【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】複数の試料について，同時にＸ線回折測定と熱分析測定を実施できるようにする。
【解決手段】集中法によるＸ線回折測定の際には，第１アーム２０と第２アーム２２を互いに逆方向に，同じ角速度で連動回転する。Ｚ方向に細長いライン状のＸ線ビーム３０について，入射側のソーラースリット２６でＺ方向の発散を制限してから，このＸ線ビーム３０を粉末試料１４，１６に同時に照射する。試料１４からの回折Ｘ線と，試料１６からの回折Ｘ線を，受光側のソーラースリット３２でＺ方向の発散を制限してから，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器３４で，区別して検出する。また，Ｘ線回折測定と同時に，二つの試料１４，１６について，熱分析測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】 硬組織についてより精密な評価を行なうことを可能とする配向性の分析方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の硬組織の配向性の分析方法は、Bragg角度がa軸、ｃ軸の配向性を判断できるようにX線の入射方向と硬組織の試料表面との角度を設定し、かつ、前記ｃ軸の配向性の場合に、前記角度を2θ＝26°前後に設定するとともに、試料揺動を行う条件下で、X線で硬組織における結晶の配向性の評価を、前記a軸、c軸、及びそれ以外の方向に対する回折強度を比較することにより行うことを特徴とする。 （もっと読む）

一つの位相格子（Ｇ１）と一つの振幅格子（Ｇ２）だけを備えたＸ線干渉計構成を開示する。この干渉計は、標準的なＸ線管を用いて位相コントラスト画像を得るために使用することができる。更に、この新形式の干渉計は、個別の副放射線源の配列から成る放射線源を使用することができる。副放射線源の各々は、個々には干渉性であるが、他の副放射線源とは互いに非干渉性である。放射線源の近くにスリットの配列、即ち、追加的な振幅格子（ＧＯ）を配置することによって、副放射線源の配列を作り出すことができる。そのような構成により、空間的又は時間的コヒーレンスを提供しない放射線源を備えた本形式の干渉計を使用することが可能となる。そのため、この構成は、より大きな放射線源を検出器から近い距離に配置した形で使用することができ、その結果フラックス密度が向上され、それにより照射時間が短縮される。このことは、多く（数百）の視野角により物体の画像を取得する必要の有る断層撮影法に関して特に重要である。
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【課題】コンテナー内に提供された骨セメント材料の硬化を監視する装置を提供する。
【解決手段】コンテナー内に提供された骨セメント材料の硬化を監視する装置は、骨セメント材料の温度に基づくコンテナー内のある種類のセメント材料が硬化するのに要する時間に関連するデータが記憶されたメモリ装置を含む。データプロセッサは、セメント材料の温度に関連するデータ、および、硬化の程度に関連するメモリ装置内のデータ、に基づいて、セメント材料が硬化するのに要する時間を計算するのに用いられる。出力装置は、コンテナー内のセメント材料の硬化の程度に関連する、データプロセッサからのデータ用に、設けられている。 （もっと読む）

放射線源を支持する第１の車両を備える、対象物を検査するための放射線走査システムが開示される。第２の車両が検出器を支持する。線源および検出器は、車両間の貨物輸送物などの対象物を走査するために移動させることができる。第１および第２の車両は、伸張可能な長さを有することができ、線源および検出器は、長い対象物を走査するために伸張可能な長さ全域で移動することができる。放射線源は、ファンビームなどの、垂直に発散する放射ビームを放出するようになされることができる。放射線は、例えば、Ｘ線放射線とすることができる。車両は、トラックと開放可能にトラックに連結される伸張可能なトレーラを備えることができる。トレーラは、入れ子式のレールを備えることができる。第１および第２の車両は、検査場所に運転して運ぶことができ、そこで迅速に展開することができる。対象物を検査する方法も開示される。
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【課題】 物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた測定結果の把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち一部を抽出して少なくともＸ線画像の背景に相当する部分を除いた物理量測定領域のＸ線画像をデータ処理部６のＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する物理量を算出する質量算出部１３と、物理量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された物理量を示すグラフ表示要素とを関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 複数種類の検査結果を同時に見易く表示することのできる物品検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷに対応する所定の物理量を特定してその物理量を表わす測定信号を出力する物理量測定部１３と、ワークＷについての所定の品質検査を実行してその品質検査の結果を表わす検査結果信号を出力する品質検査部１５とを備えた物品検査システムであり、更に、測定信号および検査結果信号に基づいて、測定信号で表わされる物理量および検査結果信号で表わされる品質検査結果を含む検査結果情報を、表示画面上の時間軸方向に各ワークＷの測定順に並べて表示する表示部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

本発明は、包装機械に用いられるセンサ装置であって、包装機械（１８）の少なくとも１つの搬送手段（２１，３２）が設けられており、該搬送手段（２１，３２）が、包装しかつセンシングしたい少なくとも一種類の材料（１９）を包装機械（１８）の種々異なるステーション（１〜１２）に運動させるようになっている形式のものに関する。本発明によれば、少なくとも１つのＸ線源（３３）と検出器（３７）とが、Ｘ線源（３３）と検出器（３７）との間に位置するセンシングしたい材料（１９）を透視するために設けられている。
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【課題】圧力が結晶多形に及ぼす影響をスクリーニングする方法を提供すること。
【解決手段】アモルファス状の対象化合物の懸濁液を加圧処理もしくは減圧処理する工程を含むことを特徴とする対象化合物の結晶多形のスクリーニング方法。 （もっと読む）

