【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】測定値のばらつきが小さく精度の良い角型電池の外形測定装置を得る。
【解決手段】電池７の垂直方向の外周面を把持しかつ７の水平方向の位置決めを行い、かつ電池姿勢を垂直に位置決めする側面位置決め機構２２と、７の水平方向の外周面に当設可能であって７の水平面の垂直方向の位置決めをする水平面位置決め機構２３と、搬送治具８に７を載置面から切り離す手段２０を備え、７の垂直方向の外形を測定する際に、２２により７の水平方向の位置決めと姿勢を垂直に位置決めし、かつ２０により載置面から７を切り離した状態で、垂直方向外形測定手段１２により７の垂直方向の外形を測定し、７の水平方向の外形を測定する際に、２３により７の垂直方向の位置決めをし、かつ２０により載置面から７を切り離した状態で、水平方向外形測定手段１３により７の水平方向の外形を測定する角型電池の外形測定装置。 （もっと読む）

【課題】コストを抑えたシート状材料の厚さ測定を行うことを可能としたシート状材料の厚さ測定方法およびシート状材料の搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ベルト１２は、シート状材料２の搬送方向と直交する方向に２つに分割された第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４で構成されている。第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４の間には間隙Ｓが確保されている。シート状材料２は第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４により搬送される。第１、第２の変位センサ１６、１８は、非接触式であり、第１の搬送ベルト１２０２と第２の搬送ベルト１２０４との間隙Ｓの領域内に位置するシート状材料２の上下に離間して配置され、シート状材料２の上面および下面の変位を検出する。厚さ算出手段２０は、第１、第２の変位センサ１６、１８で検出された上面および下面の変位に基づいてシート状材料２の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】充放電時における正極および負極それぞれの厚さ変化を個別に測定することができる電極厚さ変化測定装置の提供
【解決手段】本発明に係る電極厚さ変化測定装置１００は、充放電時における正極または負極の厚さ変化を測定する装置であり、第一硬質平板１と、第一電極２と、測定電極台座３と、第二電極４と、第二硬質平板（電極押さえ）５とを順に積層した積層体を電解質と接触する状態で密閉した電極厚さ変化測定用セル１０と、第一電極に荷重を付加する荷重負荷手段１１と、第一リード１２および第二リード１３を介して、電極厚さ変化測定用セル１０内の第一電極（図示しない）および第二電極（図示しない）に電気的に接続され、充放電を行う充放電装置１４と、第一電極の充放電時の変位を測定する変位計１５とを備え、測定電極台座３と第二硬質平板５との間隔は、第二電極４が膨張しても変化しない構成となっている。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】空洞内の被覆を検査でき、または空洞の被覆の厚さまたは不十分にしかアクセス可能でない区域を非破壊方式で判定できる測定プローブを提供する。
【解決手段】開口部によってアクセス可能な、または曲がった表面上の、特に空洞２６内の薄い層の厚さの非破壊測定のための測定プローブ１１であって、センサ要素と前記空洞２６の検査予定の表面２７上でセンサ要素に割り当てられる接触式球状のキャップとを備える測定ヘッド１７と、前記測定プローブ１１を測定予定の表面２７上を表面２７に沿って位置決めしガイドするための掴み要素１２とを備え、それによってこの掴み要素１２に長い弾性的に曲り易いガイド・バー１６が設けられ、ガイド・バーは掴み要素１２に対向するその端部上に少なくとも１つの測定ヘッド１７をその測定ヘッドがガイド・バー１６に対して移動できる。 （もっと読む）

