理装置におけるアラインメントの精度を高精度に評価する。
【解決手段】露光ステージ１８に装着された基板Ｆのアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを読み取り、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを基準として、一定の関係からなる複数の異なるテストパターンを基板Ｆに繰り返し露光記録し、テストパターン同士の位置関係を比較してアラインメントの精度を評価する。 （もっと読む）

【課題】 トロリー線の磨耗部の幅を正確に測定し、かつ、測定装置を小型化及び低コスト化をはかることができる画像処理によるトロリー線の磨耗状態測定装置を提供する。
【解決手段】 電車１０の屋根上にラインセンサ１１を設置し、このラインセンサ１１でトロリー線１６を撮影することによりラインセンサ画像３０を取得する。このラインセンサ画像３０を走査線方向で微分してエッジ画像４０を取得し、このエッジ画像４０からトロリー線１６の磨耗部の端部の軌跡４５，４６を検出する。この軌跡４５，４６について高速フーリエ変換を行って周波数画像６０を取得し、この周波数画像６０から異常磨耗箇所２３を発見する。 （もっと読む）

【課題】 リニアイメージセンサの出力から微小径の棒状体の縁部における単色光のフレネル回折パターンを解析して前記棒状体の径を求めるに際し、その誤検出を確実に防ぐことのできる棒状体の測定方法を提供する。
【解決手段】 光路中に位置付けられた棒状体により受光量が低下したリニアイメージセンサにおける受光セルの情報からその遮光領域の幅を求めると共に、上記遮光領域での受光量の総和の情報を求め、この受光量の総和の情報と、この情報に関して予め前記遮光領域の幅に応じて定めた閾値とを比較して、前記遮光領域に前記棒状体の径方向のエッジにおける回折光だけが回り込んでいる計測条件が成立しているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 精密計測装置に用いることができる計測素子を提供する。
【解決手段】低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を２本の光線に分岐する光分岐／合流部と、分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐／合流部と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光する集光部と、分岐された光線の他の一方が照射されるミラー部とを有し、前記対象物からの反射光（１）と前記ミラーからの反射光（２）を前記光分岐／合流部により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、移動させることにより、前記対象物からの反射光（２）の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。 （もっと読む）

【課題】 電気鉄道車両の屋根上に設置された集電装置の一つであるパンタグラフについて、パンタグラフ近傍にある構造物や、車両走行時の揺れ等によるノイズの影響を排除し、簡単な構成でパンタグラフの高さや加速度を求めることのできるパンタグラフ動作測定装置を提供する。
【解決手段】 ラインセンサ２で撮影したパンタグラフ１の画像を時系列的に並べたラインセンサ画像に対し、二値化処理（Ｓ２）を行い、一ライン上でパンタグラフ部分として設定した範囲内の長さを持つ部分を抽出して上端部あるいは下端部いずれかの点をパンタグラフの軌跡として残し（Ｓ３）、さらに、パンタグラフ軌跡トレースフィルタ処理（Ｓ４）により画像上に短い点列として現れるノイズを、またパンタグラフ単一点フィルタ処理（Ｓ５）により長い点列として現れるノイズを削除したパンタグラフ軌跡画像から、パンタグラフの実際の高さおよび加速度を求める（Ｓ６，Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】専用車両を用いるため、非常に高額になってしまう他、深夜などの営業時間外にしか検測できない。
【解決手段】 営業列車のパンタグラフ１の近傍に撮像機器３，４，５を設置し、該撮像機器３，４，５からの画像データを、前記列車内等に設置された汎用パソコン１０，２０へ光伝送し、保存することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】急峻な傾斜を持つ被検体平面〔サンプル〕の計測時に生ずる干渉縞の狭間隔化を解消するようにした干渉装置及び平面形状の測定方法を得る。
【解決手段】従来のマイケルソン型干渉計装置の参照ミラー（参照平面）の代りに、基準のサンプル２１を配置した干渉装置１６に配設した制御手段を介して駆動手段と遮光手段を制御し自動的にサンプル（被検体平面）１の傾斜の急峻な高さ情報Ｈを得る干渉装置及び平面形状の測定方法を提供する。 （もっと読む）

