【課題】 シーラーの塗布品質の管理を正確に行う。
【解決手段】 レーザー投光機１８によって、ウインドガラス１２上に塗布されたシーラー１６に対し、塗布ガン１４と平行な方向からレーザースリット光Ｌを照射し、シーラー１６の断面形状を、レーザースリット光の線形状として視認可能とする。制御手段２４において、レーザースリット光の照射軸に対する傾斜角の小さいカメラ２０で撮影した画像に基づき、画像内でのワーク表面座標及びシーラー１６の幅を検出する。また、カメラ２０で撮影した画像に基づき検出された画像内でのワーク表面座標と、レーザースリット光の照射軸に対して傾斜角の大きいカメラ２２で撮影した画像とに基づき、シーラー１６の高さを検出する。よって、シーラー１６の断面形状を正確に把握し、シーラー１６の塗布高さとシーラーの塗布幅を正確に求めることができる。
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【課題】 復元された全面形状データをＦＦＴ等により周波数ごとに分離し、高周波の形状である粗さ形状を評価したときに分割測定データの高周波形状のつなぎ合わせ位置がずれているために誤差が生じてしまうという問題点。
【解決手段】 被測定物を互いにオーバーラップするように分割して測定する手段を有し、分割して測定することによって得られた分割測定データを低周波形状成分と高周波形状成分に分離して、オーバーラップ領域の低周波形状成分のデータのみを用いて概略つなぎ合わせ処理を施した後に、オーバーラップ領域の高周波形状成分のデータのみを用いてつなぎ合わせ処理を施すことによって全面形状を復元して、全面形状の粗さ形状を精度よく評価する。 （もっと読む）

【課題】道路の表面又はレールの垂直速度の連続的測定を行い、かつ構造の状態の記録及び分析をするためのデータを高速で生成できるようにする。
【解決手段】道路２のひずみの非接触測定のための装置は、少なくとも一つの車輪４に影響を与える荷重７を有する自己推進車両を有し、その速度は移動の方向において測定される。装置はさらに、少なくとも一つの電磁ビーム９が車両の付近の道路に向けられ、及び反射９におけるドップラー周波数変化が検出されるレーザデバイス８を有する。電子回路１０は測定の結果及びそこでの通常の移動速度におけるゆがみを連続的に記録する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート等の構造物表面に染みや汚れが付着していても、構造物表面に生じているひび割れを明瞭に把握する。
【解決手段】本発明に係る構造物表面のひび割れ検出方法は、コンクリート構造物の表面を撮像した原画像データに対し、ウェーブレット変換を用いて低周波成分を除去する処理を行うことにより、空間変化率が小さい構造物表面の染みや汚れを除去した二値化画像データを作成するとともに、かかる二値化画像データを用いて原画像データを広義の意味で線形補間する、すなわち、ひび割れに該当する画素を隣接する画素の平均輝度値で置換することによって背景画像データを作成し、かかる背景画像データで原画像を除算することにより、染みや汚れあるいは光ムラを確実に除去しながら、ひび割れだけを明瞭に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像手段間に特性のばらつきがある場合であっても、同一の対象物を確実に抽出することのできる画像抽出装置を提供する。
【解決手段】赤外線カメラ１６Ｒにより撮像した基準画像の輝度信号が、赤外線カメラ１６Ｌにより撮像した探索画像の輝度信号よりも常に大きくなるように調整し、基準画像と探索画像との間で相関演算を行うことで、画像の背景を誤検出することなく、基準画像及び探索画像間で同一の対象物を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】人手による作業を極力排除し、非接触で高速かつ高精度に大型高温物体の三次元計測を行うことを可能にする。
【解決手段】計測対象物を撮像して近赤外画像およびカラー画像を得るマルチスペクトルカメラ１と、このマルチスペクトルカメラ１により複数の視点からそれぞれ撮像され得られた計測対象物の近赤外画像およびカラー画像から計測対象物の輪郭をそれぞれ抽出する輪郭抽出手段１１と、この輪郭抽出手段１１によりそれぞれ近赤外画像およびカラー画像から抽出された輪郭の各点について確信度を算出して複数の視点からそれぞれ見た計測対象物の真の輪郭を推定する輪郭推定手段１２とを有し、マルチスペクトルカメラ１により撮像され、輪郭抽出手段１１により近赤外画像およびカラー画像から抽出された輪郭の各点について、輪郭推定手段１２により確信度が算出され、複数の視点からそれぞれ見た計測対象物の真の輪郭が推定される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、オートフォーカスシステム、オートフォーカス方法及びこれを用いた露光装置を提供する。
【解決手段】本発明によるオートフォーカスシステムは基板が取り付けられるステージと、この基板に２つのフォーカスビームを互いに違う角度で照射する２つの測定光源と、基板から反射された２つのフォーカスビームを検出する２つの感知センサーとこの感知センサーで検出したフォーカスビームの測定値によって基板の変動位置を演算処理して基板のフォーカスを制御する制御手段として備え、この際の演算はフォーカスビームの屈折率の変化要素をとり除いて演算することによってフォーカスビームが進行する媒質に屈折率の変化があっても正確なフォーカスを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】２つの画像の対応点を簡単に自動的に求める。
【解決手段】対象物を、複数の異なる位置から撮影する。第１画像と第２画像のアフィンカメラ近似可能な領域内の平面近似可能曲面上に、人手により初期対応点を３組設定し、三角形を形成する。これらの初期対応点の座標に基づいて、両画像の三角形間のアフィン変換行列を求める。第１画像の三角形の重心（特定点）に対応する点として、第２画像上の対応点候補を求める。特定点の近傍画素群をアフィン変換して、テンプレートとする。第２画像上の対応点候補近傍で、テンプレートと第２画像上の画素群を比較する。最良の比較結果となる点を、特定点の対応点と決定する。 （もっと読む）

