【課題】 様々な表面形状に対して比較的に容易に適用可能な特徴形状抽出演算方法及び表面形状補正演算方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この方法は、表面形状測定装置によって測定された被測定物の表面形状を表わす表面形状測定データ点群から、該被測定物の表面形状の所要の特徴形状を表わす特徴形状データ点群を抽出する特徴形状抽出演算方法であって、前記表面形状測定データ点群によって構成される仮想表面に接触可能な二次元もしくは三次元の形状を有する仮想接触子を想定し、前記仮想表面における複数の異なる位置において該仮想接触子を該仮想表面に接触させたことを仮想したときに、各位置において該仮想接触子が接触する前記仮想表面上の１以上の接触点における前記表面形状測定データ点群の中のデータ点を抽出して前記特徴形状データ点群とする特徴形状抽出演算方法である。 （もっと読む）

【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール１４ａと、複孔用ツール１４ｂと、ツールのいずれかを孔２に対して位置決めする位置決め装置１２と、各孔２の中心位置と干渉物４の位置とを記憶する記憶装置１８とを備える。（Ａ）各孔２の中心位置と干渉物位置を表示し、（Ｂ）指定した孔２の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、（Ｃ）検査順の各列に含まれる孔数ｍが、複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔数ｋより小さい場合に、単孔用ツール１４ａの使用と、検査順に基づく孔２の順を決定し、（Ｄ）ｍ≧ｋの場合に、複孔用ツール１４ｂの使用と、検査順に基づくｋ個毎の孔２の順を決定し、かつｋより少ない最後の１又は複数の孔を複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔を決定する。 （もっと読む）

【課題】従来の較正方法と比べてあまり時間がかからない較正を適用するより正確な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システムは、第１部分ＥＧおよび第２部分ＥＳと、計算ユニットと、を備える。第１部分および第２部分は、第２部分に対する第１部分の位置を表す位置信号を提供することによって第２部材に対する第１部材の位置を決定する。計算ユニットは、位置信号を受信するための入力端子を含む。計算ユニットは、使用中、位置信号に変換を適用して第２部材に対する第１部材の位置を表す信号を得るように、および、変換に調整を適用して第１部分または第２部分あるいは両方のドリフトを少なくとも部分的に補償するように、構成される。調整は、第１部分または第２部分あるいは両方のそれぞれの所定のドリフト特性に基づく。所定のドリフト特性は、第１部分および／または第２部分の１つ以上の基本形状を有する。 （もっと読む）

【課題】共通基準システム（４）上に振動隔離機構（２、３、５）を介して搭載され、該共通基準システムに対して変動する位置をとる、リソグラフィ・デバイス（１）及びワークステーション・デバイス（６）を含む装置において、両デバイス間の相対位置の変動を監視して該装置が誤動作しないように調整する。
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置（ｄ、７ｂ）が所定の公差範囲内（７ａ−７ｃ）にあるかどうかを評価する手段を含む装置。 （もっと読む）

【課題】用紙が搬送される際のバタツキを抑えた状態で用紙の通過を検出することで、シート長の計測精度を高める。
【解決手段】搬送されるシートＰの搬送量を計測する搬送量計測手段１５と、前記シートの搬送をガイドするガイド部材３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂと、前記シートの搬送方向における下流側で、前記ガイド部材に沿って搬送される前記シートの先端部通過を検知する先端検知手段１１と、前記シートの搬送方向における上流側で、前記ガイド部材に沿って搬送される前記シートの後端部通過を検知する後端検知手段１２と、を有し、前記先端検知手段、前記後端検知手段及び前記搬送量計測手段の出力に基づいて、前記シートの搬送方向の長さを算出するシート長計測装置１００であって、前記先端検知手段及び前記後端検知手段が前記シートの端部通過を検知する領域において、前記シートを前記ガイド部材に密着させるエア吐出手段又はエア吸引手段を備える。 （もっと読む）