その遠位端に少なくとも２つの光ファイバ・センサが配置された変形体（５）が、器官または血管の壁組織との接触から生じる遠位端の曲がりによって生じる、光ファイバ・センサの光学特性の変化が検出されるのに応答して、多次元力ベクトルを計算するようにプログラムされたプロセシングロジック（６）に結合されている、器官または血管を診断または治療するための装置が提供される。力ベクトルは、ロボット・システム（３）を用いて、直接または自動的な変形体の操作を容易にするのに利用可能である。
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本発明は、とくには製品の幅を測定するために、製品によって影響される光の伝搬を割り出すことによって製品の縁を光学的に検出するためのセンサ・アセンブリに関する。本発明によれば、位置が定められた個々に制御することができる点状の光源からなる列が、製品の片側に配置される。該光源の列は、該光源の列と平行に延びており、該光源の列から光学的に絶縁されており、該光源によって発せられて製品によって反射されたそれぞれの光を光学的に接続する少なくとも１つの光ファイバ・ユニットと組み合わせて使用される。さらに、少なくとも１つの光検出器が、光ファイバ・ユニットに接続される。選択されるそれぞれの光源の位置が既知であり、前記点状の光源が順次または選択的に制御され、あるいは小さなグループにて制御されるため、縁の検出が以下のやり方で行われる。ｎ番目の点状光源の制御の際に、反射信号が光ファイバに入って光検出器へと導かれ、したがって製品ウェブの縁の位置を、今まさに制御されたそれぞれの光源が位置に関して一意に割り当てされている結果として、割り出すことができる。製品の幅情報についての分解能は、点状光源の最小のそれぞれのユニット、前記ユニット間の距離、または開口の関係によって決定される。
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【課題】 製品高さ測定を精度良く行い、薄鋼板の枚数を精度良く測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 薄鋼板が積み上げられて形成された製品の下端位置を検出するリニアセンサ３と、製品の上端位置を検出するレーザー距離計６と、リニアセンサ３による製品の下端位置の測定値及びレーザー距離計６による前記製品の上端位置の測定値に基づいて製品の高さを求め、製品の高さと薄鋼板の板厚実績とに基づいて製品枚数を求める演算部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】プリント基板外観検査の検査画像撮像時において鏡面反射発生後に生じる劣化画像の補正を行う装置を提供する。
【解決手段】ポリゴンミラー３により偏向した光ビームを被検査物８上でＳ軸方向に走査し、反射光を受光素子７にて受光するセンサ部１と、前記センサ部１から出力される１ライン走査を順次行うことで得られる短冊状画像データを記憶する画像バッファ部１７と、所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力する鏡面検出部２２と、鏡面反射が発生した撮像部を当該Ｓ軸方向と逆方向走査して得られる画像データを記録する鏡面反射部記録部２５とを備え、鏡面反射が発生したことを示す鏡面反射発生信号が存在するときは、画像バッファ部１７からの画像データと鏡面反射部記録部２５からの画像データを合成する。 （もっと読む）

【課題】 画像の位置を高精度に検出することを課題とする。
【解決手段】 発光源からの照射光に対する像担持体からの反射光に基づき画像の位置を検出する画像位置検出装置において、前記像担持体の移動方向に所定の距離をおいて配置された２つの受光部と、前記像担持体の移動により前記像担持体上に付着したトナー像が前記２つの受光部の検出位置を通過する際、先に前記トナー像を検出する受光部から得られる第１のアナログ信号と、後に前記トナー像を検出する受光部から得られる第２のアナログ信号との差分を求め、前記差分から正負の状態を比較して２値出力する比較出力部とを有し、前記比較出力部は、前記第１のアナログ信号と前記第２のアナログ信号とにレベル差を設けて入力することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置を使用して長大な建物等の寸法や面積を簡易に測定する。
【解決手段】 被写体と正対して画像を結像して撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像した画像データを表示する表示手段（ステップＳ１）と、該撮像手段で撮像する被写体までの距離を測定する距離測定手段と、前記表示手段に画像データに重畳して指標を表示する指標表示手段（ステップＳ３）と、該指標表示手段で表示された指標を所望の測定対象部位に合致するように前記撮像手段を傾斜させたときの傾斜角を測定する傾斜角測定手段と（ステップＳ４〜Ｓ８）、前記距離測定手段の測定結果及び前記傾斜角測定手段の計測結果に基づいて被写体像の実寸法を演算する実寸法演算手段（ステップＳ９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ハードウェアの規模を抑え、且つ、ＤＰマッチングにおける評価値の計算を効率よく高速に行うことが可能な信号処理装置及びその方法、並びにプログラムを提供する。
【解決手段】 信号処理装置１は、第１及び第２の要素列の要素同士の対応関係を求める際に、第１の要素列を横軸、第２の要素列を縦軸として、左上端の要素と右下端の要素とを結ぶ対角線に平行な各列について、要素同士が対応する各対応点における評価値を、各列上の対応点を所定数毎に分割した対応点群毎に並列計算する。特に、評価値計算部１４は、３つの評価値列記憶部の何れか２つから１列前及び２列前の対応点群についての評価値列を読み出して現在の対応点群についての評価値列を計算し、その評価値列を、同一列で隣接する対応点について得られた評価値と共に、上記１列前及び２列前の評価値列を読み出したものとは異なる評価値列記憶部内の同一アドレスに書き込む。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】印刷状態検査装置１は、クリームハンダＨの印刷されてなるプリント基板Ｋを載置するためのテーブルと、プリント基板Ｋの表面に対し位相の異なる正弦波状の３つの光成分パターンを照射するための照射手段を構成する照明装置３と、プリント基板Ｋ上の前記照射された部分を撮像するための撮像手段を構成するＣＣＤカメラ４と、プリント基板Ｋの表面に対し白色光を照射するための白色光照明Ｌと、基準高さを測定するためのレーザーポインタとを備えている。制御装置７は、白色光照明Ｌの照射によって得られる画像データからクリームハンダＨの存在する領域を特定し、照明装置３照射によって得られる画像データから位相シフト法を用いて、クリームハンダＨの高さを演算する。 （もっと読む）