【課題】光干渉計など振動信号を抽出する装置を一切必要とせずに、被測定物の実時間振動計測を無調整且つ超高感度で達成することのできるレーザ振動計を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザ振動計は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出射する出力光の一部を通過させる周波数シフターであって、前記出力光の一部の一往復の周波数シフト量を前記レーザ固有の緩和振動周波数に一致させて共鳴させる周波数シフターと、前記周波数シフターを通過した前記出力光の一部を被測定物に入射させ、前記被測定物からの戻り光を前記光周波数シフターを介して前記レーザ発振器に帰還させ、前記戻り光と前記出力光との干渉により誘起される光感度が向上し共鳴的に周波数変調されたレーザ出力を処理する光検出器、周波数変調波復調器及び信号処理装置とを備え、前記被測定物の振動状態を実時間にて計測することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 被測定物を高い精度で測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 寸法測定装置１００は、被測定物としてのスペーサ１を測定する測定器１０，２０，３０を備える。測定器１０，２０，３０はスペーサ１の中心軸Ｚに垂直な同一平面上において異なる測定方向からスペーサ１を測定し、スペーサ１の投影寸法である測定値を取得する。取得した３つの測定値からスペーサ１の幅ｈ及び厚みｔを演算する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の表面に発生しているクラックの位置及び形状をより少ないデータ量で正確に表現できるようにして、クラックを有するコンクリート構造物の内部構造の三次元表現やその強度解析を行えるようにする。
【解決手段】 本発明に係るコンクリート構造物１のクラック検査装置６は、クラック３を有するコンクリート構造物１の表面２を撮像して得られたラスタデータを記憶する記憶手段と、そのラスタデータを二値化して得られたデータに対してラスタベクタ変換処理を行う変換手段と、この変換手段で得られたクラック３のベクタデータをコンクリート構造物１の表面２の図形データに座標を合わせて重合させるデータ重合手段と、このデータ重合手段で得られた重合データを出力する出力手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】干渉計で測定した面形状の座標を高精度に校正可能であって、多種多様な被検物にも容易に適用可能である干渉測定装置を提供すること。
【解決手段】被検物上の被検面で反射した被検光と参照波面を有する参照光とを互いに干渉させることにより得られる干渉縞を検出器により検出し、検出された干渉縞の情報に基づいて前記被検面の面形状を測定する干渉測定装置において、校正用光学部材を用いて面形状測定データを基準となる校正基準座標系で表すための校正情報取得手段と、校正基準座標系で表された面形状測定データを個々の被検物に固有の被検物付属基準座標系で表す校正情報補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ・ビジョン・システムにおける撮像光学系の非直線歪をピクセル・アレイによって規定される表示ウィンドウにおける補正量として定量化する。
【解決手段】対物面上においてテスト・アーチファクトを一定距離ずつ漸進的に変位させ、対応するテスト・アーチファクトの映像面における変位をピクセル・アレイに記録する。対物面上における計測変位に基づいて、映像面におけるテスト・アーチファクトの実際の形状と予測形状とを比較することにより補正量を特定する。 （もっと読む）

