【課題】運動する被検査物の内部を簡単に透視できる放射線透視装置を提供することを目的とする。
【解決手段】放射線透視装置が、放射線照射部から離間した被検査物に放射線を照射して被検査物の内部を透視する放射線透視装置であって、被検査物の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段が、検出した被検査物の位置に向けて放射線を照射するように放射線照射部を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも空間分解能の高い透視画像を生成することを目的とする。
【解決手段】逆コンプトン散乱Ｘ線を透視対象物に走査して照射するＸ線照射手段と、前記透視対象物で発生する後方散乱Ｘ線光子を検出するＸ線検出部と、該Ｘ線検出部のＸ線光子のうち、所定の評価範囲内のエネルギーに属するＸ線光子を抽出する抽出手段と、該抽出手段の抽出結果に基づいて透視対象物の透視画像を作成する透視画像作成手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析時のＸ線透過シートの膨張を防止できるように試料セルを組み立てる試料セル組立具を提供する。
【解決手段】セル内枠１０を嵌合した試料カップ１１を、カップ端面１１１が下側となった状態で、試料カップ載置台７１上に載置する。円柱部（位置決め部）７１２の外径はセル内枠１０に内嵌し、試料カップ１１を位置決めする。円柱部７１２の上面には突起部（押し上げ部）７１３が突出しており、カップ端面１１１を押し上げて試料カップ１１の内側に向けて変形させる。高さが試料カップ１１よりも高いシート載置具７２上にＸ線透過シート１２を載置し、上から外枠嵌合具７３でセル外枠１３を試料カップ１１に嵌合させて、試料セル１を組み立てる。Ｘ線透過シート１２を下側にして蛍光Ｘ線分析を行う際、内部圧力が上昇しても、カップ端面１１が外側に向けて変形し、Ｘ線透過シート１２の膨張が防止される。 （もっと読む）

【課題】マルチチャネルアナライザ計測者の負担を軽減する。
【解決手段】所定のクロックで被測定信号をサンプリングして得られたサンプリングデータに基づいて被測定信号のピークを検出し、ピーク値を取得するマルチチャネルアナライザにおいて、被測定信号と所定のトリガレベルとを比較して、トリガ信号を発生するトリガ検出部と、ピーク検出時点のトリガ信号発生時点からのクロック数である第１クロック数を計測するピーク検出部と、外部から入力されるスタート信号からトリガ信号発生時点までのクロック数である第２クロック数を取得する時間情報取得部と、第１クロック数と第２クロック数とを合計しスタート信号からピーク検出時点までのクロック数である第３クロック数を算出する時間情報処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギーを検出することができる高エネルギーＸ線の検出装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 所定の方向から入射する入射Ｘ線１の照射によりこれをコンプトン散乱する散乱体１２と、入射Ｘ線に対し特定の方向θにコンプトン散乱された散乱Ｘ線２のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６と、コンプトン散乱の断面積から入射Ｘ線１のエネルギースペクトルを補正する入射Ｘ線補正器１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするＸ線分析装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明はエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置に関し、スペクトル同士の相関関係を求める必要がなく、高速に処理が可能なエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料に荷電粒子ビームを照射して試料から発生したＸ線を所定の区画毎に検出し、検出されたＸ線から、横軸にエネルギー、縦軸に発生したＸ線の数を表わすＸ線スペクトルを求めるスペクトル取得手段と、該スペクトル取得手段から得られたスペクトルを横軸をＭ分割、縦軸をＮ分割して、横軸のＭ分割区域毎に縦軸の数値を求め、求めた数値列を各区画毎に得る数値列算出手段と、同じ数値列の区画をまとめて、同一の数値列により同一の組成と判定された区画を同じ色で着色する着色手段と、各組成と判定された個別の分布を合成して分布図を得る分布図取得手段とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて分解能をより一層向上させることができる荷電粒子顕微鏡及び解析方法を提供する。
【解決手段】試料２０内で広がった電子線プローブをＣＣＤカメラ２３で撮影し、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを取得する。その後、ＣＣＤカメラ２３を電子線の通過域から退避させ、ＳＴＥＭ検出器２２により観察像を取得するとともに、ＥＥＬＳ検出器２４によりＥＥＬＳスペクトルを取得する。次いで、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを使用し、分析目的位置毎に分析目的位置に照射される電子線量（強度）とその周囲に照射される電子線量とを演算し、その結果に基づいてＳＴＥＭ検出器２２又はＥＥＬＳ検出器２４により得た測定値を演算処理して、周囲の影響を排除した真の測定値を得る。 （もっと読む）