ウエハ中の繰り返し構造の上面プロファイルが評価され、かつその繰り返し構造の上面プロファイルのバリエーションを表すパラメータが選択される。その繰り返し構造の選択された上面プロファイルパラメータを有する光計測モデルが開発された。最適化された光計測モデルは、測定された回折信号と比較されるシミュレーションされた回折信号を生成するのに用いられる。
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【課題】
複数の撮影装置を使用して広視野角または高解像度の映像を得る従来の撮像システムに
おいては、複数の撮影装置の投影中心位置が異なることに起因する見え隠れの矛盾が原理
的に生じるため、映像品質が劣化していた。また、鏡面反射の状態など指向性を持つ光学
特性に関する矛盾も原理的に発生し、それによっても映像品質が劣化していた。
【解決手段】
基準となる画像データを撮影する１つの全体撮影装置と、該全体撮影装置の撮影範囲の
一部分を含むような範囲を撮影する詳細撮影装置を備えた。前記全体撮影装置の撮影した
画像データと前記詳細撮影装置が撮影した画像データとに幾何学的な変換を施した後、該
変換後の画像において両者の差異が所定の許容範囲内に収まる画素に関しては詳細撮影装
置の撮影した画像データから画素値を決定し、その他の画素に関しては全体撮影装置の撮
影した画像データから画素値を決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】全方位画像を撮影し、撮影された画像から自己位置と姿勢を求めることを特徴とする自己位置計測装置を提供する。
【解決手段】ロボットを初期位置に配置したときに取得することができる全方位画像から、
ロボットが初期位置から移動した場合を想定して合成した全方位の予測画像を作成しておき、この予測顔図とロボットが実際に移動して新たに取得した全方位の画像とを照合して、
ロボットの自己位置と姿勢（向き）を検出する。 （もっと読む）

【課題】 赤外線検出機構をカメラに内蔵する上で、適切な配置箇所を提案する。
【解決手段】 本発明のカメラは、下記の撮像部、焦点検出部、赤外線検出部、および制御部を備える。撮像部は、撮影光学系を介して被写体を撮像する。焦点検出部は、被写体について焦点検出を行う。赤外線検出部は、焦点検出部が取り込む焦点検出用の光束から赤外線を検出し、赤外線の検出結果に基づいて人物の画面内位置を判定する。制御部は、人物の画面内位置に重点を置いて、焦点制御および／または露出制御を実施する。 （もっと読む）

【課題】端面部分が研磨され円弧状の端面あるいはシーミング面を有するガラス板の端面部分の欠陥を検出する。
【解決手段】ガラス板の端面より外側かつ表裏両面の斜め２方向からガラス板の端面部分を撮像する少なくとも２台のＣＣＤカメラからなる撮像手段と、中心軸方向に照明光を照射可能でスリット状の切欠部を有する略Ｃ字形状のリング照明を少なくとも有した照明手段と、前記ＣＣＤカメラで撮像した撮像信号を処理し該端面部の良否を判定する画像処理手段とからなり、前記端面部がリング照明の中心軸と一致するように前記開口スリット部内にガラス板の端面を遊挿させて端面に照射光を照射させ、該端面を前記撮像手段によって撮像して得られた画像信号を前記画像処理手段によって処理することにより端面の欠陥の有無を検出するようにする。 （もっと読む）