【課題】本発明は、所定の特徴パターンの変形を考慮しつつ測定精度の向上と情報処理量の低減とを図ることができるひずみ測定装置およびひずみ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のひずみ測定装置Ｓａおよび該方法では、試験体ＳＭに外力を作用させる前後における試験体ＳＭの外力作用前画像Ａおよび外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって仮伸縮率が求められ、この求めた仮伸縮率を用いて外力作用前画像Ａまたは外力作用後画像Ｂにおけるパターンが変形され、この変形されたパターンに基づいて、試験体ＳＭの外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって伸縮率が求められる。 （もっと読む）

【課題】 母材が露出する領域が少ない場合でも、フィッティング領域を広く設定することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 曲面形状を有する第１板材と曲面形状を有する第２板材とを溶接した構造体の溶接ビードの検査装置であって、溶接ビードに交差する断面における構造体の表面形状を測定した測定形状７０を記述する測定形状データの入力を受ける入力手段と、前記断面における第１板材の溶接前の表面形状の基準形状を記述する第１板材基準形状データ７４を記憶する記憶手段と、測定形状７０の傾斜角度分布と第１板材の基準形状７４の傾斜角度分布に基づいて、測定形状７０の中から、第１板材の表面形状に相当する第１板材領域８０を特定する第１板材領域特定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 塗装表面欠陥検査方法及び塗装表面欠陥検査装置に関し、表面塗装状態の検査を１回の画像撮像により簡便に且つ高効率に行う。
【解決手段】 縞状明パターンと縞状暗パターンとが交互に配列された明暗パターンの照射光を、１回の照射時間内に前記明暗パターンの切り替えと照射輝度の変調を行って検査対象物の塗装表面に照射する工程と、前記塗装表面からの反射光を撮像装置により画像として取得する工程と、前記取得した画像における輝度情報から前記塗装表面の内部の異物や混入物の影響と前記塗装表面の凹凸欠陥とを区別する画像処理工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】出射光学系の部品の取り付け角度がずれたとき、出射光学系から出射されるレーザ光の光軸方向のずれを相殺するように出射光学系に入射するレーザ光の光軸の方向を調整することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源１０とレーザ光を走査する第１ミラー１６との間に、直交する２つの回転軸回りに回転可能に支持されたミラー１４ａを設ける。測定対象物ＯＢからの反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第１受光センサ２４と、第１受光センサ２４にて反射した反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第２受光センサ２６を設ける。３次元カメラＣＡと測定対象物ＯＢが所定の位置関係になるようにセットし、反射光が第２受光センサ２６の所定の範囲内にて受光されるように、ミラー１４ａを回転させる。 （もっと読む）

【課題】被写体の表面に現れている線の幅を短時間に精度よく算出可能な線幅算出装置と算出方法並びに算出プログラムを得る。
【解決手段】記憶手段には、画像データに含まれる画素の大きさと被写体の表面上の大きさとの換算値が記憶されていて、画像処理手段は、画像データに含まれる画素ごとの輝度値を算出する輝度値算出手段と、画像データに含まれる画素ごとに算出された輝度値と所定の基準値とを比較し、比較の結果に基づいて画像データに含まれる画素の中から線が撮像されている可能性の高い線画素を特定する線画素特定手段と、画像データに含まれる画素のうち特定された線画素の周辺に位置する周辺画素を特定する周辺画素特定手段と、特定された周辺画素ごとに線境界を特定する線境界特定手段と、特定された線境界と換算値とに基づいて線幅を算出する線幅算出手段とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】各層の膜厚測定を可能にする積層体、その積層体の製造方法、及び非破壊非接触で膜厚測定を行いフィルム異常の検査が可能となる膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】複数の層を積層してなる積層体である。複数の層の少なくとも一層に対し、予め設定した位置に空隙を形成した。 （もっと読む）