【課題】皮革に摩擦力がかからず、皮革に形成された溝の深さを高精度に測定することができる皮革残膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】スリットＳＷが形成されている皮革Ｗ１の部位における残膜の厚さを測定する皮革残膜厚測定装置１において、皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１の裏面に線状の先端部１１を接触させて、皮革Ｗ１を支持する基台１０と、基台１０で支持されている皮革Ｗ１の両端部側の部位が基台１０から離れて延出し、基台１０で支持されている皮革Ｗ１のスリットＳＷが開口するように、皮革Ｗ１の両端部を引っ張る皮革引っ張り手段２０と、皮革引っ張り手段２０で引っ張られている皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１における残膜の厚さを測定する残膜厚測定手段２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】高温ガスの管路内部に配設されている耐火物の残厚測定を容易に且つ精度よく実施することで耐火物の更新・交換時期の最適化により該耐火物のコストを低減させるとともに耐火物の脱落・劣化判定のための作業者の負荷を低減させることが可能な高温ガス管路内耐火物の残厚推定方法を提供するものである。
【解決手段】管路表面と管路内部の耐火物の位置に、それぞれ管路のガス流れ方向に温度を測定する光ファイバーを設け、光ファイバーにより測定した管路表面の温度、光ファイバーにより測定した内部の耐火物の位置での温度、測定した管路内ガス温度、既知の鉄皮表面の光ファイバーと内部の耐火物内の光ファイバーとの間の距離、既知の放熱量から耐火物の残厚を演算する管路内耐火物の残厚推定方法。 （もっと読む）

パターン化された構造の少なくとも１つのパラメータの測定で使用するための方法およびシステムが提供される。方法は：構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータと、理論的信号と測定された信号との間の関係は、構造の少なくとも１つのパラメータを示す理論的信号を示すデータとを含む入力データを提供する過程と；構造の少なくとも１つの性質を特徴付ける少なくとも１つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程と；フィッティングプロシージャの前記実行は、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するために前記ペナルティ関数を使用することと、構造の前記少なくとも１つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することとを含む、理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程と；からなる。
（もっと読む）

【課題】形状や厚みが異なる種々の被検レンズのレンズ中心厚を、被検レンズの外観品質を低下させることなく正確に測定することが容易なレンズ中心厚測定器を提供すること。
【解決手段】測距用のセンサヘッド２２ａ，２２ｂを有する２台の非接触型測長計２ａ，２ｂと、これら２台の非接触型測長計それぞれのセンサヘッドを互いに対向させ、各センサヘッドの測定軸ＭＡ１，ＭＡ２を互いに一致させて支持する測長計支持部３Ａと、センサヘッド間に設けられ、被検レンズＬ１の少なくとも光学中心Ｌｃ，Ｌｄを露出させて且つ該被検レンズの光軸Ｌｘを測定軸に一致させて該被検レンズを保持するレンズ保持部４Ａとを用いてレンズ中心厚測定器１Ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】被塗装面の領域内において、膜厚を測定するための特定位置に簡単に膜厚センサを位置づけることができる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】塗装膜厚測定装置１０は、被塗装面に施された塗装の膜厚を測定する膜厚センサ１５と、被塗装面の領域内において、膜厚センサによる測定位置を標定する距離センサ１２とを備える。また、塗装膜厚測定装置１０は、被塗装面の領域内に設定された特定位置を記憶する記憶部２２と、記憶部２２に記憶された特定位置と距離センサ１２によって標定された測定位置とを比較し、両者の差分を求める比較部２４と、比較部２４によって求められた差分を通知する通知部２０と、をさらに備えることができる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルエレクトロニクスに使用されるフレキシブル配線基板製造工程中に、フレキシブル基板上に形成された金属層の厚さを測定する方法を提供する。
【解決手段】金属層に引張応力又は曲げ応力を加えることにより金属層にシワを生成し、このときに発生したシワの周期を光学顕微鏡などで現場で直接測定することにより薄い金属層の厚さを容易に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】配管表面に生じる歪みのうち熱による歪み分を除去して配管の肉厚を正確に測定できる配管肉厚測定装置を提供する。
【解決手段】圧力検出器１７で配管の内圧を検出し、歪み検出装置１５で配管表面の周方向の歪み及び軸方向の歪みを検出し、温度検出器１１で配管の温度を検出し、ヤング率算出手段１３は温度検出器１１で検出した配管温度に基づいて配管材のヤング率を求め、内圧分歪み算出手段１６は歪み検出装置１５で検出した配管表面の周方向の歪み及び軸方向の歪みから熱による歪み分を除去し、配管の内圧による配管表面の周方向の歪み及び軸方向の歪みを算出し、肉厚算出手段１４は圧力検出器１７で検出した配管の内圧、内圧分歪み算出手段１６で算出した配管の内圧による配管表面の周方向の歪みまたは軸方向の歪み、及びヤング率算出手段１３で求めた配管材のヤング率に基づいて配管の肉厚を求める。 （もっと読む）

