【課題】 計測時間中に発生する超伝導X線分析装置の動作点の変動に起因するエネルギースペクトルの半値幅の増大を抑え、高いエネルギー分解能を有する超伝導Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波高分析装置から出力されるエネルギースペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存する記憶装置と、エネルギースペクトルの各ピーク位置をシフト補正して加算するシフト補正加算処理装置を設けることとした （もっと読む）

【課題】 入射ビームのビーム厚みによる回折Ｘ線像のぼけを低減し、かつ、ダイナミックレンジの大きな画像を再生することにより、明度差のある鮮明なポトグラフ画像を得ること。
【解決手段】 ビーム厚みが経時的に変化した入射Ｘ線ビーム２を測定試料３に入射して回折させ、該回折した回折Ｘ線ビーム４を２次元の回折画像として画素単位で経時的に連続して画像検出部１５０にて検出し、演算処理部２００において、該検出された２次元の回折画像の画素毎に、入射Ｘ線ビーム２の経時的なビーム厚みの変化量Δξに対する回折Ｘ線ビーム４のＸ線強度の明度変化率ΔＭ／Δξを算出し、該２次元の回折画像の算出値である明度変化率ΔＭ／Δξを画素毎に積算し、該積算した積算値マトリックスＩｍをポトグラフ画像として生成する。 （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）とエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を同時に装着した装置において、ＷＤＳで検出されたＸ線の波高分布をリアルタイムに得ることを可能とし、ＷＤＳの波高分析器の条件設定を簡単に行えるようにする。
【解決手段】 ＷＤＳのＸ線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、ＥＤＳ用として構成されているマルチチャンネルアナライザに入力できるように切換スイッチを設ける。ＷＤＳの信号処理回路の出力を、マルチチャンネンルアナライザに入力するために必要なマッチング処理を行った後、マルチチャンネンルアナライザで波高識別して積算する。波高分布をＥＤＳスペクトル表示装置に表示する。表示された波高分布からＷＤＳの波高分析器の条件を設定すると、ＷＤＳ用として構成されているシングルチャンネルアナライザの条件が自動的に設定される。 （もっと読む）

【課題】 試料２である半導体基板上のハフニウム含有膜に、不純物として含まれる鉄、銅などの遷移金属を、正確に分析すること。
【解決手段】 イリジウムを含む陽極１１を持つＸ線管１０から発生したＸ線３の中からの分光手段１３によって選択分離したＩｒ−Ｌα線４を、試料２のハフニウム膜上で全反射する方向で照射し、全反射方向以外の方向５に発生した蛍光Ｘ線を、検出器２０で検出する。これによってＦｅ−Ｋα線が検出されるだけでなく、Ｃｕ−Ｋ線の検出の妨害となるＨｆ−Ｌα線の発生を抑制し、Ｒａｍａｎ散乱の上端エネルギーを小さく移動させて、Ｃｕ−Ｋ線との重なりを解消することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の内部Ｘ線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。
【解決手段】
電子鏡筒１の電子線を可動式のターゲット９により遮蔽し、Ｘ線を発生させることで、Ｘ線発生器を電子線発生器と共用させる。これにより試料への照射Ｘ線と照射電子線が同軸上に落射されるため、同一視野で試料内部情報、表面情報の両方を観察することができる。また、試料全体の内部形態情報を示すＸ線画像に目的部位１５の元素分布像を重ねがきして表示することも可能となる。機械的切断手段１０を備えているため、試料内部の電子線画像などを表示することも可能である。 （もっと読む）

【課題】シャッター関連の複数の確認ランプを一箇所にまとめて配置することで，シャッターの開閉指令の内容と実際のシャッター開閉状態とを容易に確認できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管２２のＸ線取り出し窓はシャッター２４で開閉される。シャッター開閉スイッチ１８による開閉指令は開閉駆動機構３４に送られ，その開閉指令の内容は第１のシャッター指令ランプ２０と第２のシャッター指令ランプ３０で表示される。シャッター２４の開閉状態は開閉検出装置３６で検出され，その検出内容は第１のシャッター検出ランプ２６と第２のシャッター検出ランプ３２で表示される。第２のシャッター指令ランプ３０と第２のシャッター検出ランプ３２は作業テーブル１２上のシャッター表示ユニット２８にまとめて配置されていて，オペレータは両者を容易にかつ同時に確認できる。 （もっと読む）

【課題】 高分解能であり、経時的に変化する試料の観察が可能な産業用Ｘ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 スキャンテーブル６とスキャン機構部７とを備えて産業用Ｘ線ＣＴ装置１を構成する。スキャンテーブル６は、鉛直方向となる回転中心軸１７を有し、試料３を配置するための中空部１６を回転中心軸１７周りに有し、Ｘ線管装置４及びＸ線検出器５を載置するための載置面１５を水平方向に平行に有する。スキャン機構部７は、スキャンテーブル６を回転させるための、駆動モータ、駆動モータの駆動力を伝達する駆動力伝達部材、及び駆動力伝達部材に結合する複合ころ軸受け１９を有する。スキャン機構部７の動作は、計測制御装置１０により制御する。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ容易に生コンクリートの単位水量の測定ができ、測定精度の向上を可能とする生コンクリートの単位水量測定装置を提供する。
【解決手段】中央部に貫通孔５および挿入ガイド筒３を有する円盤状の上蓋２によって、空気量試験（ＪＩＳ Ａ１１２８）用の生コンクリートＰを収容する試料容器１の上部を覆い、棒状のセンサー８を、この貫通孔５に挿通させて試料容器１の中心部に配置し、この試料容器１を、支持体１３下端から天板１２までの高さＨを４０ｃｍ以上とした天板１２上に載せて測定することで、地面１９の水分等の水素原子の影響を受けずに精度良く、迅速かつ容易に測定をすることができる。 （もっと読む）

