【課題】表面から散乱したＸ線の検出に基づいて、試料の表面上における周期構造の寸法を測定するための、改善された方法および装置を提供する。
【解決手段】試料をＸ線解析する方法は、試料の表面上の周期構造の領域に衝突するようにＸ線ビームを方向付け、方位角の関数として散乱Ｘ線の回折スペクトルを検出するように反射モードで表面から散乱したＸ線を受け取ることを含む。回折スペクトルは、構造の寸法を決定するために解析される。
（もっと読む）

【課題】 設計寸法が０．１μｍ程度のＬＳＩ内部の特定箇所に電圧を直接印加し、デバイス内に生じる現象を観察可能とする。
【解決手段】 荷電粒子ビームを用いて、対象試料の任意の領域を微小試料片に加工、摘出する工程に、摘出した微小試料片７２に微細導線３０ａ，３０ｂを取り付ける工程、取り付けた微細導線に電圧を印加する工程を加える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折を用いて、物体の表層の硬さの状態を非破壊で評価することができる方法を提供する。
【解決手段】マスター部品に対してＸ線回折を行い回折Ｘ線に基づく回折線幅を測定し、同回折線幅とマスター部品表面の硬度との関係を規定するデータベースと、同硬度と硬化層深さの関係を規定するマスターカーブを取得する。次に、検体である焼入量産品に対して前記と同様のＸ線回折を行い回折線幅を取得する。そして、前記データベース、マスターカーブおよび前記検体に係る回折線幅を用いて、検体表層の硬度および硬化層深さを推定し、同推定値に基づいて焼入量産品の表層の硬さの状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非均質な試料である化粧料塗布膜について、所望の深度部分の画像を取得する方法を提供する。
【解決手段】次の工程（Ａ）〜（Ｄ）（Ａ）走査型顕微鏡の加速電圧を変え同一化粧部分の複数の画像データを取得する工程、（Ｂ）高加速電圧での画像データと、これに隣り合い、これより低い加速電圧での画像データから、複数の差分画像データ候補を得る工程、（Ｃ）上記工程（Ｂ）で得られた各差分画像データ候補を二値化処理し、これらから各々０の集合Ｐ_０（ρ）を得る工程、（Ｄ）集合Ｐ_０（ρ）の領域について、複数のＰ_０（ρ）の乖離度を求める工程、（Ｅ）複数のＰ_０（ρ）の乖離度を比較し、最小値となるρを選択する工程、（Ｆ）上記（Ｅ）のρを前記式（１）に代入して得た差分画像データを画像化する工程を含む化粧料塗布膜内部の画像の取得方法。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの膜の特性をインラインで測定して、定期的なモニタリング作業を不要にした半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に複数の膜を積層して成膜する。この基板１上に形成され上記基板１上の特定エリアを示すパターンを認識し、この特定エリアのみの上記複数の膜に、Ｘ線をマイクロ化されたスポット径で照射して、Ｘ線反射率測定によって、上記各膜の特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク上の他のハードウェア資源を有効活用することで高処理能力の演算ＣＰＵを不要にしてコスト低減と小型化・長寿命化を図るとともに、所要の選別精度を確保し得る信頼性に優れた物品選別装置を提供する。
【解決手段】搬送路５上に検出領域１１を有しその領域を通過する物品Ｗの品質状態を表す検出信号を出力する検出手段１０と、検出信号に対し第１の演算を実行する演算手段２１ｅと、その演算結果に基づき物品Ｗに対する第１の判定結果を出力する判定手段２１ａと、検出信号をＬＡＮ上の外部のデータ処理装置５０に出力しそこで検出信号を第２の演算により処理した第２の判定結果を入力するデータ通信手段２３、２４と、第１及び第２の判定結果に基づき両判定結果の優先順位を決定する優先順決定手段２１ｃと、優先順位に従って優先されるいずれか一方の判定結果に応じて選別制御信号を生成する選別制御手段２１ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】検量線作成治具の構造上の性能に依存せず、より高精度の水量測定が可能な、また正確な検量線の作成も可能な水量測定装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セル等の試料に放射線を照射したときの放射線透過量を計測し、放射線透過量と水量との検量線に基づいて試料内の水量を演算する演算・制御装置を備え、反応に伴い、生成する水の測定試料内での水量を測定する水量測定装置において、演算・制御装置は、試料につき、反応開始後の放射線透過量を反応開始前の放射線透過量で除算し（ステップＳ３）、その除算結果値に基づいて試料内の水量を演算して放射線検出系の感度ムラを低減し、検量線作成治具の構造上の性能に依存せずに高精度の水量測定を可能とした。放射線透過量は複数回の計測の平均値とし（ステップＳ１）、また、計測を試料内の水量や放射線強度の安定化後に実行して更に高精度の水量測定を可能とした。試料の計測時に計測されたデータに基づいて検量線を作成し（ステップＳ４）、高精度の水量測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】多列検知器アレイ中のクロストークの影響を、少ない投入および構造改良を経て、少なくする。
【解決手段】マルチアレイ検知器モジュール構造は、ハウジング３と、ハウジングの下端と固定接続される底板７と、複数の検知器からなる多列検知器アレイ１とを備える。底板７に、上層板４ａと下層板４ｂを含む装着フレーム４が配置され、多列検知器アレイ１は、装着フレーム４の上層板４ａと下層板４ｂにそれぞれ固定される二列の外周検知器アレイ１ａ、１ｂと、前記二列の外周検知器アレイの間に設けられ、前記二列の外周検知器アレイに固定される少なくとも一列の中間検知器アレイ１ｃとを含む。多列検知器アレイ１中の複数の検知器アレイの間に、重金属シート５が配置されている。また、前記二列の外周検知器アレイと、装着フレーム４の上層板４ａ及び下層板４ｂとの間に、散乱の影響を少なくするための重金属板６が配置される。 （もっと読む）

