【課題】減衰特性が未知の物質であっても、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めＸ線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない高速材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】被検査物５に２以上の異なる方向から複数の強度の入射Ｘ線７を照射するＸ線照射装置１４と、被検査物を透過した透過Ｘ線８の強度と複数のＸ線透過画像から被検査物の厚さｘを検出するＸ線検出装置１６と、複数の強度、透過Ｘ線の強度、および厚さから被検査物の原子番号Ｚと電子密度ρを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置１８とを備える。比例定数Ａ，Ｂに少なくとも一方を、原子番号が４から３０の物質においてＸ線の減弱係数の線形性を利用して近似的に解く。 （もっと読む）

【解決手段】各々が個々のフォトンに対応している複数のステップエッジを有するプリアンプ信号の傾きに基づいて、ＦＩＲフィルタのような、パルスプロセッサのエネルギー測定フィルタの応答を調整する方法が提供され、当該方法は、各々がデジタル値を有する連続的な複数のデジタルサンプルを含むプリアンプ信号のデジタルバージョンを受信する工程を含んでおり、プリアンプ信号は、複数のステップエッジの中の第１ステップエッジと、複数のステップエッジの第１ステップエッジの直後に続く、複数のステップエッジの中の第２ステップエッジとで規定される部分を有している。当該方法は、当該部分に関するデジタルサンプルの各々のデジタル値を用いて、当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を決定する工程と、エネルギー測定フィルタの応答を補正するために当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を用いる工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【解決手段】プリアンプ信号のエッジを検出する方法は、プリアンプ信号の第１部分を特定する工程であって、第１部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、第１部分の直後に続く第２部分を特定する工程であって、第２部分の各部が逆の第２極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、、第２部分の直後に続く第３部分を特定する工程であって、第３部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程とを含む。その方法は、更に、第２部分の終点と始点の強度の間の第１差を特定する工程と、第３部分の終点の強度と第１部分の始点の強度の間の第２差を特定する工程と、（i）第１差が閾値を超え（ii）第２差が閾値のある割合を超えるとき、エッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】対象サンプルに関するX線エネルギースペクトルの放射線量子の背景補正された計数を正確かつ速く決定する方法。
【解決手段】本発明の方法は、対象サンプルから蛍光X線ビームを発生させるステップであって、前記X線ビームは、解析結晶及び検出器に入射されるステップと、前記解析結晶を、前記蛍光X線ビームに対して角度θが得られるように回転させ、前記検出器を、前記蛍光X線ビームに対して角度２θが得られるように回転させるステップと、一定の検出器角度２θで、前記検出器を用いて、パルス高分布エネルギースペクトルを測定するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】有害物質の含有量調査において目的とする有害物質の存在が確認できなかった場合でも、その含有量が規制値・管理値を超えている可能性があるか否かを分かり易く提示する。
【解決手段】目的元素が入力設定されると（Ｓ１）、各目的元素の特性Ｘ線位置におけるバックグラウンド強度から理論計算により検出下限が算出される（Ｓ１１〜Ｓ１４）。一方、蛍光Ｘ線スペクトルに対するピークサーチ処理から得られるピーク位置、ピーク強度に基づいて含有元素が同定され（Ｓ５）同定された元素が定量される（Ｓ６）。目的元素が同定されなかった場合（Ｓ７でＮ）、理論計算により求められた該当元素の検出下限が呼び出され（Ｓ８）、元素と定量値（又は検出下限）とが対応付けて表示される（Ｓ９）。これにより、存在が確認されなかった元素についての検出下限が規制値・管理値を超えているか否かを容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】ピーク測定条件で測定したネット強度とバックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度との強度比を用いて、測定値の統計変動を小さくし、分析を精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を測定する検出器８Ａ、８Ｂと、測定条件設定手段９１と、ピーク測定条件で測定したネット強度Ｉｎを記憶するネット強度測定手段９２と、バックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度Ｉｂｘを記憶するバックグラウンド強度測定手段９３と、ネット強度Ｉｎとバックグラウンド強度Ｉｂｘとの強度比を演算する強度比演算手段９４と、演算された演算値Ｉｎ／Ｉｂｘにより試料Ｓを定量分析する定量分析手段９５とを有する蛍光Ｘ線分析装置１０。 （もっと読む）