【課題】 分散性の評価方法として精度が高く、個人差のない評価法を開発することにより、金属酸化物を用いたトナーの最適な分散条件を規定し、安全で、低温定着で、トナー搬送性に問題がなく、ドット再現性の良い高画質がいつでも得られるトナーを安定して生産できること、および、そのような評価方法を採用することにより得られたドット再現性の良い高画質の画像が形成できる低温定着性を有する静電荷現像用トナーを提供すること。
【解決手段】 少なくとも樹脂、顔料、電荷制御剤からなるトナー混練物に波長１．５４ÅのＸ線（ＣｕＫα線）を照射し、２θ（θ：ブラッグ角度）＝３２．９±０．５ｄｅｇの範囲内にあるＸ線回折パターンのピークのピーク積分強度を測定し、そのピーク積分強度によりトナー混練物の分散性を評価することを特徴とする静電荷現像用トナーの評価方法。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実に高精度の焦点合わせができるように改良した光電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 収束イオンビームまたは電子ビームを試料表面の観察部位の直近に照射してマーキングするためのイオン源または電子線源を備えたことを特徴とする光電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】金属帯上に塗布されるワックスの付着量を短時間で正確に測定することを可能としたワックス付着量測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のワックス付着量測定方法は、ワックスが付着された金属帯を、500〜950℃の温度で熱処理し、該熱処理前後の金属帯上の炭素量の差からワックスの付着量を求めることを特徴とする。さらに、蛍光Ｘ線分析法を用いて、熱処理前後の金属帯上の炭素量の差を求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速な半田ボール接合不良検査方法を提供する。
【解決手段】ＢＧＡパッケージとプリント基板１０３との接合部の外観検査時に、当該プリント基板に塗布されるクリーム半田部に対して該ＢＧＡパッケージの半田ボール１０４により接合する際のプリント基板１０３との接合部分のＸ線検査方法において、３次元画像データを再構成して生成された３次元画像データよりＸ線透過率を利用して半田ボール部位の画像データを抽出し、その抽出した半田ボール部位における画像データの特徴量を抽出し、当該抽出した特徴量により半田ボール１０４とプリント基板１０３の接合状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板面の近似平面を決定することで、断層画像の画像再構成処理において、被検体の状態に関係なく、最小限の画像再構成領域を設定するＸ線ＣＴ検査装置を提供する。
【解決手段】電子基板に搭載される被検体を透過した透過Ｘ線像を用いて被検体の断層画像を生成するＸ線ＣＴ検査装置であって、被検体にＸ線を照射する手段１２６と、前記被検体を透過したＸ線を計測する手段１２５と、Ｘ線計測手段１２５により計測したＸ線データを用いて被検体の断層画像の画像再構成を行う手段１５２と、電子基板上の被検体の表面形状データ（高さ位置）を計測する手段１２１と、電子基板内の異なる２領域以上の表面形状データから、断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段１５３と、を備え、決定した基板近似平面を基準に、画像再構成手段１５２により画像化する領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】
非破壊検査による検査・試験パスの短縮を図り例えば薬剤開発期間の短縮、しいては製造・品質の安定化を図った分子構造複合同定装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検試料載置板１６に載置された同じ被検試料１７に対して０．５ｍｍ以下の直径に制限したＸ線ビームと赤外線・可視光・紫外線の何れか一つあるいは複数の波長ビームを照射する照射光学系（１，１２；２，２２，１１）と、前記被検試料から得られるＸ線回折パターン及び前記被検試料から放出される反射光又は散乱光を検出する検出光学系（９；１１，３，５）とを備え、前記被検試料から同時または連続して少なくともＸ線回折スペクトル及び可視光による反射光像を検査できるように構成した分子構造複合同定装置である。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された配線パターンの欠陥を、速やかに、効率良く検出する。
【解決手段】 基板と、前記基板上に形成された半導体デバイスと、前記基板上に形成された、電子線が照射されることで配線接続の試験を行う、電子線照射領域を含む配線接続試験構造と、を有する半導体装置であって、前記配線接続試験構造は、前記基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層に、互いに平行になるように形成された、前記電子線照射領域を有する複数の第１のパターン配線と、前記第１のパターン配線の間に形成された第２のパターン配線と、前記第２のパターン配線の下層に形成された、前記第２のパターン配線に接続される第３のパターン配線と、前記第３のパターン配線の上層に形成された、当該第３のパターン配線と接続され、前記電子線照射領域を有する第４のパターン配線と、を有することを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）

集束イオンビーム３１２のスパッタリングエッチング加工を行って薄片を作製すると同時に、薄片の側壁に対して平行な方向から電子ビーム３１４の照射を行って走査電子顕微鏡観察をし、薄片の厚さを測定する。そして、薄片の厚さが所定の厚さになったことを確認して、集束イオンビーム３１２による加工を終了する。
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【課題】 特殊な装置を用いることなく、樹脂基材とプライマー層との界面に形成される相溶層の厚さを定量的に数値化できるプライマー形成面の検査方法を提供する。
【解決手段】 樹脂基材とこの表面に形成されたプライマー層との界面付近の断面の画像から、該界面に直交する直線上における輝度プロファイルを取得し、樹脂基材領域Ｅにおける輝度プロファイルの傾きがプライマー層側で変化する変曲点Ｉと、プライマー層領域Ｄにおける輝度プロファイルの傾きが樹脂基材側で変化する変曲点Ｈとの間隔Ｊから、樹脂基材とプライマーとの界面に形成された相溶層の厚さを求めるプライマー形成面の検査方法。 （もっと読む）