ガラス基板およびガラス基板の反り検査方法
【課題】塗布材料の塗布厚みや塗布幅のばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板を提供する。
【解決手段】一辺の寸法Ｌ１，Ｌ２が５００ｍｍ以上で、且つ板厚Ｌ３が４．０ｍｍ以下のガラス基板１であって、一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片２の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンＬｓで下方から支持した場合に、表面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量δ１と、裏面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が、全ての小片２で０．８ｍｍ以下となるようにした。
【解決手段】一辺の寸法Ｌ１，Ｌ２が５００ｍｍ以上で、且つ板厚Ｌ３が４．０ｍｍ以下のガラス基板１であって、一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片２の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンＬｓで下方から支持した場合に、表面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量δ１と、裏面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が、全ての小片２で０．８ｍｍ以下となるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に関し、詳しくは、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板のような大型且つ薄板のガラス基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、近年の表示デバイスの多様化に伴って、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどのフラットパネルディスプレイが普及されるに至っている。
【０００３】
この種のフラットパネルディスプレイは、通常、２枚のガラス基板の表面にディスプレイの種類に応じて必要な塗布材料を塗布した後、それらの２枚のガラス基板を組み付けることにより製造される。このとき、ガラス基板の反りが大きければ、塗布材料の塗布厚みが不均一になることから、露光を施した場合に露光ムラが生じ、絶縁不良や発光不良、画質劣化など、フラットパネルディスプレイにとって致命的な欠陥を招くことになる。そのため、使用されるガラス基板に対しては、反りが小さく平坦であることが要求される。
【０００４】
そこで、例えば、下記の特許文献１には、塗布材料をガラス基板に精度よく塗布することを目的として、ガラス基板の最大板厚と最小板厚との板厚差を１０μｍ以下とし、且つその反り量を１０μｍ以下にすることが提案されている。なお、このガラス基板の反り量は、ガラス基板を定盤上に載置し、定盤とガラス基板との隙間を隙間ゲージで測定することにより求められる。
【特許文献１】特開２００４−８７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年では、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板には薄板化が推進されているが、これに伴ってガラス基板の剛性が低下して変形を来たしやすくなっているのが実情である。したがって、薄板のガラス基板では反りが大きくなりやすい傾向にあることから、塗布材料を塗布した場合の塗布厚みを略一定にすることが可能なガラス基板を製造したり、このように塗布材料を適正に塗布できるガラス基板を選別して塗布材料の塗布工程に供給することが重要となる。
【０００６】
しかしながら、上記の特許文献１に開示されているように、定盤の上にガラス基板を載置し、隙間ゲージを用いて反り量を求める場合には、ガラス基板の自重による変形のために反り量が過小評価されてしまい、正しい反り量の検査を行うことができない。すなわち、ガラス基板が薄板化されると、定盤に載置したガラス基板が自重によって変形してしまうため、実際にガラス基板に生じている反りを反映した反り量よりも、求めた反り量の値が小さく求められてしまう場合がある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑み、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために創案された本発明は、一辺の寸法が５００ｍｍ以上であり、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板であって、一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となることに特徴づけられる。ここで、上記の撓み量は、小片の両端部の両支持点を結ぶ仮想直線を撓み量零の基準位置として、その仮想直線からの鉛直方向最大離間距離（ｍｍ）で定義される。なお、この撓み量には正負があり、仮想直線からの小片の鉛直方向最大離間位置が仮想直線よりも下方にある場合を正と、小片の鉛直方向最大離間位置が仮想直線よりも上方にある場合を負として表される。
【０００９】
このような構成によれば、平坦性に優れた反りの小さなガラス基板となる。詳述すると、仮に小片が理想的な平面板であるとすると、一方の面を上側にした状態で両端部を支持したときも、他方の面を上側にした状態で両端部を支持したときも、その撓み量は共に同一になり、第一撓み量と第二撓み量との撓み量差は零となる。その一方で、仮に小片の一方の面が凸となるような反りが生じているとすると、この一方の面を上側にした状態で両端部を下方から支持した場合には、反りに抗して小片が自重により撓むことになることから第一撓み量は相対的に小さくなり、小片の他方の面を上側にした状態で両端部を下方から支持した場合には、反りに準じて小片が自重により撓むことになることから第二撓み量は相対的に大きくなる。すなわち、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差が小さいということは、小片に本来的に生じていた反りが小さいということを意味する。したがって、分割した全ての小片において、この撓み量差を検査することにより、ガラス基板の面内全体に本来的に生じている反りの分布を正確に把握することが可能となる。そして、このような観点から本願発明者等は鋭意研究を重ねた結果、１００ｍｍ×５００ｍｍに分割した小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となるガラス基板であれば、塗布材料の塗布厚みのばらつきが可及的に低減され、精度よく塗布材料を塗布することが可能となることを見出した。
【００１０】