【課題】
LCD 用等の基板上に生成される透明電導膜パターンの膜厚が薄くなるにつれ、パターンエッジ部でのコントラストが減少し、従来技術では測定が困難になって来た。このような透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現する技術を提供する。
【解決手段】
照明ユニットに可視光以下の領域に高い輝度を有する光を発生するランプと可視光以上の長波長成分を遮断する光学フィルタを具備して、透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現した。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイパネルの点灯画像検査において、画面全体がホワイトからずれている場合や、評価点との比較対象である背景部がホワイトからずれている場合においても、高精度高速検査を実現するディスプレイパネルの点灯画像検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段によりディスプレイパネルの画面を撮像して画像データを得るステップと、画面における任意の評価点の画像データとその周囲の所定領域の画像データとの変化量がホワイトからの色ズレ量となるように画像データを補正する色ズレバランス補正処理を行うステップと、色ズレバランス補正処理を行って得られた画像から彩度値を求めるステップと、彩度値を用いてディスプレイパネルの画像を評価するステップとを有する。 （もっと読む）

本発明は、ビーム供給部分と、該ビーム供給部分に接続されており、それぞれの測定ビーム（ＭＳ１，ＭＳ２）を配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）と、表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置（ＡＥ）とを用いて少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システムに関する。サーフェスジオメトリー、例えば孔の直径および丸さの非常に正確でかつ機械的にロバストな特定は、プローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）が、表面のジオメトリーデータの他に同時に、相互に固定の位置関係において位置決めされているプローブ出口（１，…，６）を有するプローブ装置（ＳＡ）の、単数または物体に対する相対位置も少なくとも、複数の重要な自由度に関して突き止めることができるように実現されていることによって可能になる。
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【課題】測定対象とされる被検面を備えた被検体を、測定結果に悪影響を及ぼすことのない適正な荷重により、測定系に対して静止状態となるように保持し得るようにする。
【解決手段】被検面４１の軸線Ｃが重力方向に対して略直角となるように配置された被検体４０に、該被検体４０を上下から押圧するとともに被検面４１に曲げを生じさせるような荷重を作用せしめる。荷重を作用せしめた際の被検面４１の変形量を、荷重の大きさを変えて少なくとも２回計測し、その計測結果に基づき被検面４１の変形量と荷重の大きさとの間に成立する対応関係を求める。この対応関係から、被検面４１の変形量が例えば製造誤差の許容範囲内に収まるような大きさの適正荷重を求め、求められた適正荷重により被検体４０を保持する。 （もっと読む）

【要 約】
【課 題】 車輪の半径方向のプロフィールを車両を停止させることなく高精度に測定できる車輪測定装置を提供する。
【解決手段】 車輪２が計測位置に到達したことを検出する検出部３と、面状の広がりを有するビームを車輪２に向けて照射するライン照明部４と、その反射光画像を取り込む画像入力部５と、取り込んだ画像信号を座標変換して半径方向のプロフィールを得る画像処理部６と、これらを制御する制御部７および計算機部８により構成する。 （もっと読む）

【課題】 スループットの高い表面検査装置を提供する。
【解決手段】 光源５からの放出される照射光を集光レンズ部６により平行光とし、ハーフミラー１３により反射させて、対物レンズ２により被検査物１の被検査領域を落射照明する。被検査領域の像は、対物レンズ２を介して、ハーフミラー１３を透過し、カメラ８により撮像される。カメラ８としては、カラー映像が撮像可能なＣＣＤを撮像素子としたようなものが使用できる。この実施の形態においては、光源５として、輝度を調整しても、放出される光の分光スペクトルの変化が少なく、かつ、放出される光の分光スペクトルの時間変化が少ない発光ダイオードを用いている。 （もっと読む）

【課題】利用者の意向に沿ったより適切な対応点探索範囲が設定できるステレオ画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】異なる視点で撮影された第１および第２の画像間の対応を示す対応情報を入力する第１の入力手段（入力ステップ）と、第１の画像中の特定点に対応する第２の対応点を第２の画像中で探索する探索処理を行う処理手段（処理ステップ）とを有する。そして、該処理手段は、該対応情報に基づいて第２の画像における探索処理を行う範囲を設定する。 （もっと読む）