【課題】コストを抑えたシート状材料の厚さ測定を行うことを可能としたシート状材料の厚さ測定方法およびシート状材料の搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ベルト１２は、シート状材料２の搬送方向と直交する方向に２つに分割された第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４で構成されている。第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４の間には間隙Ｓが確保されている。シート状材料２は第１、第２の搬送ベルト１２０２、１２０４により搬送される。第１、第２の変位センサ１６、１８は、非接触式であり、第１の搬送ベルト１２０２と第２の搬送ベルト１２０４との間隙Ｓの領域内に位置するシート状材料２の上下に離間して配置され、シート状材料２の上面および下面の変位を検出する。厚さ算出手段２０は、第１、第２の変位センサ１６、１８で検出された上面および下面の変位に基づいてシート状材料２の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】テープギャップの手動測定は労働集約的であるため、構造物の大きな領域にわたる複数のテープギャップの測定を正確かつ効率的に実行し、しかもオペレーターの技能に大きく依存しないテープギャップの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面を構成する複合テープの細片間のギャップはゲージによって測定される。表面に沿ってゲージを移動するにつれて隣接するテープ細片のエッジの位置は検出され、隣接する細片間のギャップは検出したエッジの位置に基づいて計算される。 （もっと読む）

【課題】ガラスフィルムの巻きズレの多少に関わらず、ガラスフィルムに破断を生じさせることなく、精度よく巻きズレを修正する。
【解決手段】制御部９が、ガラスフィルムＧに割れが生じない範囲で、ガラスフィルムＧの所定の単位長さ当りの巻出機構２の最大修正量を設定するとともに、ガラスフィルムＧの単位長さ毎にズレ量と最大修正量とを比較し、ズレ量が最大修正量以下である場合には、その単位長さ区間でズレ量まで巻出機構２の幅方向位置を修正移動させ、ズレ量が最大修正量を越える場合には、その単位長さ区間で最大修正量まで巻出機構２の幅方向位置を修正移動させる。 （もっと読む）

【課題】可撓性シートに対する印刷型の配置が種々である印版を使用して印刷を行う際に、初期段階であっても段ボールシートに印刷される位置を正確に検出することができる、印刷位置検出方法を提供する。
【解決手段】可撓性シート２１上の印刷型２２の基準点Ｑ３から予め定める所定距離の第一基準点Ｑ１に、印刷型２２より高さの低い被検出体３０を取り付け、版胴１１の回転に伴う被検出体３０の通過を第一センサ３１によって検出し、挟持点Ｑ０に向かい搬送される段ボールシート１上に第二基準点Ｑ２を設定し、第二基準点Ｑ２の通過を第二センサ３２によって検出し、第一センサ３１による第一基準点Ｑ１の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ１、第二センサ３２による第二基準点Ｑ２の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ２、及び、印刷型の基準点Ｑ３と第一基準点Ｑ１との距離に基づき、段ボールシート１において印刷型の基準点に対応する点Ｑ３’を検出する。 （もっと読む）

【課題】熱間圧延後の長尺材がその長さ方向に搬送されつつある時に、その長さを精度良く、しかも安価に、測定することができる、熱間長尺材の長さ測定方法および装置を提供する。
【解決手段】後端センサとしてのロードセル１０から搬送ライン下流側に順次所定のセンサ配置間隔で複数のアナログＨＭＤ１２_１、１２_２‥‥１２_ｎを配置し、最上流側のアナログＨＭＤ１２_１を用いて先端検出用の閾値を決定し、該決定した閾値を下流側のアナログＨＭＤ１２_２‥‥１２_ｎに設定してこれらを先端センサとして用いる。長尺材（鋼管）１の長さは、後端センサ（ロードセル）での後端検出時刻と、その直前に先端検出した先端センサ（アナログＨＭＤ）での先端検出時刻と、センサ配置間隔とから算出される。 （もっと読む）

