【課題】 単一の撮像手段を用いて移動体の高さを簡易かつ良好に判別できる移動体高さ判別装置を実現する。
【解決手段】 １台のカメラ１による２次元画像Ｇにおいて、高さ演算部２４が次の処理を行う。代表点Ｐ１，Ｐ２の一方を標準高さを持つ標準点Ａとみなし、他方を仮の高さを持つ仮定点Ｂとみなす。移動体Ｍ１の鉛直軸線Ｔに沿って標準点Ａを仮の高さ相当の比較点ａに補正する。複数クロック以上の期間の比較点ａと仮定点Ｂとの実空間での２点間距離ｄの変動量ｑを求める。仮定点Ｂの高さ設定値を３つ以上設定し各々の高さ設定値ごとに上記変動量ｑを求める。２個の代表点Ｐ１，Ｐ２につき、標準点Ａと仮定点Ｂの関係を逆にして上記変動量ｑを求める。そのうち変動量ｑが最も少なく且つ標準点の移動量に対する割合が一定値以内に収まっていたとき、その高さ設定値の仮定高さが標準点Ａの移動体Ｍ１に対する仮定点Ｂの移動体Ｍ２の相対高さとして得る。 （もっと読む）

【課題】物体の位置を高精度に調整する位置調整方法を提供する。
【解決手段】ステップ１０３〜ステップ１１７において、ウエハステージＷＳＴに対するウエハＷの位置合わせを行う。次のステップ１１９では、ウエハＷをウエハステージＷＳＴにロードし、ウエハステージＷＳＴでは、サーチアライメントを行って、ウエハステージＷＳＴに対するウエハＷの残留回転量を算出する。ステップ１２５では、残留回転量が許容範囲内か否か判断し、許容範囲外であれば、ステップ１２７においてウエハを回収し、ステップ１２５での判断が肯定されるまで、ステップ１０３〜ステップ１２５を繰り返す。この際、ウエハＷの回転を調整する場合には、サーチアライメントで検出されたウエハＷの回転を考慮する。 （もっと読む）

【課題】結果として生じる走査信号における確実な高調波のフィルタリングを保証する光学位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置に依存した走査信号を発生させるために使用される光学位置測定装置を提供する。互いに相対的に測定方向に可動に配設されている測定目盛と走査ユニットとから成る。走査ユニットは、光源と光電式検出器配列とを有し、この検出器配列は、複数の検出器要素ユニットから成り、検出器要素ユニットの幾何学的な形状及び／又は配列は、その上に少なくとも走査信号からの望ましくない高調波の部分フィルタリングが結果として生じるように選択されている。測定目盛は、周期性ＴＰＭのある、測定方向に周期的な異なった光学特性を有する目盛領域の配列から成る。 （もっと読む）

【課題】 ストライプパターンのストライプ幅を小さくしなくてもその幅方向の解像度を改善させる。
【解決手段】 ストライプパターンを初期設定にリセットし（Ｓ１０）、プロジェクタ１０から初期設定のストライプパターン（Ａ）を被写体５０に投影し（Ｓ１１）、２台のカメラ２０、３０で撮影する（Ｓ１２）。得られた画像から、ストライプエッジ上のポイントにおける距離情報が算出される（Ｓ１３）。次にストライプパターンを２ピクセルシフトさせつつ同様に距離情報を算出する（Ｓ１４、Ｓ１５）。（Ｂ）〜（Ｄ）と繰り返して撮像を行いそれぞれのポイントにおいて距離情報算出を行う。最後にそれぞれ算出された距離情報（点群データ）を合成して最終的な出力を得る（Ｓ１６）。 （もっと読む）

