【課題】ＳＥＭ画像等の画像中に含まれる欠陥パターンを基準パターンを利用して効率的かつ高精度に検出することを可能にするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】比較基準となるリファレンスパターン画像１３１における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録処理Ｓ１と、検査対象画像１３２から抽出された輪郭線の位置情報と特徴点の位置情報とに基づいて検査対象画像１３２に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索処理Ｓ２と、リファレンスパターン画像１３１における特徴点に対応した輝度分布情報と欠陥候補パターンにおける特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出処理Ｓ３とを行うパターン検査装置である。 （もっと読む）

【課題】
空港での手荷物検査官の訓練の効率を上げるなどのため、任意のＸ線撮影装置を用いて撮影された、異なる被写体に対する複数のＸ線画像を合成し、当該Ｘ線撮影装置を用いて異なる被写体を１画像として撮影されたＸ線画像と同等のＸ線画像を作成できるＸ線画像合成装置、方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】
試験体データ入力手段１からＸ線撮影装置に固有な試験体データ２を入力する。合成係数算出手段３で、Ｘ線合成係数を算出し、Ｘ線合成係数ＤＢ４に登録する。合成対象物データ入力手段５よりＸ線部品画像を入力し、Ｘ線部品画像ＤＢ６に登録する。Ｘ線部品画像ＤＢ６には複数のＸ線部品画像を保持することができる。合成画像作成手段７で、合成先画像のオペレータが指定した位置にＸ線部品画像ＤＢ６から複数の画像部品を配置し、各画像部品とＸ線重ね合わせ用データ４から合成Ｘ線画像データ９を作成する。表示部１０で、合成Ｘ線画像データ９を表示する。 （もっと読む）

【課題】誘電体からなる感光体の表面に生じている電荷分布、電位分布をμオーダーで高分解能の計測が可能な装置を用い、電子写真プロセス上でおこる静電潜像の形成能力を評価することを可能とする。
【解決手段】表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する感光体試料２０に荷電粒子ビームを照射して帯電させ、感光体試料２０に静電潜像を形成した後荷電粒子ビームを照射して得られる検出信号により試料２０の静電潜像を計測し評価する。１つの評価を行うために帯電領域を複数定め、感光体材料２０の複数の帯電領域に波長４００〜８００ｎｍの集光光束を照射することで潜像パターンを形成し、帯電領域が異なることによって生じる検出信号の違いを複数の画像として取り込み、得られた複数の画像より複数の静電潜像を抽出し、抽出された複数の静電潜像の大きさを比較する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたＸ線画像検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線画像検査装置１００は、１０ｋｅＶ以下のＫα特性Ｘ線を発生するＸ線ターゲット５を有する特性Ｘ線発生器１０と、ペルチエ素子２２により冷却される直接入射型冷却Ｘ線ＣＣＤ検出器２０と、を備える。特性Ｘ線発生器１０とＸ線ＣＣＤ検出器との間に配置された試料４０を回転させ、試料４０を透過したＸ線を検出することにより撮像する。Ｘ線ターゲット５は、原子番号が２０から３０までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか１つを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】広範な信号レベルで使用できるように放射線画像データ内のノイズを低減し、単一の画像処理プラットフォームを広範なＸ線用途で利用可能とするための技法を提供する。
【解決手段】本技法の実施形態では、広範囲のアナログ信号強度に関する低ノイズ計測を取得するためのシステム及び方法を提供する。本技法の態様では、一体となって比較的低い積分器利得を提供する２つのフィードバックコンデンサ（４６、４８）に分配される入力画素電荷に対する低利得計測が実行される。低利得計測の後で、コンデンサのうちの一方をフィードバックループから除去しその電荷を残りのコンデンサに分配し直して高利得計測が実行される。 （もっと読む）