上記の構成において、分割前に隣接していた任意の２つの小片間での前記撓み量差の数値差の絶対値が、０．６ｍｍ以下となることが好ましい。
【００１１】
すなわち、分割前に隣接していた任意の２つの小片間での撓み量差の数値差の絶対値が、上記数値範囲を超えれば、ガラス基板の面内の凹凸（基板面内における局所的な残留応力による反りの違いから生じる面内凹凸）が、急激な変化を示しているおそれがある。したがって、分割前に隣接していた任意の２つの小片間、換言すれば、分割前に隣接していた全ての小片間において、撓み量差の数値差の絶対値が上記数値範囲であることが好ましく、この場合にはガラス基板面内での凹凸が滑らかに連続した状態となり、塗布材料を精度よく塗布する上でより一層有利となる。
【００１２】
上記課題を解決するために創案された本発明は、一辺の寸法が５００ｍｍ以上であり、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板の反り検査方法であって、前記ガラス基板を複数の矩形状の小片に分割し、その分割した各小片につき、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差を測定し、その測定結果に基づいて前記ガラス基板の反りの良否を検査することに特徴づけられる。
【００１３】
上述のように、分割した個々の小片につき、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差が小さいということは、小片に本来的に生じていた反りが小さいということを意味する。したがって、上記の方法のように、分割した全ての小片において、この撓み量差を検査することにより、ガラス基板の面内全体に本来的に生じている反りの分布を正確に検査することが可能となる。そして、このようにして、ガラス基板面内の反りの分布を正確に検査することにより、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板だけを選別して提供することが可能となり、ひいては、塗布材料の塗布工程での良品率を向上させ、生産性の向上に寄与し得る。
【００１４】
上記の方法において、前記ガラス基板を分割する前に隣接していた小片間での前記撓み量差の数値差を更に測定し、各小片の前記撓み量差と該撓み量差の数値差とに基づいて、前記ガラス基板の反りの良否を検査することが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、ガラス基板の反りによって形成される面内の凹凸の大きさのみならず、分割前に隣接していた小片間での撓み量差の数値差によりその凹凸の変化の態様、すなわち、凹凸が滑らかに連続しているか否かを検査することも可能となる。したがって、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板をより高精度に選別することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明に係るガラス基板によれば、１００ｍｍ×５００ｍｍに分割された小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となっていることから、ガラス基板全体の反りが小さくなり、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に低減することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るガラス基板の反り検査方法によれば、ガラス基板を矩形状に分割した各小片につき、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差を測定し、この測定結果に基づいてガラス基板の反りの良否が検査されることから、ガラス基板の面内における反りの分布を正確に検査することが可能となる。したがって、このようにしてガラス基板の反りを検査することにより、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板だけを選別して提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係るガラス基板を示す斜視図である。このガラス基板１は、短辺の寸法Ｌ１が５００〜２１００ｍｍ、長辺の寸法Ｌ２が５００〜２５００ｍｍであって、その板厚Ｌ３が１．１〜４．０ｍｍのプラズマディスプレイ用のガラス基板である。
【００２０】
そして、このガラス基板１は、図２に示すように、短辺に沿って１００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの小片２の長辺方向両端部を、図３（ａ），（ｂ）に示すように４６０ｍｍの支持スパンＬｓで下方から支持した場合に、次のような撓み特性が得られる。すなわち、小片２の表面を上側にした場合の第一撓み量δ１と、小片２の裏面を上側にした場合の第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）が、分割した全ての小片２で次式を満たす。
｜δ１−δ２｜≦０．８ｍｍ・・・・・（１）
【００２１】
ここで、第一撓み量δ１および第二撓み量δ２は、小片２の両端部の両支持点Ｘ１，Ｘ２を結ぶ仮想直線Ｌｘを撓み量零の基準位置として、その仮想直線Ｌｘからの鉛直方向における最大離間距離（ｍｍ）で定義される。なお、撓み量δ１，δ２には正負の符号があり、仮想直線Ｌｘからの小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘよりも下方にある場合を正と、小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘよりも上方にある場合を負として表される。具体的には、小片の最大離間位置が仮想直線Ｌｘから下方に１０ｍｍ離間している場合には、撓み量は＋１０ｍｍとなり、これとは逆に、小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘから上方に１０ｍｍ離間している場合には、撓み量は−１０ｍｍとなる。
【００２２】
このように、分割した全ての小片２について、式（１）を満たせば、ガラス基板１の面内に、自重による撓みとは無関係に本来的に生じている反り（凹凸）が可及的に小さくなるため、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に低減することができる。
【００２３】
さらに、このガラス基板１は、分割前に隣接していた任意の２枚の小片２間において、一方の小片２の撓み量差（δ１−δ２）と、他方の小片２の撓み量差（δ１−δ２）との数値差δ３が次式を満たす。
｜δ３｜≦０．６ｍｍ・・・・・（２）
【００２４】
ここで、分割前に隣接していた２枚の小片２とは、一の小片２と、その小片２の周縁部に分割前に接していた他の小片２とをいい、ガラス基板１を短辺方向に３分割した場合を例に取ると、左側の小片２と中央の小片２の撓み量差の数値差δ３と、中央の小片２と右側の小片２の撓み量差の数値差δ３とが、それぞれ式（２）を満たすことを意味する。
