【課題】距離データを用いて、対象物体の三次元的な位置姿勢を認識する。
【解決手段】物体の表面の三次元形状データを読み込み、物体の局所的な表面形状を表す特徴量を作成するモデル入力手段と、実際の環境を計測して距離データを取得し、物体の表面情報を作成するシーン計測手段と、シーン頂点の特徴量とモデル頂点の特徴量の類似度を算出し、それらシーン頂点とモデル頂点を対応点ペアとする対応点ペア作成手段と、対応点ペアを含むグループを作成し、対応点ペアとの関係で幾何学的一貫性を有する他の対応点ペアをグループに追加する処理を繰り返し、全ての対応点ペアを基準にグループを作成するグループ化手段と、グループに含まれる対応点ペアに基づき、モデルとシーンの対応点間の距離を最小にする座標変換式を算出し、座標変換式にしたがってモデルを移動させた結果をグループが示す物体の初期位置姿勢とする。 （もっと読む）

【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Ｐを固定する基板保持部１１を載置する、Ｙ軸方向に離れた基板搬送部２２ａ及び２２ｃのベース構造体２上の位置を測定することによって、間接的に基板Ｐ上のＹ軸方向に離れた２箇所の位置のそれぞれと、ガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂと、位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂが測定した２つの距離が異なる場合に、該２つの距離が同じになるように基板搬送部２２ａ〜２２ｄを制御する走査制御部５と、基板Ｐとガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する相対位置測定部２９とを備え、ガントリ３に搭載されたヘッドユニット２５は、相対位置測定部２９が測定した距離に基づくタイミングで、基板Ｐにインク塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布材料の塗布厚みや塗布幅のばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板を提供する。
【解決手段】一辺の寸法Ｌ１，Ｌ２が５００ｍｍ以上で、且つ板厚Ｌ３が４．０ｍｍ以下のガラス基板１であって、一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片２の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンＬｓで下方から支持した場合に、表面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量δ１と、裏面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が、全ての小片２で０．８ｍｍ以下となるようにした。 （もっと読む）

【課題】１軸方向にのみ移動可能なワークステージを備える簡素な機構の近接露光装置において、ワークステージに搭載された基板の平坦度を２次元で精度よく測定することができる近接露光装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持して一軸方向（例えば、Ｘ方向）に移動可能なワークステージ１と、マスクステージ２上に配置されてセンサ駆動機構４７によりワークステージ１の移動方向と直交する方向（例えば、Ｙ方向）に移動されるギャップセンサ４０とを備え、ワークステージ１及びギャップセンサ４０を互いに直交する方向に移動させて基板Ｗの平坦度を２次元で測定する。 （もっと読む）

【課題】平面基板の形状測定時に、被測定基板の下端面形状の影響を低減し被測定基板に発生する平面の反りを低減させる支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面基板Ｐの形状測定において、前記平面基板Ｐの下端面２７を支持することにより前記平面基板Ｐを垂直状態に位置決めする支持部材１７であって、上方に凸型形状からなる断面と、該断面が一方向に延在する湾曲面形状１７ｂと、を備え、前記支持部材１７に設けられた湾曲面形状１７ｂの稜線部と、前記平面基板Ｐの下端面２７の板厚方向略中央部が当接するように載置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドにおけるセンサの設置ずれ量及びセンサヘッドと計測対象との間の相対傾斜に起因する誤差を無くすことのできる幾何学量計測方法を提供する。
【解決手段】少なくとも３個のセンサを配置したセンサヘッドを計測対象に沿って相対移動させ、各センサから得られる検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を計測する。予め、基準平面３０に対して真直度の計測を行い、両側のセンサの基準点を結ぶ線分からの中央のセンサの基準点の計測方向に関するずれ量を算出すると共に、基準平面とセンサヘッドとの間の相対傾斜とずれ量との間の関係を対のデータとして補正テーブルを作成する。幾何学量の計測に際しては、計測対象とセンサヘッドとの間の相対傾斜を算出し、かつ前記補正テーブルを参照して前記算出されたずれ量を取り出し、該取り出したずれ量と３個のセンサから得られた検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を演算する。 （もっと読む）

【課題】非接触センサの走査範囲の方向を容易に変更することができる非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置を提供すること。
【解決手段】一方向に走査可能な非接触センサ２と、非接触センサ２を支持する支持手段３との間に配設され、非接触センサ２の走査方向に対して９０度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニット１であり、この非接触センサ用回転ユニット１の少なくとも０度と９０度の回転状態を維持するための位置決め手段である突起１３ａ、第１列状突起１４ａ、及び、第２列状突起１４ｂが非接触センサ用回転ユニット１に設けられている。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】干渉計システムとエンコーダシステムを併用するハイブリッド方式のサーボ制御により、移動体を安定且つ高精度に２次元駆動する
【解決手段】干渉計システム、例えばＸ干渉計１２６とＹ干渉計１６とを用いてステージＷＳＴの第１の位置情報を計測する。同時に、エンコーダシステム、例えば１つのＸヘッド６６とＹヘッド６５，６４とを用いてステージの第２の位置情報を計測する。第１の位置情報と第２の位置情報の差分を所定の計測時間にわたって移動平均して座標オフセットを設定し、該座標オフセットを用いてエンコーダシステムの出力信号の信頼性を検証する。正常が確認された場合に、第１の位置情報と座標オフセットとの和を使用してステージをサーボ制御する。このハイブリッド方式のサーボ制御により、干渉計の安定性とエンコーダの精密さを兼ね備えたステージの駆動制御が可能になる。 （もっと読む）