本発明は、多色Ｘ線源（１０）と、各々のピクセルが、少なくとも１つの調整可能な閾値により範囲が規定されている少なくとも１つのエネルギ・ウィンドウ内で光子計数モードにて動作するのに適している複数のピクセルを有する検出器（１、２）と、少なくとも１つのカウンタとを備えるＸ線撮像装置に関し、各々のピクセルは、予め定められた期間にてエネルギ・ウィンドウ内で各々のピクセルにより受領された光子の数に対応する出力を送出することが可能である。Ｘ線撮像装置は、さらに、リアルタイムで、種々のエネルギ・ウィンドウ内で複数のピクセルの閾値を連続して調整することが可能な調整手段（１２）と、リアルタイムで、種々のエネルギ・ウィンドウ内で複数のピクセルの出力の微分処理を実行するための処理手段（１６）とを備える。
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【課題】蛍光ＸＡＦＳ法を利用して、単結晶の試料に含まれる微量元素の構造解析を行うのに際し、試料から特定角度に強い回折Ｘ線が生じることに伴い、蛍光Ｘ線信号の測定が阻害されることを抑制できる微量元素の構造解析方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線エネルギーを変えながら試料にＸ線を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線を検出して、前記Ｘ線エネルギーと蛍光Ｘ線との関係から試料中の微量元素の原子構造に関する情報を解析する微量元素の構造解析方法である。この方法において、Ｘ線の照射を粉砕された単結晶の試料（粉砕試料S）に対して行う。 （もっと読む）

放射線伝送データおよび特に対象物の画像を取得する方法および装置であって、この方法は、Ｘ線またはガンマ線などの放射線ソース、およびそのソースから間隔を置かれたＸ線またはガンマ線検出システムなどの放射線検出器システムであってそれらの間にあるスキャン領域を画定する、検出器システムを提供する工程であって、この検出器システムは、入射放射線についての、分光的に分解可能な情報を検出し収集することができる、工程と、この検出器において入射する放射線と、ならびに、対象物を介して伝送され、この検出器システムにおいて受け取られる放射線から、少なくとも１つ、および好ましくは複数のスキャン位置において、スキャン領域におけるこの対象物の透過率とについての情報のデータセットを収集する工程と、そのソースのスペクトル内にて、複数の周波数帯に亘り、分光的にその各々のデータセットを分解する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は蛍光Ｘ線分析装置のＥＤＳヘッド保護方法及び保護機構に関し、最適なＸ線強度を得ることができる蛍光Ｘ線分析装置のＥＤＳヘッド保護方法及び保護機構を提供することを目的としている。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置で、試料上の測定点での位置を測定する位置検出器と、試料上の測定点の試料の高さを測定するラインセンサ３と、前記位置検出器で検出した試料上の位置座標と前記ラインセンサ３で測定した試料の高さを記録するメモリ１４と、該メモリ１４に記憶されている位置座標と試料の高さに基づき、ＥＤＳヘッド２の高さを制御する高さ制御手段１３と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置による半導体封止樹脂中の有害元素管理方法において、誤差の少ない測定方法を用いて管理を行なう。
【解決手段】 本発明は、半導体封止樹脂中の有害元素管理方法であって、蛍光Ｘ線分析装置により定性分析を行ない含有判定する工程と、試料の上下面を一致させてＸ線照射面全体に試料を並べる試料準備工程と、試料の一方面およびその対向面を蛍光Ｘ線分析装置により測定し定量分析を行なう工程と、前記定量分析工程から得られた２つのデータのうち共存元素の影響が少ない方の定量結果を用いて閾値判定をする工程、を有することを特徴とする有害元素管理方法である。この方法によれば、半導体製品の封止樹脂中の有害元素を精度よく測定・管理することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する小型かつ軽量のＸ線ビーム源を得る。
【解決手段】Ｘ線ビーム源１３は、絶縁材１に挿入され電圧を印加する導入線２と、導入線２の一端に設けられた陰極と、陰極と対面して設けられ発生した電子ビームを衝突させてＸ線を発生させる陽極であるターゲット６と、導入線２、陰極及びターゲット６を収納しＸ線が通過するＸ線透過窓５を有する真空容器７と、Ｘ線透過窓５の外側に設けられＸ線から特性Ｘ線を選択的に取り出すフィルタ８と、真空容器７及びフィルタ８を収納するハウジング１０と、ハウジング１０に設けられ特性Ｘ線を収束するＸ線集光素子であるフレネルゾーンプレート（ＦＺＰ）９と、を有する。 （もっと読む）

