【課題】 エネルギー分散型Ｘ線分光器に用いられるシリコンドリフト型検出器においてバックグランドを低減する。
【解決手段】 Ｘ線検出素子１と電気接続するための電極端子板２とペルチェ素子３との間にペルチェ素子３を構成する材料の平均原子番号よりも原子番号の小さな元素を主成分とする第１遮蔽体５と、ペルチェ素子３を構成する材料よりも原子番号の大きな元素を主成分とする第２遮蔽体６を備えることにより、Ｘ線検出素子１を透過したＸ線によってペルチェ素子３から発生する二次Ｘ線がＸ線検出素子１に入射する量を減少させる。 （もっと読む）

材料内容についての情報を得るために、物体を走査する２つのステップ方法は、相互間で走査ゾーンを規定するために間隔を置いた放射線ソース及び放射線検出器システムを提供する。第１の走査ステップでは、物体はソース及び検出器システムに対して動かされ、走査ゾーンを通過させることで、物体及びその内容物との相互作用の後、前記検出器システムで入射放射線に関する強度情報が収集される。物体を、走査ゾーンを通して動かしながら、物体における異常な構造及び／又は物体の均質性の欠如を識別するために、強度の変化が利用される。それに続く第２の走査ステップでは、走査ゾーンにおいて、物体が定位置に位置決めされ、透過された入射強度に関連する適切な関数関係に対して分析され、集められた強度情報を収集し、材料内容の表示を提供するためにその分析の結果を適切なデータのライブラリと比較する。 （もっと読む）

装置および方法は、物体の構成のより良好な判定（測定）を可能にするために物体から放射線相互作用データを得るために表されている。放射線ソースと放射線検出器システムは、透過放射線及び散乱放射線の両方を集めるために利用され、散乱放射線は好ましくは少なくとも片方の前方散乱モードからの放射線を含む。検出器システムは、入射放射線に関し、分光学的に分解可能な情報を検出して集めることができる。各々の強度データセットは、ソースのスペクトル範囲内で少なくとも３つのエネルギーバンドにわたって分解され、このデータはそれから、物体の構成のより良好な判定（測定）を可能にするために数値的に処理され得る。 （もっと読む）

サムピークを自動的に抑制するＸ線蛍光（ＸＲＦ）分析器を作動させる方法を開示する。本方法は、試料を照射して最初のエネルギスペクトルを取得する段階を含む。エネルギスペクトルは、着目元素の特徴的蛍光ピークを妨害するサムピークを識別するように処理される。識別されたサムピークに寄与する放射線を減衰させるフィルタが放出放射線経路に位置決めされ、フィルタリング済みのエネルギスペクトルが得られる。ある一定の実施形態では、フィルタリング済みエネルギスペクトルは、最初のエネルギスペクトルから計算された着目元素の検出限界（ＬＯＤ）がターゲット目標を満たさない時にのみ得られる。 （もっと読む）

スペクトルプロセッサ１１８は、検出器信号から導出された第一のスペクトル信号であって、検出器信号に関する第一のスペクトル情報を含む第一のスペクトル信号を生成する第一の処理チャネル１２０と、検出器信号から導出される第二のスペクトル信号であって、検出器信号に関する第二のスペクトル情報を含む第二のスペクトル信号を生成する第二の処理チャネル１２０とを含む。第一及び第二のスペクトル信号は、検出器信号をスペクトル的に分解するために使用され、検出器信号は、検出された多色放射線を示す。
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【課題】原子価を高精度で且つ非破壊で求めることができる原子価分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の原子価分析装置は、試料に対してＸ線管１から放射されるＸ線をエネルギーを走査させながら照射するＸ線照射手段と、Ｘ線が照射されることにより前記試料について得られるＸ線吸収スペクトルを解析して前記試料に含まれる目的元素のＸ線吸収端エネルギーを求めるスペクトル解析手段と、前記Ｘ線管１のターゲット材由来の或いはターゲット材に含まれる不純物由来の特性Ｘ線のピークエネルギーに基づき前記Ｘ線吸収端エネルギーを補正する補正手段と、標準試料及び分析試料それぞれの補正後のＸ線吸収端エネルギーの比較により原子価が未知の目的元素の原子価を算出する原子価算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】進行中の測定値に応答して検出器回路のパラメータをリアルタイムで設定し、かつ変更する蛍光Ｘ線分析方法及び装置の提供。
【解決手段】サンプルの元素組成及び／又はエネルギ分解能条件に従って、Ｘ線検出器１１４のシェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータを適合させる方法及び装置。Ｘ線１０４はＸ線源１０２からサンプル１１０に向けられ、これに応答してサンプルから放出される放射線（例えば、元素組成の特徴を有する蛍光発光した放射線）１０８が、入射放射線のエネルギ及び強度を示すパルスを発生するＸ線検出器１１４により検出される。元素組成の最初の分析に基づいて、シェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータが、対象とするスペクトル領域内のエネルギ分解能の拘束を受けるカウント速度を最適化すべく設定される。 （もっと読む）

