【課題】比較的低性能なセンサを用いる場合でも、複数の対象物の位置を安定して推定することができる位置推定装置を提供する。
【解決手段】 位置センサ１は、複数の人物の位置を検出し、ＩＤセンサ２は、各人物が装着した光ＩＤタグ３のＩＤ番号を検出し、位置尤度算出部４２は、検出された位置を用いて人物の位置の尤度を算出し、ＩＤ尤度算出部４３は、検出されたＩＤ番号を用いて光ＩＤタグ３のＩＤ番号の尤度を算出し、位置推定部４４は、算出された人物の位置の尤度及びＩＤ番号の尤度を基に各人物の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】振動や動ひずみが計測可能なワイヤレスひずみセンサにおいて、低ノイズで高精度な測定を実現しながら、同時に消費電力を低減し、バッテリ取り替え寿命の低減や、微小容量の電源での駆動を実現する。
【解決手段】ワイヤレスひずみセンサモジュールで動ひずみを測定する際に、ひずみセンサからの出力を、フィルタでフィルタリングし、整流・平滑化回路で整流・平滑化してから、ＣＰＵでデータ処理をして、無線通信を行うことにより、データ処理ＣＰＵのサンプリング周期を長くでき、また、無線通信するデータ量が小さくなるので、ＣＰＵ，無線通信の消費電力を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】帯状体表面の欠陥を、蛇行しているときにも検出できること、及び欠陥の大きさ、種類、形状も認識できること。
【解決手段】ガイドロール(4)(5)に巻装されて走行する磁気テープ(3)に対向して配設されるラインＣＣＤカメラ(6ａ、6ｂ、6ｃ、6ｄ、6ｅ)と、磁気テープ(3)を照射する光照射手段(9)と、磁気テープ(3)の走行速度を検出するパルス発生器(11)と、ラインＣＣＤカメラの撮像した画像を処理する画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)とを具備し、画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)は少なくとも磁気テープ(3)の一方の縁部と表面上の欠陥を認識させ、パルス発生器(11)の出力に基づく磁気テープ(3)の走行方向における欠陥の位置と、縁部から欠陥までの距離とを演算するようにした。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】スプロケットの回転角を高精度かつ省スペースで検出することができる装置を提供する。
【解決手段】スプロケット２３の回転角毎に異なる態様に変化するパターン形成面２７ａをスプロケット２３に備え、スプロケット２３の回転角毎に変化するパターン形成面２７ａの態様を複数のフォトセンサ２７ｄにより検知し、フォトセンサ２７ｄによる検知信号の組み合わせに基づいて対角検出部２７ｃによりスプロケット２３の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】管路計測や孔内計測において、管路や地盤等の内部状況を的確に把握可能な内部検査装置を提供する。
【解決手段】ピッチ角、方位角、ロール角を検出する角度検出器２と、この角度検出器２の管内又は孔内の壁面に対する踊り量を検出する非接触変位センサ３，４と、を有し、管路内又は地盤に形成された孔内に挿入され、内部を移動可能な内部検査装置１であって、該管路内又は孔内を撮影する撮影手段を先端に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の計測を高精度化することができ、触針を簡易に支持することによって小型の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。よって、光学素子ＯＥをＸＹ面内で移動させる際にＺ軸方向の微小変位が生じにくくなり、触針１１の変位量計測を正確にすることができ、光学素子ＯＥの表面形状の計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつ高精度に倣いプローブの校正を行う倣いプローブの校正方法を提供する。
【解決手段】半径および中心座標値が既知の真球であるマスターボール７の表面を倣い測定する測定経路として第１測定経路７１と第２測定経路７２とを設定する（測定経路設定工程）。次に、測定経路設定工程において設定された第１測定経路７１および第２測定経路７２を倣い測定する（測定工程）。測定工程における倣いプローブの検出センサの出力値を測定経路７１、７２上の座標値と対比して、この検出センサの出力値を補正する補正データを算出する（補正データ算出工程）。ここで、測定経路設定工程にて設定される第１測定経路７１および第２測定経路７２は、マスターボール７の表面において螺旋形状である。そして、２つの測定経路７１、７２の起点７１１、７２１は赤道上において互いに９０度ずれている。 （もっと読む）