【課題】 物体の未検知または、誤検知の発生を低減することのできる物体検出装置を提供する。
【解決手段】 ステレオカメラ１０１は、撮像された画像をフィードバックすることでレンズ絞りを制御できる複数の撮像装置１１１、１１２を備える。３次元情報算出部１０２は、ステレオカメラ１０１で撮像された画像から撮像空間の３次元情報を算出する。物体検出部１０３は、３次元情報算出部１０２により算出された３次元情報から撮像空間内の物体を検出する。ブルーミング判定部１１３、１２３は、ステレオカメラ１０１で撮像された画像からブルーミングの有無を判定する。画像加工部１１４、１２４は、ブルーミング検知部１１３、１２３の判定結果により撮像装置１１１、１２１に戻す画像を加工する。 （もっと読む）

【課題】 管軸に対して装置が傾いた場合でも、その傾き角を計算して管内面の劣化状態を正確に且つ迅速に測定することが可能な管内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 管５の内面６に亘ってレーザビーム８を移動させて管内面６を照射するレーザ光源（光照射手段）４と、このレーザ光源４により照射された管内面６の表面形状を撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）１と、レーザ光源４およびＣＣＤカメラ１を管内面６の矢印Ａ方向（長手方向）に移動さす走行体（移動手段）２と、図示を省略するがＣＣＤカメラ１により撮像した二次元画像と走行体２による位置座標に基づいて管内面６の三次元表面形状を演算する制御部（ＰＣ）（演算手段）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 安価な３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 ３次元形状測定装置は、被検体７に投影するパターンをＧＵＩ画像１１としてＰＣモニタ２上に表示する、アプリケーションソフトウェア４を実行するＰＣ本体１によって制御される。プロジェクタ装置５は、ＰＣモニタ２の表示を投影する、市販の投影機であり、３次元形状測定装置として動作する場合、アプリケーションソフトウェア４によってＰＣモニタ２上に表示されたパターンをそのまま被検体７に投影する。アプリケーションソフトウェア４は、ＰＣのモニタ画面２上にパターンを表示させるだけのものでよく、プロジェクタ装置５もＰＣのモニタ画面上の表示を投影する市販のものでよい。撮像装置６で、被検体７に投影されたパターンを撮像し、ＰＣ本体１で処理することによって、３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 ストライプパターンから取得した点群データから被写体に忠実な３次元形状モデルを取得する。
【解決手段】 プロジェクタ１０をＯＮにし被写体５０にストライプパターンを投影する。ストライプパターンが投影された被写体５０を第２カメラ３０で撮影し（Ｓ１１），その後プロジェクタ１０の投影をＯＦＦにする。点群データ算出部６０２により撮像画像から点群データを算出し，点群データ間引き部６０８により被写体５０上の点群の隣接点間の間隔が縦横で略等しくなるように点群データを間引く。評価用三角ポリゴン生成部６０４により，間引き後の点群データから三角ポリゴンを生成し，鋭角の三角ポリゴンを無効と判断して削除する。当初の点群データのうち，有効な三角ポリゴンに含まれる点群データを用いて三角ポリゴンを生成してそのデータを３次元モデリング部６０６に供給する。 （もっと読む）