【目的】 被検体の搬送中でも容易に感度補正が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【構成】 Ｘ線異物検出装置１は、被検査体が搬送される検出用パイプ３ｂにＸ線を照射するＸ線発生器５ａと、Ｘ線発生器５ａに対し検出用パイプ３ｂを挟むように対向配置され、Ｘ線発生器５ａからのＸ線の照射に伴って検出用パイプ３ｂを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出センサ５ｂと、Ｘ線検出センサ５ｂに含まれる複数のＸ線検出素子毎の感度ばらつきを補正するための補正値を求める感度補正手段１２ａとを備える。Ｘ線検出センサ５ｂの各素子の感度補正するときは、移動機構６を用いて検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂ上に検出用パイプ３ｂが無い状態でＸ線検出センサ５ｂに直接Ｘ線を照射し、感度補正手段１２ａにより補正値（感度係数）を求める。 （もっと読む）

本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】
コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得可能とする。また、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する。
【解決手段】
半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハに１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハを移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ面内分布を表示する。 （もっと読む）

本発明では、生物組織サンプルに照射を行う方法であって、第1の暴露期間の間、透過性放射線ビームで生物組織サンプルの一部に照射を行うステップと、その後、第2の暴露期間の間、透過性放射線ビームで、同一のまたは隣接する生物組織部分に照射を行うステップと、を有し、前記第2の暴露期間の間、前記組織サンプルに入射する前記放射線の線量は、前記第1の暴露期間の間の前記線量よりも多いことを特徴とする方法について示した。また、本発明では、本発明の方法により作動する機器について示した。

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本発明は、測定時間として設定した時間後でないと濃度の計算結果が得られないという従来の蛍光Ｘ線分析の問題点を解決するものである。
本発明の蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析装置は、試料の測定条件の設定を行った後測定を開始し、試料に含まれている元素の測定濃度と測定精度の計算を行い、この測定精度が予め定めた測定条件を満たす値となったときに測定を終了し、そのときの濃度を出力するように構成されている。 （もっと読む）

医療画像化モダリティが、より一層増加的に、非常に大きな３次元データセットを生成する。本発明の例示的な実施形態によれば、注目対象の３次元データセットが、画像における変化するサンプリングレートで対話的に視覚化される。有利には、レンダリングの間に、フォーカス領域が、ユーザにより対話的に動かされることができ、そこでは、その画像における特定の部分のサンプリングレートがフォーカス領域に対する相対的な位置によって規定される。有利には、これは、全体のレンダリング性能の改良を可能にすることができる。
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異なるレベルのコントラストを有する画像を比較する方法論およびシステムが提供される。異なるコントラストレベルを有する画像間でコントラストが正規化され、輝度が設定される。コントラストを正規化する際、第１のコントラストレベルを有する第１のデジタル画像について、グレーレベルの導関数が求められ、第１のコントラストレベルよりも大きい第２のコントラストレベルを有する第２のデジタル画像について、グレーレベルの導関数が求められる。第１のデジタル画像についてのグレーレベルの導関数と第２のデジタル画像についてのグレーレベルの導関数との比率が求められ、第１のデジタル画像についてのグレーレベルの導関数は、第２のデジタル画像についてのグレーレベルの導関数と等化される。少なくとも一方の画像の輝度は、バックグラウンドおよびテキストを除いて平均画素値を計算することなどによって自動で、または手動で設定されてもよい。
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被測定部品の一部分について複数の材料特性を示すグラフィカル情報を表示するシステムおよび方法。エネルギーが、被測定部品の選択された部分に向けられる。結果のエネルギーが、被測定部品の選択された部分から検出され、被測定部品の一部分について複数の材料特性のそれぞれを表すデータが、検出されたエネルギーに少なくとも部分的に基づいて得られる。複数のグラフが、得られたデータに基づいて形成される。グラフのそれぞれは、複数の材料特性のうちの別々の１つを示す情報を有する。複数のグラフが、複数のグラフのそれぞれに含まれる情報間での実質的に同時の視覚的比較を容易にする形で、互いに別個に表示される。

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【課題】 多層プリント配線板の内層の各導体層の変形量を観測、記録する。
【解決手段】 多層プリント配線板６０の内層用の両面配線板６１の表裏の導体層に中実ガイドマーク２２と中空ガイドマーク２３が形成され、例えば、中実ガイドマーク２２−１ｂに、隣接した導体層に設けられた中空ガイドマーク２３−２ａが同心に配置され、隣接した導体層毎に同心に配置された中実、中空ガイドマーク２２、２３を形成する。Ｘ線カメラの視野内に納まる外形のガイドマーク枠２１内に、例えば３行３列に、同心の中実、中空ガイドマーク２２（１ａ〜５ａ）、２３（１ｂ〜５ｂ）の組が配されている。ガイドマーク群２０は多層プリント配線板の、たとえば４隅に配置され、１個のガイドマーク群は１回のＸ線照射で枠内のガイドマーク全ての像を取り込み、それらの座標値が計算される。４個のガイドマーク群内のガイドマークの座標値から、各導体層に形成された配線用パターンの変形量が計算され、結果を記録できる。 （もっと読む）

【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）