【課題】回折格子が配置された面の垂直方向の変位のみを容易に検出することができる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１は、照射光学系２と、干渉光学系３と、受光部４と、変位検出部５とを備えている。照射光学系３は、回折格子１００の格子構造が周期的に並んでいるＸ方向に垂直な面に対して異なる角度でそれぞれ光束を回折格子に入射させる。干渉光学系３は、回折格子１００に入射された入射光Ａ１，Ｂ１のＭ次回折光Ａ３，Ｂ３どうしを干渉させて干渉光を生じさせる。受光部４は、干渉光を受光して干渉信号を検出する。変位検出部は、干渉信号の変化から回折格子が設けられた面の垂直方向の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】数秒／枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が１００nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】円形フランジに機器、部材等を取り付けることなく円形フランジの歪量を測定するための円形フランジの歪量測定方法及び円形フランジの歪量測定装置を提供する。
【解決手段】歪を測定しようとする円形フランジ１１の前方に配置されて、特定位置Ｐから軸心１７に対して一定角度θで旋回し円錐面状にスキャンするレーザー光を発して円形フランジ１１の測定面１２に照射し、測定面１２からの反射レーザー光を受光して、特定位置Ｐから測定面１２までの距離を測定するレーザー測定機１３と、レーザー測定機１３を載せて所定方向にレーザー測定機１３の軸心１７を向ける位置決め手段１５と、レーザー測定機１３から取得した特定位置Ｐから測定面１２までの距離の値にｃｏｓθを乗算し距離データを得て、距離データから測定面１２が完全平面と仮定した基準データを算出し、距離データから基準データを引いて、円形フランジ１１の歪量を算出する演算部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】 透過性膜の膜厚を算出する際に用いられる撮影データの最大値に関する信頼性を評価して、信頼性の高い膜厚測定が行えるようにする。
【解決手段】 固定長の焦点距離を備える撮影部２を種々の高さに位置させて、基材と透光性膜とを含む基板を撮影した際の撮影画像の合焦度を算出する合焦度算出部６ａと、撮影部２の位置に対する合焦度からなる合焦度曲線の極大値を検出する極大値検出部６ｂと、極大値の信頼度を算出して、極大値が適正値か否かを判断する信頼度算出判断部６ｃと、信頼度算出判断部６ｃにより適正と判断された極大値に対応する撮影部２の位置を境界位置として算出する境界位置算出部６ｄと、境界位置に基づき透光性膜の膜厚を算出する膜厚算出部６ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定領域においてハレーションがある場合でもハレーションによる悪影響を軽減して測定領域の高さを計測できる高さ計測装置及び、高さ計測方法を提供する。
【解決手段】高さ計測装置は、高さ方向に撮像位置を変えて画像データを撮像する画像取り込み部と、前記画像データ中の測定領域における高さごとのフォーカス評価値を計測する測定領域フォーカス評価値計測部と、前記画像データ中の前記測定領域の近傍領域における高さごとのフォーカス評価値を計測する近傍領域フォーカス評価値計測部と、前記近傍領域における高さごとのフォーカス評価値と、前記測定領域における高さごとのフォーカス評価値とを基に、前記測定領域における高さを計測する測定領域高さ計測部とを有する。 （もっと読む）

【課題】撮影画像に写っている撮影対象のサイズを簡易な方法で推定することのできる撮影対象サイズ推定装置を提供する。
【解決手段】撮影画像に写っている撮影対象の所望の算出対象サイズを表す算出対象画素の前記撮影画像内において占める画素数を検出する。また、撮影画像内において算出対象画素が占める画素数の代表値により、撮影対象の実空間上での算出対象サイズの代表値を除して、撮影画像内の１画素の実空間上におけるサイズの代表値を算出し、その値に、撮影対象の算出対象画素が撮影画像内において占める画素数を乗じることにより、撮影画像内に写っている撮影対象における算出対象サイズの実空間上のサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の連続したエッジ検出を行うことができるトロリ線検査装置を提供する。
【解決手段】トロリ線検査装置において、トロリ線４を照らす照明３と、前記照明３の両脇に１台ずつ設置してトロリ線４を撮影する左カメラ１０及び右カメラ１１と、前記左カメラ１０及び右カメラ１１により撮影した画像中の前記トロリ線４の軌跡の下側のエッジを検出して前記トロリ線４の高さと偏位を測定する画像録画及び画像処理部２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被検査体の高さを少ない撮像回数で求める。