【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高く、測定対象タイヤの回転時におけるリムずれを連続的に測定することができるリムずれ測定装置およびリムずれ測定方法を提供すること。
【解決手段】リムずれ測定装置１は、タイヤ周方向において不規則に連続して形成される陸溝配列ＴＤ３がタイヤ表面に形成された測定対象タイヤＴの回転時に陸溝配列ＴＤ３に対向して配置され、陸溝配列ＴＤ３における凹凸を検出する凹凸検出センサ２と、リムＲの基準リム回転位置を検出する回転位置センサ３と、検出された基準リム回転位置から測定対象タイヤＴの１回転分で検出された凹凸に基づいて凹凸配列波形を生成する凹凸配列波形生成部４６と、リムずれ測定前において測定対象タイヤＴの回転時に生成された基準凹凸配列波形およびリムずれ測定中において測定対象タイヤＴの回転時に繰り返し生成される回転凹凸配列波形に基づいてリムずれを判定するリムずれ判定部４８とを備える。 （もっと読む）

【課題】長尺の条材を高精度でかつ短時間で測定する方法と、この測定する方法を用いて効率よく定尺長さに切断する方法との提供である。
【解決手段】ビレット２８を搬送装置１０により搬送しつつ、第一センサー１８と第二センサー２０とで搬送方向先端と後方とを検索する。第一センサー１８がビレット２８の先端を検出してから第二センサー２０がビレット２８を検出しなくなるまでのパルス数を測定する。搬送装置の１パルス当たりの搬送距離Ｐとパルス数とを乗算して通過長さＬ２を算出する。第一センサー１８と第二センサー２０とにより定まる間隔長さＬ１にこの通過長さＬ２を加算して、ビレット２８の長さを算出する。このビレット２８は、この長さ情報を基に切断装置１２で定尺に切断される。第二センサーを複数にしてビレット２８の後方を検索してビレット２８の長さを算出してもよい。 （もっと読む）

【課題】小型乗用作業機用に使用できる安価なステアリングセンサはまだ一般には普及していない。ステアリングセンサは従来自動車の走行安定制御用として開発されてきたが、精密複雑でまだまだ高価なものであるのが現状である。加えて使用環境的には極めて条件の良い自動車用とは異なり屋外環境で使用する小型の作業機械には耐環境性からみても使用は難しい。しかし簡素で安価な作業機械でも近年安全装置の必要性が言われており、特に乗用作業機械においては走行安全制御装置実現の為に作業機械用ステアリングセンサの開発が必要になっている。
【解決手段】ラック＆ピニオン式操舵機構を搭載する小型乗用作業機械で、ラックの直線動作に着目し、ラックに連動する連動体をラックに連結し、その連動体に当接又は近接又は連動するスイッチ又は位置センサ又は変位センサを配設した。
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【課題】建築物全体の地震計測設備の設置が容易で、地震損傷評価も容易に行える地震損傷計測システムを得る。
【解決手段】本発明の地震損傷計測システムは、建築物の各層間３，１０を貫通する昇降路４に設置されて、変位計５とターゲット７により昇降路４内の各層の層間変位を計測する層間変位計測手段と、計測された層間変位の分布により、建築物の健全性を評価する建築物健全性評価手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 流体動圧軸受を高精度に検査すること。
【解決手段】 気体を給送して、スリーブ６の軸受孔の下側開口からラジアル間隙５０及び軸受孔の上側開口を経てロータハブ１２の上壁部１２ａの外方に向かう気体の流れを起こして、ロータ部１０を浮上させる。ロータ部１０を浮上させた状態で、変位計４０を用いてロータ部１０の回転と同期した振れの大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】打ち抜き破面に加工が加わる成形品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】上流側から順に、金属材料の打ち抜き加工手段９と、打ち抜き後の打ち抜き破面のだれ率、せん断面率、破断面率のいずれか１つ以上を測定する測定手段（１０に付属）と、打ち抜き後の金属材料を成形する成形手段１１を有することを特徴とする金属材料の成形加工装置列と、測定された打ち抜き破面の情報から、打ち抜き金型の調整と製品の不良判定を行うことを特徴とする金属材料の成形加工方法。 （もっと読む）

【課題】安価なセンサと信号処理によって、正確にボールの位相を検出することができる玉軸受のボール位相検出方法を提供する。
【解決手段】玉軸受１のボール位相検出方法は、センサ１３が軸受１の軸方向側方で対向するようにセンサ１３及び軸受１を設置する工程と、軸受１を回転させながら、軸受１内に挿入されたボール４又は保持器５とセンサ１３との距離に応じた信号を検出する工程と、検出された信号を、軸受１の回転角度情報と共に、制御装置１４に出力する工程と、制御装置１４にて、検出された信号から最小二乗法を用いて２次関数を求め、ボール４の頂点位置を判断する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、装置構成を簡素化かつ低コストとすると共に、操作を容易にする。
【解決手段】被測定物である薄板ｇの表面形状測定装置において、基台１０上に薄板を垂直に保持する垂直保持機構２０と、薄板ｇを挟んで平行に配置された一対の固定レール４１と、該一対の固定レール間に架設され薄板ｇを挟み薄板表面に対して一定の間隔をもって平行に配置された一対のスライド軸５１、及び該スライド軸を該固定レールに沿って移動させる駆動装置４５と、変位センサ３２ａ〜ｂが装着され該スライド軸に沿って夫々移動可能に配置された一対の測定台３１、及び該測定台の駆動装置と、該スライド軸の両端部に架設され該スライド軸を連結し該スライド軸間の間隔を位置決めする連結部材５２とからなり、該スライド軸と該連結部材とによって略矩形形状とし、薄板ｇの両面の形状を同時に測定可能に構成した。 （もっと読む）