【００２５】
このように、分割前に隣接していた任意の２つの小片２間、すなわち、分割前に隣接していた全ての小片２間において、式（２）を満たせば、ガラス基板１面内の凹凸が、急激に変化することなく、滑らかに連続した状態となる。したがって、塗布材料をより精度よく塗布することが可能となる。
【００２６】
以上のようなガラス基板１の製造方法の一例を説明する。
【００２７】
まず、ガラス溶解窯でガラス原料を溶融することで溶融ガラスとし、その溶融ガラスをフロートバス（錫バス）に搬入し、フロート法により板状に成形する。フロートバスで板状に成形されたガラスリボンは、徐冷炉に搬入され、不要な歪が除去される。その後、当該ガラスリボンを所定の大きさに切断すると共に、研磨等の処理を施すことでガラス基板１が製造される。そして、この製造工程の中で、フロートバス内におけるガラスリボンの幅方向及び表裏面の温度分布、徐冷炉内におけるガラスリボンの幅方向及び表裏面の温度分布、およびフロートバス内や徐冷炉内でのガラスリボンの搬送速度を厳密に管理することにより、上記の式（１）及び式（２）を満たすガラス基板１を製造することができる。特に、管理する要素の中でも、徐冷炉内におけるガラスリボンの幅方向の温度分布が１０℃以下になるように制御することが重要となる。
【００２８】
また、上記の製造工程では、更に、製造されたガラス基板１の中から任意の１枚又は複数枚のガラス基板１が選択され、その選択されたガラス基板１に対して次のような反り検査が行われる。
【００２９】
すなわち、図２に示すように、選択したガラス基板１を複数枚の矩形状の小片２に分割し、その分割した各小片２につき、図３（ａ），（ｂ）に示すように、表面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量δ１と、裏面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）を測定し、その測定結果に基づいてガラス基板１の反りの良否を検査する。
【００３０】
詳述すると、この検査では、例えば、上述のようにガラス基板１を１００ｍｍ×５００ｍｍの小片２に分割した場合には、その長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンＬｓで両端部を支持し、全ての分割した小片２に対して撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が、０．８ｍｍ以下になるか否かが調べられる。なお、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２は、例えば、図３に示すレーザ計３によって測定される。
【００３１】
その後、ガラス基板１を分割する前に隣接していた全ての小片２間で撓み量差（δ１−δ２）の数値差δ３を求め、全ての隣接していた小片２について撓み量差の数値差δ３の絶対値が、０．６ｍｍ以下であるか否かが調べられる。
【００３２】
その結果、全ての分割した小片２の撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が０．８ｍｍ以下であり、且つ、分割前に隣接していた全ての小片２間について撓み量差の数値差δ３の絶対値が０．６ｍｍ以下である場合に、ガラス基板１の面内での反りが適正範囲であると判断する。すなわち、上記の式（１）と式（２）を共に満たす場合に、ガラス基板１の面内での反りが適正であると判断する。
【００３３】
これとは逆に、ガラス基板１から分割した小片２について、上記の式（１）と式（２）を満たさない場合には、ガラス基板１の面内での反りが不適正であると判断し、上述のガラスリボンの成形条件を調整する。具体的には、例えば、ガラス基板１の反りが不適切な箇所に対応したガラスリボンの温度勾配が小さくなるように、徐冷炉内の温度分布を調整する。そして、成形条件の変更後に成形されたガラスリボンから採取されたガラス基板１に対して、再度、上述の反り検査を実行し、反りの適否を再評価する。
【００３４】
このようにすれば、平坦性に優れた反りの小さなガラス基板１を正確に選別することが可能となる。これは、次のような理由による。
【００３５】
すなわち、仮に小片２が反りのない理想的な平面板であるとすると、表面を上側にした状態で両端部を支持したときも、裏面を上側にした状態で両端部を支持したときも、その撓み量は共に同一になり、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）は零となる。
【００３６】
その一方で、仮に小片２の表面が凸となるような反りが生じているとすると、その表面を上側にした状態で両端部を支持した場合には、反りに抗して小片２が自重により撓むことになることから第一撓み量δ１は相対的に小さくなり、小片２の裏面を上側にした状態で両端部を支持した場合には、反りに準じて小片２が自重により撓むことになることから第二撓み量δ２は相対的に大きくなる。そのため、この場合には、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）が生じる。また、小片２の裏面が凸となるように反りが生じている場合にも、同様に撓み量差（δ１−δ２）が生じる。
【００３７】
すなわち、第一撓み量δ１と、第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が小さいということは、小片２に本来的に生じていた反りが小さいということを意味することになる。したがって、分割した全ての小片２において、この撓み量差（δ１−δ２）を検査することにより、ガラス基板１の面内に本来的に生じている反りの分布を正確に検査することが可能となる。
【００３８】
更に、ガラス基板１を分割する前に隣接していた全ての小片２間で撓み量差（δ１−δ２）の数値差δ３を、ガラス基板１の反りを検査する判断基準としていることから、ガラス基板１の面内における凹凸の変化が滑らかに連続している否かも考慮した反りの評価が可能となる。そのため、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板をより高精度に選別することが可能となる。
【００３９】
そして、ガラス基板１は、フロート法のように、長尺なガラスリボンを分割して、ガラス基板１を製造する手法においては、温度条件等の成形条件が一定になるように制御されるのが通例であることから、一枚又は複数枚のガラス基板１の反りを検査することによって、同一のガラスリボンから製造される他のガラス基板１の反りの状態を容易に推測することができる。そのため、上述のような反り検査方法を製造されたガラス基板１に対して実行することで、反りの小さなガラス基板１のみを選別して、後続の塗布工程等へ供給することが可能となる。その結果、塗布材料の塗布工程での不良率を可及的に低減することができ、生産性の向上に寄与し得る。
【００４０】
