【課題】検出精度の低下を防ぐことができる光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板の表面に形成され、光を反射する第一金属からなる光反射層と、当該光反射層の表面のうち所定領域を空けて形成され、光を吸収すると共に第一金属よりも標準電極電位の低い第二金属からなる光吸収層とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定の光反射面とは異なる部分における光反射を防ぐことが可能な光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射面を有する基板１と、当該光反射面１５のうち所定領域を空けた第一領域と基板のうち光反射面から外れた第二領域とに跨って形成され、光を吸収する光吸収層３と、光を透過可能な材料を用いて形成され、光反射面及び光吸収層を覆う保護層４とを備える光学式エンコーダ用反射板１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダシートの透明部への汚れの付着を防ぎ、エンコーダ装置の誤検知を抑制するようにしたエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】 発光部３１と、発光部３１からの光を受ける受光部３２と、発光部３１と受光部３２との光路Ｈ間を通過するように移動され、その移動方向に光が通るべき透明部４１と光を遮るべき非透明部４２とを交互に並べた縞パターン４３を有する、非導電性材質によって板状に形成されたエンコーダシート４０と、を備え、エンコーダシート４０の非透明部４２の表面には、非導電性材質によって突起部４２ｂが形成され、突起部４２ｂはエンコーダシート４０が帯電された状態で、自身の表面に不平等電界が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 光源の寿命に起因する変位検出装置の停止を防止する。また、仮に停止しても装置に実質的影響がなく、余分な予備部品を在庫として持つ必要がないようにする。
【解決手段】 光源からの光を回折する略平板状の回折格子と、この回折格子で回折された光を受光する受光手段と、主光源としての第１光源１１Ｍと、第２光源１１Ｓと、第１光源１１Ｍの寿命が近いと判断した場合、第２光源１１Ｓを主光源にすべく光源の切り替えを行う制御手段３１Ｍ，３１Ｓ，３４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の光式無接触ポテンショメータでは、スリットの形状やスリットの寸法精度によってセンサ自体の検出精度が大きく影響されるため、安定した検出精度を出すことが難しく、また、遮光板のリブの内側の狭いスペースに投光器を配置しなければならないため、組立作業に手間がかかり、組立性・生産性が悪かった。
【解決手段】支持部材に回転自在に支持された回転軸３と、その回転軸に対向設置された遮光部材４と、回転軸と遮光部材とが対向する方向と交差する方向の一側に配置された発光ダイオード６と、回転軸と遮光部材とが対向する方向と交差する方向の他側に配置され且つ発光ダイオードに対向設置されたフォトＩＣ８と、を備えている。回転軸３に、その回転軸の回転位置に応じて遮光部材４との間の隙間を変化させる偏心ロータ５を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストで高精度なアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】アブソリュートエンコーダは、第１スリットを有する第１トラック及び第２スリットを有する第２トラックを備えたスケール部と、第１及び第２スリットに光を照射する光源と、第１スリットで反射した光から得られた第１信号を検出する第１検出手段と、第２スリットで反射した光から得られた第２信号を検出する第２検出手段とを有し、第２スリットは、スケール部の移動方向における位置に応じて光源から照射された光の反射光量が異なるように形成され、演算手段は、第２検出手段で得られた光電流の電圧値又は第２信号の振幅値に基づいて上位信号を取得し、第１及び第２信号を用いてバーニア演算を行い中位信号を取得し、第１信号を用いてアークタンジェント演算を行い下位信号を取得し、上位信号、中位信号、及び、下位信号に基づいて被計測物の絶対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、接着によって互いに接続された複数の部分部材（１０，２０）から構成された基準尺に関する。
【解決手段】 接着が、部分部材（１０，２０）の互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）で行われる。そのために、二つの部分部材（１０，２０）のそれぞれ互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）が、測定方向（Ｘ）に延びており、それらの間に有る、測定方向（Ｘ）に対して垂直な方向を向いた隙間（３１，３２）を形成し、その隙間内に接着剤（４）が配備される。そのような措置によって、接着剤（４）が、膨張又は収縮して体積を変化させた時に、測定方向（Ｘ）を向いた力が部分部材（１０，２０）に加わることができないという作用効果が実現される。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。
【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバＦ１のコアＣＲ１の端面（射出端面）と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバＦ２のコアＣＲ２の端面（受光端面）とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、土木構造物のための可撓性ストリップ（１）に関し、この可撓性ストリップは、縦軸に沿って縦方向に延びることができ、構造物が変形および／または温度に関して位置を特定し測定値を得ることを可能にする少なくとも１つの光ファイバ（２０）を備え、前記光ファイバ（２０）が、実質的に縦軸に沿って配置されるとともに、実質的に縦軸に沿って少なくとも部分的に強化された連続強化繊維（３０）の熱可塑性ポリマーマトリックスによって取り囲まれ、実質的に縦軸に沿って延びる連続強化繊維の質量ＷＣＦが、光ファイバの質量ＷＯＦの１０倍以上である。本発明はまた、計測デバイスおよび関連する方法に関する。
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【課題】 光干渉信号出力をセンサ信号とする光ファイバセンサヘッドでは、信号となる外圧を、光位相の変化に変換する必要があり、一つの方法として、振動板面に光ファイバ素線を渦巻状に貼り付けて、その板面の歪みにより、光位相が変化させる方法があるが、製造面で難しさがあった。
【解決手段】 本発明では、信号となる外圧を、弾性を有する円筒に加わえることにより、その円筒が歪み、偏平度が変化し、そこに巻かれた光ファイバの張力が変化することにより、その光ファイバが伸縮して、そこを通過する光位相に変化を与える光ファイバセンサヘッドを提供する。 （もっと読む）