【課題】 波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とを同時に搭載したＸ線分析装置において、分析モードも考慮して分析を正しく行なえる状態であるか否かを判断し、判断の結果を操作者に分かりやすく通知する。
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム２６は、予め決めてあるＸ線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース２５から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー校正が必要であることを的確に分析者に知らせることで、不要なエネルギー校正作業をなくすとともに、大きなエネルギー位置ずれの下での信頼性の乏しい測定の実行も回避する。
【解決手段】被測定試料２に１次Ｘ線を照射して得られた検出信号に基づいて作成されるＸ線スペクトル上で、レイリー散乱線検出部１４はＸ線管１のターゲット元素に応じたエネルギー位置に出現する筈であるレイリー散乱線を検出する。エネルギー判定部１５は、この散乱線が検出されればエネルギー位置ずれがないと判断するが、散乱線が検出されない場合にエネルギー位置ずれが大きくエネルギー校正が必要であると判断する。その場合、制御部２０は測定を一時中断し、報知部２２はエネルギー校正が必要である旨の表示を行う。これにより、分析者は的確なタイミングでエネルギー校正を実施できる。 （もっと読む）

【課題】微量の元素の分析を効率よく行う。
【解決手段】Ｘ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスは、それぞれパルス時刻検出回路（時刻検出部）２１〜２Ｎに入力される。パルス時刻検出回路２１〜２Ｎは共通のクロックで動作し、それぞれＸ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスが入力された到着時刻をそれぞれ認識する（出力Ａ_１〜Ａ_Ｎ）。Ｎ個のＸ線検出器１１〜１Ｎからの独立した出力パルスにおいて、ほぼ同時、すなわち、到着（出力）時刻の時間差が予め設定されたある一定の短い間隔（例えば１００ｎｓ）内である２つの出力パルスが出力パルス組として取り出される。この出力パルス組の抽出は、ＯＲ回路、時間差判定回路、抽出回路からなるパルス組抽出部でなされる。 （もっと読む）

【課題】溶融排ガスから集塵手段にて捕集された飛灰を容易に無害化できる飛灰処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】飛灰にＣｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤を供給して混練する手段と、飛灰中のＣｒ含有量を測定する手段と、飛灰からの溶出液のｐＨを測定する手段と、予め用意した溶出液のｐＨとＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率との相関関係に基づいて、測定したｐＨにおけるＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率を算出し、算出された比率をＣｒ含有量の測定値に乗ずることによって、飛灰からのＣｒ（ＶＩ）溶出量の予想値を演算し、かつ、その予想値に基づき、Ｃｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤の適切な供給量を目標値として演算する手段と、その目標値となるように供給量を調整する手段とを備え、Ｃｒ含有量を測定する手段が、蛍光Ｘ線分析装置である飛灰処理装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】 凹凸のある試料でも装置と試料との衝突を回避することが可能なＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、試料Ｓを載置する試料ステージ１と、該試料ステージ１上の試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３とを相対的に移動可能な移動機構６と、試料Ｓの最大高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した試料Ｓの最大高さに基づいて移動機構６を制御して試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３との距離を調整する制御部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、Ｘ線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置では、試料ＳのＳＥＭ画像をＳＥＭ画像処理部１４で生成し、試料Ｓに含まれる複数の粒子をＳＥＭ画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃１１から電子線（放射線ビーム）を照射し、各粒子から発生する特性Ｘ線をＸ線検出器２１で検出する。更にＸ線データ解析部２３は、特性Ｘ線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置３は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Ｓに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。 （もっと読む）