【課題】対になった位置検出器同士の平均値をそれぞれ求めて位置検出器の異常を判定すると共に異常の位置検出器を除外し適正な平均値を用いて位置修正操作を行う転炉排ガス処理装置のスカート位置検出器異常検知方法およびその異常検知に係るスカート位置修正制御方法を提供する。
【解決手段】各対となる位置検出器の信号出力から平均値１及び平均値２を第１及び第２の平均値演算器２１、２２により求める。検出器誤差監視手段２７はこれらの平均値の差を求める。異常判別手段２８はこの平均値の差がある定数以上であれば位置検出器の異常を判定する。異常と判定した場合にはオペレータが関与するスイッチ制御手段３０に出力する。スイッチ制御手段３０は、位置修正が必要な位置検出器に係る位置修正演算器ＨｈｎのスイッチのみＯＮし、位置修正演算した出力を平均値演算器２１又は２２のいずれかに出力する。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】プレス加工に係る上型と下型の動的変形を絶対的に捉え、プレス成型品に成型不良が発生した場合の金型の修正に迅速に対応できるようにする。
【解決手段】上型７および下型８に複数の測定ポイントを設定して、その各測定ポイントに加速度センサＳａ，Ｓｂを配置し、上型７と下型８の両者にプレス荷重を作用させたときの加速度センサＳａ，Ｓｂの出力（加速度信号）を数値解析装置１０に入力する。数値解析装置１０では、加速度信号を補正回路１５Ａに通して加速度センサＳａ，Ｓａの出力電圧変動による誤差を補正した後、その加速度信号を積分回路１５Ｂにより積分して速度信号を生成する。又、積分回路１５Ｂの出力を補正回路１５Ｃに通して数値解析上の誤差を補正した後、その速度信号を積分回路１５Ｄにより積分して変位信号を生成する。そして、その変位信号を数値化あるいはグラフ化して表示装置２０に表示する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の光学面と円筒基準形状の相対位置を高精度で評価する。
【解決手段】３つの球４を有する測定用の治具２に、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の外周部に形成された円筒基準形状９を三次元形状測定用のプローブによって測定するための基準形状測定空間３を設ける。まず、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の表面形状を測定し、治具２の３つの球４を基準とした座標の点列データを得る。次いで、非球面レンズ１の円筒基準形状９を測定し、３つの球４を基準とした座標の点群データを得て、円筒基準形状９とレンズ第１面７およびレンズ第２面８の相対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価方法を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価方法は、まず、圧電体薄膜３１を含む試料１２を試料固定治具２０に固定する。試料１２には、圧電体薄膜３１に電圧を印加するために圧電体薄膜３１を挟むように、第１電極４２と第２電極４３とが形成されている。次に、探針３３を圧電体薄膜３１の電界方向に対して交差する方向にある測定面に直接接触させる。そのあと、圧電体薄膜３１に電圧を印加しながら、探針３３を測定領域に直接走査させることにより、圧電体薄膜３１の圧電特性（第１変位量）を測定する。 （もっと読む）

【課題】小型で測定精度の高い回転角度測定装置を提供する。
【解決手段】回転盤１に第一、第二案内溝２，３を形成して第一、第二移動体４，５を各案内溝に案内させて移動させる。第一、第二移動体４，５の回転角度を検出して両移動体の回転角度から回転盤１の絶対回転角度を演算部８で演算する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながらも、３６０°を超える範囲の回転角の検出にも適用可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフトＳにウォームホイール１０を外嵌しておき、このウォームホイール１０、ウォームギア１１および案内ねじ軸１２により、ステアリングシャフトＳの回転に応じてウォームギア１１を直動させる送りねじ機構を構成した。そして、ウォームギア１１をその軸心方向から挟み込む態様で２つのカンチレバー１３，１４を設けた。また、これらカンチレバー１３，１４に歪みゲージ素子１６，１７をそれぞれ貼着した。 （もっと読む）

【課題】装置構成の小型化・簡素化を可能としつつ、高い信頼性を有する荷重から変形量を算出するための変換行列を生成可能な荷重変位算出装置を提供する。
【解決手段】荷重変位算出装置１に、対象物を第一の姿勢、第二の姿勢、第三の姿勢で支持する支持手段１６・２０と、対象物を互いに直交する三つの軸の軸線方向および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向に変形させる変形手段１３・１４・１７・２２と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の変形量および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向の変形量を検出する変形量検出手段２３・２４・２５・２６と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の荷重および周方向の荷重を検出する荷重検出手段１９と、対象物の変形量に係る情報および荷重に係る情報に基づいて対象物の荷重から変形量を算出するための変換行列を生成する変換行列生成手段４ａと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 圧延設備等の駆動軸の損傷を診断するに際して、変位センサから出力された生波形から駆動軸のクロスの剥離および摩耗の両方ともの判別を可能とした駆動軸損傷診断装置を提供する。
【解決手段】 変位センサの出力から駆動軸の損傷状態を検出する処理手段は、変位センサの出力波形に対して移動平均によるスムージングを行うスムージング手段と、スムージングされた変位センサの出力波形をＦＦＴ変換するＦＦＴ変換手段と、ＦＦＴ変換で得られたスペクトルから回転同期成分を除去して逆ＦＦＴにより時間軸波形に変換する逆ＦＦＴ変換手段と、逆ＦＦＴ変換で得られた波形の平均値から摩耗状態を判定する摩耗判定手段と、逆ＦＦＴ変換で得られた波形の振幅から剥離状態を判定する剥離判定手段とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】計測区間及び非計測区間の全区間において可動ステージを高精度に制御する。
【解決手段】可動ステージの計測区間（Ｌ〜Ｒ）における複数の目標位置に対する該可動ステージの実位置に相当する情報を計測してそれぞれ得られる計測誤差情報に基づいて、これらを補間して補正関数を算出し、計測区間における該補正関数の端点Ｌ，Ｒにおける接線の傾きａ_Ｌ，ａ_Ｒをその傾きとする該端点を通る直線を、外挿部における補正関数とし、計測区間及び外挿部における補正関数に基づいて、計測区間及び外挿部における補正情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】変位測定系を用いて基板テーブルの位置を高精度に測定する。
【解決手段】変位測定系１は、第１の方向における基板テーブル２の位置を測定するように構成された第１のｘセンサ４と、第２の方向における基板テーブル２の位置を測定するように構成された第２のｙセンサ６とを備える。変位測定系は、さらに第２のｘセンサ５を備える。第１および第２のｘセンサ４、５と第１および第２のｙセンサ６、７は、少なくとも一つの格子プレート３に対するセンサそれぞれの位置を測定するように構成される。変位測定系１は、基板テーブル２の位置に応じて第１および第２のｘセンサ４、５と第１および第２のｙセンサ６、７を選択的に使用して、三自由度で基板テーブル２の位置を決定するように構成される。 （もっと読む）