【課題】位置検出の分解能及び安定性を広い変位検出範囲に渡って高いレベルで維持しつつ且つスケール上の欠陥等の影響による信頼度をもチェックできる光学式信号出力装置の信号処理装置及びそのような信号処理装置を備えた光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】スケール５０上に形成され、変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸増する光学特性を有するグレートラック５１に光ビーム６１を照射して得られる第１の信号群の振幅成分と変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸減する光学特性を有するグレートラック５２に光ビーム６２を照射して得られる第２の信号群の振幅成分との和と第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の差との比から変位検出対象物の絶対変位を求める。また、第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の和から光学式信号出力装置が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 基準尺（１）が筐体内に保護された形で収容されている測長装置に関する。
【解決手段】 筐体は、中空体（２１）を有し、その側端が、それぞれ蓋（２２）によって閉鎖されている。蓋（２２）と中空体（２１）の間には、導電性材料から成るパッキン（４）が配置されている。このパッキン（４）には、基準尺（１）と接触して、それにより基準尺（１）を中空体（２１）と電気を通す形で接続する接続素子（４１）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】絶対位置検出及び相対位置検出の何れにおいても分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ、絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を実現する光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】第１の変調コードパターン53aと第２の変調コードパターン53bとが形成されたスケール4と、光源1から射出された光ビームを第１の変調コードパターン53aを介して検出して第１の信号を生成する第１の光検出器21と、第２の変調コードパターン53bを介して検出して第２の信号を生成する第２の光検出器22と、を有するセンサヘッド30と、第１の信号と第２の信号とに基づいて変位を算出する物理量検出回路210と、を光学式変位検出装置に具備させる。第１の信号及び第２の信号は、所定演算により相殺される第１成分と、前記所定演算後に残存する第２成分と、を含む。第１の検出器21による検出と、第２の検出器22による検出と、は関連付けて実行される。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールの汚れを検出できる構成を備えた位置検出装置を提供すること。
【解決手段】キャリッジの位置を検出するリニアエンコーダは、発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、発光部と受光部との間に配設されるリニアスケール３１とを備えている。リニアスケール３１は、キャリッジの位置を検出するために、発光部からの光を透過する第１透光部３１ｆおよび発光部からの光を遮断する第１遮光部３１ｅがキャリッジの検出範囲Ｌ内で交互に形成される位置検出パターン３１ｂと、リニアスケール３１の汚れを検出するために、発光部からの光を透過する第２透光部３１ｈおよび発光部からの光を遮断する第２遮光部３１ｇが交互に形成される汚れ検出パターン３１ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】様々な環境下において使用でき常に安定した検出動作を行うことができるエンコーダ用検出部およびエンコーダを提供する。
【解決手段】検出部１２のケース１２０２内に、第１、第２の目盛板４４、４６を設ける。ケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によって第１、第２の可動スリット５６、５８を介して第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃに互いに波長成分が異なる第１、第２、第３の光を照射させる。第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃで反射された各反射光をケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によってケース１２０２の外に導く。 （もっと読む）

【課題】生産性に優れ、且つエンコーダの交換や修理が容易であるとともに、エンコーダ部が小型であり、モータの加速時における精度低下が少ないエンコーダ付モータシステムを得ることである。
【解決手段】コードディスクと、中心部に回転軸が挿入される取り付け孔が形成され、且つコードディスクの円板面に接着剤で接着された結合部材とを備え、少なくとも取り付け孔の側壁部に低融点金属の皮膜が設けられ、低融点金属の皮膜形成前の取り付け孔の内径が、挿入されたモータの回転軸の外径より大きく、低融点金属の皮膜形成後の取り付け孔の内径が、挿入されたモータの回転軸の外径より小さいものである。 （もっと読む）

【課題】 地盤に形成した深い穴内に容易に設置することができ、地盤歪を高精度で検出可能な地盤歪検出端を提供する。
【解決手段】 複数の短尺管体１５をつなぎ合わせて変位標識管体５を形成し、その変位標識管体５に沿って光ファイバセンサ６を張力を掛けた状態で配置し且つその光ファイバセンサ６の複数個所を固定治具７で変位標識管体５に固定して検出端３を構成する。この検出端３は、短尺管体１５をつなぎ合わせながら且つ光ファイバセンサ６を固定しながら縦穴２内に挿入することで深い縦穴２内に容易に設置可能であり、挿入した後は縦穴２内に充填材８を充填して地盤と一体化することで、地盤歪に応じて光ファイバセンサ６に歪を生じ、それを散乱光強度分布の観測で検出することで地盤に発生した歪分布を精度良く測定できる。 （もっと読む）