なお、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施することができる。例えば、上記の実施形態では、プラズマディスプレイ用のガラス基板に本発明を適用したものを説明したが、これ以外に、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラス基板等についても、同様にして本発明を適用することが可能である。また、ガラス基板１の製造方法として、フロート法を例にとって説明したが、オーバーフローダウンドロー法（フュージョン法）やスロットダウンドロー法などのダウンドロー法も同様に適用することができる。
【００４１】
さらに、上記のガラス基板１の製造工程で行われる反り検査において、製造された複数枚のガラス基板１の中から２枚以上のガラス基板１を選択する場合には、一方のガラス基板１を短辺に沿って１００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数枚の小片２に分割し、他方のガラス基板１を短辺に沿って５００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割するようにしてもよい。通常、ガラス基板１の面内に生じる凹凸は、１００ｍｍ以上の周期で現われるので、小片２の分割方向を変えて上述のような検査を行うことにより、より正確にガラス基板１の面内の反り（凹凸）の状態を把握することが可能となる。
【実施例】
【００４２】
以下、表１に示す実施例１〜４、及び比較例１〜３について説明する。実施例１〜４および比較例１〜３は、それぞれ異なるロットに属するものである。ここで、ロットとは、同一条件で製造された製品の集まりをいう。そして、実施例１〜４および比較例１〜３のそれぞれにつき、以下に示す手順で評価試験を行った。
【００４３】
フロート法により成形された板厚が１．８ｍｍで、短辺寸法が１７００ｍｍ及び長辺寸法が２０００ｍｍの矩形状をなすプラズマディスプレイ用のガラス基板について、任意のロットから２枚抜き取り、一方については切断前後の長辺が平行になるように５００ｍｍ×１００ｍｍの６８枚の小片に分割し、他方については切断前後の長辺が直交するように５００ｍｍ×１００ｍｍの６０枚の小片に分割した。
【００４４】
そして、その分割した個々の小片につき、その長辺方向の両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持することにより、撓み量差（δ１−δ２）を測定した。そして、１２８（６８＋６０）枚の小片の中で、撓み量差の絶対値が最大となるものを｜δ１−δ２｜maxとして求めた。なお、撓み量差（δ１−δ２）は、レーザ変位計（オムロン（株）製）により測定した。
【００４５】
加えて、上記の一方のガラス基板を分割した６８枚の小片と、上記の他方のガラス基板を分割した６０枚の小片のそれぞれにつき、分割前に隣接していた小片間の撓み量差の数値差δ３を測定し、全ての隣接していた小片間の中で撓み量差の数値差δ３の絶対値が最大値を示すものを｜δ３｜maxとして求めた。
【００４６】
また、撓み量差（δ１−δ２）を測定したガラス基板と同一のロットから５０枚のガラス基板を抜き出して、その抜き出したガラス基板に対してフォトリソグラフィ法により透明電極（ＩＴＯ）膜のパターンを形成し、そのパターン線幅を測定し、そのばらつきを求めた。なお、パターン線幅は、測長機（Ｓｏｋｋｉａ製 ＡＭＩＣ−１７１００Ｃ）により測定した。また、パターン線幅のばらつきは、１枚のガラス基板において任意の位置１０箇所のＩＴＯパターン線幅を測定して、その最大値と最小値の差を算出して、これを「面内ＩＴＯパターン線幅のばらつき」とした上で、５枚のガラス基板の「面内ＩＴＯパターン線幅のばらつき」を求め、その中での最大値を「ＩＴＯ線幅のばらつき」とした。このＩＴＯパターン線幅のばらつきは８μｍを超えると、そのガラス基板を組み込んだプラズマディスプレイにおいて、絶縁不良や発光不良、画質劣化などの致命的な欠陥が生じ、実用上問題となる。
【００４７】
【表１】
【００４８】
上記の表１によれば、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍを越えると、比較例１〜３に示すように、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」が、実用上問題となるレベルを超える大きな値を示すことから、当該ガラス基板を組み込んだプラズマディスプレイにおいて絶縁不良や発光不良、画質劣化などの致命的な欠陥を招くおそれが高くなる。
【００４９】
これに対して、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍ以下を示す実施例１〜４では、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」が、実用上問題のないレベルまで小さくなることが確認できる。したがって、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍ以下となるガラス基板であれば、絶縁不良等の上記問題を確実に解消することが可能となる。特に、｜δ３｜maxが０．６ｍｍ以下となる実施例１〜３では、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」がより一層小さくなることから、当該条件を満たすガラス基板を用いることで、より高品位なプラズマディスプレイを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス基板を示す斜視図である。
【図２】図１に示すガラス基板を、複数の小片に分割する様子を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は、図２に示す小片の第一撓み特性を示す概略図、（ｂ）は、図２に示す小片の第二撓み特性を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１ ガラス基板
２ 小片
Ｌ１ 短辺寸法
Ｌ２ 長辺寸法
Ｌ３ 板厚
Ｌｓ 支持スパン
Ｌｘ 仮想直線
δ１ 第一撓み量
δ２ 第二撓み量
δ３ 撓み量差の数値差
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に関し、詳しくは、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板のような大型且つ薄板のガラス基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、近年の表示デバイスの多様化に伴って、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどのフラットパネルディスプレイが普及されるに至っている。
【０００３】
この種のフラットパネルディスプレイは、通常、２枚のガラス基板の表面にディスプレイの種類に応じて必要な塗布材料を塗布した後、それらの２枚のガラス基板を組み付けることにより製造される。このとき、ガラス基板の反りが大きければ、塗布材料の塗布厚みが不均一になることから、露光を施した場合に露光ムラが生じ、絶縁不良や発光不良、画質劣化など、フラットパネルディスプレイにとって致命的な欠陥を招くことになる。そのため、使用されるガラス基板に対しては、反りが小さく平坦であることが要求される。