【課題】 走査型電子顕微鏡を用いた、汎用性の高いドメイン観察方法を提供する。
【解決手段】
走査型電子顕微鏡を用いて、観察試料に電子線を照射して得られる反射電子像によりドメイン観察を行なう試料観察方法であって、試料を鏡面研磨し、研磨面に導電性を有する蒸着膜を形成して前記観察試料を作製する試料準備工程と、前記観察試料を、走査型電子顕微鏡で、前記電子線の加速電圧を３ｋＶ以上１０ｋＶ以下となるように設定するとともに、反射電子走査画像の輝度及び分布量を表示可能な輝度範囲内に平均的に分布するように設定するコントラストの条件に比べてコントラストを強調する条件で観察する観察工程と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を発散するように出射するＸ線源を用いた場合においても、高精度かつ高コントラストの撮影画像を得ることが可能なＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線源と、第１周期の縞状の強度分布を生むタルボ効果を発現させる第１回折格子と、遮蔽部と透過部とが所定方向に第２周期で繰り返して縞状に配置され、かつ第１回折格子によって回折されたＸ線を更に回折する第２回折格子と、Ｘ線の強度の２次元分布を示す画像情報を得るＸ線検出手段とを備え、第２周期が、第１周期の約２倍であり、第２回折格子のうち、第１回折格子で回折されたＸ線が照射される面において、遮蔽部が占める面積の比率が１３％以上でかつ４１％以下であり、第２回折格子が、画像情報に係る画像にモアレ縞を発生させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、プラント等に据え付けられた配管等の放射線撮影による非破壊検査において、検査効率を向上することにある。
【解決手段】本発明の制御演算装置は、前記透過画像データを取り込む画像取込装置と、前記放射線撮影装置の位置を制御する制御装置と、前記画像取込装置から送信された前記透過画像データを保存する透過画像データ格納装置と、前記透過画像データ格納装置からの前記透過画像データに基づき画像再構成を要する前記被検体の部位を判定する判定装置と、前記透過画像データに基づき前記被検体の断層像又は３次元立体像を再構成する画像再構成装置を備えることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、プラント等に据え付けられた配管等の放射線撮影による非破壊検査において、検査効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】回折格子のずれに拘わらず、高精度の撮影画像を得ることが可能なＸ線撮影装置およびＸ線撮影方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線を出射するＸ線源と、照射されたＸ線においてタルボ効果を生じさせる第１回折格子と、所定面に沿って配置され、第１回折格子によって回折されたＸ線を回折するとともに、画像情報に係る画像にモアレ縞を発生させる第２回折格子と、第２回折格子と近接して配置され、第２回折格子によって回折されたＸ線の強度の２次元分布を示す画像情報を得るＸ線検出手段と、第２回折格子が配置される所定の基準位置に対して、該第２回折格子が所定面に沿って傾いている傾き度合いを検知する傾き検知手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の検査に際し、被検査部位の種類等に応じた検査ができ、かつ、検査時間を短縮できる、検査方法、検査装置および検査用プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源２からＸ線が出力され、検査対象である基板を透過したＸ線が、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）において、Ｘ線透視画像として撮影される。Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成のための撮影は、トモシンセシスによる再構成データ生成のための撮影と同様に、Ｘ線源２の光軸Ｌを軸とした仮想円３００上の位置３０１〜３０８で行なわれる。そして、Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成の際には、位置３０２〜３０８のそれぞれで得られたＸ線透視画像が、位置３０２Ａ〜３０８Ａで撮影されたかのように、仮想円３００上の回転位置に応じて、各Ｘ線透視画像の中心を軸とし、アフィン変換を用いて、各画像が回転するようデータを変換された後、フィルタ処理を施される。 （もっと読む）

【課題】
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて試料上の欠陥を観察する装置において、高倍率の欠陥画像と比較するための高倍率の参照画像を、欠陥画像を取得した後にステージを移動させることなく、かつ画像の解像度を低下させることなく高スループットで取得できるようにする。
【解決手段】
欠陥部位を低倍率で撮像した位置からステージ移動なしに低倍率の視野内で撮像できる高倍参照画像の撮像領域を探索し，探索できた場合には該領域を撮像して高倍参照画像を得、探索できなかった場合には欠陥部位の隣接チップから高倍参照画像を取得する方式に切り替えるようにした。 （もっと読む）