【課題】設置場所の制限を軽減すると共に、コストの増加を抑えて、被検査物の端辺の直線度を検査可能な直線度検査方法を提供する。
【解決手段】この課題を解決するために、被検査物７の平面視における端辺８の直線度を検査する検査方法であって、前記端辺８までの距離に対応した情報を検出する距離検出部２と、被検査物７を距離検出部２に対して端辺８の一端９側から他端１０側に向けて移動させる移動手段４と、距離検出部２の検出結果から端辺８の直線度を求める情報処理部１と、を備えると共に、距離検出部２が移動手段４による移動動作の移動方向Ｔに沿って並ぶ二つ以上のセンサ３を有し、被検査物７の移動量がセンサ３の間隔Ｌのセンサ３の数から１減算した値以下の整数倍になる毎に、距離検出部２が前記情報の検出動作を行うものとした。 （もっと読む）

【課題】コンベアベルトの振動の影響を補正できる平坦度測定装置及び平坦度測定方法を提供する。
【解決手段】コンベアベルト３４と、前記コンベアベルト３４を回転することにより駆動するロールと、前記コンベアベルト３４の振動を検出するための第１のセンサ３８と、シート３２の先端の高さ位置を測定するための第２のセンサ４０と、前記第１のセンサ３８からの信号と、前記第２のセンサ４０からの信号と、を受信して解析するための制御部と、を備え、前記制御部は、前記コンベアベルト３４の接続部が前記ロール上に無いと判断したときは、前記第２のセンサ４０からの信号に基づいて前記シートの平坦度を算出する際、前記第１のセンサ３８からの信号に基づいて前記コンベアベルト３４の振動による影響を補正した平坦度を算出し、前記コンベアベルト３４の接続部が前記ロール上にあると判断したときは、前記シート３２の平坦度を算出しない平坦度測定装置。 （もっと読む）

【課題】ウエハの平坦度検査を高精度かつスループットの高い方法で実現する。
【解決手段】回転運動および直線運動機構の運動誤差を補正することの可能な３点法を、ウエハ１０１と検出器９の相対的な回転運動によるウエハ外周の形状測定と、ウエハ１０１と検出器９の相対的な直線運動によるウエハ直径方向の形状測定に適用し、両者の組み合わせによりウエハ全体の形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】センサシステムを構成するアンプユニットから時系列的に得られる計測データに対して所望の解析処理を適用し、その解析結果に対応する出力を生成することが可能なセンサシステムに適用される拡張ユニットを提供すること。
【解決手段】アンプユニットに連装される拡張ユニットには、計測データ蓄積メモリと、伝送ラインを介して到来する計測データを取得して前記メモリに蓄積する計測データ取得手段と、蓄積された一連の計測データを所定のアルゴリズムに従って解析するデータ解析手段と、データ解析結果を判定する判定手段と、判定結果に対応する制御信号を外部へと出力する出力手段とを具備する。計測アルゴリズムが部品化された複数の処理プログラムが拡張ユニットに組み込まれており、パソコンからの指示に従って、処理プログラムが選択され、選択された処理プログラムが所定の順序で実行される。 （もっと読む）

【課題】ゴム層内に埋設されたスチールコードの位置を非破壊方式で簡便に測定でき、かつ取り扱いも容易で低コスト化が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】基板１２の載置面１２０４をゴム層２の上面に載せ、測定位置基準部１２０６をゴム層２の端面２ａに押し当てた状態で、球体１４を案内部１２０２に沿って測定位置基準部１２０６から離間する方向に転動させ、球体１４が、ゴム層２の端面に最も近接するスチールコードの真上に転動され、スチールコードとの磁気結合によりスチールコードに吸着されて静止した時の位置と測定位置基準部１２０６との間の距離をスケール１８の目盛から読み取る構成にした。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】薄板Ｓの反り量の測定を測定するための装置（反り量測定装置４７）を簡易なものにすること。
【解決手段】薄板Ｓを浮上させた仮想の浮上状態をシミュレーションして求められかつ薄板Ｓの固有の反り量と関連づけて薄板Ｓの板幅方向の位置と浮上量との関係を示す浮上挙動テーブルを参照しつつ、計測された薄板Ｓの浮上量に基づいて、薄板Ｓの固有の反り量を推定することにより、薄板Ｓの反り量を測定すること。 （もっと読む）