【解決手段】外観検査装置１０は、周期的に明るさが変化する第１縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第１投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第１縞パターンとは異なる周期で明るさが変化する第２縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第２投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第２縞パターンに対応する被検査体の計測点の明るさ変動の位相を、第１投影画像及び第２投影画像における当該計測点の明るさと、第１縞パターン及び第２縞パターンのそれぞれに対応する明るさ変動の既知の関係とに基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載されたカメラの撮影画像を処理してピッチ角からその車両の走行状態や路面状態を判定する走行状態判定装置において、ピッチ角を、簡単にかつ、実際との乖離なく正確に推定できるようにして判定性能を向上する。
【解決手段】車両１に搭載されたカメラ２の撮影画像を、射影変換部３２によってカメラ視点を変える簡単な座標変換の処理で迅速に側面視画像に射影変換し、ピッチ角推定部４により即面視画像の時間変化から車両１のピッチ角を実際との乖離を防止して正確に推定推定する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルと光学手段との相対的な位置精度を低コストかつ高速に検出できる、実装精度検査方法及びその検査方法を用いる検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象となる表示装置は、複数の画素群が配列された表示パネルと、画素群から複数のＮ（Ｎは２以上の自然数）視点に向けた画像表示を提供するための光学手段と有する。検査装置は、視点毎に異なる画像信号を有する検査パターンを表示装置に出力する画像出力手段と、表示装置から表示された検査画像の境界線分の傾きと位置を抽出する抽出手段とを備え、抽出手段が抽出した傾きと位置に基づいて表示パネルと光学手段との位置精度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ロバストに物体の位置を検出する位置検出装置及び位置検出方法を提供する。
【解決手段】第１位置情報推定部は情報源を表す第１の態様の情報に基づいて第１の位置情報を推定し、第２位置情報推定部は前記情報源を表す第２の態様の情報に基づいて第２の位置情報を推定し、情報統合部は前記第１の位置情報及び前記第２の位置情報の各々と複数の粒子からなる粒子群を対応付け、対応付けられた粒子群に属する粒子毎の位置情報に基づいて前記情報源の位置情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広いＺ方向範囲の高速な測定及びこれによる測定時間の短縮。
【解決手段】光源から被測定対象までの第１光路長と光源から参照面までの第２光路長との光路長差によって変化する被測定対象の干渉光強度分布画像を、撮像手段で撮像する第１の工程と、第１光路長と第２光路長の光路長差を光路長差変更手段で全走査区間に亘って変化させながら、全走査区間内に部分的に設定された複数の測定区間の干渉光強度分布画像を画像記憶手段に順次記憶する第２の工程と、画像記憶手段に記憶された各測定区間の干渉光強度分布画像の各測定位置における光路長差の変化に伴う干渉光強度の変化を示す干渉光強度列から、全走査区間における干渉光強度列のピーク位置を求め、このピーク位置から被測定対象の各測定位置における光軸方向の位置を求める第３の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】光制御板に形成された凹凸形状を簡易に評価することが可能な形状評価方法を提供する。
【解決手段】凹凸形状13が形成された第１の面11と当該第１の面11と反対側に位置する第２の面12とを有し、凹凸形状13が第１の方向11に延在しているサンプル光制御板1の凹凸形状13を評価する形状評価方法は、第１の面11から光を入射した場合の第１の全光線透過率Tt1及び第２の面12から光を入射した場合の第２の全光線透過率Tt2の少なくとも一方を用いて規定される指標を凹凸形状13を表す指標とし、サンプル光制御板1に対して、第１及び第２の全光線透過率Tt1，Tt2の少なくとも一方を測定して上記指標を取得する取得工程と、凹凸形状が既知の基準光制御板に対して予め取得した指標と凹凸形状との相関関係に基づき、取得工程で取得した上記指標から、サンプル光制御板1の凹凸形状13を評価する評価工程とを有している。 （もっと読む）