【課題】分類基準を改善することを目的とする。
【解決手段】画像データを分類する際の基準となる画像データの情報が登録されている分類基準データ１２１と、新規に入力された画像データを分類基準データ１２１を使用して分類した結果としての画像データの情報が登録されている分類データ１２２と、が記憶部１２に格納されており、画像分類装置１が、入力部１３を介して、分類データに登録されている画像データのうちの任意の画像データの情報が選択され、入力部１３を介して、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録する旨の指示が入力されると、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動的に対象物の検査に適した面を抽出できるＸ線検査装置、Ｘ線検査方法およびＸ線検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、検査対象１にＸ線を照射するＸ線源１０と、検査対象１を透過したＸ線を検出するＸ線検出器２３と、Ｘ線検出器２３を移動するＸ線検出器駆動部２２と、検査対象１を移動する検査対象駆動機構１１０と、演算部７０とを備える。演算部７０は、Ｘ線源１０、Ｘ線検出器２３などを制御し、検査対象１を複数の方向から撮像し、撮像結果に基づいて、検査対象１の複数の断層画像を生成する。演算部７０は、断層画像のうち、高輝度領域の割合が高い断層画像を特定し、特定された断層画像から、検査対象１の形状特性に応じた所定の距離だけ離れた断層画像を用いて、検査対象１を検査する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線受光面の大きさの互いに異なる複数のＸ線検出器を設け、被検査物の全体像の把握を可能とし、かつ、拡大断層像を高分解能のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置でありながら、ＣＴ撮影範囲の設定を容易化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】一つのＸ線検出器２ａでＣＴ撮影した基準画像を表示するとともに、そのときの回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置を記憶しておき、他のＸ線検出器２ｂを選択した状態では、回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置と、基準画像の撮影時における回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置情報とから、当該他のＸ線検出器２ｂによる視野の位置と大きさに係る情報を、基準画像上に重畳表示することで、例えばＸ線受光面の小さいＸ線検出器２ｂを用いて被検査物Ｗの局部を高拡大率でＣＴ撮影する際に、被検査物Ｗ上のどの部位を撮影しようとしているのかを直感的に把握することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭレビューを、より効率的に行う技術が望まれている。
【解決手段】 記憶装置に、異なる条件で欠陥検出が行われた２種類の欠陥検出データが記憶される。撮像装置が、指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する。制御装置が、欠陥検出データの各々に登録されている欠陥の位置情報に基づいて、同一の欠陥が少なくとも２つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥と認定する。欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を、撮像装置により取得する際に、重複欠陥については、当該重複欠陥の位置の画像を重複して取得しない制御を行う。 （もっと読む）

【課題】対象物の検査を短時間で精度よく行なえる装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３．１〜２３．Ｎと、画像取得制御機構３０と、演算部７０と、メモリ９０とを備える。走査型Ｘ線源１０は、検査対象２０に向けてＸ線を出力する。Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎは、検査対象２０を透過したＸ線を検出する。画像取得制御機構３０は、Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎが検出した画像データ９８をメモリ９０に格納する。演算部７０に含まれる再構成部７６は、画像データ９８に基づいて、解析法を用いて水平断面の再構成画像を生成し、反復法を用いて垂直断面の再構成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】低エネルギＸ線の散乱による被検査物内の異物像のコントラストの低下を防止し、簡単な操作により、様々な材質の被検査物のそれぞれに良好なコントラストの異物像を得ることができ、ひいては異物の検出性能を常に良好なものとすることのできるＸ線検査方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１からのＸ線を被検査物Ｗに照射し、その被検査物Ｗを透過したＸ線の空間線量分布から、被検査物内の異物の有無を判定するに当たり、Ｘ線発生器１と被検査物Ｗの間に、当該被検査物Ｗの材質と同じ材質、もしくは、当該被検査物Ｗの材質とＸ線に対して等価な物質からなるＸ線フィルタＦを介在させることで、被検査物Ｗ（正常部位）を透過しやすいＸ線で、かつ、被検査物Ｗ内で散乱しにくいエネルギ帯のＸ線を選択的に被検査物Ｗに照射することを可能とし、被検査物Ｗ内でのＸ線の散乱による異物像のコントラストの低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透過画像にモアレ縞が発生する場合において、モアレ縞を消滅させる。
【解決手段】画像処理合成装置１４は、X線源１１と輝度倍増管１２とカメラ１３とから成る構成により得られた、被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。モアレ縞発生の場合には、回転機構制御部１５によって輝度倍増管１２とカメラ１３とを回転軸Ｃ２回りで同期回転させる（所定角度分回転）。そして、再び被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。これをモアレ縞が発生していないＸ線画像が得られるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料表面の磁化分布を分析可能な表面分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】試料２から放出され、ターゲット３に衝突して散乱された２次電子を、複数の測定位置に配置された電子検出器４−１〜４−４により検出し、回転部５により、試料面に対して垂直方向を回転軸として各電子検出器４−１〜４−４を回転させて、次の測定位置に移動させて２次電子の検出処理を繰り返させ、演算処理部７が、それぞれの測定位置における、電子検出器４−１〜４−４の検出値の加算値をもとに、２次電子のスピン成分を算出する。 （もっと読む）

【課題】より短時間で欠陥を撮像できる欠陥観察装置および欠陥観察方法を得ること。
【解決手段】この欠陥観察方法は、観察対象物の欠陥および基準マークの位置座標を取得するステップと、欠陥を検出して、この検出された欠陥位置に応じて位置座標を補正する第１の方法で欠陥を撮像するのに必要な第１の時間を算出するステップと、基準マークを検出して、この検出された基準マーク位置に応じて位置座標を補正する第２の方法で欠陥を撮像するのに必要な第２の時間を算出するステップと、第１、第２の時間を比較するステップと、比較結果に応じて、第１または第２の方法で位置座標を補正して欠陥を撮像するステップとを具備する。 （もっと読む）