【課題】雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを利用可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管（Ｘ線照射部）５１からの一次Ｘ線とＸ線検出器（検出部）５２が検出する蛍光Ｘ線とが通過する測定室（内部空間）３１内を特定のガスの雰囲気にした上で蛍光Ｘ線分析を行う。測定室３１へガスを供給する配管１の途中に、ヘリウム用圧力調整器２１と窒素用圧力調整器２２とを並列に備え、各圧力調整器は、ガスの種類に応じた圧力に調整してあり、ガスを測定室３１へ供給する際には、ガスの経路を、ガスの種類に対応する圧力調整器を通過するように切換弁（経路切換手段）２６で切り換える。配管１の殆どの部分を共通に使用しながら、雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＬ法の感度を向上させてシリコン基板を評価することで、デバイス活性領域の点欠陥を精密に非破壊検査により評価することができるシリコン基板の評価方法、及びその評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン基板表面にＰＮ接合を作製し、ＰＮ接合が作製されたシリコン基板の空乏領域に電子線を照射して、電子線が照射されたシリコン基板から得られる発光の波長及び強度からシリコン基板の評価を行うシリコン基板の評価方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、放射線被曝を受ける側の材料におけるアルファ線の影響範囲に相当する飛程と放射線被曝を受ける側の材料から放出されるアルファ線の強度とを同時に測定できるアルファ線測定装置を提供し、また、異なる厚みの試料を透過するアルファ線の強度を容易に測定できるアルファ線測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本願発明のアルファ線測定装置は、アルファ線源から照射されたアルファ線が照射される方向に試料を設け、試料を透過したアルファ線が通過する位置に透過したアルファ線を検出する放射線検出器を設ける構成とし、また、本願発明のアルファ線測定方法は、一方から他方へ変化している厚みを有する試料へアルファ線を照射しながら、アルファ線の照射を試料の一方から他方へ走査して試料を透過するアルファ線の強度を検出する方法とした。 （もっと読む）

【課題】原子炉構造物での亀裂の検出等、表面形状の解析が、クラッド等で覆われた場合であってもより高い精度で行える放射線検査装置を提供する。
【解決手段】対向する検査部位６からの放射線の強度を検出位置と対応させて検出する二次元放射線検出器２と、この二次元放射線検出器２の出力信号から放射線強度の二次元位置分布を算出する信号処理部３と、この信号処理部３での処理結果を記憶する情報記憶部４と、この情報記憶部４に記憶された情報に基づく解析を行い検査部位６の表面形状についての解析結果を出力する演算解析部５を備えるもので、信号処理部３が、放射線の強度を放射線の個数に換算する演算手段を備えており、演算された放射線個数による放射線強度の二次元位置分布を算出するものである。 （もっと読む）

【課題】コンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体の画像を生成する方法及びシステムである。
【解決手段】本発明の方法は、コンテナの走査から三次元容積走査データを受信することと、該三次元容積走査データからコンテナの三次元表示を再構築することと、三次元表現を検査して、このコンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体を検出することとを含む。また、本発明の方法は、三次元容積走査データ及び三次元表現のうちの一つから二次元画像を再投影することと、少なくとも一つの問題となる物体の位置に対応する、二次元画像における第一の複数の画像要素を識別することとを含む。さらに、本発明の方法は、強調表示された第一の複数の画像要素を伴って二次元画像を出力することを含む。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器を冷却するペルチエ素子の放熱面からの放熱の異常を、大きなコスト増加をもたらすことなく検知する。
【解決手段】温度制御が開始されてから時間ｔ１が経過した時点において、ペルチエ素子への印加電圧とペルチエ素子の駆動電流との関係からペルチエ素子の異常を検知する（Ｓ１〜Ｓ８）。その後、時間ｔ２が経過した時点で、ｔ１→ｔ２までの期間中の温度低下量（温度差）ΔＴを求め、ΔＴから冷却速度Θを計算する（Ｓ９〜Ｓ１２）。そして、冷却速度Θが最高使用温度条件の下で予め求めておいた閾値Θ１未満であれば（Ｓ１３でＮｏ）、放熱の異常であると判断して異常報知を行う（Ｓ１５）。 （もっと読む）

【課題】水分の存在の判定に用いる情報のデータベースを予め作成する必要がない水分検出方法を提供する。
【解決手段】単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子１７が、中性子発生管２から、配管１２を取り囲む保温材１３に照射される。高速中性子１７が保温材１３内の水１５及び配管１２内の液体１６で減速されて熱中性子１８になる。高速中性子１７の照射方向と逆方向に進む熱中性子１８を^３Ｈｅ比例計数管３で検出する。スケーラー１０は、熱中性子の検出信号を用いて設定された時間毎の計数値を算出する。データ処理装置１１は、これらの計数値を用いて、各時間幅での熱中性子の強度を求める。この強度がピークになる時間を基に熱中性子の飛行距離を求め、この飛行距離、及び^３Ｈｅ比例計数管３と配管１２の外面との距離に基づいて、保温材１３内の水分の有無を判定する。 （もっと読む）