【課題】概ね一定の形状を有する物品だけでなく、不定形状の物品についても適切に欠品あるいは割れ欠けの検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線源１３と、Ｘ線検出部１４と、検査部２１ｂとを備える。Ｘ線源１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線検出部１４は、Ｘ線源１３からのＸ線を受ける。検査部２１ｂは、Ｘ線検出部１４で受けたＸ線に基づいて生成されるＸ線画像６１ａ，６１ｂに対して画像処理を施し、Ｘ線源１３とＸ線検出部１４との間を通る物品Ｇについての欠品あるいは割れ欠けの検査を行う。また、検査部２１ｂは、画像処理あるいは検査において、Ｘ線画像６１ａ，６１ｂに基づいて物品Ｇの体積を算出し、所定の基準体積と比較する。 （もっと読む）

【課題】多種類のエネルギーの輻射で物質を検査する方法とその設備を提供する。
【解決手段】多種類のエネルギーを有する輻射を利用して被検体と相互作用し、異なるエネルギーを有する輻射が被検体と相互作用した検出値を検出して記録し、検出値の一部分を予定な所定関数に代入し、物体の初歩的な材料属性を含む情報を取得し、及び上述の情報に対応するエネルギー区間にこのエネルギー区間に適切する関数グループを利用して物体の材料属性をさらに判断することを含む。本発明は海関、ハーバー、空港において大型コンテナーを開けない状態で品物を検査することに適用できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、陽電子線源と被測定試料を隔離して陽電子寿命を測定することができ、時間分解能の半値幅が１８０ｐｓ以下となる陽電子寿命測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の陽電子寿命測定は、装置陽電子線源と、前記陽電子線源との間に被測定試料を挟んで配置された光検出装置と、前記被測定試料に、前記陽電子線源から入射された陽電子が該被測定試料中で消滅する際に発生するγ線を検出するγ線検出装置と、を備え、前記光検出装置は、前記陽電子線源から前記陽電子が前記被測定試料中に入射された際に発生するチェレンコフ光を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オートフォーカスの失敗による影響を除去でき、試料の特徴構造の寸法を正確に測定し得る電子顕微鏡を用いた試料の寸法の測定方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡は電子ビームの焦点を試料上に結ぶための対物レンズ151bと、対物レンズ151bに供給される励磁電流を供給するレンズ制御部150bと、特徴構造を測定するホストコンピュータ102を有している。ホストコンピュータ102は、対物レンズ151bに供給される励磁電流を変化させ、対物レンズ151bに供給される各励磁電流における前記試料の特徴構造の寸法データを測定し、この測定により得られる寸法データの変化を示す変動量が所定値以下となる寸法データを、試料の特徴構造の寸法として決定する。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントの内部潤滑グリースの移動状態を正確に調べることができる方法とし、グリースの移動性からみたグリースの当該等速ジョイントとの適合性、さらにはグリースの寿命や劣化状態、取替え時期などを判別できる等速自在継手内部グリースの適性検査方法とすることである。
【解決手段】潤滑グリースを内部に保持した等速自在継手の内輪の軸線を外輪の軸線に対して所定角度だけ傾け、その際に内輪と外輪のいずれか一方を他方に対して１回転以上回転させた後、内・外輪の軸線を同一線上に一致させてから等速自在継手の所定方向からＸ線透過像を撮影し、予め前記回転する以前に内・外輪の軸線が同一線上に一致させた状態で前記所定方向からの等速自在継手のＸ線透過像を撮影しておき、前記回転前後のＸ線透過像における濃色域の面積変化およびその位置変化を比較して潤滑グリースの移動量と存在位置を調べることにより潤滑グリースの適性を検査することからなる等速自在継手内の潤滑グリースの検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム装置で用いられる測長校正を高精度で行う標準部材を提供する。
【解決手段】一次元回折格子を貼り合せウェーハに配置させることにより実測ウェーハと同じ高さでの高精度校正や装置間校正が可能となる。かつ表面シリコン層に一定電圧を加える構成とすることにより二次電子信号強度が大きく取れ微弱電子ビームでも良好な二次電子信号像が得られる。さらに一次元回折格子をウェーハ内の複数箇所に設置させることにより大口径ウェーハにおける面内位置毎の校正が保証される。 （もっと読む）