【０００４】
そこで、例えば、下記の特許文献１には、塗布材料をガラス基板に精度よく塗布することを目的として、ガラス基板の最大板厚と最小板厚との板厚差を１０μｍ以下とし、且つその反り量を１０μｍ以下にすることが提案されている。なお、このガラス基板の反り量は、ガラス基板を定盤上に載置し、定盤とガラス基板との隙間を隙間ゲージで測定することにより求められる。
【特許文献１】特開２００４−８７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年では、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板には薄板化が推進されているが、これに伴ってガラス基板の剛性が低下して変形を来たしやすくなっているのが実情である。したがって、薄板のガラス基板では反りが大きくなりやすい傾向にあることから、塗布材料を塗布した場合の塗布厚みを略一定にすることが可能なガラス基板を製造したり、このように塗布材料を適正に塗布できるガラス基板を選別して塗布材料の塗布工程に供給することが重要となる。
【０００６】
しかしながら、上記の特許文献１に開示されているように、定盤の上にガラス基板を載置し、隙間ゲージを用いて反り量を求める場合には、ガラス基板の自重による変形のために反り量が過小評価されてしまい、正しい反り量の検査を行うことができない。すなわち、ガラス基板が薄板化されると、定盤に載置したガラス基板が自重によって変形してしまうため、実際にガラス基板に生じている反りを反映した反り量よりも、求めた反り量の値が小さく求められてしまう場合がある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑み、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために創案された本発明は、一辺の寸法が５００ｍｍ以上であり、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板であって、一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となることに特徴づけられる。ここで、上記の撓み量は、小片の両端部の両支持点を結ぶ仮想直線を撓み量零の基準位置として、その仮想直線からの鉛直方向最大離間距離（ｍｍ）で定義される。なお、この撓み量には正負があり、仮想直線からの小片の鉛直方向最大離間位置が仮想直線よりも下方にある場合を正と、小片の鉛直方向最大離間位置が仮想直線よりも上方にある場合を負として表される。
【０００９】
このような構成によれば、平坦性に優れた反りの小さなガラス基板となる。詳述すると、仮に小片が理想的な平面板であるとすると、一方の面を上側にした状態で両端部を支持したときも、他方の面を上側にした状態で両端部を支持したときも、その撓み量は共に同一になり、第一撓み量と第二撓み量との撓み量差は零となる。その一方で、仮に小片の一方の面が凸となるような反りが生じているとすると、この一方の面を上側にした状態で両端部を下方から支持した場合には、反りに抗して小片が自重により撓むことになることから第一撓み量は相対的に小さくなり、小片の他方の面を上側にした状態で両端部を下方から支持した場合には、反りに準じて小片が自重により撓むことになることから第二撓み量は相対的に大きくなる。すなわち、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差が小さいということは、小片に本来的に生じていた反りが小さいということを意味する。したがって、分割した全ての小片において、この撓み量差を検査することにより、ガラス基板の面内全体に本来的に生じている反りの分布を正確に把握することが可能となる。そして、このような観点から本願発明者等は鋭意研究を重ねた結果、１００ｍｍ×５００ｍｍに分割した小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となるガラス基板であれば、塗布材料の塗布厚みのばらつきが可及的に低減され、精度よく塗布材料を塗布することが可能となることを見出した。
【００１０】
上記の構成において、分割前に隣接していた任意の２つの小片間での前記撓み量差の数値差の絶対値が、０．６ｍｍ以下となることが好ましい。
【００１１】
すなわち、分割前に隣接していた任意の２つの小片間での撓み量差の数値差の絶対値が、上記数値範囲を超えれば、ガラス基板の面内の凹凸（基板面内における局所的な残留応力による反りの違いから生じる面内凹凸）が、急激な変化を示しているおそれがある。したがって、分割前に隣接していた任意の２つの小片間、換言すれば、分割前に隣接していた全ての小片間において、撓み量差の数値差の絶対値が上記数値範囲であることが好ましく、この場合にはガラス基板面内での凹凸が滑らかに連続した状態となり、塗布材料を精度よく塗布する上でより一層有利となる。
【００１２】
上記課題を解決するために創案された本発明は、一辺の寸法が５００ｍｍ以上であり、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板の反り検査方法であって、前記ガラス基板を複数の矩形状の小片に分割し、その分割した各小片につき、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差を測定し、その測定結果に基づいて前記ガラス基板の反りの良否を検査することに特徴づけられる。
【００１３】
上述のように、分割した個々の小片につき、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差が小さいということは、小片に本来的に生じていた反りが小さいということを意味する。したがって、上記の方法のように、分割した全ての小片において、この撓み量差を検査することにより、ガラス基板の面内全体に本来的に生じている反りの分布を正確に検査することが可能となる。そして、このようにして、ガラス基板面内の反りの分布を正確に検査することにより、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板だけを選別して提供することが可能となり、ひいては、塗布材料の塗布工程での良品率を向上させ、生産性の向上に寄与し得る。
【００１４】
