【課題】配管周りのスペースが狭くても、安価な構成で、配管の軸方向に直交する断面の外径を好適に計測することができる計測治具および配管の断面形状計測方法を提供する。
【解決手段】エルボ１の軸方向に直交する断面の外径を計測する計測治具５であって、エルボ１に取付可能に構成され、エルボ１の外径よりも大径となる円形の計測枠１１と、計測枠１１に形成され、ダイヤルゲージ３０を挿入可能に、計測枠１１の径方向に貫通形成した計測穴１２と、を備え、計測枠１１は、真円との誤差が予め計測され、計測穴１２は、計測枠１１の周方向に複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】積層鉄心の積みズレ測定方法及び測定装置において、積層鉄心の積層面における積みズレの測定を高精度且つ迅速に行う。
【解決方法】積層鉄心の積みズレ測定方法は、積層方向に沿って、積層鉄心（１）の積層面のプロファイルを取得する工程と、プロファイルのうち傾きの絶対値が所定の閾値を超える領域を鉄心間の谷間であると特定する工程と、プロファイルを特定された谷間を境界としてサブプロファイルに分割する工程と、サブプロファイル毎に波形の極大値を算出する工程と、算出された極大値のうち、最大のものと最小のものとの差異を積みズレとして算出する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面付近まで安全に接近させることができるスタイラスを提供する。
【解決手段】先端部１２を被検物Ｓに接触させて被検物Ｓの表面を追従させることにより、被検物Ｓの表面形状を測定するためのスタイラス１０は、先端部１２の先端１２Ａよりも前方の所定位置Ｐを通るように光Ｌを照射する発光部１３と、発光部１３から照射された光Ｌが反射された反射光Ｌ１を検知する受光部１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波接合における不良品の発生を防止することができるワーク評価方法およびワーク評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク評価方法は、スキューネスを算出する段階およびワークの良否を判定する段階を有する。スキューネスを算出する段階は、超音波接合されるワークの表面粗さ測定結果から、ワークの表面粗さデータの高さ方向における偏り度合いを示すスキューネスを算出する。ワークの良否を判定する段階は、算出されるスキューネスに基づいて、超音波接合されるワークの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】ベルマウス模型の３次元計測を用いることによって、ベルマウス図面の精密な製作と同時に図面製作時間の短縮を可能にするベルマウス模型を用いたベルマウス図面製作方法を提供する。
【解決手段】実際のベルマウスの模型の３次元計測を用いることによって実際のベルマウスの図面を製作する方法であって、実際のベルマウスから縮尺したベルマウス模型を複数の断面に分割するステップと、縮尺したベルマウス模型の複数の断面を複数の曲線で表示するステップと、複数の曲線の座標を計測するステップと、計測された座標を利用してベルマウス模型の複数の断面図を形成するステップと、断面図を拡大することによって実際のベルマウスの図面を製作するステップとを含む方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、構成の簡略化を図ることのできる形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】上下方向に振動しながら被測定面２４上を走査する探針１２と、該探針１２を上下方向に振動させる微小振動発生手段１６と、該被測定面２４と探針１２間の距離ないし接触力が一定となるように該探針１２を上下動する上下動制御手段１７と、該探針１２を該被測定面２４上で走査する走査手段１８と、該探針１２の上下方向変位を測定し探針変位信号を出力する変位センサ２０と、該信号２６中の高周波成分より該被測定面２４と探針１２間の距離情報ないし接触力情報を取得し、該距離ないし接触力を一定に保つように該被測定面２４を走査した際の該信号２６中の低周波成分より該被測定面２４の凹凸情報を取得する信号処理機構２２と、を備えたことを特徴とする形状測定装置１０。 （もっと読む）

システム、方法、装置及び製品は、ガラス基体等といった測定対象についてのベッド・オブ・ネイル式の形状測定ゲージにおけるピンの高さ調節の系統的な計算及び実行に関し、特に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用板ガラスの製造に用いられるガラス基体等の物体の表面の無重力形状を測定するためのベッド・オブ・ネイル式ゲージの使用に関する。１つ以上の実施形態は、測定中に表面を支持するよう動作可能な複数のピンを備え得る。各ピンは、測定信号を送るよう動作可能なロードセルと、調節信号を受け取り、該調節信号を受け取ったらピンの高さ調節を実行するよう動作可能な高さ調節器とを備える。ピンの高さ調節の実行により、表面が各ピンに及ぼす測定された力が、無重力形状に対応する目標とする力に近づくよう、ピンが系統的に配置される。
