【課題】ピック・アンド・プレイス機械のノズルに保持されたときに部品のオフセットおよび方向を検知するセンサを提供する。
【解決手段】センサは、複数の２次元カメラ３００と、バックライト照明装置３０６と、コントローラ３０８とを含む。各カメラはピック・アンド・プレイス機械のノズルを含む視野を有する。バックライト照明装置は照明を複数の２次元カメラに向けるように構成されている。バックライト照明装置は複数の２次元カメラからノズルの反対側に位置決めされている。コントローラは複数の２次元カメラおよびバックライト照明装置に接続されている。コントローラは、複数の２次元カメラによって検出された、バックライトで照らされた複数の影の画像に基づいて（複数の）部品３０２のオフセットおよび方向情報を決定するように構成されている。コントローラはオフセットおよび方向情報をピック・アンド・プレイス機械のコントローラに供給する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象との距離を表す距離画像を生成する際に、撮像対象の光反射やその光沢などの外乱、測定原理等に起因する距離の誤差の低減を実現する。
【解決手段】撮像対象との距離を計測するための画像を撮像する第１の撮像手段１１０と、第１の撮像手段１１０で撮像された画像に基づくデータを用いて撮像対象までの距離を算出する距離算出手段１３０と、偏光成分を計測するための画像を撮像する第２の撮像手段１２２と、第２の撮像手段１２２で撮像された画像に基づくデータを用いて偏光状態の解析処理を行う偏光解析手段１４０と、距離算出手段１３０で算出された距離に係る距離情報１０３及び偏光解析手段１４０で解析処理された偏光状態に係る偏光解析情報１０５に基づいて、撮像対象の距離画像１０６を生成する距離画像生成手段１５０を備える。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】移動する複数の被写体間の実空間上の距離情報を、簡素な構成で迅速に取得可能な距離計測装置、距離計測プログラムを提供することを目的とする。また、複数の被写体間の実空間上の距離情報を画像に合成表示することが可能な合成画像生成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施形態に係る距離計測装置１は、複数の被写体を撮影する撮影手段１０と、距離計測装置１からの実空間上の距離を、画像の水平座標に対応付けて計測する測距手段２０と、画像を表示する表示手段３０と、外部から、表示手段３０に表示された画像上の被写体を指定する操作信号の入力を複数受け付け、この操作信号により指定された各指定位置の画像座標を順次取得する測距対象指定手段４０と、この各指定位置の水平座標に対応付けられた各実空間上の距離に基づいて、指定された被写体間の被写体間距離を演算する距離演算手段５０とを主に備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】複数の物体間に相対移動が生じた場合に、相対移動を検出するためのセンサ等を用いることなく、画像処理により複数の物体間の相対移動を早期に検出することができる方法を提供する
【解決手段】ロボットハンド１は、ＣＣＤカメラ５により把持部４及び把持部４に把持されている物体９を含む部分画像Ｐを取得し、その部分画像Ｐから把持部４及び物体９をそれぞれ認識する。その後、認識された把持部４及び物体９の動きベクトルｈ_ｉ，ｗ_ｊをそれぞれ算出し、算出された動きベクトルｈ_ｉ，ｗ_ｊに基づいて、把持部４と物体９との間の滑り（相対移動）を検出する。これにより、把持部４と物体９との間に滑りが生じた場合に、滑りを検出するためのセンサ等を用いることなく、画像処理により把持部４と物体９との間の滑りを早期に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、パターン検査の検査精度を向上させることができるパターン検査装置、パターン検査方法、および微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】被検査体に形成されたパターンに関する参照データと、前記パターンを検出することで得られた検出データと、を比較して前記パターンの検査を行うパターン検査装置であって、前記パターンを複数の領域に分割して前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の補正条件を求め、前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の少なくともいずれかにおいて対応する補正条件を適用して前記参照データを作成する補正処理部を備えたこと、を特徴とするパターン検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】印刷されたはんだの形状を効率良く測定、検査する。
【解決手段】変位センサ２により、プリント板毎にパッド周辺におけるパッド面からのレジスト高さを測定する。予備測定モードで、レジスト高さ記憶部６が、測定された該プリント板のパッド面からのレジスト高さの値を順次受けて、プリント板の識別符号とともに記憶する。測定モードで、はんだが印刷されたプリント板を順次受けて、プリント板のレジストからのはんだの高さを測定するとともに、識別符号を検出する。次に、測定されたレジストからのはんだの高さと、レジスト高さ記憶手段に記憶されている検出された識別符号に該当するパッド面からのレジストの高さとから、パッド面からのはんだの高さを求める。判定部はパッド面からのはんだも高さに基づくはんだ形状と、予め記憶しておいた基準データとを比較して良否判定する。 （もっと読む）