上記の方法において、前記ガラス基板を分割する前に隣接していた小片間での前記撓み量差の数値差を更に測定し、各小片の前記撓み量差と該撓み量差の数値差とに基づいて、前記ガラス基板の反りの良否を検査することが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、ガラス基板の反りによって形成される面内の凹凸の大きさのみならず、分割前に隣接していた小片間での撓み量差の数値差によりその凹凸の変化の態様、すなわち、凹凸が滑らかに連続しているか否かを検査することも可能となる。したがって、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板をより高精度に選別することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明に係るガラス基板によれば、１００ｍｍ×５００ｍｍに分割された小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となっていることから、ガラス基板全体の反りが小さくなり、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に低減することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るガラス基板の反り検査方法によれば、ガラス基板を矩形状に分割した各小片につき、第一撓み量と、第二撓み量との撓み量差を測定し、この測定結果に基づいてガラス基板の反りの良否が検査されることから、ガラス基板の面内における反りの分布を正確に検査することが可能となる。したがって、このようにしてガラス基板の反りを検査することにより、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板だけを選別して提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係るガラス基板を示す斜視図である。このガラス基板１は、短辺の寸法Ｌ１が５００〜２１００ｍｍ、長辺の寸法Ｌ２が５００〜２５００ｍｍであって、その板厚Ｌ３が１．１〜４．０ｍｍのプラズマディスプレイ用のガラス基板である。
【００２０】
そして、このガラス基板１は、図２に示すように、短辺に沿って１００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの小片２の長辺方向両端部を、図３（ａ），（ｂ）に示すように４６０ｍｍの支持スパンＬｓで下方から支持した場合に、次のような撓み特性が得られる。すなわち、小片２の表面を上側にした場合の第一撓み量δ１と、小片２の裏面を上側にした場合の第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）が、分割した全ての小片２で次式を満たす。
｜δ１−δ２｜≦０．８ｍｍ・・・・・（１）
【００２１】
ここで、第一撓み量δ１および第二撓み量δ２は、小片２の両端部の両支持点Ｘ１，Ｘ２を結ぶ仮想直線Ｌｘを撓み量零の基準位置として、その仮想直線Ｌｘからの鉛直方向における最大離間距離（ｍｍ）で定義される。なお、撓み量δ１，δ２には正負の符号があり、仮想直線Ｌｘからの小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘよりも下方にある場合を正と、小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘよりも上方にある場合を負として表される。具体的には、小片の最大離間位置が仮想直線Ｌｘから下方に１０ｍｍ離間している場合には、撓み量は＋１０ｍｍとなり、これとは逆に、小片２の最大離間位置が仮想直線Ｌｘから上方に１０ｍｍ離間している場合には、撓み量は−１０ｍｍとなる。
【００２２】
このように、分割した全ての小片２について、式（１）を満たせば、ガラス基板１の面内に、自重による撓みとは無関係に本来的に生じている反り（凹凸）が可及的に小さくなるため、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に低減することができる。
【００２３】
さらに、このガラス基板１は、分割前に隣接していた任意の２枚の小片２間において、一方の小片２の撓み量差（δ１−δ２）と、他方の小片２の撓み量差（δ１−δ２）との数値差δ３が次式を満たす。
｜δ３｜≦０．６ｍｍ・・・・・（２）
【００２４】
ここで、分割前に隣接していた２枚の小片２とは、一の小片２と、その小片２の周縁部に分割前に接していた他の小片２とをいい、ガラス基板１を短辺方向に３分割した場合を例に取ると、左側の小片２と中央の小片２の撓み量差の数値差δ３と、中央の小片２と右側の小片２の撓み量差の数値差δ３とが、それぞれ式（２）を満たすことを意味する。
【００２５】
このように、分割前に隣接していた任意の２つの小片２間、すなわち、分割前に隣接していた全ての小片２間において、式（２）を満たせば、ガラス基板１面内の凹凸が、急激に変化することなく、滑らかに連続した状態となる。したがって、塗布材料をより精度よく塗布することが可能となる。
【００２６】
以上のようなガラス基板１の製造方法の一例を説明する。
【００２７】
まず、ガラス溶解窯でガラス原料を溶融することで溶融ガラスとし、その溶融ガラスをフロートバス（錫バス）に搬入し、フロート法により板状に成形する。フロートバスで板状に成形されたガラスリボンは、徐冷炉に搬入され、不要な歪が除去される。その後、当該ガラスリボンを所定の大きさに切断すると共に、研磨等の処理を施すことでガラス基板１が製造される。そして、この製造工程の中で、フロートバス内におけるガラスリボンの幅方向及び表裏面の温度分布、徐冷炉内におけるガラスリボンの幅方向及び表裏面の温度分布、およびフロートバス内や徐冷炉内でのガラスリボンの搬送速度を厳密に管理することにより、上記の式（１）及び式（２）を満たすガラス基板１を製造することができる。特に、管理する要素の中でも、徐冷炉内におけるガラスリボンの幅方向の温度分布が１０℃以下になるように制御することが重要となる。
【００２８】
また、上記の製造工程では、更に、製造されたガラス基板１の中から任意の１枚又は複数枚のガラス基板１が選択され、その選択されたガラス基板１に対して次のような反り検査が行われる。
【００２９】
すなわち、図２に示すように、選択したガラス基板１を複数枚の矩形状の小片２に分割し、その分割した各小片２につき、図３（ａ），（ｂ）に示すように、表面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量δ１と、裏面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）を測定し、その測定結果に基づいてガラス基板１の反りの良否を検査する。
【００３０】
詳述すると、この検査では、例えば、上述のようにガラス基板１を１００ｍｍ×５００ｍｍの小片２に分割した場合には、その長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンＬｓで両端部を支持し、全ての分割した小片２に対して撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が、０．８ｍｍ以下になるか否かが調べられる。なお、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２は、例えば、図３に示すレーザ計３によって測定される。
【００３１】