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【課題】 複数のカンチレバーのそれぞれからの反射光を識別可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 第1波長を有する第1照射光を発する第1の光源15、第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発する第2の光源25、試料50a上を走査し、第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブ1、試料50b上を走査し、第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブ2、第1波長を有する第1反射光を受光する第1受光素子16、及び第2波長を有する第2反射光を受光する第2受光素子26を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】高品質なＡＦＭ像を取得できる走査型プローブ顕微鏡用走査機構を提供する。
【解決手段】走査機構は、可動部１２４とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材１２７Ａと１２７Ｂと固定部１２５とからなるＸＹステージと、可動部１２４をＸ方向に移動させるＸアクチュエーター１２２Ａと、可動部１２４をＹ方向に移動させるＹアクチュエーターと、Ｚ方向に変位しうるＺアクチュエーター１２３と、Ｚアクチュエーター１２３の中央部を保持している保持部材１３０と、Ｚアクチュエーター１２３の下側の自由端に固定された試料台１３１と、Ｚアクチュエーター１２３の上側の自由端に固定されたセンサーターゲット１３２と、センサーターゲット１３２の変位を検出する変位センサー１１４とを有している。保持部材１３０は可動部１２４に固定されている。センサーターゲット１３２は試料台１３１とほぼ同等の重さを有している。 （もっと読む）

【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。
【解決手段】試料Ｓに対向配置され、レバー部２ａの先端に探針２ｂを有すると共に該レバー部の基端側が本体部２ｃに片持ち状態に支持されたプローブ２を複数固定するものであって、試料表面Ｓ１に対向する対向面１０ａを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板１０と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体１１と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションＰに位置させる可動手段１２とを備えているプローブホルダ３を提供する。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。
【解決手段】プローブ２２の反射面で計測光を反射させ、プローブ２２と被測定物１の間に作用する原子間力を利用して被測定物１の表面形状を測定する。プローブ２２を駆動する第１のスキャナ１０とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第２のスキャナ２６を設けて、第１、第２のスキャナ１０、２６の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第１、第２のスキャナ１０、２６を同期的に制御することで、プローブ２２に光学系の焦点を追従させる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の凹凸形状を検出する検出手段の光学的な位置合わせを簡便に行うこと。
【解決手段】触針式プローブ１０は、Ｘ方向に延在する厚さが薄いレバー１１と、レバー１１の先端付近に設けられる−Ｚ方向に先鋭化された探針１２とを有し、レバー１１の基部に設けられるスペーサー１３を介してガラス基板２０に固定され、レバー１１とガラス基板２０の間に、スペーサー１３の厚さに相当するギャップＧが形成されている。探針１２を試料Ｓに接触させると、試料表面の凹凸形状に応じてレバー１１が撓み、撓んだ部分のギャップＧの間隔が変化する。レーザー光源４からの照明光をガラス基板２０を通して触針式プローブ１０へ照射すると、ギャップＧに起因して干渉縞が現れ、その干渉縞のＸ方向の位置を顕微鏡２とＣＣＤカメラ３で検出することにより、試料Ｓの表面の凹凸量を測定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、走査形プローブ顕微鏡等でのヒートサイクルにおいて、チューブ型圧電素子の破損が発生するという点である。
【解決手段】 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）