本発明は、レーザスキャナ１０を用いて周辺空間を光学的に走査および測定する方法であって、レーザスキャナ１０が、ある中心Ｃを有する走査を行うために、目標Ｔを含むその周りを光学的に走査および測定し、それによって、異なる中心を有するが同じ周辺空間を走査する２つの隣接する走査が測定点Ｘの範囲内で重複し、したがっていくつかの目標が２つの走査のいずれかによって走査され、それによって、第１のステップ中に、２つの隣接する走査を位置合わせするために、測定点内で目標の場所が特定され、第２のステップ中に、２つの隣接する走査の場所を特定された目標の間で対応関係候補が探され、第３のステップ中に、２つの隣接する走査の仮の位置合わせが行われ、重複する範囲内に測定点の十分な適合度がある場合、仮の的位置合わせが正規の位置合わせに置き換わり、したがって目標を特定する方法が提供される。
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【課題】統計的干渉計測法の円滑な実施を可能にする微小変位計測装置を提供する。
【解決手段】分岐したレーザ光を被測定物体１０の２点に照射し、その散乱光より得られるスペックル干渉画像から被測定物体の変位を求める計測装置であり、光線の位相を位相可変手段１７で違えて作成した第１、第２の基準スペックル干渉画像（基準画像）と測定対象のスペックル干渉画像（計測画像）との間の位相差を統計的干渉計測法で求める対基準画像位相差算出部３２と、各計測画像の位相差から計測画像間の変位を表す位相差を求める変位位相差算出部３３と、基準画像を更新する基準画像更新部３４とを有する。基準画像の更新により、統計的干渉計測法を用いて微小変位を計測する際の測定レンジを拡大することができる。 （もっと読む）

【課題】入射光束を２つの平行な光束に分岐する装置であって、平行な光束の間隔や位相を任意に調節できる光分岐装置を提供する。
【解決手段】二つの同形の直角プリズム４１、４２を、分岐膜４３を介して接合した三角柱プリズム４４と、柱状プリズム４５とで複合プリズム４０を構成し、複合プリズム４０の出射面４６に対向して、出射面４６と平行を保つ状態で移動できる可動直角プリズム５０を配置する。直角プリズム４１の傾斜面から入射した光束が、分岐膜４３で二つの光束に分岐され、複合プリズム４０の出射面４６から光軸４７に接近する方向に出射して可動直角プリズム５０に入射し、可動直角プリズム５０の異なる面から平行に出射する。可動直角プリズム５０をＡ方向に移動すれば平行光束の間隔が変化し、可動直角プリズム５０をＢ方向に移動すれば、二本の平行光束間の位相が調整できる。 （もっと読む）

バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有するシガレット紙を検査するためのシステム。システムは、シガレット紙の特性を表す電気信号を形成する短波赤外線カメラ（２２４）と、電気信号を解析して解析結果を提供するプロセッサとを含み、プロセッサは、各連続ピクセルが非バンド付き領域又はバンド付き領域に対応するか否かを判断するためにピクセルを連続的に調べるための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上の隣接するバンド付き領域間の間隔を計算するための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上のバンド付き領域の幅を計算するための論理とを含む。バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有する紙を検査するためのオンライン方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】カメラの位置の変化及び環境設定の変化に対して制限のないリアルタイム校正を行う。
【解決手段】カメラは、まず初期校正される。次に、カメラの動作量が計算され、動作量に従い、カメラの複数の動作量推定サンプルが生成される。次に、複数の動作量推定サンプルのそれぞれの重みが計算される。その後、重みに基づき、複数の動作量推定サンプルがリサンプリングされ、カメラは、リサンプリングされた推定動作サンプルによって校正される。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２ａ上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータ３４を使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックな特徴的パラメータを計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体１２ｃを測定して回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックな特徴的パラメータを得る。この特徴的パラメータをデータベース内の特徴的パラメータと適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】重複画像における誤対応点を自動判定することで、三次元形状の測定に必要な初期値を始めとする測定値を自動で取得する。
【解決手段】
形状測定装置１は、重複撮影領域で測定対象物１８を撮影する撮影部２〜９と、撮影部２〜９によって撮影された測定対象物１８の特徴点の位置を対応付ける特徴点対応付部２１と、特徴点対応付部２１で対応付けた特徴点の重複画像における視差を求める視差測定部２２と、視差測定部２２で求めた視差に基づき、測定対象物１８の特徴点の三次元座標を求める三次元座標演算部２３と、視差測定部２２で求めた視差、および、三次元座標演算部２３で求めた三次元座標または三次元座標系における測定対象物１８の形態に基づいて、誤対応点を判定する誤対応点判定部２４と、誤対応点判定部２４で誤対応点と判定された点を除いた特徴点の位置等に基づき、測定対象物１８の三次元形状を求める三次元形状測定部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２ａ上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータ３４を使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックなパラメータを計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体１２ｃを測定して回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックなパラメータを得る。これらパラメータと参照データベースを用いて格子型パラメータを決める。 （もっと読む）