【課題】走査装置を通過するコンベヤシステムとの互換性を有し、かつ高速な走査が可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品を検査するＸ線画像化検査システムは、撮像容積（１６）の周りに延在し、放射されるＸ線が撮像容積を通過できるように配向された複数の点状放射源（１４）を構成するＸ線放射源（１０）を有する。Ｘ線検出器アレー（１２）は同様に走査容積の周りに延在し、点状放射源からの撮像容積（１６）を通過したＸ線を検出し、この検出されたＸ線に基づく出力信号を生成するように構成されている。コンベヤ（２０）は撮像容積（１６）を通過して物品が運ばれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の微小な領域にＸ線を照射することができ、Ｘ線の強度は減少しないＸ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１は、筐体２内で凹部６を有する有しフィラメント１を内部に配置する集束電極(陰極)５と、熱電子を発生し集束電極（陰極）５の凹部の溝の内部に配置されるように固定されているフィラメント３と、熱電子からなる電子線が衝突するターゲット４を先端に設けた陽極電極１１と、筐体２に設けられ穴を覆うように設けられ、ターゲット４で発生した一次Ｘ線を射出するたように、Ｘ線を透過するＸ線放射窓８と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】低パワー低ノイズの動作、完全なエネルギーレベル及び時間弁別性能の提供並びにディジタル出力の提供が可能な放射線検出器向けのデータ収集システムを提供すること。
【解決手段】その各々が時間及びエネルギー弁別用の回路を有する複数のチャンネルと、その各々が該回路向けの少なくとも１つの構成パラメータを出力するように構成された複数のプログラム可能レジスタと、該複数のチャンネルのうちの構成させようとするチャンネルを特定するように構成されたチャンネル選択レジスタと、を備える特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）を提供する。本ＡＳＩＣはさらに、チャンネル構成で使用するためのプログラム可能レジスタを特定するように構成された構成選択レジスタと、該チャンネル選択レジスタ、構成選択レジスタ及び複数のプログラム可能レジスタのうちの１つに制御器から受け取った命令を伝送するように構成された通信インタフェースと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 測定位置特定の操作性に優れていると共に、高精度で距離測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、照射ポイントＰ１を決定するために試料Ｓ上を光学的に観察可能な第１観察系５と、該第１観察系５よりも被写界深度が小さくかつ狭域を光学的に観察可能であると共に決定した照射ポイントＰ１との距離を焦点調整によって測定可能な第２観察系６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＰＧＭの誤同定を生じさせることなく、かつ同定に必要な時間を短縮できるＰＧＭの同定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ予め定められたエネルギを有する複数の離間する連続的なエネルギチャンネルを区画し、異なったＰＧＭ種の標準化スペクトルの参照テーブルを作成し、｛せん けんしゅつ き｝PGMに関連して見出される元素のみに関する各エネルギチャンネルのスペクトルカウント値を前記参照テーブルから抽出し、サンプルミネラルのエネルギ分散型スペクトルを作成し、かつ単一チャンネルのスペクトルの振幅を、前記前記参照テーブルから抽出したデータと比較して、ＰＧＭの、又はＰＧＭと関連した既知の成分の特定元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分解能が良好な１次元の位置感応型Ｘ線検出器を用いることで、受光側にモノクロメータを配置することなく、蛍光Ｘ線に起因するバックグラウンドを低減する。
【解決手段】入射Ｘ線２８と回折Ｘ線３０とのなす角度を変更しながら試料２０からの回折Ｘ線３０の強度をＸ線検出器１０で検出する。Ｘ線検出器１０はシリコン・ストリップ検出器であり、細長く延びる単位検出領域を複数個備えている１次元の位置感応型検出器である。この検出器は、受光したＸ線のうち、そのＸ線エネルギーが上限値と下限値の間にあるものだけを弁別する機能を備えている。ＣｕＫαにおけるエネルギー分解能は２０％以下である。上述の上限値と下限値を適切に設定することで、蛍光Ｘ線の大半をカウントしないようにすることができて、本来の回折Ｘ線の強度をあまり下げずに、バックグラウンドを大幅に下げることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）