【課題】折り畳み可能な測定機器用架台を提供して、組み立てを簡単にするだけでなく、輸送スペースをコンパクトにする。
【解決手段】測定機器ＭＵを長手方向に沿って移動させる長尺部材３と、長尺部材３の両端部それぞれに設けられ、長手方向とは異なる方向に長尺部材３を移動させるためのガイドレール７１を有する一対の第１枠体４とを備え、長尺部材３の両端部がそれぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１に沿って互いに異なる方向に移動して第１枠体４同士の間隔が狭まるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】帯状基材とローラの間に空気の巻き込みが発生した場合でも、その影響を受けず、塗膜の膜厚を測定できる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置１００は、ローラ３０上を搬送される帯状基材１０の長さ方向に塗工部４０から塗液４４を塗工して形成された塗膜１２の膜厚を測定する。この装置１００は、基材１０の搬送方向９０に対して塗工部４０よりも上流側の位置に設けられ、ローラ外表面３０ａから基材表面１０ａまでの厚みＸ１を測定する第１厚みセンサ５０と、塗工部４０よりも下流側の位置に設けられ、ローラ外表面３０ａから塗膜表面１２ａまでの厚みＸ２を測定する第２厚みセンサ６０とを備え、第１厚みセンサ５０で測定された厚みＸ１と、第２厚みセンサ６０で測定された厚みＸ２との差分から塗膜１２の膜厚を算出し得るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定値の正確性や信頼性を担保しつつ、コンピュータに入力されて処理の対象となる測定値の確定に必要な作業時間や労力を削減する。
【解決手段】 測定対象物の特性を測定する測定装置１０と、測定装置１０の表示部１２から測定者が目視で読み取った測定値を入力するマイクロホンセット３０と、測定装置１０によって測定された測定値を測定者の指示したタイミングで読み取る計測部１３、計測部１３で読み取られた測定値を一時的に記憶する記憶部２１、マイクロホンセット３０から入力された測定値と記憶部２１に記憶された測定値を照合する照合部２３、照合の結果、マイクロホンセット３０から入力された測定値と記憶部２１に記憶された測定値が一致した測定値を記録する記録部２４、記録部２４に記録されたデーから測定結果を求めるデータ処理部４０とを備えた携帯情報装置２０とから測定システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】 試験片の位置を正確に設定することができ、試験片の寸法を精度よく測定することが可能な測寸装置を提供する。
【解決手段】 試験片１の両端をその下方より支持して搬送する一対のコンベア１１と、このコンベア１１により搬送された試験片１を撮影することにより試験片１の幅を光学的に測定する幅測定機構３と、このコンベア１１により搬送された試験片１を上下方向から挟持することによりその上下方向の厚さを測定する厚さ測定機構４と、コンベア１１による試験片１の搬送経路上に配設され試験片１の両端部に当接可能な当たりブロック６とを備える。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減する基板処理装置及び基板搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、計測ユニット１０と、搬送機構とを備える。計測ユニット１０は、基板Ｗの状態を所定の計測位置Ｐｍで計測する計測器１５と、第１のトレイ１１と、第２のトレイ１２と、所定の計測位置Ｐｍと第１のトレイ１１及び第２のトレイ１２との間で基板Ｗを移動させるステージ１６とを有する。搬送機構には、基板Ｗを把持する第１の把持部２１及び第２の把持部２２を有するロボットハンド２５が設けられている。第１のトレイ１１に基板Ｗを載置したロボットハンド２５が計測ユニット１０から出ずに計測後の基板Ｗを計測ユニット１０の外に取り出すことで、計測ユニット１０に対する１回のアクセスで計測前後の基板Ｗを入れ替えることができてスループットの低下を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）