レーザビームの焦点位置を検出するために、まずレーザビーム（４）により複数のラインパターン（Ｌ１〜Ｌ９）をパターン基板（５）の表面に形成し、このときレーザと基板表面との間隔（Ｚ）をステップごとに変化する。その後、個々のライン（Ｌ）の幅（ｂ）を測定し、幅（ｂ５）が最小のライン（Ｌ５）を検出する。最小のライン幅に所属する高さ調整を機械の焦点調整として評価し、記憶する。
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【課題】 被測定配管の奥行き方向の一定範囲について、管全周にわたり高密度に定量的な形状測定が可能な管内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定配管１０内を撮影する２台のテレビカメラ２３とテレビカメラ２３で撮影する際の照明を行う投光装置２４とを備えた検出ヘッド２０を、被測定配管１０内に挿入して被測定配管１０内の内面形状を測定する管内面形状測定装置であって、２台のテレビカメラ２３からの映像信号を同一タイミングでデジタル化して記録する画像記録装置３１と、画像記録装置３１に記録された画像データを読み出してステレオ法により被測定配管１０の内面形状を求めるステレオ法処理手段を有するデータ処理装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 フィルム中に分散する粒子の種々の分散特性を正確に検査することができるフィルムの検査装置を提供する
【解決手段】 粒子が分散された光透過性フィルムの一面側に配される光源（照明200）と、このフィルムの他面側に配されて前記フィルムの透過画像を取得する受像手段（カメラ100）を有する。また、受像手段で得た原画像から微細粒子を顕在化させて微細粒子顕在画像を作成する微細粒子顕在化手段350と、原画像から粗大粒子を顕在化させて粗大粒子顕在画像を作成する粗大粒子顕在化手段360とを有する。そして、微細粒子顕在画像と粗大粒子顕在画像から検査画像を作成する検査画像作成手段370と、検査画像中の粒子の特性を演算する特性演算手段380とを有する。 （もっと読む）

【課題】 マークの計測精度を向上する。
【解決手段】 所定の計測方向及びこれに直交する非計測方向に配列された複数のマーク要素ａｍを有するマークＡＭの位置情報を計測する位置計測装置であり、計測視野内に配置されたマークを撮像する撮像手段４２ａと、撮像手段の計測視野内において非計測方向に不連続な複数の信号処理領域を選択する選択手段５２と、選択手段５２により選択された信号処理領域のみについて非計測方向に信号処理して計測方向における計測信号を求める信号処理手段５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ステンシルマスクの支持部または梁の側壁に付着する異物を簡単な方法で効果的に検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】ステンシルマスク（１０）の表面に対して実質的に垂直に形成された支持枠（１９）または梁（１８）の側壁（２１）を検査する方法であって、撮像手段（４１）をその光軸（３８）がステンシルマスクの表面に対する垂直の方向に対し、所定の角度（θ）で傾斜するように配置し、支持枠または梁の側壁に対し撮像手段の焦点位置を変えた複数の画像を撮影し、複数の画像から支持枠（１９）または梁（１８）の側壁に対する全焦点画像を合成し、全焦点画像を表示手段（５１）により表示する工程を含む、支持枠（１９）または梁（１８）の側壁を検査する方法。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出対象の形状による欠陥の検出処理量の増大を抑制する。
【解決手段】 複数の色の領域を有する検査対象物を撮影する。撮影によって得られた検査対象物のカラー画像を、色に応じて領域分割する。この領域分割結果から、特定の領域の形状を表す被検査画像を取得する。そして、被検査画像と比較画像とを対比することにより、特定の領域に関する欠陥を検出する。 （もっと読む）

画素のマトリックスを形成する複数の画素であって、グレー値などの技術的な数値を発生させる前記画素により画像１２’を生成するカメラ１８と、表面１２の状態を検出するために前記画素のデータを処理するコンピュータ２６とにより、ｎ＋１の繰返しパターン１６を有する前記表面１２を検査する方法である。方法は、検査すべき画素（検査画素）の各値を基準画素の値と比較すること、および前記画素の比較の差が検査の結果を決めること、を含む比較ステップからなる。
本発明は、前記画像１２’に関するマトリックスの画素の値のみが、前記表面１２の状態を検出する前記基準画素の前記値の基礎となることを特徴とする。

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【課題】 ３次元視覚センサの再校正方法の簡素化。
【解決手段】 ３次元視覚センサ１０２の正常時にロボットを用いて同センサ１０２と測定ターゲット１０３を１つ以上の相対的位置関係で配置し、測定ターゲット１０３を計測し、保持している校正パラメータを用いてドットパターン等の位置／姿勢情報を取得する。再校正には、各相対的位置関係を近似的に再現させ、測定ターゲットを再度計測し、特徴量情報やドットパターン等の画像面上の位置／姿勢を取得する。各特徴量データと位置情報に基づいて、３次元視覚センサの校正に関する複数のパラメータを更新する。相対位置関係の３次元視覚センサか測定ターゲットの少なくとも一方をロボットのアームに装着する。保持している校正パラメータを用いて、正常時と再校正時に得た各特徴量情報を用いて再校正時に位置情報を計算し、その結果に基づいて校正パラメータを更新することもできる。 （もっと読む）