【課題】重複画像における誤対応点を自動判定することで、三次元形状の測定に必要な初期値を始めとする測定値を自動で取得する。
【解決手段】
形状測定装置１は、重複撮影領域で測定対象物１８を撮影する撮影部２〜９と、撮影部２〜９によって撮影された重複画像における測定対象物１８の特徴点の位置を対応付ける特徴点対応付部２１と、特徴点対応付部で対応付けた特徴点同士を線分で結び三角形網を形成する三角形網形成部２３と、三角形網形成部２３で形成した三角形網の辺長、面積、角度の少なくとも一つに基づき、誤対応点を判定する誤対応点判定部２４と、誤対応点判定部２４で誤対応点と判定された点を除いた特徴点の位置等に基づき、測定対象物１８のの三次元形状を求める三次元形状測定部２５とを備える。 （もっと読む）

空間座標系（Ｘ’、Ｙ’、Ｚ’）を規定するねじ付きの物体の形状を取り込む光学センサー（５）を組み入れている、空間基準システム（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を規定する、測定デバイス（１）を用いて、該測定デバイス（１）は該空間基準システム（Ｘ、Ｙ、Ｚ）内で該ねじ付き物体を表す２次形式を記述する第１マトリックスを組み立てるコンピュータを有し、かくして該２つの空間座標系間の関係を提供する、該測定デバイスによるねじ付き物体（３）のねじパラメーターの測定方法。該方法はａ）該ねじ付き物体上で該少なくとも１つの光学センサー（５）の少なくとも１つの軌跡を事前規定する過程であって、該軌跡に沿って該測定点が、該測定点の値で評価された該マトリックスが、該マトリックスが最大階数を有する条件を満足させるよう選択される、該事前規定する過程と、ｂ）該少なくとも１つの光学センサー（５）により前記少なくとも１つの軌跡に沿う第１走査動作を行い、該事前規定された測定点のデータを取り込む過程と、ｃ）これらのデータを該第１マトリックスに供給し、該第２空間座標系に対する該ねじ付き物体の相対位置を規定するために該第１空間座標系を該第２空間座標系に関係付ける軸変換マトリックスを計算する過程と、ｄ）該第２空間座標系から取り込まれた全データを該第１空間座標系へ変換するために該軸変換マトリックスを使用する過程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状復元装置において、観測データ行列（特徴点位置系列）中に複数の物体に由来するデータが混在していても因子分解の実行を可能とする。
【解決手段】複数の物体に由来する特徴点の位置を表す観測データ行列ｘを因子分解するにあたり、物体の形状を表す形状行列をｚ、特徴点のそれぞれが属する物体を指定する指定行列をｈとし、また、物体ｕの運動行列Ｗ_e|u ，物体ｕに由来する特徴点の測定の正確さτ_|u，特徴点がそれぞれの物体ｕ（ｕ＝１，２，…，Ｕ）に属している確率（混合比）ｇをまとめたものをモデルパラメータをθとして、変分ベイズ推定法を適用し、Ｅステップでは、第１試験分布ｑ（θ）を固定して第２試験分布ｑ（ｚ，ｈ）を求め、Ｍステップでは、第２試験分布ｑ（ｚ，ｈ）を固定して第１試験分布ｑ（θ）を求めることで、確率的に因子分解計算を実行する。 （もっと読む）