Ｘ線又は他の放射ビームを使用した物体の検査の技術、特に、符号化放射ビームを用いて物体を照明し、物体によって散乱された及び／又は物体を通して伝達された放射線を検出することによって物体を検査するための装置及び方法を提供する。物体を検査するための装置は、物体の被検査領域を照明するために扇ビーム又はフラッドビームを利用する。可動マスクの形態を取ることができる変調器は、被検査領域の各セグメントが所定の時間的シーケンスに従って変動する放射線量を受け取るようにビームを動的に符号化する。物体からの放射線を受け取る後方散乱検出器又は任意的な透過検出器によって生成され得られる信号は、被検査領域の画像を構成することができるように、空間情報を再生するために復号される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置及びＸ線分析方法において、Ｘ線源を安定に挙動させ、定量分析を安定して行なうこと。
【解決手段】 １次Ｘ線を試料１に照射するＸ線管球３と、１次Ｘ線の強度を調整可能な１次Ｘ線調整機構４と、試料１から放出される特性Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器５と、上記信号を分析する分析器６と、試料１とＸ線検出器５との間に配設されＸ線検出器５に入射される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線の合計強度を調整可能な入射Ｘ線調整機構７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置１５の中性子発生管１及び中性子検出器を有する。中性子発生管２は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子２０を発生し、保温材１２に照射する。高速中性子２０は保温材１２内に存在する水１４及び配管１１内を流れる液体１０によって減速されて熱中性子２１となる。高速中性子２０の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子２１は^３Ｈｅ比例計数管２で検出される。この計数管２からの出力信号は多チャンネル波高分析器８を経てデータ処理装置９に達する。データ処理装置９は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材１２内に水１４が存在する場合の水１４の位置及び水１４の量を求める。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

本発明は、Ｘ線光子１２、１４を計数する装置１０に関する。装置１０は、光子１２、１４を電荷パルスに変換するよう構成されるセンサ１６と、電荷パルス５１を電気パルス５３に変換するよう構成される処理要素１８と、電気パルス５３を第１の閾値ＴＨ１と比較し、第１の閾値ＴＨ１が越えられる場合イベント５５を出力するよう構成される第１の識別器２０とを有する。第１のゲート要素２４により計数が禁止されるまで、第１のカウンタ２２はこれらのイベント５５を計数する。上記第１の識別器２０が上記イベント５５を出力するとき、第１のゲート要素２４は起動される。測定により又は上記処理要素１８において光子１２、１４を処理するのにかかる時間に関する情報により、光子１２、１４の上記処理が完了したとわかるか又は完了しそうであるとき、このゲート要素は停止される。上記第１のカウンタ２２を起動及び停止することにより、パイルアップイベント、即ち、複数の電気パルス５３のパイルアップが、処理されることができる。本発明は、対応する撮像デバイス及び対応する方法にも関連する。
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【課題】測定試料中の微量元素の分析を可能とする比較的安価な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線３を試料１に照射し、当該試料１から発生した蛍光Ｘ線３２を検出器６で検出することにより、前記試料１の元素分析を行う蛍光Ｘ線分析装置において、Ｘ線管４と、前記Ｘ線管４から出射されたＸ線３のうち一部のＸ線を吸収する１次フィルタ８と、前記１次フィルタ８を通過したＸ線により励起されて特性Ｘ線を発生する２次ターゲット９とを備え、前記１次フィルタ８は、前記２次ターゲット９の励起に寄与しないＸ線を吸収し、かつ、励起源となるＸ線が透過されて前記２次ターゲット９に照射され、前記２次ターゲット９から発生した特性Ｘ線を前記試料１に照射することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、多染性放射源２及びエネルギー分解放射検出器６を含む、物体２０を画像化する画像化システムに関する。画像化システムは、異なる方向から打切り投影を得るため、物体２０及び放射源２を互いに関連して移動させる駆動装置を更に含む。計算ユニットは、打切り投影から、物体２０及び物体２０内の物質のうちの少なくとも１つのｋエッジ成分を決定し、決定されたｋエッジ成分から、非打切り投影を決定する。再構成ユニットは、非打切り投影を使用して、物体を構成する。
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