対象物の画像化のシステムと方法。
検出器アレイの画像が画像面に配設される。検出器の各アレイは内挿部を有しているタイミング回路に接続され内装器はそれが放電する時とは異なった速度で第１のキャパシタを充電する第１の回路を含む。光パルスは対処物の方に送られるので光パルスの一部分は反射パルスとして対象物から反射され光パルスがいつ対象物へ送られたかを示す第１の値が記録される。反射されたパルスは１またはそれ以上の検出器で検出されそのパルスのパルス特性とその反射パルスが検出器にいつ到達したかを表わす第２の値とが記録される。対象物との範囲はその後第１及び第２の値と反射されたパルス特性の関数として計算される。 （もっと読む）

【課題】 高炉に熱風を供給するための熱風管の内壁面に施工された耐火煉瓦の他、高炉、熱風炉、転炉等の測定対象内部に存在する高温体までの距離や形状を精度良く測定できる小型・軽量で可搬性に優れた装置及び当該装置を用いた測定方法を提供する。
【解決手段】 測定対象Ｃ内部に存在する高温体Ｂに向けて測定対象Ｃに設けられた開口部を介してレーザ光を投光し、高温体Ｂで反射したレーザ光を受光することにより、高温体Ｂまでの距離を計測するレーザ距離計１１と、レーザ距離計１１から出射したレーザ光を偏向するための耐熱性固定ミラー１２と、固定ミラー１２で反射したレーザ光を高温体Ｂに向けて偏向走査するための耐熱性可動ミラー機構１３とを備え、固定ミラー１２及び可動ミラー機構１３は、レーザ距離計１１からのレーザ光の出射方向に沿ってレーザ距離計１１から離間して配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はレンズを用いることなく、順次拡径するリング状光束照射ができるようにして、構造が簡単で、小型化、低コスト化を図ることができる内径測定装置および内径測定装置用光誘導器を得るにある。
【解決手段】透孔が形成された筒状の測定物を支持する支持具と、光源からの光束をレンズを用いることなく順次拡径する所定幅のリング状光束あるいは少なくとも3本の光束に形成して、前記支持具で支持された測定物内で反射するように出射する光誘導器と、前記測定物内で反射されたリング状光束あるいは少なくとも3本の光束を検知し、該リング状光束あるいは少なくとも3本の光束の直径等から測定物の内径を演算処理する受光部を備える演算処理装置とで内径測定装置を構成している。 （もっと読む）

【課題】入力信号に対する応答速度を保ったまま、強度の変化が大きい信号を１つの増幅手段で増幅する。
【解決手段】アンプ１２は、抵抗Ｒ１と共に帰還増幅回路を構成する。基準電圧発生回路１４、クランプ回路１５、オフセット回路１６、反転ゲイン回路１７、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）１８及び抵抗Ｒ２は、帰還増幅回路の利得を制御する利得制御回路を構成する。クランプ回路１５は、信号増幅装置１０の入力電圧を、基準電圧発生回路１４が発生した基準電圧でクランプする。オフセット回路１６は、クランプ回路１５の出力電圧をマイナス側へオフセットする。反転ゲイン回路１７は、オフセット回路１６の出力電圧の極性を反転させて増幅する。電界効果トランジスタ１８は、反転ゲイン回路１７の出力電圧を制御電圧として動作し、電源Ｖ２から抵抗Ｒ２を介して帰還増幅回路の帰還ループに電流を加える。 （もっと読む）