【課題】被覆材で被覆された多様な被測定物の腐食を、被覆材を外すことなく非破壊で確実に検査することができる腐食検査方法を提供する。
【解決手段】被覆材により被覆された被検査物の腐食を検査する腐食検査方法である。高速中性子を放出する中性子線源により被覆材表面から高速中性子を注入し、熱中性子を検出する熱中性子検出器により被覆材表面から放出された熱中性子を計数して熱中性子計数値を測定する。その後、基準の熱中性子計数値に対する熱中性子計数値の計数値比を求める。その後、計数値比が所定のしきい値よりも高い場合には、被覆材に被覆された被検査物に腐食があると判断する。 （もっと読む）

【課題】限られた空間を持つ装置内に載置された二次元検出器を用いて、投影像の輝度の減衰を抑えつつ、投影像の拡大率を向上させる。
【解決手段】Ｘ線源１と、二次元検出手段２と、Ｘ線源１のＸ線焦点と二次元検出手段２との間に配置され被検査体７を載置してＸ線焦点から二次元検出手段７の初期位置検出面に降ろした垂線に直交する回転軸を中心に設定された角度変位で回転する回転手段とを用い、各角度位相毎に撮像された投影像より被検査体７の内部構造データを再構成する方法において、Ｘ線焦点から二次元検出手段２の検出面に降ろした垂線の長さを一定に、かつ検出面の側端部が各々の位置で一部重なるよう、被検査体７の回転軸と平行でＸ線焦点を通る回転軸について二次元検出手段２を旋回させる。そして各撮像位置において各角度位相の投影像を撮像し、撮像された投影像から再構成計算を行い、被検査体の内部構造データを再構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、記憶容量が大きく、また記録が書き込まれた記録媒体を記録読み取り装置から分離することができる可換性のある記録読み取り装置を実現することである。
【解決手段】
Ｘ線源とＸ線検出器アレイの間に円盤状媒体を配置し、媒体を回転することによってＸ線投影像のスキャンをおこない、媒体のＸ線吸収率の３次元分布を測定する事により、データ読み取りをおこなう記録再生装置。 （もっと読む）

【課題】 ２つの画像のパターンマッチングの成功率および精度を向上させ、しかも、測長などの検査作業の効率を低下させない画像処理装置、画像処理方法および走査型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型顕微鏡１０は、第１の画像と第２の画像とのパターンマッチングを行なう画像処理装置４を含んで構成される。画像処理装置４は、第１の画像に基づき塗り分け画像を生成する塗り分け画像生成部４１と、塗り分け画像を平滑処理して重心分布画像を生成する重心分布画像生成部４２と、第２の画像に基づき輪郭線線分群を生成する輪郭線線分群生成部４３と、重心分布画像と前記輪郭線線分群とに基づきマッチングスコアを算出するマッチングスコア算出部４４と、前記マッチングスコアが最大になる位置を検出する最大スコア位置検出部４５とを含む。 （もっと読む）

【課題】収束電子回折法を利用した格子歪み及び応力測定法において、HOLZ線の特定精度を高くして、測定精度を高くする
【解決手段】被測定物である結晶材料２に収束電子１を入射して得られるホルツ（HOLZ）図形のHOLZ線の位置に応じて、結晶材料の格子歪みを定量化する格子歪み測定方法において、ホルツ図形から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換してホルツ図形のホルツ線を特定する。そして、特定されたホルツ線の位置に応じて、結晶材料の格子定数を定量化する。測定作業者による恣意的なホルツ線の特定工程を伴わずに、所定の演算工程によりホルツ線を特定することができるので、ホルツ線の特定精度を高くすることができる。 （もっと読む）