その後、ガラス基板１を分割する前に隣接していた全ての小片２間で撓み量差（δ１−δ２）の数値差δ３を求め、全ての隣接していた小片２について撓み量差の数値差δ３の絶対値が、０．６ｍｍ以下であるか否かが調べられる。
【００３２】
その結果、全ての分割した小片２の撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が０．８ｍｍ以下であり、且つ、分割前に隣接していた全ての小片２間について撓み量差の数値差δ３の絶対値が０．６ｍｍ以下である場合に、ガラス基板１の面内での反りが適正範囲であると判断する。すなわち、上記の式（１）と式（２）を共に満たす場合に、ガラス基板１の面内での反りが適正であると判断する。
【００３３】
これとは逆に、ガラス基板１から分割した小片２について、上記の式（１）と式（２）を満たさない場合には、ガラス基板１の面内での反りが不適正であると判断し、上述のガラスリボンの成形条件を調整する。具体的には、例えば、ガラス基板１の反りが不適切な箇所に対応したガラスリボンの温度勾配が小さくなるように、徐冷炉内の温度分布を調整する。そして、成形条件の変更後に成形されたガラスリボンから採取されたガラス基板１に対して、再度、上述の反り検査を実行し、反りの適否を再評価する。
【００３４】
このようにすれば、平坦性に優れた反りの小さなガラス基板１を正確に選別することが可能となる。これは、次のような理由による。
【００３５】
すなわち、仮に小片２が反りのない理想的な平面板であるとすると、表面を上側にした状態で両端部を支持したときも、裏面を上側にした状態で両端部を支持したときも、その撓み量は共に同一になり、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）は零となる。
【００３６】
その一方で、仮に小片２の表面が凸となるような反りが生じているとすると、その表面を上側にした状態で両端部を支持した場合には、反りに抗して小片２が自重により撓むことになることから第一撓み量δ１は相対的に小さくなり、小片２の裏面を上側にした状態で両端部を支持した場合には、反りに準じて小片２が自重により撓むことになることから第二撓み量δ２は相対的に大きくなる。そのため、この場合には、第一撓み量δ１と第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）が生じる。また、小片２の裏面が凸となるように反りが生じている場合にも、同様に撓み量差（δ１−δ２）が生じる。
【００３７】
すなわち、第一撓み量δ１と、第二撓み量δ２との撓み量差（δ１−δ２）の絶対値が小さいということは、小片２に本来的に生じていた反りが小さいということを意味することになる。したがって、分割した全ての小片２において、この撓み量差（δ１−δ２）を検査することにより、ガラス基板１の面内に本来的に生じている反りの分布を正確に検査することが可能となる。
【００３８】
更に、ガラス基板１を分割する前に隣接していた全ての小片２間で撓み量差（δ１−δ２）の数値差δ３を、ガラス基板１の反りを検査する判断基準としていることから、ガラス基板１の面内における凹凸の変化が滑らかに連続している否かも考慮した反りの評価が可能となる。そのため、塗布材料の塗布厚みのばらつきを可及的に抑制し得る、反りの小さなガラス基板をより高精度に選別することが可能となる。
【００３９】
そして、ガラス基板１は、フロート法のように、長尺なガラスリボンを分割して、ガラス基板１を製造する手法においては、温度条件等の成形条件が一定になるように制御されるのが通例であることから、一枚又は複数枚のガラス基板１の反りを検査することによって、同一のガラスリボンから製造される他のガラス基板１の反りの状態を容易に推測することができる。そのため、上述のような反り検査方法を製造されたガラス基板１に対して実行することで、反りの小さなガラス基板１のみを選別して、後続の塗布工程等へ供給することが可能となる。その結果、塗布材料の塗布工程での不良率を可及的に低減することができ、生産性の向上に寄与し得る。
【００４０】
なお、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施することができる。例えば、上記の実施形態では、プラズマディスプレイ用のガラス基板に本発明を適用したものを説明したが、これ以外に、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラス基板等についても、同様にして本発明を適用することが可能である。また、ガラス基板１の製造方法として、フロート法を例にとって説明したが、オーバーフローダウンドロー法（フュージョン法）やスロットダウンドロー法などのダウンドロー法も同様に適用することができる。
【００４１】
さらに、上記のガラス基板１の製造工程で行われる反り検査において、製造された複数枚のガラス基板１の中から２枚以上のガラス基板１を選択する場合には、一方のガラス基板１を短辺に沿って１００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数枚の小片２に分割し、他方のガラス基板１を短辺に沿って５００ｍｍの等間隔、長辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片２に分割するようにしてもよい。通常、ガラス基板１の面内に生じる凹凸は、１００ｍｍ以上の周期で現われるので、小片２の分割方向を変えて上述のような検査を行うことにより、より正確にガラス基板１の面内の反り（凹凸）の状態を把握することが可能となる。
【実施例】
【００４２】
以下、表１に示す実施例１〜４、及び比較例１〜３について説明する。実施例１〜４および比較例１〜３は、それぞれ異なるロットに属するものである。ここで、ロットとは、同一条件で製造された製品の集まりをいう。そして、実施例１〜４および比較例１〜３のそれぞれにつき、以下に示す手順で評価試験を行った。
【００４３】
フロート法により成形された板厚が１．８ｍｍで、短辺寸法が１７００ｍｍ及び長辺寸法が２０００ｍｍの矩形状をなすプラズマディスプレイ用のガラス基板について、任意のロットから２枚抜き取り、一方については切断前後の長辺が平行になるように５００ｍｍ×１００ｍｍの６８枚の小片に分割し、他方については切断前後の長辺が直交するように５００ｍｍ×１００ｍｍの６０枚の小片に分割した。
【００４４】
そして、その分割した個々の小片につき、その長辺方向の両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持することにより、撓み量差（δ１−δ２）を測定した。そして、１２８（６８＋６０）枚の小片の中で、撓み量差の絶対値が最大となるものを｜δ１−δ２｜maxとして求めた。なお、撓み量差（δ１−δ２）は、レーザ変位計（オムロン（株）製）により測定した。
【００４５】
加えて、上記の一方のガラス基板を分割した６８枚の小片と、上記の他方のガラス基板を分割した６０枚の小片のそれぞれにつき、分割前に隣接していた小片間の撓み量差の数値差δ３を測定し、全ての隣接していた小片間の中で撓み量差の数値差δ３の絶対値が最大値を示すものを｜δ３｜maxとして求めた。
【００４６】
また、撓み量差（δ１−δ２）を測定したガラス基板と同一のロットから５０枚のガラス基板を抜き出して、その抜き出したガラス基板に対してフォトリソグラフィ法により透明電極（ＩＴＯ）膜のパターンを形成し、そのパターン線幅を測定し、そのばらつきを求めた。なお、パターン線幅は、測長機（Ｓｏｋｋｉａ製 ＡＭＩＣ−１７１００Ｃ）により測定した。また、パターン線幅のばらつきは、１枚のガラス基板において任意の位置１０箇所のＩＴＯパターン線幅を測定して、その最大値と最小値の差を算出して、これを「面内ＩＴＯパターン線幅のばらつき」とした上で、５枚のガラス基板の「面内ＩＴＯパターン線幅のばらつき」を求め、その中での最大値を「ＩＴＯ線幅のばらつき」とした。このＩＴＯパターン線幅のばらつきは８μｍを超えると、そのガラス基板を組み込んだプラズマディスプレイにおいて、絶縁不良や発光不良、画質劣化などの致命的な欠陥が生じ、実用上問題となる。
【００４７】
【表１】
【００４８】
上記の表１によれば、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍを越えると、比較例１〜３に示すように、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」が、実用上問題となるレベルを超える大きな値を示すことから、当該ガラス基板を組み込んだプラズマディスプレイにおいて絶縁不良や発光不良、画質劣化などの致命的な欠陥を招くおそれが高くなる。
【００４９】
これに対して、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍ以下を示す実施例１〜４では、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」が、実用上問題のないレベルまで小さくなることが確認できる。したがって、｜δ１−δ２｜maxの値が０．８ｍｍ以下となるガラス基板であれば、絶縁不良等の上記問題を確実に解消することが可能となる。特に、｜δ３｜maxが０．６ｍｍ以下となる実施例１〜３では、「ＩＴＯパターン線幅のばらつき」がより一層小さくなることから、当該条件を満たすガラス基板を用いることで、より高品位なプラズマディスプレイを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス基板を示す斜視図である。
【図２】図１に示すガラス基板を、複数の小片に分割する様子を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は、図２に示す小片の第一撓み特性を示す概略図、（ｂ）は、図２に示す小片の第二撓み特性を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１ ガラス基板
２ 小片
Ｌ１ 短辺寸法
Ｌ２ 長辺寸法
Ｌ３ 板厚
Ｌｓ 支持スパン
Ｌｘ 仮想直線
δ１ 第一撓み量
δ２ 第二撓み量
δ３ 撓み量差の数値差
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一辺の寸法が５００ｍｍ以上で、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板であって、
一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となることを特徴とするガラス基板。
【請求項２】
分割前に隣接していた任意の２つの小片間での前記撓み量差の数値差の絶対値が、０．６ｍｍ以下となる請求項１に記載のガラス基板。
【請求項３】
一辺の寸法が５００ｍｍ以上で、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板の反り検査方法であって、
前記ガラス基板を複数の矩形状の小片に分割し、その分割した各小片につき、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差を測定し、その測定結果に基づいて前記ガラス基板の反りの良否を検査することを特徴とするガラス基板の反り検査方法。
【請求項４】
前記ガラス基板を分割する前に隣接していた小片間での前記撓み量差の数値差を更に測定し、各小片の前記撓み量差と該撓み量差の数値差とに基づいて、前記ガラス基板の反りの良否を検査する請求項３に記載のガラス基板の反り検査方法。
【請求項１】
一辺の寸法が５００ｍｍ以上で、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板であって、
一方の辺に沿って１００ｍｍの等間隔で、且つ他方の辺に沿って５００ｍｍの等間隔で複数の小片に分割すると共に、その分割した１００ｍｍ×５００ｍｍの各小片の長辺方向両端部を４６０ｍｍの支持スパンで下方から支持した場合に、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差の絶対値が、全ての小片で０．８ｍｍ以下となることを特徴とするガラス基板。
【請求項２】
分割前に隣接していた任意の２つの小片間での前記撓み量差の数値差の絶対値が、０．６ｍｍ以下となる請求項１に記載のガラス基板。
【請求項３】
一辺の寸法が５００ｍｍ以上で、且つ板厚が４．０ｍｍ以下のガラス基板の反り検査方法であって、
前記ガラス基板を複数の矩形状の小片に分割し、その分割した各小片につき、一方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第一撓み量と、他方の面を上側にした状態で両端部を支持した時の自重による第二撓み量との撓み量差を測定し、その測定結果に基づいて前記ガラス基板の反りの良否を検査することを特徴とするガラス基板の反り検査方法。
【請求項４】
前記ガラス基板を分割する前に隣接していた小片間での前記撓み量差の数値差を更に測定し、各小片の前記撓み量差と該撓み量差の数値差とに基づいて、前記ガラス基板の反りの良否を検査する請求項３に記載のガラス基板の反り検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００９−１１７３０１（Ｐ２００９−１１７３０１Ａ）
【公開日】平成２１年５月２８日（２００９．５．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２９２２３４（Ｐ２００７−２９２２３４）
【出願日】平成１９年１１月９日（２００７．１１．９）
【出願人】（０００２３２２４３）日本電気硝子株式会社 (1,447)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月２８日（２００９．５．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月９日（２００７．１１．９）
【出願人】（０００２３２２４３）日本電気硝子株式会社 (1,447)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]